JP6303026B2 - 計測方法および装置 - Google Patents
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- 光を出射する光源と、
前記光を参照光と測定光とに分離する分離部と測定対象を設置する測定対象設置部とを備え、前記参照光および前記測定対象で反射した反射光を出射する第1光学系と、
前記光を参照光と測定光とに分離する分離部と予め位置が判明している複数の反射部とを備え、前記参照光およびそれぞれの反射部で反射した反射光を出射する第2光学系と、
前記第1光学系、前記第2光学系のいずれかを選択する光学系選択部と、
前記第1光学系あるいは前記第2光学系が出射する複数の光を受光する受光部と、前記受光部が受光した光の解析を行って得られたビート周波数に基づいて、前記測定対象あるいは前記反射部までの距離を算出する距離算出部と、
前記距離算出部が算出した前記反射部までの距離を用いて補正値を算出する補正値算出部と、
前記補正値を用いて前記測定対象までの距離を補正する補正部と、を有することを特徴とする計測装置。 - 請求項1において、
前記測定対象設置部は所定距離の可動域を有し、
複数の前記反射部のうち光源から最も遠い反射部における光源までの距離は、前記可動域のうち光源から最も遠い位置における光源までの距離よりも遠い
ことを特徴とする計測装置。 - 請求項1において、
複数の前記反射部の間隔が不均一であることを特徴とする計測装置。 - 請求項1において、
複数の前記反射部は、光源から遠い側の端に反射面を有し、互いに反射面までの距離が異なる複数本のファイバであることを特徴とする記載の計測装置。 - 請求項1において、
前記反射部より光源から遠い位置に減衰器をさらに有することを特徴とする計測装置。 - 校正用のマッハツェンダー干渉計を有することを特徴とする、請求項1記載の計測装置。
- 請求項1において、
前記光学系選択部はファイバ切替え器あるいは偏光ビームスプリッターであることを特徴とする計測装置。 - 請求項1において、
前記第2光学系はさらに温度センサを有することを特徴とする計測装置。 - 光源が出射した光の光路を光学系選択部で選択する第1ステップと、
前記光学系選択部が第1の光学系を選択した場合に、前記光を第1参照光と第1測定光とに分離し、測定対象で前記第1測定光が反射した第1反射光と前記第1参照光とを受光部へ出射する第2ステップと、
前記光学系選択部が第2の光学系を選択した場合に、前記光を第2参照光と第2測定光との分離し、予め位置が判明している複数の反射部で前記第2測定光が反射した第2反射光と前記第2参照光とを前記受光部へ出射する第3ステップと、
前記受光部が受光した光の解析を行って得られたビート周波数に基づいて、前記測定対象あるいは前記反射部までの距離を算出する第4ステップと、
前記第4ステップにおいて算出した前記反射部までの距離を用いて補正値を算出する第5ステップと、
前記補正値を用いて前記測定対象までの距離を補正する第6ステップと、を有することを特徴とする計測方法。 - 請求項9において、
複数の前記反射部の間隔が不均一であることを特徴とする計測方法。 - 請求項9において、
前記光学系選択部はファイバ切替え器あるいは偏光ビームスプリッターであることを特徴とする計測方法。
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