JP6278676B2 - 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 - Google Patents
振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6278676B2 JP6278676B2 JP2013248342A JP2013248342A JP6278676B2 JP 6278676 B2 JP6278676 B2 JP 6278676B2 JP 2013248342 A JP2013248342 A JP 2013248342A JP 2013248342 A JP2013248342 A JP 2013248342A JP 6278676 B2 JP6278676 B2 JP 6278676B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pass filter
- vibration
- compensator
- elastic body
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Atmospheric Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Description
本発明の第1実施形態の振動低減装置100について、図1を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態の振動低減装置100の構成を示す図である。第1実施形態の振動低減装置100は、基台上に弾性支持された第1物体2(対象物体)の振動を低減する。第1実施形態では、第1物体2の鉛直方向(Z方向)における振動を低減する振動低減装置100について説明する。ここで、振動低減装置100は、第1物体2の鉛直方向における振動を低減する構成と同様の構成を水平方向(X方向およびY方向)にも適用することにより、第1物体2の水平方向における振動も低減することができる。
実施例1では、基準系50が図7に示す構成を含む場合について説明する。図7は、第1実施形態の振動低減装置100の構成例を示す図である。実施例1における基準系50は、図7に示すように、第2物体21と、第2物体21を基台上に弾性的に支持する第2弾性体23とを含みうる。第2弾性体23としては、例えば、気体ばねやコイルばねなどが用いられうる。
実施例2では、基準系50が図8に示す構成を含む場合について説明する。図8は、第1実施形態の振動低減装置100の構成例を示す図である。実施例2における基準系50は、図8に示すように、第2物体21と、第2駆動部24と、第2検出器26と、第2減算器28と、第2補償器25とを含みうる。第2駆動部24は、基台1と第2物体21との間に配置され、第2物体21を駆動する。第2駆動部24は、例えば、第2物体21に力を加えて第2物体21を鉛直方向(Z方向)に駆動するアクチュエータ(例えばリニアモータ)を含む。第2検出器26は、基台1と第2物体21との相対距離(第2相対距離)を検出し、その第2相対距離に応じた信号201を出力する。第2検出器26は、例えばレーザ干渉計などを含み、図8に示すように基台1に設けられ、第2物体21までの距離を測定して第2相対距離を取得する。図8では、第2検出器26は基台1に設けられているが、第2物体21に第2検出器26を設け、その第2検出器26によって基台1までの距離を測定して第2相対距離を取得してもよい。
実施例3では、基準系50が図9に示す構成を含む場合について説明する。図9は、第1実施形態の振動低減装置100の構成例を示す図である。実施例3における基準系50は、図9に示すように、第2物体21と、第3物体31と、第3弾性体32と、第4弾性体33と、第3駆動部34と、第3検出器36と、第3減算器38と、第3補償器35とを含みうる。第3弾性体32は、第2物体21を第3物体31の上に弾性的に支持し、第3弾性体32としては、例えば、気体ばねやコイルばねなどが用いられうる。第4弾性体33は、第3物体31を基台1上に弾性的に支持し、第4弾性体33としては、例えば、気体ばねやコイルばねなどが用いられうる。第3駆動部34は、基台1と第3物体31との間に配置され、第3物体31を駆動する。第3駆動部34は、例えば、第3物体31に力を加えて第3物体31を鉛直方向(Z方向)に駆動するアクチュエータ(例えばリニアモータ)を含む。第3検出器36は、第2物体21と第3物体31との相対距離(第3相対距離)を検出し、その第3相対距離に応じた信号301を出力する。第3検出器36は、例えばレーザ干渉計などを含み、図9に示すように第3物体31に設けられ、第2物体21までの距離を測定して第3相対距離を取得する。図9では、第3検出器36は第3物体31に設けられているが、第2物体21に第3検出器36を設け、その第3検出器36によって第3物体31までの距離を測定して第3相対距離を取得してもよい。
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上記のリソグラフィ装置(露光装置やインプリント装置、描画装置など)を用いて基板にパターンを形成する工程と、かかる工程でパターンが形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (21)
- 第1弾性体によって支持された第1物体の振動を低減する振動低減装置であって、
前記第1弾性体と並列に配置され、前記第1物体を駆動する駆動部と、
第2物体を有する基準系と、
前記第1物体と前記第2物体との間の距離を検出する検出器と、前記検出器により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部を制御するための信号を出力する補償器と、前記検出器から前記駆動部に至る経路に配置されたハイパスフィルタとを有する制御系と、
を含み、
前記ハイパスフィルタの特性は、前記第1弾性体の剛性に基づいており、
前記ハイパスフィルタの折点周波数は、前記第2物体を支持する基台から前記第2物体までの伝達関数のゲインが−1dBより大きくなる周波数帯域より大きい、ことを特徴とする振動低減装置。 - 第1弾性体によって支持された第1物体の振動を低減する振動低減装置であって、
前記第1弾性体と並列に配置され、前記第1物体を駆動する駆動部と、
第2物体を有する基準系と、
前記第1物体と前記第2物体との間の距離を検出する検出器と、前記検出器により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部を制御するための信号を出力する補償器と、前記検出器から前記駆動部に至る経路に配置されたハイパスフィルタとを有する制御系と、
を含み、
前記ハイパスフィルタの特性は、前記第1弾性体の剛性に基づいており、
前記ハイパスフィルタは、前記駆動部と前記基準系と前記制御系とを含むシステムの折点周波数よりも低い周波数の振動に基づく信号を低減する、ことを特徴とする振動低減装置。 - 第1弾性体によって支持された第1物体の振動を低減する振動低減装置であって、
前記第1弾性体と並列に配置され、前記第1物体を駆動する駆動部と、
第2物体を有する基準系と、
前記第1物体と前記第2物体との間の距離を検出する検出器と、前記検出器により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部を制御するための信号を出力する補償器と、前記検出器から前記駆動部に至る経路に配置されたハイパスフィルタとを有する制御系と、
を含み、
前記ハイパスフィルタの特性は、前記第1弾性体の剛性に基づいており、
前記ハイパスフィルタは、前記第1弾性体の剛性に基づいて決定される折点周波数より低い周波数の前記第2物体の振動に対して、前記第1物体が追従しないように構成されている、ことを特徴とする振動低減装置。 - 第1弾性体によって支持された第1物体の振動を低減する振動低減装置であって、
前記第1弾性体と並列に配置され、前記第1物体を駆動する駆動部と、
