JP6281915B2 - ガス透過度測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガスバリアフィルムのガス透過度を測定する測定部と、該測定部の校正を行う校正部とを有するガス透過度測定装置に関する。

ガスバリアフィルムは、食品、薬品、電子部品等の包装分野及び電子部品の封止分野等の種々の分野において、重要な役割を果たすことが期待されている。前記ガスバリアフィルムは、そのガスバリア特性、即ち、ガス透過度に応じて使用されることとなるため、前記ガスバリアフィルムの前記ガス透過度の正確な測定は、前記役割を果たす上で、極めて重要な事項となる。

前記ガスバリアフィルムの前記ガス透過度を測定する装置としては、例えば、フィルムを保持するためのフランジと、前記フィルムにガスを暴露するための容器と、前記フィルムのガス暴露面と逆側のガス透過面に対して所定の圧力まで排気することが可能な真空部とが接続され、前記真空部に取付けられる質量分析計により、前記ガス透過面から前記真空部内に透過するガスのガス透過度を測定する装置が提案されている（特許文献１参照）。

しかしながら、前記装置では、前記質量分析計を校正する手段を有しないため、前記質量分析計を校正するためには、前記装置から前記質量分析計を取外し、適当な校正手段を用いて校正する必要がある。この場合、校正作業が煩雑化するだけでなく、取外し・輸送・取付け作業に伴う再現性や、校正時と測定時における環境条件（温度等）及び設置向きの違いによって、前記質量分析計の感度特性が変化してしまい、ガス透過度の正確な測定ができなくなる場合がある。
また、前記質量分析計が取付けられる校正用のガス流路系と、前記装置のガス流路系とが異なるため、前記校正用のガス流路系で校正された前記質量分析計を用いて前記装置のガス流路系における前記ガス透過度を測定した場合、前記校正が前記装置のガス流路系における前記ガスの流量を反映できず、前記ガスバリアフィルムの前記ガス透過度を正確に測定できない問題がある。

更に、ガスバリアフィルムの実使用条件に近い湿潤環境、例えば、水蒸気と酸素の混合ガスを用いたガス雰囲気での適切なガスバリア性の評価手法の開発が求められているが、適切な校正・評価方法が存在しないため、実用化されていなのが現状である。

特開平６−２４１９７８号公報

本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、ガス透過度測定部を取外すことなく、その校正作業を簡素化可能とするとともに、正確にガス透過度を測定可能なガス透過度測定装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、
＜１＞ ガスバリアフィルムのガス暴露面側に配されるガス暴露側保持部と前記ガスバリアフィルムのガス透過面側に配されるガス透過側保持部とで前記ガスバリアフィルムの周部を挟持して保持可能とされ、前記ガスバリアフィルムを保持させたときに、測定用ガスが流入される前記ガス暴露面と前記ガス暴露側保持部とで画成されるガス暴露室、及び、前記ガス透過面から透過する前記測定用ガスが流入される前記ガス透過面と前記ガス透過側保持部とで画成されるガス透過室が形成されるフィルム保持室と、前記測定用ガスを供給するガス供給部、前記ガス供給部−前記ガス暴露側保持部間に配される開閉自在の測定用流路、及び、前記ガス供給部−前記ガス暴露側保持部間に配され、前記測定用流路を閉状態としたとき開状態とされ、前記測定用流路を開状態としたとき閉状態とされるように開閉自在とされ、開状態において前記ガスバリアフィルムを保持しない状態の前記フィルム保持室に流入させる前記測定用ガスの流量を測定可能な校正用測定部を有する校正用流路を備えるガス上流部と、前記ガス透過側保持部と接続される中空の真空部、前記真空部内を排気する真空ポンプ、及び、前記真空部に取付けられ、前記ガスバリアフィルムを保持しない状態の前記フィルム保持室から流出する前記測定用ガスの流量を前記校正用測定部により校正して測定可能とされるとともに、前記ガスバリアフィルムを保持した状態で前記ガス透過室から流出する前記ガスバリアフィルムを透過した前記測定用ガスの流量を前記校正用測定部により校正して測定可能とされるガス透過度測定部を備えるガス下流部と、を有することを特徴とするガス透過度測定装置。
＜２＞ フィルム保持室に流入される測定用ガスの流入方向に沿ってガス透過側保持部から前記測定用ガスを流出させるとともに、真空部が前記流入方向に沿って中空とされ、前記流入方向の延長位置に真空ポンプが配されるように構成される前記＜１＞に記載のガス透過度測定装置。
＜３＞ 校正用測定部が、オリフィス、細管及び多孔質体の少なくともいずれかで形成され、コンダクタンスが予め測定されたコンダクタンス部と、前記コンダクタンス部に流入される測定用ガスの圧力を測定する圧力測定部と、を有する前記＜１＞から＜２＞のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
＜４＞ コンダクタンス部が、分子流条件を満たす状態で測定用ガスを流通可能とされる前記＜３＞に記載のガス透過度測定装置。

