JP6294898B2 - 光照射装置 - Google Patents

Description

この発明は、光源としてＬＥＤ（Light Emitting Diode）を備え、ライン状の光を照射する光照射装置に関し、特に、ＬＥＤから発せられる熱を放熱する放熱部材を備えた光照射装置に関する。

従来、紫外光の照射によって硬化するＵＶインクを用いて印刷を行なう印刷装置が知られている。このような印刷装置では、ヘッドのノズルから媒体にインクを吐出した後、媒体に形成されたドットに紫外光を照射する。紫外光の照射により、ドットが硬化して媒体に定着するので、液体を吸収しにくい媒体に対しても良好な印刷を行うことができる。このような印刷装置は、例えば、特許文献１に記載されている。

特許文献１には、印刷媒体を搬送する搬送ユニットと、搬送方向に並び、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラック、オレンジ、グリーンのカラーインクをそれぞれ吐出する６つのヘッドと、各ヘッド間の搬送方向下流側に配置され、各ヘッドから印刷媒体上に吐出されたドットインクを仮硬化（ピニング）させる６つの仮硬化用照射部と、ドットインクを本硬化させて印刷媒体に定着させる本硬化用照射部とを備えた印刷装置が記載されている。特許文献１に記載の印刷装置は、ドットインクを仮硬化、本硬化の２段階で硬化させることにより、カラーインク間の滲みやドットの広がりを抑制している。

特許文献１に記載の仮硬化用照射部は、印刷媒体の上方に配置されて印刷媒体に紫外光を照射する、いわゆる紫外光照射装置であり、印刷媒体の幅方向にライン状の紫外光を照射する。仮硬化用照射部には、印刷装置自体の軽量化、及びコンパクト化の要請から、光源としてＬＥＤが用いられており、印刷媒体の幅方向沿って複数のＬＥＤが並んで配置されている。

特開２０１３−２５２７２０号公報

特許文献１に記載の仮硬化用照射部のように、光源としてＬＥＤを用いる場合、投入した電力の大半が熱となることから、ＬＥＤ自身が発熱する熱によって発光効率と寿命が低下するといった問題が発生する。また、かかる問題は、仮硬化用照射部のように、複数のＬＥＤが搭載された装置の場合、熱源となるＬＥＤが増えることから、さらに深刻なものとなる。このため、ＬＥＤを光源として用いる光照射装置においては、一般に、ヒートシンク等の放熱部材を用い、ＬＥＤの発熱を抑える構成を採っている。

ＬＥＤの発熱を抑えるためには、ヒートシンク等の放熱部材を用いるのが効果的である。しかしながら、ＬＥＤの熱を効率よく放熱するためには、放熱部材の表面積をできるだけ大きくする必要があり、放熱部材を大きくすると、装置全体が大型化してしまうといった問題がある。特に、特許文献１の仮硬化用照射部のように、各ヘッド間に配置される光照射装置においては、大型の放熱部材を適用すると、各ヘッド間の距離を大きくしなければならず、印刷装置自体の重量化、及び大型化を招くため、薄型のものが求められていた。

また、ＬＥＤを発光させるためには、ＬＥＤに電力を供給するドライバ回路が必要となるが、特許文献１に記載の仮硬化用照射部のように、複数のＬＥＤを発光させる場合、ドライバ回路の発熱も顕著なものとなるため、ＬＥＤのみならずドライバ回路の熱も効率よく放熱する必要がある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、ＬＥＤとドライバ回路を効率よく放熱可能な構成を備えつつも、薄型の光照射装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の光照射装置は、照射面上に、第１方向に延び、かつ、前記第１方向と直交する第２方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置であって、第１方向及び第２方向に略平行な基板と、基板の表面上に第１方向に沿って所定の間隔毎に配置され、基板の表面と直交する第３方向に光を出射する複数のＬＥＤ（Light Emitting Diode）光源と、基板の裏面に少なくとも一部分が当接し、基板から第３方向と相反する方向に延出し、ＬＥＤ光源から発生した熱を第３方向と相反する方向に輸送する熱輸送手段と、熱輸送手段に取付けられて、熱輸送手段の熱を空気中に放熱する複数の放熱フィンと、を有する冷却手段と、複数のＬＥＤ光源を駆動するＬＥＤ駆動回路と、第２方向の一方面に外気を吸気又は排気する開口を有し、冷却手段及びＬＥＤ駆動回路を収容すると共に、冷却手段及びＬＥＤ駆動回路が配置されている領域に風洞を形成する筐体と、冷却手段の第３方向と相反する側に設けられ、外気を風洞に導き、風洞内に気流を生成するファンと、を備え、冷却手段は、一方面に沿うように配置され、ＬＥＤ駆動回路は、一方面と対向する他方面に沿うように配置され、複数の放熱フィンは、第３方向に沿って所定の間隔を空けて配置された平行平板型フィン又は第３方向に沿ってつづら折り状に形成されたコルゲートフィンであり、開口は、複数の放熱フィンが開口から露出するように、筐体の一方面の複数の放熱フィンが面する領域に形成されており、ファンは、複数の放熱フィンの間を第２方向と相反する方向に流れ、ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を第３方向と相反する方向に流れる気流、又はＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を第３方向に流れ、複数の放熱フィンの間を第２方向に流れる気流のいずれかを生成することを特徴とする。

このような構成により、ＬＥＤとドライバ回路を同時に冷却することが可能となる。また、第２方向の一方面に外気を吸気又は排気する開口を有し、第３方向と相反する方向に外気を排気又は吸気するため（つまり、気流が第２方向から第３方向に、又は第３方向から第２方向に折り曲げられるため）、第２方向に薄い筐体を用いることが可能となる。

