JP6309735B2 - 配線基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
更に、上記のような高機能化に対応するため、配線基板の内部に形成する配線部を、高周波信号が流れる高周波回路パターン(例えば、位相回路、キャパシタ、インダクタなど)によって形成する傾向も増大している。
しかし、上記半導体装置や多層配線構造インダクタのように、複数の絶縁層の層間ごとに形成した複数の矩形枠状の配線層を、それらの端部ごとでビア導体により接続した場合、配線層とビア導体との間における垂直の接続部で電気抵抗が増加し易い。しかも、上記配線層やビア導体が形成された複数の絶縁層を積層した際に積層ズレにより、配線層とビア導体との間が離れ(オープン)たり、配線層と別の導体とが不用意に短絡するおそれがある、という問題点もあった。
即ち、本発明の配線基板(請求項1)は、絶縁材の一体物からなり、表面、裏面、および該表面と裏面との間に位置する複数の側面を備えた基板本体と、導体材からなり、上記基板本体の表面、裏面、および側面のうち何れか2つの面上に形成された複数の外部接続端子と、導体材からなり、上記基板本体内に形成された内部配線層と、導体材からなり、上記基板本体内に形成され且つ両端部が上記複数の外部接続端子に接続されたスパイラル形状の配線部と、を含む配線基板であって、上記スパイラル形状の配線部は、連続する曲線状に形成され、且つ上記内部配線層とは接続されないと共に、該スパイラル形状の配線部の内側にも上記絶縁材が位置している、ことを特徴とする。
従って、例えば、高周波信号用途のように、特定の周波数帯の電流を通電したり、全体が小型で且つ高密度の配線部を内蔵するために好適な配線基板を確実に提供することが可能となる。
また、前記基板本体の表面および裏面は、平面視で四角形状の正多角形または変形多角形を呈し、上記基板本体の側面は、4面以上の矩形である。
更に、前記外部接続端子は、平面状のパッドや、ドーム状または球状のバンプを含むと共に、該外部接続端子の材料は、前記配線部や内部配線層の材料と同じか、同種であるか、更には異種であっても良い。
また、前記内部配線層とは、前記基板本体内に形成され、該基板本体の表面および裏面と平行な配線層である。
更に、前記配線部を構成する配線部分の断面は、円形、楕円形、あるいは長円形である。
また、前記スパイラル形状には、全体が円筒形状のコイル形、全体が円錐形状の螺旋渦巻き形、全体が長円筒形状のコイル形、全体が長円錐形状の螺旋渦巻形、あるいは、全体が四角形以上の多角筒形状または多角円錐形状で且つ平面視が多角形状(隣接する2つの曲線部分の間に直線部分が位置する)などが含まれる。
更に、前記「連続する曲線状」とは、隣接する2つの曲線部分の間に前記基板本体の厚み方向に対して傾斜した直線部分を有する形態も含まれる。かかる直線部分と曲線部分を挟んで隣接する別の直線部分との平面視における交差角度は、90度であるか、あるいは90度以上で且つ180度未満の鈍角である。
加えて、前記「接続されていない」には、前記配線部と内部配線層とが電気的に接続されているが、物理的には繋がって(接続されて)いない場合も含まれる。
これによれば、上記配線部の両端部と外部接続端子との電気的および物理的な接続が確実に接続することができる。しかも、製造時の立体配線形成用模型の材料を、素基板本体を加熱した際に、上記模型の両端部から外部に対し容易に輩出して除去することも可能となる。
尚、上記直線部分とは、前記基板本体の表面および裏面に形成された外部接続端子に対して軸方向が直交するように、上記基板本体の厚み方向に沿った垂直の配線部分であり、上記基板本体の側面に形成された外部接続端子に対して斜め下向きに交差するように、上記基板本体の厚み方向に対し表面の中央側から裏面の周辺側に沿って下がるように傾斜した配線部分である。
これによれば、前記一方の外部接続端子から他方の外部接続端子に向かって、特定の高周波数の信号を伝送損失を少なくして正確な伝送することが容易となる。
加えて、本発明には、前記スパイラル形状の配線部は、インダクタ線路、位相線路、あるいはキャパシタ電極の一部を構成している、配線基板(請求項4)も含まれる。