本発明によれば、従来技術における前記諸問題を解決することができ、ガス透過度測定部を取外すことなく、その校正作業を簡素化可能とするとともに、正確にガス透過度を測定可能なガス透過度測定装置を提供することができる。

校正時のガス透過度測定装置の概要を示す説明図である。 測定時のガス透過度測定装置の概要を示す説明図である。 実施例における検量線グラフを示す図である。 実施例におけるガス透過度に関する測定グラフを示す図である。

本発明のガス透過度測定装置の一実施形態を図１（ａ），（ｂ）を参照しつつ、説明する。図１（ａ）は、校正時のガス透過度測定装置の概要を示す説明図であり、図１（ｂ）は、測定時のガス透過度測定装置の概要を示す説明図である。
図１（ａ），（ｂ）に示すように、ガス透過度測定装置１は、フィルム保持室１０と、ガス上流部２０と、ガス下流部４０とを有する。

フィルム保持室１０は、ガスバリアフィルム２のガス暴露面側に配されるガス暴露側保持部１１と、ガスバリアフィルム２のガス暴露面と反対側のガス透過面側に配されるガス透過側保持部１３とを有する。これらガス暴露側保持部１１とガス透過側保持部１３とは、ガスバリアフィルム２を介して対向配置され、ガスバリアフィルム２の周部を挟持して保持可能とされる。
ガスバリアフィルム２を保持させたとき（図１（ｂ）参照）、測定用ガスが流入される前記ガス暴露面とガス暴露側保持部１１とで画成されるガス暴露室Ａと、前記ガス透過面から透過する前記測定用ガスが流入される前記ガス透過面とガス透過側保持部１３とで画成されるガス透過室Ｂが形成される。
ガス暴露側保持部１１とガス透過側保持部１３とは、ガス暴露室Ａ及びガス透過室Ｂにおいて、ガスバリアフィルム２が十分な量の前記測定用ガスに暴露され、その透過量を測定できる大きさを有する。
また、ガス暴露側保持部１１とガス透過側保持部１３とは、ガス暴露室Ａ及びガス透過室Ｂの気密性を保持するため、Ｏリング等のシール部材１２，１４を有し、シール部材１２，１４の間にガスバリアフィルム２の周部を挟持させて、これを保持する。

フィルム保持室１０としては、シール部材１２，１４の間からガス暴露室Ａ及びガス透過室Ｂに侵入するリークガスを排除するため、これらシール部材１２，１４の外方を覆い、排気室Ｃを形成する排気部１５を有していてもよい。この場合、排気室Ｃ内のガスは、開閉弁１６を開いた状態で、真空ポンプ１７を作動させて排気される。
なお、ガスバリアフィルム２を保持しない状態（図１（ａ））では、フィルム保持室１０は、ガス暴露側保持部１１とガス透過側保持部１３とで画成される気密性の空間を形成可能とされる。

