JP6283175B2 - テンプレート作成装置及び方法、並びにテンプレート作成装置を用いた荷電粒子線装置 - Google Patents
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- 設計データにU字形状の閉図形が含まれるか否かを判定する第1の計算部と、
設計データにU字形状の閉図形が含まれる場合、前記設計データから特徴位置のパターンを切り出した後、切り出された矩形パターンを丸みを帯びたパターンに変形するシミュレーションを実行してテンプレートを生成する第2の計算部と
を有するテンプレート作成装置。 - 請求項1に記載のテンプレート作成装置において、
前記第2の計算部は、前記シミュレーション後のパターンの先端近辺にU字形状の閉図形以外の別のパターンが存在するか否かを判定し、別のパターンが存在する場合には、前記別のパターンを含むように前記テンプレートのサイズを閉図形の先端方向に拡張する
ことを特徴とするテンプレート作成装置。 - 計算機が、設計データにU字形状の閉図形が含まれるか否かを判定する第1の処理と、
設計データにU字形状の閉図形が含まれる場合、前記設計データから特徴位置のパターンを切り出した後、切り出された矩形パターンを丸みを帯びたパターンに変形するシミュレーションを実行してテンプレートを生成する第2の処理と
を有するテンプレート作成方法。 - 請求項3に記載のテンプレート作成方法において、
計算機が、前記シミュレーション後のパターンの先端近辺にU字形状の閉図形以外の別のパターンが存在するか否かを判定し、別のパターンが存在する場合には、前記別のパターンを含むように前記テンプレートのサイズをU字形状の閉図形の先端方向に拡張する
ことを特徴とするテンプレート作成方法。 - 荷電粒子を射出する荷電粒子線源と、
前記荷電粒子の照射位置から発生する信号を検出する検出器と、
設計データにU字形状の閉図形が含まれるか否かを判定する第1の計算部と、
設計データにU字形状の閉図形が含まれる場合、前記設計データから特徴位置のパターンを切り出した後、切り出された矩形パターンを丸みを帯びたパターンに変形するシミュレーションを実行してテンプレートを生成する第2の計算部と、
生成された前記テンプレートとマッチングするパターンを、前記検出器で検出された画像内から検出する第3の計算部と
を有する荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、
前記第2の計算部は、前記シミュレーション後のパターンの先端近辺にU字形状の閉図形以外の別のパターンが存在するか否かを判定し、別のパターンが存在する場合には、前記別のパターンを含むように前記テンプレートのサイズをU字形状の閉図形の先端方向に拡張する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
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