これによれば、前記スパイラル形状の配線部内に、伝送損失が少ない高周波特性を奏する前記高周波信号用の回路パターンを配置することができる。
少なくとも樹脂粉末、ロウ、低融点金属の粉末、あるいは低融点合金の粉末の一つを含み、且つ連続する曲線状に形成されたスパイラル形状を呈する立体配線形成用模型を準備する工程と、該立体配線形成用模型を、該模型の上端部および下端部を除いて、粉末状、スラリー状、あるいは液状の絶縁材によって包囲することにより、表面、裏面、および該表面と裏面との間に位置する複数の側面を備えた素基板本体を形成する工程と、該素基板本体を加熱して、該素基板本体を形成している上記絶縁材を焼成あるいは硬化させることで基板本体を得ると共に、かかる加熱の過程で前記基板本体の内部から上記立体配線形成用模型を除去する工程と、上記基板本体の内部に形成された空洞部内に、金属粉末を含む導電性ペーストを充填する工程と、上記基板本体の空洞部内に充填された上記導電性ペーストを加熱して硬化することで、配線部を形成する工程と、を含む、ことを特徴とする。
従って、小型で且つ高性能の配線基板を確実に製造できると共に、特に、高周波信号用の配線部を内設するのに好適な配線基板を提供できる。
また、前記立体配線形成用模型の形成に用いる樹脂は、アクリル、エポキシ、ポリイミド、ビスマレイミドトリアジン(以下、BTと称する)、ポリフェニレンエーテル(以下、PPEと称する)、ポリ乳酸などの樹脂である。これらのうち、3次元プリンタで立体配線形成用模型を制作する際の粘性や硬度などの観点から、アクリル樹脂が最適である。
更に、前記立体配線形成用模型の形成に用いる低融点合金は、例えば、Agロウ、Auロウ、Alロウ、あるいは各種のハンダなどである。
加えて、前記素基板本体を形成する工程には、スラリ(ゲル)状のセラミックを所定の型内に充填するゲルキャスト法や、樹脂粉末などを所定の型内でプレスする粉体プレス法などが用いられる。
これによれば、セラミックスラリからなる前記素基板本体を加熱した際に、前記模型に含まれていた接着剤などのバインダ成分を脱脂させ、引き続いて焼成することで、上記模型に含まれていた前記樹脂粉末を外部に蒸発させることにより、焼成後の基板本体内にスパイラル形状の空洞部を確実に形成することができる。
尚、前記蒸発には、昇華や燃焼などの現象も含まれる。
これによれば、熱硬化性樹脂からなる前記素基板本体を加熱した際に、前記模型に含まれていた前記ロウ、低融点金属の粉末、あるいは低融点合金を溶融し且つ外部に流出させることで、硬化後の基板本体内にスパイラル形状の空洞部を確実に形成することができる。
尚、前記熱硬化性樹脂は、例えば、フェノール樹脂やメラミン樹脂である。
これによれば、前記スパイラル形状の空洞部内に、導電性ペーストを高い流動性を伴わせ且つ空隙を残留しにくくして容易に充填することが可能となる。
尚、前記空洞部の断面寸法が細径などの場合には、金属粉末の平均粒径を1μm未満とし、上記空洞部の断面寸法が太径などの場合には、一部の金属粉末の粒径を1μm未満とし、残部の金属粉末の粒径を数〜数10μmとしても良い。
これによれば、前記配線部の上端部および下端部が露出する基板本体の表面、裏面、および側面のうち2つの面において、上記上端部または下端部と物理的に接続した外部接続端子を確実に形成した配線基板を製造することができる。
尚、前記外部接続端子の形成に先だって、前記配線部の両端部で且つ基板本体の表面、裏面、および側面から突出する部分がある場合には、かかる表面などの研磨によって除去することが推奨される。
また、前記外部接続端子の形成は、フォトリソグラフィ技術や、スパッタリングにより端子本体を形成し、必要によりその表面に2次メタライズを形成した後、例えば、NiおよびAuメッキを被覆することで行われる。
図1は、本発明による一形態の配線基板1を透視的に示す斜視図、図2は、該配線基板1を透視的に示す垂直断面図、図3は、上記配線基板1を透視的に示す平面図である。
配線基板1は、図1〜図3に示すように、全体が直方体の基板本体2と、該基板本体2の表面3および裏面4に個別に形成された円盤状のパッド(外部接続端子)6,7と、上記基板本体2の内部に形成された内部配線層9と、上記基板本体2の内部に形成され且つ両端部が上記パッド6,7に個別に接続されたスパイラル形状の配線部10とを備えている。