また、別の観点からは、本発明の光照射装置は、照射面上に、第１方向に延び、かつ、第１方向と直交する第２方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置であって、第１方向及び第２方向に略平行な基板と、基板の表面上に第１方向に沿って所定の間隔毎に配置され、基板の表面と直交する第３方向に光を出射する複数のＬＥＤ（Light Emitting Diode）光源と、基板の裏面に少なくとも一部分が当接し、基板から第３方向と相反する方向に延出し、ＬＥＤ光源から発生した熱を第３方向と相反する方向に輸送する熱輸送手段と、熱輸送手段に取付けられて、熱輸送手段の熱を空気中に放熱する複数の放熱フィンとを有する冷却手段と、複数のＬＥＤ光源を駆動するＬＥＤ駆動回路と、第２方向の一方面に外気を吸気又は排気する開口を有し、冷却手段及びＬＥＤ駆動回路を収容すると共に、冷却手段及びＬＥＤ駆動回路が配置されている領域に風洞を形成する筐体と、冷却手段の第３方向と相反する側に設けられ、外気を風洞に導き、風洞内に気流を生成するファンと、を備え、冷却手段は、一方面に沿うように配置され、ＬＥＤ駆動回路は、一方面と対向する他方面に沿うように配置され、複数の放熱フィンは、第３方向に沿って所定の間隔を空けて配置された平行平板型フィン又は第３方向に沿ってつづら折り状に形成されたコルゲートフィンであり、開口は、複数の放熱フィンの基板側の一部が開口から露出するように、筐体の一方面の複数の放熱フィンが面する領域の一部に形成されており、ファンは、開口から露出する複数の放熱フィンの間を第２方向と相反する方向に流れ、ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を第３方向と相反する方向に流れる気流、又はＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を第３方向に流れ、開口から露出する複数の放熱フィンの間を第２方向に流れる気流のいずれかを生成することを特徴とする。

また、別の観点からは、本発明の光照射装置は、照射面上に、第１方向に延び、かつ、第１方向と直交する第２方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置であって、第１方向及び第２方向に略平行な基板と、基板の表面上に第１方向に沿って所定の間隔毎に配置され、基板の表面と直交する第３方向に光を出射する複数のＬＥＤ（Light Emitting Diode）光源と、基板の裏面に少なくとも一部分が当接し、基板から第３方向と相反する方向に延出し、ＬＥＤ光源から発生した熱を第３方向と相反する方向に輸送する熱輸送手段と、熱輸送手段に取付けられて、熱輸送手段の熱を空気中に放熱する複数の放熱フィンとを有する冷却手段と、複数のＬＥＤ光源を駆動するＬＥＤ駆動回路と、第２方向の一方面に外気を吸気又は排気する開口を有し、冷却手段及びＬＥＤ駆動回路を収容すると共に、冷却手段及びＬＥＤ駆動回路が配置されている領域に風洞を形成する筐体と、冷却手段の第３方向と相反する側に設けられ、外気を風洞に導き、風洞内に気流を生成するファンと、を備え、冷却手段は、一方面に沿うように配置され、ＬＥＤ駆動回路は、一方面と対向する他方面に沿うように配置され、複数の放熱フィンは、第３方向に沿って所定の間隔を空けて配置された平行平板型フィン又は第３方向に沿ってつづら折り状に形成されたコルゲートフィンであり、開口は、複数の放熱フィンが開口から露出しないように、筐体の一方面の複数の放熱フィンが面する領域よりも第３方向下流側に形成されており、ファンは、開口から第２方向と相反する方向に流れ、ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を第３方向と相反する方向に流れる気流、又はＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を第３方向に流れ、開口に向かって第２方向に流れる気流のいずれかを生成することを特徴とする。

また、複数の放熱フィンが、平行平板型フィンである場合、平行平板型フィンは、気流が通る複数の貫通孔を有することができる。

また、熱輸送手段は、少なくとも１つのヒートパイプ、又は、内部に冷却体を有する少なくとも１つの冷却体流路であることが望ましい。また、熱輸送手段が、複数のヒートパイプである場合、各ヒートパイプが、第１方向に沿って隣接するヒートパイプに対して第２方向にオフセットしていることが望ましい。

また、冷却手段の第２方向の長さをＬ１、放熱フィンの第２方向の長さをＬ２としたとき、以下の条件式（１）を満たすように構成することができる。
Ｌ２＜Ｌ１ ・・・（１）

また、光は、紫外線波長域の光であることが望ましい。

以上のように、本発明によれば、ＬＥＤとドライバ回路を効率よく放熱可能な構成を備えつつも、薄型の光照射装置が実現される。

本発明の第１の実施形態に係る光照射装置の外観斜視図である。 本発明の第１の実施形態に係る光照射装置の正面図である。 図２のＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図３のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る光照射装置において、上面パネルを外したときの様子を示す図である。 本発明の第１の実施形態に係る光照射装置の変形例を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る光照射装置の内部構成を説明する断面図である。 図７のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る光照射装置において、上面パネルを外したときの様子を示す図である。 本発明の第３の実施形態に係る光照射装置の内部構成を説明する断面図である。 図１０のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る光照射装置において、上面パネルを外したときの様子を示す図である。 本発明の第４の実施形態に係る光照射装置の内部構成を説明する断面図である。 図１３のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 本発明の第５の実施形態に係る光照射装置の内部構成を説明する断面図である。 本発明の第５の実施形態に係る光照射装置の外観斜視図である。 本発明の第５の実施形態に係る光照射装置の変形例を説明する断面図である。 本発明の第６の実施形態に係る光照射装置の内部構成を説明する断面図である。 本発明の第７の実施形態に係る光照射装置の内部構成を説明する断面図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、図中同一又は相当部分には同一の符号を付してその説明は繰り返さない。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る光照射装置１の外観斜視図である。また、図２は、光照射装置１の正面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ線に沿った断面図（Ｙ−Ｚ平面の断面図）であり、図４は、図３のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。また、図５は、光照射装置１の上面パネル１０２を取り外した時の様子を示す図であり、図５（ａ）は、上面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＣ部拡大図である。本実施形態の光照射装置１は、印刷装置等に搭載されて、紫外線硬化型インキや紫外線硬化樹脂を硬化させる光源装置であり、例えば、照射対象物の上方に配置され、照射対象物に対してライン状の紫外光を出射する。なお、本明細書においては、図１の座標に示すように、後述するＬＥＤ（Light Emitting Diode）素子２０６が紫外光を出射する方向をＺ軸方向、ＬＥＤ素子２０６の配列方向をＸ軸方向、ならびにＺ軸方向及びＸ軸方向に直交する方向をＹ軸方向と定義して説明する。