ガス上流部２０は、前記測定用ガスを供給するガス供給部２１，２２と、ガス供給部２１，２２とガス暴露側保持部１１との間に配される開閉自在の測定用流路２５と、同じくガス供給部２１，２２とガス暴露側保持部１１との間に配される校正用流路２７とで構成される。

ガス供給部２１，２２は、開閉弁２３，２４を開いた状態で、測定用流路２５又は校正用流路２７に前記測定用ガスを供給する。ガス供給部２１，２２としては、いずれか１つであってもよく、３つ以上有していてもよい。２種以上の混合ガスを用いてガスバリアフィルム２のガス透過度を測定する場合や２種以上の純ガスを順番に供給してガスバリアフィルム２のそれぞれのガス透過度を測定する場合には、２つ以上とする。
なお、前記測定用ガスとしては、ガスバリアフィルム２に対するガス透過度測定の目的に応じて適宜選択することができる。

測定用流路２５は、流路中に開閉弁２６を有し、ガス供給部２１，２２から供給される前記測定用ガスをガス暴露側保持部１１に移送する。また、校正用流路２７は、流路中に開閉弁２９を有し、ガス供給部２１，２２から供給される前記測定用ガスをガス暴露側保持部１１に移送する。
校正用流路２７は、フィルム保持室１０がガスバリアフィルム２を保持しない状態（図１（ａ））において用いられ、測定用流路２５を閉状態としたとき開状態とされる。また、測定用流路２５は、フィルム保持室１０がガスバリアフィルム２を保持する状態（図１（ｂ））において用いられ、測定用流路２５を開状態としたときは、校正用流路２７を閉状態とする。
即ち、ガスバリアフィルム２を保持しない状態とガスバリアフィルム２を保持する状態とで、いずれか一方の流路が開状態とされ、ガス供給部２１，２２から供給される前記測定用ガスをガス暴露側保持部１１に移送する。
なお、図示しないが、一端側が測定用流路２５及び校正用流路２７と接続され、ガス透過度の測定前に測定用流路２５及び校正用流路２７内を排気する排気流路を配してもよい。この場合、例えば、前記排気用流路の他端側を真空ポンプ１７に接続し、測定用流路２５及び校正用流路２７内を排気するように構成することができる。

校正用流路２７は、開状態において、ガスバリアフィルム２を保持しない状態のフィルム保持室１０に流入させる前記測定用ガスの流量を測定する校正用測定部を有する。
前記校正用測定部の具体的な構成としては、特に制限はないが、前記測定用ガスの流用を正確に測定する観点から、オリフィス、細管及び多孔質体の少なくともいずれかで構成され、流通するガスのコンダクタンスが予め測定されたコンダクタンス部２８と、前記コンダクタンス部２８に流入される前記測定用ガスの圧力を測定する圧力測定部３０とで構成されることが好ましい。なお、コンダクタンス部２８としては、オリフィス、細管及び多孔質体を組み合わせて構成してもよい。前記測定用ガスとして前記混合ガスを用いる場合には、多孔質体として、特開２０１１−４７８５５号公報に記載の微小孔フィルタを好適に用いることができる。また、圧力測定部３０としては、公知の圧力計等を用いることができるが、気体の種類によって特性が変化しない圧力計（隔膜真空計など）を用いることが好ましい。また、水蒸気のガス透過度試験を行う場合、湿度計を設置する場合もある。

また、前記測定用ガスとして前記混合ガスを用いる場合、コンダクタンス部２８が分子流条件を満たす状態で前記測定用ガスを流通可能とされることが好ましい。前記分子流条件を満たすと、気体の種類によるコンダクタンスの違いを分子量だけで補正できると共に、前記混合ガス中の各ガス種の相互作用を排除することができるので、コンダクタンス部２８に供給される前記混合ガスの組成比及び圧力から、コンダクタンス部２８から流出する前記混合ガスの流量、流量比を求めることができる。なお、前記分子量条件を満たすためには、前記コンダクタンス部２８に供給される前記混合ガスの圧力が所定の範囲となるように制御可能であることが必要とされる。
このようにガス透過度測定装置１では、純ガス、混合ガスのガス構成及びガス種を問わず、ガス透過度測定部４３を（取外すことなく）校正することが可能で、得られた校正結果に基づき、これらで構成される前記測定用ガスのガスバリアフィルム２に対するガス透過度を正確に測定することができる。