また、前記パッド6,7、内部配線層9、および前記配線部10は、Ag、Cu、あるいはこれらの一つをベースとする合金の導体からなる。
更に、前記配線部10は、円形の断面を有し、図1〜図3に示すように、基板本体2の表面3側から裏面4側に向かって、直径が徐々に大きくなる4つのループ部11,12,13,14が連続しており、平面視が渦巻き形状で且つ外形が円錐形状を呈するスパイラル形状(螺旋形の曲線)を呈している。該配線部10は、前記内部配線層9には接続されておらず、互いに離間している。即ち、該スパイラル形状の配線部10は、その全長において物理的な接続部を有していない。
尚、上記スパイラル形状の配線部10は、高周波信号が流れるので、例えば、インダクタ線路、位相線路、あるいはキャパシタ電極の一部をも構成している。
従って、例えば、前記高周波信号のように、特定の周波数帯の伝送損失を少なくして伝送することに好適であり、全体が小型で且つ前記のような高密度の配線部10を内蔵できる高性能な配線基板1を提供することが可能となる。
尚、前記配線部10は、前記ループ11〜14の直径を互いに共通とし、全体が円筒状のコイル形を呈する形態としても良い。
最初に、立体配線形成用模型(以下、単に立体模型と称する)20を準備する工程を行った。
即ち、アクリル樹脂の粉末(平均粒径1〜50μmの何れか)および接着剤などからなる液状の原料を、図示しない3次元プリンタを用いて、図4に示すように、下端部側から上端部側に向かって直径が徐々に縮径するループ部24,23,22,21を螺旋形状で且つ連続するように積み重ねて行くことで、図4に示す立体模型20を形成した。尚、最上部と最下部のループ21,24の両端部は、それぞれ曲線部(アール部)を介した垂直の直線部にしておくことが望ましい。
即ち、図示しない直方体のキャビティを有する型内に、前記立体模型20を配置し、上記キャビティ内にガラス−セラミック(絶縁材)のスラリを充填するゲルキャスト法により、表面3c,裏面4c,および四辺の側面5cを有し、上記立体模型20をその両端部を除いて包囲した未焼成の素基板本体2cを形成した。
具体的な工程は、図5中の水平の破線で示すように、最初に上記スラリを該破線で示すレベルまで充填して下部側のスラリ部2c1とし、該スラリ部2c1の乾燥後に、該スラリ部2c1にレーザ加工により垂直なビアホールを穿孔し、該ビアホール内にスクリーン印刷によりAgまたはCu粉末を含む導電性ペーストを充填して未焼成のビア導体v2pを形成した。次に、該ビア導体v2pの上端面が露出する上記スラリ部2c1の表面近傍に上記同様の導電性ペーストをスクリーン印刷して、未焼成の内部配線層9pを形成した。更に、スラリ部2c1および内部配線層9pの上方に前記スラリを充填して上部側のスラリ部2c2とし、該スラリ部2c2の乾燥後に、上記同様のレーザ加工によるビアホールの穿孔とスクリーン印刷による前記同様の導電性ペーストの充填とを順次行って、図5に示すように、未焼成のビア導体v1pを形成した。
尚、上記内部配線層9pは、前記立体模型20とは接触していなかった。
即ち、前記立体模型20および内部配線層9pなどを内蔵する未焼成の素基板本体2cを、図示しない焼成炉内に挿入し、脱脂した後、前記ガラス−セラミックの焼成温度域に達するまで昇温するように加熱した。かかる加熱の過程において、前記立体模型20を形成していたアクリル樹脂の粉末や接着剤などは、該立体模型20の上端部側から外部へ順次蒸発していった。その結果、図6に示すように、上端部側から下端部側に向けて直径が徐々に拡径するループ部16,17,18,19が螺旋状にして連続しており、全体がスパイラル形状の空洞部15を形成した。
平行して、前記素基板本体2cは、焼成された結果、表面3,裏面4,および四辺の側面5を備えた基板本体2となった。該基板本体2の表面3および裏面4には、上記空洞部15の両端における開口部15x,15yが位置していた。
尚、上記加熱の過程で、前記内部配線層9pとビア導体v1p,v2pとは、脱脂された後、焼成されて内部配線層9とビア導体v1,v2とになっていた。また、図6から後述する図8では、上記内部配線層9pなどの図示を省略した。