図１に示すように、本実施形態の光照射装置１は、内部に光源ユニット２００Ａ、２００Ｂ等を収容する薄い箱形のケース１００（筐体）を備えている。ケース１００は、正面に紫外光が出射されるガラス製の窓部１０５を備えている。また、ケース１００の上面パネル１０２（後述する冷却装置２１０が近接して配置される側の一面）には、外部からケース１００内に空気を取り込む複数の吸気口１０２ａ（開口）が形成され、下面パネル１０３の内側にはドライバ回路３００Ａ、３００Ｂが取付けられている（図３、図４）。また、ケース１００の背面側（Ｚ軸方向と相反する方向の端面側）には、外部からケース１００内に空気を取り込み、ケース１００内に気流を生成すると共に、ケース１００内の空気を排気するファン４００Ａ、４００Ｂが取付けられている。

図２、図４及び図５に示すように、本実施形態の光照射装置１は、２つの光源ユニット２００Ａ、２００Ｂと、２つのドライバ回路３００Ａ、３００Ｂとをケース１００内部に備えている。２つの光源ユニット２００Ａと２００Ｂは、Ｘ軸方向に並ぶ同一構成の装置であり、ドライバ回路３００Ａ、３００Ｂは、光源ユニット２００Ａ、２００Ｂをそれぞれ駆動する電子回路である。

図２及び図３に示すように、光源ユニット２００Ａ、２００Ｂは、それぞれ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に平行な矩形状の基板２０４と、該基板２０４上に２列×１０個の態様で配置された２０個のＬＥＤ素子２０６と、冷却装置２１０を備えている。上述したように、本実施形態においては、光源ユニット２００Ａと２００Ｂの構成は同一であるため、以下、代表して光源ユニット２００Ａの構成について詳述する。

光源ユニット２００Ａの２０個のＬＥＤ素子２０６は、Ｚ軸方向に光軸が揃えられた状態で、基板２０４の表面に配置されている（図２）。基板２０４上には、各ＬＥＤ素子２０６に電力を供給するためのアノードパターン（不図示）及びカソードパターン（不図示）が形成されており、各ＬＥＤ素子２０６は、アノードパターン及びカソードパターンにそれぞれハンダ付けされ、電気的に接続されている。また、基板２０４は、不図示の配線ケーブルによってドライバ回路３００Ａと電気的に接続されており、各ＬＥＤ素子２０６には、アノードパターン及びカソードパターンを介して、ドライバ回路３００Ａから駆動電流が供給されるようになっている。各ＬＥＤ素子２０６に駆動電流が供給されると、各ＬＥＤ素子２０６からは駆動電流に応じた光量の紫外光（例えば、波長３６５ｎｍ）が出射され、光源ユニット２００ＡからはＸ軸方向に平行なライン状の紫外光が出射される。そして、本実施形態においては、光源ユニット２００Ａからのライン状の紫外光と、光源ユニット２００Ｂからのライン状の紫外光とがＸ軸方向に連続するように構成されている。なお、本実施形態の各ＬＥＤ素子２０６は、略一様な光量の紫外光を出射するように各ＬＥＤ素子２０６に供給される駆動電流が調整されており、光源ユニット２００Ａ、２００Ｂから出射されるライン状の紫外光は、Ｘ軸方向において略均一な光量分布を有している。

冷却装置２１０は、光源ユニット２００Ａから発せられた熱を放熱し、ＬＥＤ素子２０６を冷却する部材である。図１、図３〜図５に示すように、本実施形態の冷却装置２１０は、ケース１００内をＸ軸方向に延び、一端面（ケース１００の正面側に向いた面）上に基板２０４が載置される金属製（例えば、銅、アルミニウム）の支持プレート２１１と、一端部が支持プレート２１１の他端面（基板２０４が載置される側とは反対側の面）に密着して固定され、各ＬＥＤ素子２０６で発せられた熱を輸送する８本のヒートパイプ２１２（熱輸送手段）と、各ヒートパイプ２１２に密着して固定された複数の放熱フィン２１４と、で構成されている。各ＬＥＤ素子２０６に駆動電流が流れ、各ＬＥＤ素子２０６から紫外光が出射されると、ＬＥＤ素子２０６の自己発熱により温度が上昇し、発光効率が著しく低下するといった問題が発生するため、本実施形態においては、基板２０４の裏面に密着するように冷却装置２１０を設け、ＬＥＤ素子２０６で発生する熱を、基板２０４を介して冷却装置２１０に伝導し、強制的に放熱している。なお、本実施形態においては、冷却装置２１０の放熱フィン２１４は、ケース１００の上面パネル１０２に沿って配置されており、外部から複数の吸気口１０２ａに取り込まれた空気によって、放熱フィン２１４が冷却され、さらに下面パネル１０３に配置されたドライバ回路３００Ａが冷却されるようになっている（詳細は後述）。

ヒートパイプ２１２は、作動液（例えば、水、アルコール、アンモニア等）が減圧封入された、断面略円形の中空の金属（例えば、銅、アルミニウム、鉄、マグネシウム等の金属やこれらを含む合金等）の密閉管である。図３に示すように、本実施形態の各ヒートパイプ２１２は、Ｘ軸方向から見たときに、略Ｌ字状の形状を有しており、支持プレート２１１の裏面と密着する屈曲部２１２ａと、屈曲部２１２ａからＺ軸方向負側（つまり、紫外光の出射方向とは反対の方向）に突出するアーム部２１２ｂとから構成されており、屈曲部２１２ａは、固定具２２０によって、支持プレート２１１の他端面と密着した状態で固定され、基板２０４と熱的に結合している。本実施形態の光源ユニット２００Ａ、２００Ｂは、それぞれ、Ｘ軸方向に並ぶ８個のヒートパイプ２１２を備えており（図５）、Ｚ軸方向から見たときに、８個のヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂが、上下２段に分かれてオフセットされて、千鳥状に配置されており（図４）、Ｘ軸方向に隣接するヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂ間に、Ｙ軸方向の隙間ができるように構成している（つまり、ジグザグに配置されている）。このように、本実施形態においては、各ヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂ間に、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の隙間を設けることにより、各ヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂ間を、空気が流れやすくしている（詳細は後述）。