ガス下流部４０は、ガス透過側保持部１３と接続される中空の真空部４１と、真空部４１内を排気する真空ポンプ４２と、真空部４１に取付けられるガス透過度測定部４３とで構成される。

真空部４１としては、公知の真空容器により構成することができ、ハイバリア性のフィルムに対する測定を考慮して、１０^−４Ｐａ以下の圧力に排気できることが好ましい。また、真空ポンプ４２としては、真空ポンプ１７も同様に、拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、スパッタイオンポンプ、ゲッターポンプ等の公知のポンプを用いることができる。なお、真空ポンプ４２としては、真空部４１内の圧力を低く保持するために、高真空、超高真空用途のものが好ましい。

ガス透過度測定部４３は、ガスバリアフィルム２を保持しない状態（図１（ａ））のフィルム保持室１０から流出する前記測定用ガスの流量を前記校正用測定部により校正して測定可能とされるとともに、ガスバリアフィルム２を保持した状態（図１（ｂ））でガス透過室Ｂから流出するガスバリアフィルム２を透過した前記測定用ガスの流量を前記校正用測定部により校正して測定可能とされる。
こうしたガス透過度測定部４３としては、電離真空計等の公知の真空計、四重極質量分析計等の公知の質量分析計を用いることができる。

ガス透過度測定装置１では、フィルム保持室１０に流入される前記測定用ガスの流入方向に沿ってガス透過側保持部１３から前記測定用ガスを流出させるように構成され、真空部４１が前記流入方向に沿って中空とされ、真空ポンプ４２が前記流入方向の延長位置に配されるように構成される。このように構成されることで、フィルム保持室１０に流入される前記測定用ガスが部分的な偏りを有することなく、ガス透過側保持部１３から流出されるとともに、流出した前記測定用ガスが真空部４１内で部分的な偏りを有することを排除することができ、挙動が安定した前記測定用ガスの流量をガス透過度測定部４３で測定可能とされる。

以上に説明したガス透過度測定装置１では、ガスバリアフィルム２を保持しない状態（図１（ａ））で、ガス供給部２１，２２から供給される前記測定用ガスを校正用流路２７を介してフィルム保持室１０に流入させ、その流量をガス透過度測定部４３で測定可能とされる。即ち、校正用流路２７中の前記校正用測定部を構成するコンダクタンス部２８から流出する前記測定用ガスの流量を、圧力測定部３０で測定した圧力、コンダクタンス部２８のコンダクタンス及び温度から算出し、この流量とガス透過度測定部４３の指示値を相関させて、フィルム保持室１０、延いては真空部４１に流入する前記測定用ガスの流量に対応するガス透過度測定部４３の指示値の検量線が作成可能とされる。

ガスバリアフィルム２を保持した状態（図１（ｂ））では、ガス供給部２１，２２から供給される前記測定用ガスを測定用流路２５を介してフィルム保持室１０のガス暴露室Ａに流入させ、ガスバリアフィルム２を透過しガス透過室Ｂから流出する前記測定用ガス（透過ガス）の流量をガス透過度測定部４３で測定可能とされる。即ち、ガスバリアフィルム２を保持しない状態（図１（ａ））で得られた前記検量線に基づき、ガス透過度測定部４３の指示値に対応する前記測定用ガス（透過ガス）の流量を求めることができる。