即ち、前記スパイラル形状の空洞部15内に、Agの微粉末(金属粉末)を含む導電性ペースト10pを、表面3側の開口部15xから充填した。この際、裏面4側の開口部15yを真空ポンプに接続して減圧しても良い。尚、上記Agの微粉末は、平均粒径がnmレベル(1μm未満)のものとするか、その一部にnmレベルの微粉末を混入させることで、上記充填をスムーズに行うことができた。
その結果、図7に示すように、上端部側から下端部側に向けて直径が徐々に拡径するループ部11p,12p,13p,14pを螺旋状に連続させており、全体がスパイラル形状の導電性ペースト10pを前記空洞部15内に充填できた。
即ち、前記導電性ペースト10pを加熱して脱脂させる硬化処理を行った結果、図8に示すように、基板本体2内に位置し、該基板本体2の表面3側から裏面4側に向かって、直径が徐々に大きくなるループ部11,12,13,14が連続しており、平面視が渦巻き形状で且つ外形が円錐形状を呈するスパイラル形状の配線部10を形成することができた。該配線部10の両端部は、少なくとも、基板本体2の表面3および裏面4に個別に露出していた。
即ち、基板本体2の表面3および裏面4を砥石などにより研磨した後、前記配線部10の両端部および前記ビア導体v1,v2の各端部が露出する上記表面3および裏面4における所定の位置ごとに対して、例えば、Ti合金の粉末をスパッタリングして下地金属層を形成し、該下地金属層の表面にCu粉末をスパッタリングして表層金属層を形成して、複数のパッド本体を形成した。更に、該パッド本体ごとの表面にNiおよびAu電解メッキを順次行った。
その結果、図9に示すように、前記配線部10の両端部および前記ビア導体v1,v2の各端部が露出する上記表面3および裏面4における所定の位置ごとに、パッド6,6a,7,7aが形成されると共に、前記配線基板1が得られた。
配線基板1aは、図10(A),(B)に示すように、前記同様の基板本体2、およびパッド6,7と、該基板本体2の内部に形成され、且つ両端部が上記パッド6,7に物理的に接続されたスパイラル形状の配線部30と、を備えている。
上記配線部30は、表面3側および裏面4側のパッド6,7に直角に接続する垂直な直線状の端部31sと35sとの間に、平面視が半円形状で且つ半径を表面3側から裏面4側に向けて順次拡大させた曲線部31r,32r,33r,34rと、これらを介して連続的に接続され且つ基板本体2の表面3と裏面4との間の厚み方向で緩く傾斜した直線部分31,32,33,34,35とからなり、平面視が長円形の渦巻き状を呈し且つ全体が長円錐形状を呈するものである。
また、前記配線部30の両端部31s,35sと最上側および最下側の直線部分31,35との間にも、これらを連続させる曲線部が個別に位置している。
更に、前記配線部30は、前記曲線部31r〜34rの半径を互いに共通とし、全体が長円筒状を呈する変形したコイル形状としても良い。
また、前記配線部30は、その下端部を後述するように、基板本体2における何れかの側面5に形成したパッド8に接続する形態としても良い。
加えて、前記配線基板1aは、前記同様の製造方法によって製造可能である。
以上のような配線基板1aによっても、前記配線基板1と同様の効果を奏することが可能である。
配線基板1bは、図11(A),(B)に示すように、前記同様の基板本体2、およびパッド6,7と、該基板本体2の内部に形成され、且つ両端部が上記パッド6,7に物理的に接続されたスパイラル形状の配線部38と、を備えている。
上記配線部38は、表面3側および裏面4側のパッド6,7に直角に接続する垂直な直線状の端部39sおよび49sと、これらの間において、基板本体2の表面3と裏面4との間の厚み方向で緩く傾斜しており、且つ互いに直交して隣接するように配置された複数の直線部分39〜49と、これらの間を個別に接続し且つ平面視が4分の1の円弧形状であり、半径が表面3側から裏面4側に向けて順次拡大させた複数の曲線部Rと、からなり、平面視が長方形(矩形)状の渦巻き状を呈し且つ全体が四角錐形状を呈するものである。
また、前記配線部38の両端部39s,49sと最上側および最下側の直線部分39,49との間にも、これらを連続させる曲線部が個別に位置している。
更に、前記配線部38は、前記曲線部Rの半径を互いに共通とし、全体が四角筒状を呈する四角筒形のコイル形状としても良い。あるいは、前記直線部分39〜49を平面視が五角形以上となるように配置し、例えば、全体が五角錐形状または六角錐形状、あるいは五角柱状または六角柱状を呈する形態としても良い。