放熱フィン２１４は、矩形板状の金属（例えば、銅、アルミニウム、鉄、マグネシウム等の金属やこれらを含む合金等）の部材である。図３〜図５に示すように、本実施形態の各放熱フィン２１４には、各ヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂが挿入される８個の貫通孔２１４ｃが形成されている。本実施形態においては、各ヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂが、７０枚の放熱フィン２１４に順に挿入され、放熱フィン２１４は、Ｚ軸方向に沿って（つまり、基板２０４と平行に）所定の間隔を空けて配置されている（図３、図５）。なお、各放熱フィン２１４は、各貫通孔２１４ｃにおいて、各アーム部２１２ｂと溶接、はんだ付けや圧入等によって機械的及び熱的に結合している。なお、図５（ｂ）に示すように、本実施形態の放熱フィン２１４は、Ｙ軸方向から見たときに、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に平行な平面部２１４ａと、平面部２１４ａのＸ軸方向両端部においてＺ軸方向負側に折り返された折返し部２１４ｂとから構成されている。そして、各折返し部２１４ｂが隣接する放熱フィン２１４の平面部２１４ａと接するように構成されている。このような折返し部２１４ｂを設けることにより、光源ユニット２００Ａ及び２００Ｂにそれぞれ取り込まれる外部の空気が、Ｘ軸方向に干渉することがないため（つまり、Ｘ軸方向に漏れることがないため）、光源ユニット２００Ａと２００Ｂとを近接して配置することができる。つまり、換言すると、光源ユニット２００Ａと２００Ｂとを近接して配置したとしても、光源ユニット２００Ａの吸い込む空気と光源ユニット２００Ｂの吸い込む空気が互いに干渉することはない。

また、図３に示すように、本実施形態の放熱フィン２１４のＹ軸方向の長さＬ２は、支持プレート２１１のＹ軸方向の長さＬ１よりも短く設定されており（つまり、Ｌ２＜Ｌ１の関係を満たし）、冷却装置２１０よりも下側（図３において、Ｙ軸方向と相反する側）に、ドライバ回路３００Ａが配置されている。

各ＬＥＤ素子２０６に駆動電流が流れ、各ＬＥＤ素子２０６から紫外光が出射されると、ＬＥＤ素子２０６の自己発熱により温度が上昇するが、各ＬＥＤ素子２０６で発生した熱は、基板２０４及び支持プレート２１１を介して各ヒートパイプ２１２の屈曲部２１２ａに速やかに伝導（移動）する。そして、各ヒートパイプ２１２の屈曲部２１２ａに熱が移動すると、各ヒートパイプ２１２内の作動液が熱を吸収して蒸発し、作動液の蒸気がアーム部２１２ｂ内の空洞を通って移動するため、屈曲部２１２ａの熱はアーム部２１２ｂに移動する。そして、アーム部２１２ｂに移動した熱は、さらにアーム部２１２ｂに結合している複数の放熱フィン２１４に移動し、各放熱フィン２１４から空気中に放熱される。各放熱フィン２１４から放熱されると、アーム部２１２ｂの温度も低下するため、アーム部２１２ｂ内の作動液の蒸気も冷却されて液体に戻り、屈曲部２１２ａに移動する。そして、屈曲部２１２ａに移動した作動液は、新たに基板２０４及び支持プレート２１１を介して伝導される熱を吸収するために用いられる。

このように、本実施形態においては、各ヒートパイプ２１２内の作動液が屈曲部２１２ａとアーム部２１２ｂとの間を循環することにより、各ＬＥＤ素子２０６で発生した熱が速やかに放熱フィン２１４に移動し、放熱フィン２１４から空気中に効率よく放熱されるようになっている。このため、ＬＥＤ素子２０６の温度が過度に上昇することはなく、発光効率が著しく低下するといった問題も発生しないようになっている。

ファン４００Ａ、４００Ｂは、それぞれ、外部から光源ユニット２００Ａ、２００Ｂに空気を取り込むと共に、ケース１００内に気流を発生させ、ケース１００内の空気を外部に排気する装置である。図１及び図３に示すように、本実施形態においては、吸気口１０２ａは、放熱フィン２１４が吸気口１０２から露出するように、上面パネル１０２の放熱フィン２１４が面する領域に複数形成されている。そして、図３中の矢印（空気の流れ）によって示されるように、ファン４００Ａ、４００Ｂが回ると、外部の空気が複数の吸気口１０２ａから取り込まれ、光源ユニット２００Ａ及び２００Ｂの放熱フィン２１４の間を通ることにより、放熱フィン２１４の熱が空気中に効率よく放熱される。また、放熱フィン２１４間を通った空気は、冷却装置２１０よりも下側（図３において、Ｙ軸方向と相反する側）に配置されたドライバ回路３００Ａにもあたるため、放熱フィン２１４のみならず、ドライバ回路３００Ａも冷却される。

このように、本実施形態においては、ケース１００内に一種の風洞を形成し、光源ユニット２００Ａ及び２００Ｂの冷却装置２１０とドライバ回路３００Ａ、３００ＢとをＹ軸方向に沿って配置し、Ｙ軸方向と相反する方向に空気を取り込む構成とすることで、光源ユニット２００Ａ及び２００Ｂの冷却装置２１０とドライバ回路３００Ａ、３００Ｂとを同時に、かつ効率よく冷却するように構成している。また、本実施形態においては、複数の吸気口１０２ａの開口方向をＹ軸方向とし、ファン４００Ａ、４００Ｂの排気方向をＺ軸方向と相反する方向とすることによって、Ｙ軸方向に薄い光照射装置１を実現している。