このように構成されるガス透過度測定装置１では、装置内にガス透過度測定部４３を校正するための前記校正用測定部を有する校正用流路２７が配されるため、いちいちガス透過度測定装置４３を装置から取外して校正し、校正後、装置に取付ける作業を省くことができ、校正作業を簡素化することができる。
また、ガス上流部２０に前記校正用測定部を有する校正用流路２７を配することで、校正用流路２７及び測定用流路２５からフィルム保持室１０に流入する前記測定用ガスのガス透過度測定部４３に至る流通経路を同一とする（図１（ａ），（ｂ）中のガス流通経路を示す矢印を参照）ことから、校正時におけるガス透過度測定部４３の前記測定用ガスの測定条件を測定時のものと共通させることができ、校正時のガス透過度測定部４３の指示値に高い信頼性が確保される。したがって、ガス透過度測定装置１では、測定時において、校正時に作成される信頼性の高い検量線に基づき、正確なガス透過度を測定することができる。
ここで、装置内に校正部を設ける場合、測定用流路２５のみをガス上流部２０に配し、校正用流路２７をガス下流部４０の真空部４１に配する構成も検討されるが、この構成では、フィルム保持室１０に流入される前記測定ガスのガス透過度測定部４３に至る流通経路が、校正時と測定時の場合とで異なるため、両者の間で真空部４１内の圧力分布や飛行する気体分子の方向分布に変化が生じる。したがって、前記測定ガスの流通条件の相違による影響を受け、校正時に作成される検量線に基づき、測定時に測定されるガス透過度の測定結果に対する信頼性を低下させることとなる。
なお、ガス透過度測定装置１は、本発明の一実施形態を例示したものであり、前述の効果を奏する限り、本発明の技術的思想は、これに限定されるものではない。

ガス透過度測定装置１を用いたガス透過度の測定方法を、実際の測定例とともに実施例として説明する。即ち、前述のガス透過度測定装置１（図１（ａ），（ｂ）参照）に準じて構成されたガス透過度測定装置を用いてガス透過度の測定を行った際の測定方法及び測定結果について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、ガス透過度測定装置１と同じ符号を用いて測定方法及び測定結果を説明する。

先ず、ガスバリアフィルムを保持させない状態（図１（ａ）参照）で、真空ポンプ１７，４２をそれぞれ作動させ、ガス透過度測定装置１内を真空排気させる。次いで、この状態の圧力測定部３０、ガス透過度測定部４３の計測値をゼロ点として記録する。次いで、測定用流路２５の開閉弁２６を閉め、校正用流路２７の開閉弁２９を開けた状態で、ガス供給部２１の開閉弁２３を開け、ガス供給部２１から測定用ガスの供給を開始する。前記測定用ガスは、校正用流路２７を経由してガス暴露側保持部１１側からフィルム保持室１０に流入し、ガス透過側保持部１３側から真空部４１に流出する。次いで、圧力測定部３０，ガス透過度測定部４３の計測値が一定となるのを待ち、前記測定用ガスのコンダクタンス部２８流入前の圧力を圧力測定部３０で計測するとともに、真空部４１内に流出した前記測定用ガスの流量に関する情報を計測する。
測定は、前記測定用ガスとして、水蒸気を用い、ガス透過度測定部４３として、電離真空計及び四重極質量分析計を用いて行った。
なお、圧力測定部３０で計測されるコンダクタンス部２８流入前の圧力は、ガス供給部２１からの前記測定用ガスの供給量を調整することで、コンダクタンス部２８を流通する前記測定用ガスの流れが分子流条件を満たすように制御可能とされる。

こうした条件において、コンダクタンス部２８を流通し、フィルム保持室１０を経由して、真空部４１に流出する前記測定用ガスの流量Ｑ_ｓ（Ｐａ・ｍ^３／ｓ）は、下記式（１）で表される。

