JP6309008B2 - 表面を非常に正確に測定するための方法およびデバイス - Google Patents
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
12 支持体
14 物体
15 表面
16 参照物体
17 表面プロファイル
18 参照物体
19 点
20 参照物体
21 点
22 ホルダ
24 距離
26 変位ユニット
27 変位ユニット
28 変位ユニット
30 変位ユニット
40 参照体
41 参照面
42 距離測定装置
43 支持要素
44 距離センサ
46 距離センサ
48 距離
50 軸
51 交差点
52 軸
62 サスペンション
64 カンチレバー
66 支承部
70 制御および評価ユニット
72 位置センサ
74 位置センサ
76 位置センサ
78 位置センサ
80 位置センサ
82 位置センサ
84 マルチプレクサ
90 光源
92 光源
94 光源
96 光源
100 検出器
102 検出器
104 検出器
106 検出器
107 検出器
108 検出器
110 検出器
112 検出器
114 検出器
Claims (16)
- 物体(14)の少なくとも1つの表面部分(15)を測定するためのデバイスであって、ホルダ(22)を含み、該ホルダ(22)に、参照体(40)および距離測定装置(42)が配置され、該距離測定装置(42)は、第1の軸(50)および第2の軸(52)に対して揺動可能にホルダ(22)に取り付けられ、距離測定装置(42)は、物体(14)の表面部分(15)上の第1の点(19)までの第1の距離(24)を決定するように、および参照体(40)上の第2の点(21)までの第2の距離(48)を決定するように構成され、参照体(40)は、ホルダ(22)での距離測定装置(42)の揺動性に合わせて適合される参照面(41)を含み、参照面(41)は、実質的に球セグメント状幾何形状を有する球状中空ミラーとして具現化され、球状中空ミラーの中心点は、第1の軸(50)および/または第2の軸(52)と実質的に一致する、前記デバイス。
- 物体(14)を受け取るための支持体(12)をさらに含み、ここで、ホルダ(22)と支持体(12)は、互いに対して可動である請求項1に記載のデバイス。
- 距離測定装置(42)は、物体(14)に対して位置合わせ可能な第1の距離センサ(44)と、参照体(40)に対して位置合わせ可能な第2の距離センサ(46)とを含む請求項1または2に記載のデバイス。
- 第1の距離センサ(44)と第2の距離センサ(46)は、互いに対してそれらの位置を固定されている請求項3に記載のデバイス。
- 第1の距離センサ(44)と第2の距離センサ(46)は、互いに逆向きに直径方向で位置合わせされる請求項3または4に記載のデバイス。
- 距離測定装置(42)の距離センサ(44、46)は、少なくとも所定の想像円錐体積内で、望むように空間内で向きを定めることが可能であり、または位置合わせ可能である請求項3〜5のいずれか1項に記載のデバイス。
- 第1の点(19)と第2の点(21)との間の想像接続線は、第1の軸(50)と第2
の軸(52)との交差点(51)を横切る請求項1〜6のいずれか1項に記載のデバイス。 - 距離測定装置(42)は、少なくとも3つ、好ましくは少なくとも6つの長さまたは位置変化可能なサスペンション(62)によってホルダ(22)に配置される請求項1〜7のいずれか1項に記載のデバイス。
- 距離測定装置(42)は、第2の軸(52)の周りで回転可能にカンチレバー(64)に配置された支承部(66)によって、ホルダ(22)に配置される請求項1〜7のいずれか1項に記載のデバイス。
- カンチレバー(64)は、第1の軸(50)の周りで回転可能にホルダ(22)に取り付けられる請求項9に記載のデバイス。
- さらに、制御ユニット(70)を含み、該制御ユニット(70)は、物体(14)の表面部分(15)の第1の点(19)の表面垂線に実質的に沿って第1の距離センサ(44)を位置合わせするように構成される請求項3〜10のいずれか1項に記載のデバイス。
- 距離測定装置(42)の回転によって引き起こされる第1の距離(24)の変化を、第2の距離(48)に基づいて補償することが可能である請求項1〜11のいずれか1項に記載のデバイス。
- 少なくとも3つの位置センサ(72、74、76)は、ホルダ(22)に結合され、該位置センサによって、少なくとも1つの参照物体(16、18、20)に対するホルダ(22)の空間的位置を決定可能である請求項1〜12のいずれか1項に記載のデバイス。
- 少なくとも3つの支持体センサ(78、80、82)が提供され、該支持体センサ(78、80、82)によって、少なくとも1つの参照物体(16、18、20)に対する、物体(14)を支持する支持体(12)または変位ユニット(27)の空間的位置を決定可能である請求項13に記載のデバイス。
- 距離測定装置(42)が回転可能に取り付けられる軸(50、52)は、距離測定装置(42)の2つの距離センサ(44、46)の幾何学的中心と測定対象の物体(14)との間に位置される請求項3〜14のいずれか1項に記載のデバイス。
- 物体(14)の少なくとも1つの表面部分(15)を測定するための方法であって、物体(14)と、第1の軸(50)および第2の軸(52)に対して揺動可能に取り付けられた参照体(40)および距離測定装置(42)が配置されたホルダ(22)とは、少なくとも第1の方向(x、y、z)で互いに対して移動され、距離測定装置(42)は、2つの軸(50、52)に対して揺動され、参照体(40)は、ホルダ(22)での距離測定装置(42)の揺動性に合わせて適合される参照面(41)を含み、参照面(41)は、実質的に球セグメント状幾何形状を有する球状中空ミラーとして具現化され、球状中空ミラーの中心点は、第1の軸(50)および/または第2の軸(52)と実質的に一致し、物体(14)の表面部分(15)の第1の点(19)までの第1の距離(24)と、それに対応する参照体(40)の第2の点(21)までの第2の距離(48)とは、距離測定装置(42)によって決定される前記方法。
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