なお、冷却装置２１０の冷却能力は、ヒートパイプ２１２の熱輸送量と、放熱フィン２１４の放熱量によって決定されるため、冷却能力の観点からは、ヒートパイプ２１２及び放熱フィン２１４の数が多い方が好ましいが、所要の冷却性能に応じて決定される。しかしながら、Ｘ軸方向に沿ってヒートパイプ２１２の数を増やすと、隣接するヒートパイプ２１２間の隙間が狭くなり、空気の流れが悪くなるといった問題が発生する。そこで、かかる問題を解決するため、本実施形態においては、Ｚ軸方向から見たときに、８個のヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂが、上下２段に分かれてオフセットされ、千鳥状に配置されるように構成し（図４）、Ｘ軸方向に隣接するヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂ間に、Ｙ軸方向の隙間ができるように構成している。

以上が本実施形態の説明であるが、本発明は、上記の構成に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内において様々な変形が可能である。

例えば、本実施形態においては、基板２０４の熱を支持プレート２１１が受熱し、該支持プレート２１１の熱をヒートパイプ２１２及び放熱フィン２１４によって放熱する構成としたが、支持プレート２１１は必ずしも必要ではなく、基板２０４とヒートパイプ２１２とを直接接合する構成としてもよい。

また、本実施形態においては、ヒートパイプ２１２は断面略円形のものとして説明したが、このような構成に限定されるものではない。例えば、ヒートパイプ２１２は断面矩形のものであってもよく、平板状のものを適用してもよい。また、本実施形態においては、ヒートパイプ２１２の端部が支持プレート２１１上に密着するものとして説明したが、例えば、ヒートパイプ２１２の端部を、支持プレート２１１内に挿入し、熱的に結合することもできる。

また、本実施形態の冷却装置２１０は、７０枚の放熱フィン２１４を有するものとして説明したが、放熱フィン２１４の枚数は、放熱すべき熱量に応じて適宜変更される。

また、本実施形態の光照射装置１は、紫外光を照射する装置としたが、このような構成に限定されるものではなく、他の波長域の照射光（例えば白色光などの可視光、赤外光等）を照射する装置にも本発明を適用することができる。

また、本実施形態においては、光源ユニット２００Ａ及び２００Ｂの基板２０４上に２０個のＬＥＤ素子２０６が並べられた構成を示したが、ＬＥＤ素子２０６の個数は仕様に応じて適宜変更可能であり、また、ＬＥＤ素子２０６をＹ軸方向に沿ってＮ列（Ｎは２以上の整数）に並べることも可能である。

また、本実施形態においては、ファン４００Ａ、４００Ｂは、ケース１００内の空気を外部に排気する排気ファンであるとして説明したが、例えば、吸気ファンとして構成することもできる。この場合、吸気口１０２ａ（つまり、上面パネル１０２に形成された開口）は、排気口となる。

（第１の実施形態の変形例）
図６は、本発明の第１の実施形態に係る光照射装置１に備わる、放熱フィン２１４の変形例を示す図である。本変形例の放熱フィン２１４´は、複数の貫通孔２１４ｄを備える点で、第１の実施形態の放熱フィン２１４とは異なる。

このように、放熱フィン２１４´に複数の貫通孔２１４ｄを形成すると、ケース１００内に発生する気流が貫通孔２１４ｄも通るようになるため、各放熱フィン２１４´間を通る風量が増加し、各放熱フィン２１４´は効率よく冷却される。

（第２の実施形態）
図７〜図９は、本発明の第２の実施形態に係る光照射装置１Ａの内部構成を説明する図であり、図７は、Ｙ−Ｚ平面の断面図であり、図８は、図７のＢ−Ｂ線に沿った断面図であり、図９は、光照射装置１Ａの上面パネル１０２を取り外した時の上面図である。

図７〜図９に示すように、本実施形態の光照射装置１Ａは、光源ユニット２００ＡＡ及び２００ＢＡの冷却装置２１０Ａが、それぞれ、３個のヒートパイプ２１２Ａと、各ヒートパイプ２１２Ａ間に形成されたコルゲートフィン２１４Ａと、３個のヒートパイプ２１２Ａの先端部を接続する接続ユニット２３０Ａと、を備え、各ヒートパイプ２１２Ａの屈曲部２１２Ａａが支持プレート２１１Ａの内部に一体的に形成されている点で、第１の実施形態の光照射装置１と異なる。

各ヒートパイプ２１２Ａは、第１の実施形態のヒートパイプ２１２と同様の機能を有しており、各ヒートパイプ２１２Ａの屈曲部２１２Ａａとアーム部２１２Ａｂとの間で作動液が移動することにより、支持プレート２１１Ａの熱がアーム部２１２Ａｂに移動し、さらにアーム部２１２Ａｂからつづら折り状に形成されたコルゲートフィン２１４Ａに移動し、コルゲートフィン２１４Ａから空気中に放熱される。

なお、図９に示すように、本実施形態においては、各ヒートパイプ２１２Ａの屈曲部２１２Ａａが、支持プレート２１１Ａの内部においてＸ軸方向に連通し、また、各ヒートパイプ２１２Ａの先端部が、接続ユニット２２０Ａの内部においてＸ軸方向に連通しているため、各ヒートパイプ２１２Ａの作動液は、支持プレート２１１Ａと接続ユニット２３０Ａを介して各ヒートパイプ２１２Ａ間においても移動する。

本実施形態のように、各ヒートパイプ２１２Ａの屈曲部２１２Ａａと支持プレート２１１Ａとを一体的に形成すると、各ヒートパイプ２１２Ａと支持プレート２１１Ａ間の熱抵抗を低下させることができる。なお、本実施形態においては、冷却装置２１０Ａが、独立した３個のヒートパイプ２１２Ａと３個のヒートパイプ２１２Ａの先端部を接続する接続ユニット２３０Ａを備える構成としたが、これらが一体化した循環型のヒートパイプを適用することもできる。また、ヒートパイプ２１２Ａは、必ずしも３個である必要はなく、例えば、冷却装置２１０Ａは、１個のヒートパイプ２１２Ａにコルゲートフィン２１４Ａを溶接やはんだ付け等によって接合することもできる。