また、前記配線部38は、その下端部を後述するように、基板本体2における何れかの側面5に形成したパッド8に接続する形態としても良い。
加えて、前記配線基板1bも、前記同様の製造方法によって製造可能である。
以上のような配線基板1bによっても、前記配線基板1と同様の効果を奏することが可能である。
配線基板1cは、12(A),(B)に示すように、前記同様の基板本体2、およびパッド6と、図示で右側の側面5の裏面4側に形成されたパッド8と、該基板本体2の内部に形成され、且つ両端部が上記パッド6,8に物理的に接続されたスパイラル形状の配線部10aと、を備えている。
上記配線部10aは、パッド6の底面に垂直に接続する直線部11sと、パッド8の内面に斜め下向きの傾斜する直線部12sとの間において、前記同様のループ部11,12を連続して形成した螺旋状体であり、該ループ部11,12と上記直線部11s,12sとの間も互いに連続する曲線部が介在している。
また、前記配線部10aは、前記ループ部11,12の直径を互いに共通とし、全体がコイル状を呈する形態としても良い。
更に、前記基板本体2内において、更に別の配線部10aを前記配線部10aとは左右対称などにして配設した形態としても良い。
加えて、前記配線基板1cも、前記同様の製造方法によって製造可能である。
以上のような配線基板1cによれば、前記配線基板1と同様な効果を奏すると共に、基板本体2の表面3と何れかの側面5との間に前記配線部10aを配設することができる。
例えば、前記基板本体は、平面視の表面および裏面が五角形以上の正多角形あるいは変形多角形とし、かかる表面と裏面との周辺部同士間に5辺以上の側面が位置している形態としても良い。
また、前記基板本体を構成する絶縁材は、アルミナ、ムライト、あるいは窒化アルミニウムなどの高温焼成セラミックとしたり、フェノールやメラミンなどの熱硬化性樹脂としても良い。上記絶縁材に高温焼成セラミックを用いる場合、前記パッド6,7、内部配線層9、および配線部10などは、W、Mo、あるいはこれらの一つをベースとする合金の導体からなる。上記絶縁材に熱硬化性樹脂からなる基板本体を用いる場合、前記立体模型の材料の融点は、上記樹脂の硬化温度よりも低いものが用いられると共に、前記導電性ペーストの硬化処理温度も上記樹脂の硬化温度よりも低いことが推奨される。
更に、前記外部接続端子は、全体がほぼ球形状またはドーム形状を呈するバンプとしても良い。
更に、前記ロウ(蝋)、ハンダなどの低融点金属、合金からなる立体模型を用いた場合、前記素基板本体を加熱した際に、溶融して液状となった上記ロウやハンダなどが前記空洞部の下端側の開口部から外部に流出される。但し、上記ロウの一部は、前記空洞部内において燃焼することによって消失しても良い。
また、前記配線部10,10a,30,38は、断面が楕円形または長円形などであっても良いし、更に、円形の断面部分と楕円形または長円形などの断面部分とが互いに緩やかに変化しつつ接続されている形態としても良い。
更に、前記基板本体2は、その内部に、前記配線部10,10a,30,38のうち、何れか2つ以上を併設した形態であっても良い。
更に、前記配線部10,10a,30,38は、単一の基板本体2内において、同種または異種のものが併設されると共に、これらの間が前記基板本体2の厚み方向に沿って傾斜した曲線部分あるいは直線部分で接続されている形態としても良い。
加えて、前記基板本体2は、前記パッド6,6a形成された位置を除いた表面3に、各種の電子部品を搭載するためのキャビティを開口した形態でも良い。
2……………………………………………………………基板本体
2c…………………………………………………………素基板本体
3,3c……………………………………………………表面
4,4c……………………………………………………裏面
5,5c……………………………………………………側面
6〜8………………………………………………………パッド(外部接続端子)
9……………………………………………………………内部配線層
10,10a,30,38………………………………配線部