なお、前記式（１）中、Ｐ_Ｒは、圧力測定部３０の計測値からゼロ点を引いた圧力を示し、Ｃ_ｓは、予め測定しておいたコンダクタンス部２８の代表的な気体（ここでは、窒素ガス）における分子流コンダクタンスを示し、Ｍ_Ｎ２は、窒素の分子量を示し、Ｍは、前記測定用ガス（水蒸気）の分子量を示し、Ｔ_０は、Ｃ_ｓ測定時の温度を示し、Ｔは、前記測定用ガス供給時のガス供給部２１の温度を示す。
また、前記式（１）で表される流量Ｑ_ｓ（Ｐａ・ｍ^３／ｓ）は、気体の状態方程式を用い、下記式（２），（３）で表される流量Ｑ_ｓ’（ｍｏｌ／ｓ）、流量Ｑ_ｓ’’（ｇ／ｓ）に単位変換可能であり、ここでは、下記式（３）で表される流量Ｑ_ｓ’’（ｇ／ｓ）を求めた。

なお、前記測定用ガスとして混合ガスを用いる場合、コンダクタンス部２８が分子流条件を満たすものであれば、前記式（１）〜（３）により、ガス種ごとに独立して流量を求めることができ、この場合、Ｐ_Ｒとして、圧力測定部３０の計測値からゼロ点を引いた圧力に混合ガスの組成を乗じることで求めた、コンダクタンス部２８上流の校正対象のガス種の分圧、Ｍとして校正対象のガス種の分子量を用いる。

前記式（３）で求めたコンダクタンス部２８から流出する前記測定用ガスの流量Ｑ_ｓ’’（ｇ／ｓ）を、真空部４１内に流出した前記測定用ガスの流量とし、この流量（ｇ／ｄａｙに換算）と、ガス透過度測定部４３としての電離真空計（Ｐａ）及び四重極質量分析計（Ａ）のゼロ点を引いた計測値との相関関係から校正用の検量線を得る。図２に、実施例における検量線グラフを示す。

次に、ガスバリアフィルム２を保持させた状態（図１（ｂ）参照）で、ガスバリアフィルム２のガス透過度を測定する。なお、ガスバリアフィルム２としては、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）を主材とするハイバリア性のフィルム（試料直径；Φ５０ｍｍ、透過部直径；Φ４０ｍｍ）を用いた。
先ず、真空ポンプ１７，４２をそれぞれ作動させ、ガス透過度測定装置１内を真空排気させる。次いで、測定用流路２５の開閉弁２６を開け、校正用流路２７の開閉弁２９を閉じた状態で、ガス供給部２１の開閉弁２３を開け、ガス供給部２１から前記測定用ガス（水蒸気）の供給を開始する。水蒸気の暴露条件は、１気圧の大気、４０℃、９０％湿度である。前記測定用ガスは、測定用流路２５を経由してガス暴露側保持部１１側からガス暴露室Ａに流入し、一部がガスバリアフィルム２を透過してガス透過室Ｂ中に流出し、延いては、前記測定用ガス透過側保持部１３側から真空部４１に流出する。ガス透過度測定部４３の計測値が一定となるのを待ち、真空部４１内に流出した前記測定用ガスの流量に関する情報を計測する。

ここで、ガス透過度測定部４３の計測値に基づき、前記校正用の検量線を用いて、ガスバリアフィルム２を透過した前記測定用ガスの流量を定量化し、これによりガスバリアフィルム２のガス透過度を決定する。
ここで、本実施例のように、ガスバリアフィルム２としてハイバリア性のフィルムを測定対象とする場合には、前記測定用ガスの透過量が極微量となり、装置内に生ずる僅かなガス放出等も、その影響が大きくなることから、ステンレス板などの前記測定用ガスの透過量が無視できる試材をガスバリアフィルム２に代えてフィルム保持室１０に保持させ、その際のガス透過度測定部４３の計測値を取得し、両者の差をとることで、より正確にガスバリアフィルム２のガス透過度を決定することができる。
ここでは、前記試材としてステンレス板を用い、ガス透過度測定部４３としての電離真空計のガスバリアフィルム２と前記試材の各計測値の差（ΔＰ）をとり、ガスバリアフィルム２のガス透過度を決定することとした。図３に、実施例におけるガス透過度に関する測定グラフを示す。
なお、図３において、ΔＰは、１．０４×１０^−６Ｐａであり、このΔＰと対応する前記校正用の検量線から得られるガス透過量（水蒸気透過量）は、８．０６×１０^−６（ｇ／ｄａｙ）であり、そのガス透過度（水蒸気透過度）は、６．４１×１０^−３（ｇ／ｄａｙ／ｍ^２）であった。

