JP6301042B1 - 有機elデバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、有機バリア層を介して、大気中の水蒸気がアクティブ領域内に到達する原因の2つのモードの内の第1のモードを説明する。
図2から図5を参照して、本発明の実施形態1によるOLED表示装置の構造および製造方法を説明する。
実施形態1によるOLED表示装置の製造方法は、例えば、以下の工程を包含する。複数の引出し配線30Aのそれぞれの少なくとも一部に、線幅方向に平行な断面の形状における側面のテーパー角が90°未満である順テーパー側面部分を露出された2つの側面の少なくとも最下部に形成する。次に、アクティブ領域R1に選択的に第1無機バリア層12Aを形成した後、チャンバー内に蒸気または霧状のアクリルモノマーを供給し、第1無機バリア層12A上でアクリルモノマーを凝縮させる工程において、複数の引出し配線30Aのそれぞれの順テーパー側面部分を有する部分の上には、アクリルモノマーを存在させないように、アクリルモノマーを凝縮させる。凝縮されたアクリルモノマーに光(例えば紫外線)を照射することによってアクリル樹脂からなる有機バリア層14を形成する。
次に、有機バリア層を介して、大気中の水蒸気がアクティブ領域内に到達する原因の2つのモードの内の第2のモードについて説明する。
2 :回路(駆動回路またはバックプレーン回路)
3 :有機EL素子
4 :偏光板
10、10A、10B、10C、10D :薄膜封止構造(TFE構造)
12、12A、12B、12C、12D :第1無機バリア層(SiN層)
14、14A、14B、14D :有機バリア層(アクリル樹脂層)
14Ds :有機バリア層の表面(アッシング後)
14Dsa :有機バリア層の表面(アッシング前)
16A、16B、16C、16D :第2無機バリア層(SiN層)
16Dc :欠陥
16Dd :凹部
20 :素子基板
26 :アクリルモノマー
26p :アクリルモノマーの蒸気または霧状のアクリルモノマー
100、100A :有機EL表示装置
Claims (13)
- 基板と前記基板に支持された複数の有機EL素子とを有する素子基板と、
前記複数の有機EL素子上に形成された薄膜封止構造とを有し、
前記薄膜封止構造は、第1無機バリア層と、前記第1無機バリア層の上面に接しかつ離散的に分布する複数の中実部を有する有機バリア層と、前記第1無機バリア層の前記上面および前記有機バリア層の前記複数の中実部の上面に接する第2無機バリア層とで構成された、少なくとも1つの複合積層体を有し、
前記複数の中実部は、離散的に設けられた、凹状の表面を有する複数の中実部を含む、有機ELデバイスの製造方法であって、
前記複合積層体を形成する工程は、
前記第1無機バリア層が形成された前記素子基板をチャンバー内に用意する工程と、
前記チャンバー内に蒸気または霧状の光硬化性樹脂を供給する工程と、
前記第1無機バリア層上で前記光硬化性樹脂を凝縮させて、液膜を形成する工程と、
前記光硬化性樹脂の前記液膜に光を照射することによって、光硬化樹脂層を形成する工程と、
前記光硬化樹脂層を部分的にアッシングすることによって、前記有機バリア層を形成する工程と
を包含する、製造方法。 - 前記複数の中実部は、前記基板の法線方向から見たときの面積円相当径が2μm以上のリング状の複数の島状中実部を含み、かつ、互いに隣接する2つの島状中実部の距離は2mm以上である、請求項1に記載の製造方法。
- 前記基板に支持された駆動回路と、周辺領域に配置された複数の端子と、前記駆動回路と前記複数の端子とを接続する複数の引出し配線をさらに有し、
前記薄膜封止構造は、前記複数の引出し配線の前記駆動回路側の部分の上に設けられており、前記複数の引出し配線のそれぞれの部分の上には、前記有機バリア層が存在せず、前記第1無機バリア層と前記第2無機バリア層とが直接接触している無機バリア層接合部を有する、請求項1または2に記載の製造方法。 - 前記複数の引出し配線のそれぞれは、少なくとも一部に、線幅方向に平行な断面の形状における側面のテーパー角が90°未満である順テーパー側面部分を前記第1無機バリア層に接する2つの側面の少なくとも最下部に有し、前記順テーパー側面部分を有する、前記複数の引出し配線のそれぞれの部分の上に前記無機バリア層接合部を有する、請求項3に記載の製造方法。
- 前記無機バリア層接合部の長さは少なくとも0.01mmである、請求項3または4に記載の製造方法。
- 前記有機バリア層の表面は酸化されている、請求項1から5のいずれかに記載の製造方法。
- 前記有機バリア層は光硬化樹脂で形成されている、請求項1から6のいずれかに記載の製造方法。
- 前記有機バリア層の厚さは500nm未満である、請求項1から7のいずれかに記載の製造方法。
- 前記第1および第2無機バリア層は、それぞれ独立に、厚さが200nm以上1000nm以下のSiN層である、請求項1から8のいずれかに記載の製造方法。
- 前記薄膜封止構造は、無機下地層と、前記無機下地層の上に形成された有機平坦化層とをさらに有し、
前記少なくとも1つの複合積層体は、前記有機平坦化層の上面に接するように形成されている、請求項1から9のいずれかに記載の製造方法。 - 前記薄膜封止構造は、有機平坦化層をさらに有し、
前記少なくとも1つの前記複合積層体は2つの複合積層体であって、
前記有機平坦化層は、前記2つの複合積層体の間に形成されている、請求項1から9のいずれかに記載の製造方法。 - 前記有機平坦化層の厚さは3μm以上である、請求項10または11に記載の製造方法。
- 前記アッシングは、N2O、O2およびO3の内の少なくとも1種のガスを用いたプラズマアッシング法で行われる、請求項1から12のいずれかに記載の製造方法。
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