（第３の実施形態）
図１０〜図１２は、本発明の第３の実施形態に係る光照射装置１Ｂの内部構成を説明する図であり、図１０は、Ｙ−Ｚ平面の断面図であり、図１１は、図１０のＢ−Ｂ線に沿った断面図であり、図１２は、光照射装置１Ｂの上面パネル１０２を取り外した時の上面図である。

図１０〜図１２に示すように、本実施形態の光照射装置１Ｂは、光源ユニット２００ＡＢ及び２００ＢＢの冷却装置２１０Ｂが、それぞれ、一対の冷却体流路２１２Ｂと、冷却体流路２１２Ｂ間に形成されたコルゲートフィン２１４Ｂと、一対の冷却体流路２１２Ｂの先端部に接続され、一対の冷却体流路２１２Ｂ内に充填されている冷却体（例えば、水、不凍液等）を循環させるポンプユニット２４０Ｂと、を備えている点で、第２の実施形態の光照射装置１Ａと異なる。

各冷却体流路２１２Ｂは、金属製のパイプから形成され、内部の冷却体が移動することにより、冷却体の熱をコルゲートフィン２１４Ｂに移動させる。つまり、冷却体流路２１２Ｂ内の冷却体がポンプユニット２４０Ｂによって循環すると、支持プレート２１１Ｂの熱が冷却体流路２１２Ｂに移動し、さらに冷却体流路２１２Ｂからつづら折り状に形成されたコルゲートフィン２１４Ｂに移動する。

このように、第２の実施形態のヒートパイプ２１２Ａを、冷却体が充填された冷却体流路２１２Ｂに置き換え、冷却体流路２１２Ｂ内の冷却体をポンプユニット２４０Ｂによって循環させてもよい。なお、本実施形態においては、冷却体流路２１２Ｂ内の冷却体をポンプユニット２４０Ｂによって循環させる構成としたが、周知の沸騰冷却の技術を適用することもでき、この場合、ポンプユニット２４０Ｂが不要となる。

（第４の実施形態）
図１３及び図１４は、本発明の第４の実施形態に係る光照射装置１Ｃの内部構成を説明する図であり、図１３は、Ｙ−Ｚ平面の断面図であり、図１４は、図１３のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。

図１３及び図１４に示すように、本実施形態の光照射装置１Ｃは、光源ユニット２００ＡＣ及び２００ＢＣの冷却装置２１０Ｃが、矩形板状の放熱フィン２１４に代えて、略円筒状の放熱部材２１４Ｃを備え、ケース１００の上面パネル１０２の基板２０４側にのみ吸気口１０２ａが形成されており、吸気口１０２ａから放熱部材２１４Ｃが露出しない点で、第１の実施形態の光照射装置１と異なる。

放熱部材２１４Ｃは、各ヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂに取付けられる（挿通される）金属製の部材であり、放熱部材２１４Ｃの外周面には、Ｚ軸方向から見たときに、放射状に突出する複数のフィン２１４Ｃａ（放射型フィン）が形成されており、この複数のフィン２１４Ｃａによって各ヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂの熱を空気中に放出するように構成されている。

このように、本実施形態においては、各ヒートパイプ２１２のアーム部２１２ｂに複数のフィン２１４Ｃａを有する放熱部材２１４Ｃが取付けられているため、フィン２１４Ｃａの表面を効率よく空気が流れるように、吸気口１０２ａをケース１００の上面パネル１０２の基板２０４側にのみ形成し、吸気口１０２ａから放熱部材２１４Ｃが露出しないように構成している。つまり、吸気口１０２ａは、フィン２１４Ｃａが吸気口１０２ａから露出しないように、上面パネル１０２のフィン２１４Ｃａが面する領域よりもＺ軸方向側に形成されている。そして、ファン４００Ａ、４００Ｂが回ると、外部の空気が吸気口１０２ａから取り込まれ、光源ユニット２００Ａ及び２００Ｂの各放熱部材２１４Ｃのフィン２１４Ｃａの間を通ることにより、フィン２１４Ｃａの熱が空気中に効率よく放熱される。また、図１３に示すように、吸気口１０２ａから取り込まれた空気は、冷却装置２１０Ｃよりも下側（図１３において、Ｙ軸方向と相反する側）に配置されたドライバ回路３００Ａにもあたるため、本実施形態の構成によっても、第１の実施形態と同様、フィン２１４Ｃａのみならず、ドライバ回路３００Ａも冷却される。

（第５の実施形態）
図１５は、本発明の第５の実施形態に係る光照射装置１Ｄの内部構成を説明する図であり、図１５（ａ）は、Ｙ−Ｚ平面の断面図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）のＤ部における空気の流れを説明する図である。また、図１６は、光照射装置１Ｄの外観斜視図である。

図１５及び図１６に示すように、本実施形態の光照射装置１Ｄは、ケース１００の上面パネル１０２の基板２０４側にのみ吸気口１０２ａが形成されている点で、第１の実施形態の光照射装置１と異なる。つまり、本実施形態の吸気口１０２ａは、フィン２１４の基板２０４側の一部が吸気口１０２ａから露出するように、上面パネル１０２のフィン２１４が面する領域の一部に形成されている。

本実施形態のファン４００Ａ、４００Ｂが回ると、吸気口１０２ａから外部の空気がケース１００内に取り込まれる。そして、吸気口１０２ａから取り込まれた空気は、冷却装置２１０よりも下側（図１５において、Ｙ軸方向と相反する側）に配置されたドライバ回路３００Ａにもあたるため、本実施形態の構成によっても、第１の実施形態と同様、放熱フィン２１４のみならず、ドライバ回路３００Ａも冷却される。