以上のように、本発明のガス透過度測定装置は、ガス透過度測定部を取外すことなく、その校正作業を簡素化可能であるとともに、正確にガス透過度を測定可能であるため、用途ごとに様々な特性を有するガスバリアフィルムのガス透過度の測定に広く用いることができる。

１ ガス透過度測定装置
２ ガスバリアフィルム
１０ フィルム保持室
１１ ガス暴露側保持部
１２，１４ シール部材
１３ ガス透過側保持部
１５ 排気部
１６，２３，２４，２６，２９ 開閉弁
１７，４２ 真空ポンプ
２０ ガス上流部
２１，２２ ガス供給部
２５ 測定用流路
２７ 校正用流路
２８ コンダクタンス部
３０ 圧力測定部
４０ ガス下流部
４１ 真空部
４３ ガス透過度測定部

Claims (4)

1. ガスバリアフィルムのガス暴露面側に配されるガス暴露側保持部と前記ガスバリアフィルムのガス透過面側に配されるガス透過側保持部とで前記ガスバリアフィルムの周部を挟持して保持可能とされ、前記ガスバリアフィルムを保持させたときに、測定用ガスが流入される前記ガス暴露面と前記ガス暴露側保持部とで画成されるガス暴露室、及び、前記ガス透過面から透過する前記測定用ガスが流入される前記ガス透過面と前記ガス透過側保持部とで画成されるガス透過室が形成されるフィルム保持室と、
   前記測定用ガスを供給するガス供給部、前記ガス供給部−前記ガス暴露側保持部間に配される開閉自在の測定用流路、及び、前記ガス供給部−前記ガス暴露側保持部間に配され、前記測定用流路を閉状態としたとき開状態とされ、前記測定用流路を開状態としたとき閉状態とされるように開閉自在とされ、開状態において前記ガスバリアフィルムを保持しない状態の前記フィルム保持室に流入させる前記測定用ガスの流量を測定可能な校正用測定部を有する校正用流路を備えるガス上流部と、
   前記ガス透過側保持部と接続される中空の真空部、前記真空部内を排気する真空ポンプ、及び、前記真空部に取付けられ、前記ガスバリアフィルムを保持しない状態の前記フィルム保持室から流出する前記測定用ガスの流量を前記校正用測定部により校正して測定可能とされるとともに、前記ガスバリアフィルムを保持した状態で前記ガス透過室から流出する前記ガスバリアフィルムを透過した前記測定用ガスの流量を前記校正用測定部により校正して測定可能とされるガス透過度測定部を備えるガス下流部と、
   を有することを特徴とするガス透過度測定装置。
2. フィルム保持室に流入される測定用ガスの流入方向に沿ってガス透過側保持部から前記測定用ガスを流出させるとともに、真空部が前記流入方向に沿って中空とされ、前記流入方向の延長位置に真空ポンプが配されるように構成される請求項１に記載のガス透過度測定装置。
3. 校正用測定部が、オリフィス、細管及び多孔質体の少なくともいずれかで形成され、コンダクタンスが予め測定されたコンダクタンス部と、前記コンダクタンス部に流入される測定用ガスの圧力を測定する圧力測定部と、を有する請求項１から２のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
4. コンダクタンス部が、分子流条件を満たす状態で測定用ガスを流通可能とされる請求項３に記載のガス透過度測定装置。