10p………………………………………………………導電性ペースト
11s,12s,31s,35s,39s,49s…直線部分
15…………………………………………………………空洞部
20…………………………………………………………立体配線形成用模型
Claims (9)
- 絶縁材の一体物からなり、表面、裏面、および該表面と裏面との間に位置する複数の側面を備えた基板本体と、
導体材からなり、上記基板本体の表面、裏面、および側面のうち何れか2つの面上に形成された複数の外部接続端子と、
導体材からなり、上記基板本体内に形成された内部配線層と、
導体材からなり、上記基板本体内に形成され且つ両端部が上記複数の外部接続端子に接続されたスパイラル形状の配線部と、を含む配線基板であって、
上記スパイラル形状の配線部は、連続する曲線状に形成され、且つ上記内部配線層とは接続されないと共に、該スパイラル形状の配線部の内側にも上記絶縁材が位置している、
ことを特徴とする配線基板。 - 前記スパイラル形状の配線部の両端部における外部接続端子との接続部分は、直線部分を含んでいる、
ことを特徴とする請求項1に記載の配線基板。 - 前記スパイラル形状の配線部には、高周波信号が流れる、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板。 - 前記スパイラル形状の配線部は、インダクタ線路、位相線路、あるいはキャパシタ電極の一部を構成している、
ことを特徴とする請求項3に記載の配線基板。 - 絶縁材からなり、表面、裏面、および該表面と裏面との間に位置する複数の側面を備えた基板本体と、導体からなり、前記基板本体の表面、裏面あるいは側面のうち何れか2つの面上に形成された複数の外部接続端子と、導体材からなり、上記基板本体内に形成された内部配線層と、導体材からなり、両端部が上記複数の外部接続端子に接続されたスパイラル形状の配線部と、を含む配線基板の製造方法であって、
少なくとも樹脂粉末、ロウ、低融点金属の粉末、あるいは低融点合金の粉末の一つを含み、且つ連続する曲線状に形成されたスパイラル形状を呈する立体配線形成用模型を準備する工程と、
上記立体配線形成用模型を、該模型の上端部および下端部を除いて、粉末状、スラリー状、あるいは液状の絶縁材によって包囲することにより、表面、裏面、および該表面と裏面との間に位置する複数の側面を備えた素基板本体を形成する工程と、
上記素基板本体を加熱して、該素基板本体を形成している上記絶縁材を焼成あるいは硬化させることで基板本体を得ると共に、かかる加熱の過程で前記基板本体の内部から上記立体配線形成用模型を除去する工程と、
上記基板本体の内部に形成された空洞部内に、金属粉末を含む導電性ペーストを充填する工程と、
上記基板本体の空洞部内に充填された上記導電性ペーストを加熱して硬化することで、配線部を形成する工程と、を含む、
ことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記素基板本体を加熱して得られる基板本体から前記立体配線形成用模型を除去する工程は、前記絶縁材を形成しているセラミックを焼成すると共に、その過程で上記模型を形成していた前記樹脂粉末を外部に蒸発させることからなる、
ことを特徴とする請求項5に記載の配線基板の製造方法。 - 前記素基板本体を加熱して得られる基板本体から前記立体配線形成用模型を除去する工程は、前記絶縁材を形成している熱硬化性樹脂を硬化温度以上に加熱すると共に、その過程で上記模型を形成していた前記ロウ、低融点金属の粉末、あるいは低融点合金を溶融して外部に流出させることからなる、
ことを特徴とする請求項5に記載の配線基板の製造方法。 - 前記導電性ペーストに含まれる金属粉末は、粒径が1μm未満のものを含有している、
ことを特徴とする請求項5乃至7の何れか一項に記載の配線基板の製造方法。 - 前記配線部を形成する工程の後に、該配線部の上端部が露出する基板本体の表面付近と、前記配線の下端部が露出する基板本体の裏面付近および側面付近の少なくとも一方とに、外部接続端子を形成する工程を更に有する、
ことを特徴とする請求項5乃至8の何れか一項に記載の配線基板の製造方法。
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