なお、本実施形態において、吸気口１０２ａに面していない放熱フィン２１４からは、外部の空気が取り込まれることはない。しかしながら、図１５（ｂ）に示すように、放熱フィン２１４の下側にＺ軸方向と相反する方向の気流が発生すると、各放熱フィン２１４の間に巻き込み風が発生するため、これによって各放熱フィン２１４が冷却される。

なお、本実施形態の変形例として、図１７に示すように、放熱フィン２１４が吸気口１０２ａに露出しないように構成することもできる。つまり、第４の実施形態のように、吸気口１０２ａは、フィン２１４が吸気口１０２ａから露出しないように、上面パネル１０２のフィン２１４が面する領域よりもＺ軸方向下流側に形成することができる。なお、この場合、放熱フィン２１４が吸気口１０２ａに面していないため、各放熱フィン２１４の間から外部の空気が取り込まれることはないが、本実施形態（第５の実施形態）と同様、各放熱フィン２１４間に発生する巻き込み風によって各放熱フィン２１４が冷却される。

（第６の実施形態）
図１８は、本発明の第６の実施形態に係る光照射装置１Ｅの内部構成を説明する図であり、図１８（ａ）は、Ｙ−Ｚ平面の断面図であり、図１８（ｂ）は、図１８（ａ）のＥ部における空気の流れを説明する図である。

図１８に示すように、本実施形態の光照射装置１Ｅは、ケース１００の下面パネル１０３の基板２０４側に吸気口１０３ａが形成されている点で、第５の実施形態の光照射装置１Ｄと異なる。

本実施形態の構成において、ファン４００Ａが回ると、吸気口１０３ａから外部の空気がケース１００内に取り込まれる。そして、吸気口１０３ａから取り込まれた空気は、ケース内をＺ軸方向と相反する方向に流れ、外部に排気される。本実施形態の構成においても、吸気口１０３ａから取り込まれた空気が冷却装置２１０よりも下側（図１８において、Ｙ軸方向と相反する側）に配置されたドライバ回路３００Ａにもあたるため、第５の実施形態と同様、ドライバ回路３００Ａも冷却される。

なお、本実施形態においては、放熱フィン２１４が吸気口１０３ａに面していないため、各放熱フィン２１４の間から外部の空気が取り込まれることはない。しかしながら、第５及び第６の実施形態と同様、図１８（ｂ）に示すように、各放熱フィン２１４間に巻き込み風が発生するため、これによって各放熱フィン２１４が冷却される。

（第７の実施形態）
図１９は、本発明の第７の実施形態に係る光照射装置１Ｆの内部構成を説明する図であり、図１９（ａ）は、Ｙ−Ｚ平面の断面図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）のＦ部における空気の流れを説明する図である。

図１９に示すように、本実施形態の光照射装置１Ｆは、吸気口１０３ａと放熱フィン２１４との間にファン４００Ｆが配置されている点で、第６の実施形態の光照射装置１Ｅと異なる。

本実施形態の構成において、ファン４００Ｆが回ると、吸気口１０３ａから外部の空気がケース１００内に取り込まれる。そして、吸気口１０３ａから取り込まれた空気は、ケース内をＺ軸方向と相反する方向に流れ、背面パネル１０４に形成された排気口１０４ａから外部に排気される。本実施形態の構成においても、吸気口１０３ａから取り込まれた空気が冷却装置２１０よりも下側（図１９において、Ｙ軸方向と相反する側）に配置されたドライバ回路３００Ａにもあたるため、第６の実施形態と同様、ドライバ回路３００Ａも冷却される。

なお、図１９（ｂ）に示すように、本実施形態においても、第５乃至第７の実施形態と同様、放熱フィン２１４の下側にＺ軸方向と相反する方向の気流が発生すると、各放熱フィン２１４間に巻き込み風が発生するため、これによって各放熱フィン２１４が冷却される。

なお、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ 光照射装置
１００ ケース
１０２ 上面パネル
１０２ａ 吸気口
１０３ 下面パネル
１０３ａ 吸気口
１０４ 背面パネル
１０４ａ 排気口
１０５ 窓部
２００Ａ、２００Ｂ、２００ＡＡ、２００ＢＡ、２００ＡＢ、２００ＢＢ、２００ＡＣ、２００ＢＣ 光源ユニット
２０４ 基板
２０６ ＬＥＤ素子
２１０ 冷却装置
２１１、２１１Ａ 支持プレート
２１２、２１２Ａ ヒートパイプ
２１２Ｂ 冷却体流路
２１２ａ、２１２Ａａ 屈曲部
２１２ｂ、２１２Ａｂ アーム部
２１４ 放熱フィン
２１４Ａ、２１４Ｂ コルゲートフィン
２１４Ｃ 放熱部材
２１４Ｃａ フィン
２１４ａ 平面部
２１４ｂ 折返し部
２１４ｃ 貫通孔
２２０ 固定具
２３０Ａ 接続ユニット
２４０Ｂ ポンプユニット
３００Ａ、３００Ｂ ドライバ回路
４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｆ ファン

Claims (8)

