JP6298724B2 - 切削装置 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 122
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
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- Dicing (AREA)
Description
3 チャックテーブル
4 切削手段
15 切削ブレード
21、61 スピンドルハウジング
22、62 スピンドルハウジングの先端部
25 供給路
27、63 エアーシール溝
28 高圧エアー源
31、66 回転スピンドル
35、71 フランジ
36、72 ボス部
37、73 装着部
41、74 装着面
43、75 フランジ背面
44、76 溝
64 突起部
C フランジ回転中心
W 被加工物
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段とを備え、
該切削手段は、切削ブレードを装着するフランジを先端に固定する回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端を先端部から突出させた状態でエアーベアリングで回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの該先端部の内周側に設けられたエアーシール溝と、該エアーシール溝に連通して高圧エアー源から高圧エアーが供給されるエアー供給路と、を備えた切削装置であって、
該フランジは、該回転スピンドルの先端に装着される嵌合穴を備えたボス部と、該ボス部から回転方向側方に突出して形成され円環形状の切削ブレードが装着される装着面を有する装着部とを備え、
該フランジの該装着面の反対側のフランジ背面には、フランジ回転中心と同心円状に円環状の略弧状断面を有する溝が形成されており、
該エアーシール溝から流出する高圧エアーが該フランジ背面に沿って該スピンドルハウジング側へ流れることで、該切削ブレードに該装着部の装着面の方向に向かう吸引力が生じること、を特徴とする切削装置。 - 該スピンドルハウジングの該先端部は、先端側に突起して該ボス部を外周側から覆い且つ該ボス部の回転を阻害しない隙間を有した突起部を備え、
該エアーシール溝から流出する高圧エアーが整流されて該ボス部と該突起部との該隙間から該フランジ背面に沿って流れ、該フランジ背面の該溝に流出させること、を特徴とする請求項1記載の切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014122323A JP6298724B2 (ja) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014122323A JP6298724B2 (ja) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016004811A JP2016004811A (ja) | 2016-01-12 |
JP6298724B2 true JP6298724B2 (ja) | 2018-03-20 |
Family
ID=55223922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014122323A Active JP6298724B2 (ja) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6298724B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017127910A (ja) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6774242B2 (ja) * | 2016-07-20 | 2020-10-21 | 株式会社ディスコ | スピンドルユニット |
JP6877821B2 (ja) * | 2017-01-06 | 2021-05-26 | 株式会社ディスコ | 切削装置及びエアー遮断部材 |
JP7229643B2 (ja) * | 2019-05-28 | 2023-02-28 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの固定方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2526738Y2 (ja) * | 1990-06-26 | 1997-02-19 | 株式会社東京精密 | ダイシング機の洗浄装置 |
JP2005059151A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP5265964B2 (ja) * | 2008-05-19 | 2013-08-14 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5389574B2 (ja) * | 2009-09-03 | 2014-01-15 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
-
2014
- 2014-06-13 JP JP2014122323A patent/JP6298724B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016004811A (ja) | 2016-01-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170413 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |