JP6309221B2 - 超高速レビュー装置および超高速レビュー方法 - Google Patents
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Description
分析時に使用する照射電流はpAオーダーと非常に小さく、加速電圧も数KVと低いのでサンプルにダメージを与えたり、汚染したりするのを防止できる。EDXを用いて2次電子あるいは反射電子発生効率をその場で較正するので、測定条件、コラムに関わらず、2次電子あるいは反射電子発生効率と元素を1対1に結びつけることが可能となる。反射電子は2次電子と同様非常に高い空間分解能を持っており、nmオーダーの分析を行うことが出来るようになる。
・第1目標座標のP01(X01,Y01),P02(X02,Y02)
・第2目標座標のP11(X11,Y11),P12(X12,Y12)
をそれぞれ算出する(詳細は、図5、図6で後述する)。
・Y幅:L2=√S+offset2
ここで、走査領域のX幅、Y幅は、図6に示すように、測定点座標(X11,Y11)を中心にした当該走査領域のX方向の幅(L1)およびY方向の幅(L2)を表す。X方向は電子ビームを偏向することを繰り返して走査する幅であり、Y方向はステージを機械的に一定方向に一定速度で移動させて走査する幅である。offset1,2は、ステージ12の慣性や電子ビーム3の開始点の直線性などを考慮し、走行領域内で一定速度で走行(走査)させるための幅(助走領域)である。
・始点座標P01:X01=X11−(L1/2)
Y01=Y11−(L2/2)
・終点座標P02:X02=X11+(L1/2)
Y02=Y11−(L2/2)
となる。ここで、(X11、Y11)は測定点(欠陥点)の座標である(図9の(b)参照)。L1,L2は図5の(a)で算出したL1,L2である。始点座標P01,終点座標P02は、図6に示す第1目標座標の始点座標P01および第1目標座標の終点座標,P02である。
・始点座標P11:X11=X11−(L1/2)
Y11=Y11+(L2/2)
・終点座標P12:X12=X11+(L1/2)
Y12=Y11+(L2/2)
となる。ここで、(X11、Y11)は測定点(欠陥点)の座標である(図9の(b)参照)。L1,L2は図5の(a)で算出したL1,L2である。始点座標P11,終点座標P12は、図6に示す第2目標座標の始点座標P11および第2目標座標の終点座標,P12である。
の
ここで、走行モードとしては、下記があり、適宜指定する。
モード2:走行距離が最短
モード3:最短時間
モード1では図11のグループ(測定対象群)間を高速移動する場合にステージの走査方向の折り返しが少ないモードである。モード2では図11のグループ(測定対象群)間の高速移動距離が最短のモードである。モード3では図11のグループ(測定対象群)間の高速移動時間が最短のモードである。いずれかのモードを指定するか、組み合わせて指定するあるいは実測して決めればよい。
2:電子ビームコラム
3:電子ビーム
4:電子検出器
5:増幅器
6:偏向器
7:電子ビーム偏向手段
8:電子ビームコラム制御手段
9:高圧電源
10:対物レンズ
11:サンプル(フォトマスク)
12:ステージ
13:真空チャンバー
14:ステージ制御手段
21:PC(パソコン)
22:欠陥座標取り込み手段
23:グループ化手段
24:走査順決定手段
25:走査画像取得手段
26:物質推定手段
31:検査装置(欠陥検査装置)
32:欠陥座標ファイル
Claims (7)
- サンプル上の複数の測定対象の画像を超高速かつ自動的に取得する超高速レビュー装置において、
前記サンプル上の複数の測定対象の座標を設定した測定対象座標データと、
前記測定対象座標データをもとに前記サンプル上の複数の測定対象について、1回のステージ移動で電子ビーム走査可能な1つあるいは複数の領域単位にグループ化して測定対象群を生成するグループ化手段と、
前記グループ化手段によってグループ化された各測定対象群毎に、該測定対象群間は可及的に高速移動し、該測定対象を走査する走査領域内では前記サンプルを一定速度で移動させつつ、かつ電子線でサンプルの移動方向と直角方向に繰り返して走査し、画像を取得する走査画像取得手段とを備え、
前記走査画像取得手段によって取得された前記各測定対象群の画像から前記複数の測定対象の測定をそれぞれ行なわせることを特徴とする超高速レビュー装置。 - 前記グループ化手段は、前記サンプル上を電子線で走査する走査幅の四辺形で当該サンプル上の全領域を仮想的にメッシュ状に分割し、前記測定対象座標データに設定された測定対象の座標が存在するメッシュにマークを付与した後、当該サンプル上の前記電子線の走査と直角方向のステージ走査幅内に含まれる前記マークを付与したメッシュについて、隣接するメッシュ、あるいは更に予め設定したメッシュ距離N(Nは1以上の整数)以内離れて隣接するメッシュを、まとめてグループ化して測定対象群をそれぞれ生成することを特徴とする請求項1記載の超高速レビュー装置。
- 前記走査画像取得手段は、前記測定対象群内の各測定対象の座標をもとに当該座標を中心に前記走査領域を設定して電子ビーム走査の開始点、終了点、および中心を測定点として算出し、該算出した測定対象の終了点から他の測定対象の開始点までサンプルを高速移動し、開始点から終了点までサンプルを一定速度移動して画像を取得することを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の超高速レビュー装置。
- 前記測定対象座標データ中に、前記測定対象の座標に加えて、当該測定対象のサイズを設定しておき、
前記走査画像取得手段は、前記グループ化手段によってグループ化された各測定対象群毎に、順次走査する際に、前記測定対象のサイズに対応して電子線走査する前記走査領域の幅を決定して走査することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の超高速レビュー装置。 - 前記走査画像取得手段は、前記走査領域を電子線で走査する走査線数をN倍にして走査して画像を取得した後、走査線数をN分の1にした画像を生成させることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の超高速レビュー装置。
- サンプルあるいは基準試料上の複数の異なる元素番号の物質を電子線で走査した際に発生する2次電子あるいは反射電子の強度を検出して複数の異なる元素番号とその強度との較正曲線を予め算出してテーブルに設定しておき、
前記走査領域を電子線で走査したときに発生する2次電子あるいは反射電子の強度を検出して前記テーブル内の較正曲線を参照して当該走査領域内の測定点の物質を推定する物質推定手段を備えたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の超高速レビュー装置。 - サンプル上の複数の測定対象の画像を超高速かつ自動的に取得する超高速レビュー方法において、
前記サンプル上の複数の測定対象の座標を設定した測定対象座標データをもとに当該サ
ンプル上の複数の測定対象について、1回のステージ移動で電子ビーム走査可能な1つあるいは複数の領域単位にグループ化して測定対象群を生成するグループ化ステップと、
前記グループ化ステップによってグループ化された各測定対象群毎に、該測定対象群間は可及的に高速移動し、該測定対象を走査する走査領域内では前記サンプルを一定速度で移動させつつ、かつ電子線でサンプルの移動方向と直角方向に繰り返して走査し、画像を取得する走査画像取得ステップとを備え、
前記走査画像取得ステップによって取得された前記各測定対象群の画像から前記複数の測定対象の測定をそれぞれ行なわせることを特徴とする超高速レビュー方法。
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