1. 照射面上に、第１方向に延び、かつ、前記第１方向と直交する第２方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置であって、
   前記第１方向及び前記第２方向に略平行な基板と、
   前記基板の表面上に前記第１方向に沿って所定の間隔毎に配置され、前記基板の表面と直交する第３方向に前記光を出射する複数のＬＥＤ（Light Emitting Diode）光源と、
   前記基板の裏面に少なくとも一部分が当接し、前記基板から前記第３方向と相反する方向に延出し、前記ＬＥＤ光源から発生した熱を前記第３方向と相反する方向に輸送する熱輸送手段と、前記熱輸送手段に取付けられて、前記熱輸送手段の熱を空気中に放熱する複数の放熱フィンと、を有する冷却手段と、
   前記複数のＬＥＤ光源を駆動するＬＥＤ駆動回路と、
   前記第２方向の一方面に外気を吸気又は排気する開口を有し、前記冷却手段及び前記ＬＥＤ駆動回路を収容すると共に、前記冷却手段及び前記ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域に風洞を形成する筐体と、
   前記冷却手段の前記第３方向と相反する側に設けられ、前記外気を前記風洞に導き、前記風洞内に気流を生成するファンと、
   を備え、
   前記冷却手段は、前記一方面に沿うように配置され、
   前記ＬＥＤ駆動回路は、前記一方面と対向する他方面に沿うように配置され、
   前記複数の放熱フィンは、前記第３方向に沿って所定の間隔を空けて配置された平行平板型フィン又は前記第３方向に沿ってつづら折り状に形成されたコルゲートフィンであり、
   前記開口は、前記複数の放熱フィンが前記開口から露出するように、前記筐体の一方面の前記複数の放熱フィンが面する領域に形成されており、
   前記ファンは、前記複数の放熱フィンの間を前記第２方向と相反する方向に流れ、前記ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を前記第３方向と相反する方向に流れる気流、又は前記ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を前記第３方向に流れ、前記複数の放熱フィンの間を前記第２方向に流れる気流のいずれかを生成する
   ことを特徴とする光照射装置。
2. 照射面上に、第１方向に延び、かつ、前記第１方向と直交する第２方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置であって、
   前記第１方向及び前記第２方向に略平行な基板と、
   前記基板の表面上に前記第１方向に沿って所定の間隔毎に配置され、前記基板の表面と直交する第３方向に前記光を出射する複数のＬＥＤ（Light Emitting Diode）光源と、
   前記基板の裏面に少なくとも一部分が当接し、前記基板から前記第３方向と相反する方向に延出し、前記ＬＥＤ光源から発生した熱を前記第３方向と相反する方向に輸送する熱輸送手段と、前記熱輸送手段に取付けられて、前記熱輸送手段の熱を空気中に放熱する複数の放熱フィンと、を有する冷却手段と、
   前記複数のＬＥＤ光源を駆動するＬＥＤ駆動回路と、
   前記第２方向の一方面に外気を吸気又は排気する開口を有し、前記冷却手段及び前記ＬＥＤ駆動回路を収容すると共に、前記冷却手段及び前記ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域に風洞を形成する筐体と、
   前記冷却手段の前記第３方向と相反する側に設けられ、前記外気を前記風洞に導き、前記風洞内に気流を生成するファンと、
   を備え、
   前記冷却手段は、前記一方面に沿うように配置され、
   前記ＬＥＤ駆動回路は、前記一方面と対向する他方面に沿うように配置され、
   前記複数の放熱フィンは、前記第３方向に沿って所定の間隔を空けて配置された平行平板型フィン又は前記第３方向に沿ってつづら折り状に形成されたコルゲートフィンであり、
   前記開口は、前記複数の放熱フィンの前記基板側の一部が前記開口から露出するように、前記筐体の一方面の前記複数の放熱フィンが面する領域の一部に形成されており、
   前記ファンは、前記開口から露出する前記複数の放熱フィンの間を前記第２方向と相反する方向に流れ、前記ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を前記第３方向と相反する方向に流れる気流、又は前記ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を前記第３方向に流れ、前記開口から露出する前記複数の放熱フィンの間を前記第２方向に流れる気流のいずれかを生成する
   ことを特徴とする光照射装置。
3. 照射面上に、第１方向に延び、かつ、前記第１方向と直交する第２方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置であって、
   前記第１方向及び前記第２方向に略平行な基板と、
   前記基板の表面上に前記第１方向に沿って所定の間隔毎に配置され、前記基板の表面と直交する第３方向に前記光を出射する複数のＬＥＤ（Light Emitting Diode）光源と、
   前記基板の裏面に少なくとも一部分が当接し、前記基板から前記第３方向と相反する方向に延出し、前記ＬＥＤ光源から発生した熱を前記第３方向と相反する方向に輸送する熱輸送手段と、前記熱輸送手段に取付けられて、前記熱輸送手段の熱を空気中に放熱する複数の放熱フィンと、を有する冷却手段と、
   前記複数のＬＥＤ光源を駆動するＬＥＤ駆動回路と、
   前記第２方向の一方面に外気を吸気又は排気する開口を有し、前記冷却手段及び前記ＬＥＤ駆動回路を収容すると共に、前記冷却手段及び前記ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域に風洞を形成する筐体と、
   前記冷却手段の前記第３方向と相反する側に設けられ、前記外気を前記風洞に導き、前記風洞内に気流を生成するファンと、
   を備え、
   前記冷却手段は、前記一方面に沿うように配置され、
   前記ＬＥＤ駆動回路は、前記一方面と対向する他方面に沿うように配置され、
   前記複数の放熱フィンは、前記第３方向に沿って所定の間隔を空けて配置された平行平板型フィン又は前記第３方向に沿ってつづら折り状に形成されたコルゲートフィンであり、
   前記開口は、前記複数の放熱フィンが前記開口から露出しないように、前記筐体の一方面の前記複数の放熱フィンが面する領域よりも前記第３方向下流側に形成されており、
   前記ファンは、前記開口から前記第２方向と相反する方向に流れ、前記ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を前記第３方向と相反する方向に流れる気流、又は前記ＬＥＤ駆動回路が配置されている領域を前記第３方向に流れ、前記開口に向かって前記第２方向に流れる気流のいずれかを生成する
   ことを特徴とする光照射装置。
4. 前記複数の放熱フィンは、前記平行平板型フィンであり、
   前記平行平板型フィンは、前記気流が通る複数の貫通孔を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光照射装置。
5. 前記熱輸送手段は、少なくとも１つのヒートパイプ、又は、内部に冷却体を有する少なくとも１つの冷却体流路であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光照射装置。
6. 前記熱輸送手段は、複数のヒートパイプであり、
   前記各ヒートパイプが、前記第１方向に沿って隣接するヒートパイプに対して前記第２方向にオフセットしていることを特徴とする請求項５に記載の光照射装置。
7. 前記冷却手段の前記第２方向の長さをＬ１、前記放熱フィンの前記第２方向の長さをＬ２としたとき、以下の条件式（１）を満たすことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光照射装置。
   Ｌ２＜Ｌ１ ・・・（１）
8. 前記光は、紫外線波長域の光であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の光照射装置。

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