第2物体を有する基準系と、
前記第1物体と前記第2物体との間の距離を検出する検出器と、前記検出器により検出された前記距離に基づいて、前記駆動部を制御するための信号を出力する補償器と、前記検出器から前記駆動部に至る経路に配置されたハイパスフィルタとを有する制御系と、
を含み、
前記ハイパスフィルタの特性は、前記第1弾性体の剛性に基づいており、
前記制御系は、前記補償器から出力された前記信号のうち、前記補償器のサーボ帯域より高い周波数の信号を減衰させるローパスフィルタを含む、ことを特徴とする振動低減装置。 - 前記ハイパスフィルタは、前記検出器と前記補償器との間に配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の振動低減装置。
- 前記ハイパスフィルタは、前記第1弾性体の剛性によって決定された折点周波数を有する、ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の振動低減装置。
- 前記第1物体は、前記第1弾性体によって基台上に支持され、
前記第2物体は、前記第1物体と前記基台との間に配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の振動低減装置。 - 前記第2物体は、第2弾性体によって支持されている、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の振動低減装置。
- 前記基準系は、前記第2物体を駆動する第2駆動部と、前記第2物体と前記第2物体を支持する基台との間の第2距離および第2目標距離に基づいて、前記第2駆動部を制御するための信号を出力する第2補償器とを含む、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の振動低減装置。
- 前記基準系は、第3物体と、前記第2物体を前記第3物体の上に支持する第3弾性体と、前記第3物体を支持する第4弾性体と、前記第3物体を駆動する第3駆動部と、前記第2物体と前記第3物体との間の第3距離および第3目標距離に基づいて、前記第3駆動部を制御するための信号を出力する第3補償器とを含む、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の振動低減装置。
- リソグラフィ装置であって、
基板にパターンを形成するパターン形成部と、
請求項1乃至17のうちいずれか1項に記載の振動低減装置と、
を含み、
前記パターン形成部は、前記振動低減装置の前記第1物体の上に搭載される、ことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記パターン形成部は、ビーム又は光で前記基板を照射する鏡筒を含む、ことを特徴とする請求項18に記載のリソグラフィ装置。
- 前記パターン形成部は、前記基板を保持する基板保持部と、マスクを保持するマスク保持部とを含み、前記基板保持部によって保持された前記基板に、前記マスク保持部によって保持された前記マスクのパターンを転写する、ことを特徴とする請求項18又は19に記載のリソグラフィ装置。
- 請求項18乃至20のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013248342A JP6278676B2 (ja) | 2013-11-29 | 2013-11-29 | 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
US14/546,022 US9671704B2 (en) | 2013-11-29 | 2014-11-18 | Vibration reduction apparatus, lithography apparatus and method of manufacturing article |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013248342A JP6278676B2 (ja) | 2013-11-29 | 2013-11-29 | 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015105711A JP2015105711A (ja) | 2015-06-08 |
JP2015105711A5 JP2015105711A5 (ja) | 2017-06-29 |
JP6278676B2 true JP6278676B2 (ja) | 2018-02-14 |
Family
ID=53265219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013248342A Expired - Fee Related JP6278676B2 (ja) | 2013-11-29 | 2013-11-29 | 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9671704B2 (ja) |
JP (1) | JP6278676B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101689237B1 (ko) * | 2012-11-06 | 2016-12-23 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 장치 및 디바이스 제조 방법 |
JP6302305B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2018-03-28 | キヤノン株式会社 | 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
NL2016330B1 (en) * | 2016-02-26 | 2017-09-20 | Mecal Intellectual Property And Standards B V | Active inertial damper system and method |
US11054739B2 (en) * | 2018-07-26 | 2021-07-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, control method, imprint method and manufacturing method |
US10991544B2 (en) * | 2019-05-29 | 2021-04-27 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Charged particle beam device, objective lens module, electrode device, and method of inspecting a specimen |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07335538A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-22 | Nikon Corp | ステージ装置 |
JP3825869B2 (ja) * | 1997-03-19 | 2006-09-27 | キヤノン株式会社 | 能動除振装置 |
JPH10269675A (ja) * | 1997-03-26 | 1998-10-09 | Hitachi Ltd | ディスク記憶装置 |
JP4165844B2 (ja) * | 1998-11-18 | 2008-10-15 | キヤノン株式会社 | 除振装置 |
TW468090B (en) * | 1998-12-17 | 2001-12-11 | Asm Lithography Bv | Servo control method, and its application in a lithographic projection apparatus |
JP2002242983A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Canon Inc | 能動的除振装置 |
US6881963B2 (en) * | 2002-11-08 | 2005-04-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration control of an object |
US7084956B2 (en) | 2003-06-13 | 2006-08-01 | Asml Netherlands B.V | Supporting device, lithographic apparatus, and device manufacturing method employing a supporting device, and a position control system arranged for use in a supporting device |
EP1664587B1 (en) * | 2003-09-05 | 2010-11-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Actuator arrangement for active vibration isolation comprising an inertial reference mass |
US7571793B2 (en) * | 2004-01-26 | 2009-08-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Actuator arrangement for active vibration isolation using a payload as an inertial reference mass |
US7726452B2 (en) * | 2005-06-02 | 2010-06-01 | Technical Manufacturing Corporation | Systems and methods for active vibration damping |
JP2009515107A (ja) * | 2005-11-08 | 2009-04-09 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 振動分離システム及び方法 |
JP5036259B2 (ja) * | 2006-09-14 | 2012-09-26 | キヤノン株式会社 | 除振装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
US20090153832A1 (en) * | 2007-12-18 | 2009-06-18 | Yosuke Tatsuzaki | Apparatus and method for isolating vibrations in a lithography machine using two active control units |
EP2075484A1 (en) * | 2007-12-31 | 2009-07-01 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | An active vibration isolation system having an inertial reference mass |
NL2003424A (en) * | 2008-10-07 | 2010-04-08 | Asml Netherlands Bv | Projection assembly and lithographic apparartus. |
NL2003772A (en) * | 2008-12-11 | 2010-06-14 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and a method to compensate for the effect of disturbances on the projection system of a lithographic apparatus. |
JP2012044014A (ja) * | 2010-08-20 | 2012-03-01 | Canon Inc | 除振装置、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法 |
JP5641878B2 (ja) * | 2010-10-29 | 2014-12-17 | キヤノン株式会社 | 振動制御装置、リソグラフィー装置、および、物品の製造方法 |
WO2012102060A1 (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-02 | 株式会社ニコン | 駆動システム及び駆動方法、露光装置及び露光方法、並びに駆動システム設計方法 |
DE102011007917A1 (de) * | 2011-04-21 | 2012-10-25 | Asml Netherlands B.V. | Anordnung zur Aktuierung eines Elementes in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage |
JP5963600B2 (ja) * | 2011-08-09 | 2016-08-03 | キヤノン株式会社 | 除振装置 |
WO2014010233A1 (ja) * | 2012-07-09 | 2014-01-16 | 株式会社ニコン | 駆動システム及び駆動方法、並びに露光装置及び露光方法 |
JP6302305B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2018-03-28 | キヤノン株式会社 | 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
JP6333081B2 (ja) * | 2014-06-23 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | 振動制御装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
-
2013
- 2013-11-29 JP JP2013248342A patent/JP6278676B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-11-18 US US14/546,022 patent/US9671704B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9671704B2 (en) | 2017-06-06 |
JP2015105711A (ja) | 2015-06-08 |
US20150153659A1 (en) | 2015-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6278676B2 (ja) | 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 | |
JP5641878B2 (ja) | 振動制御装置、リソグラフィー装置、および、物品の製造方法 | |
KR101913273B1 (ko) | 광학장치, 투영 광학계, 노광 장치, 및 물품의 제조 방법 | |
US6937317B2 (en) | Active damping apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method | |
US6473159B1 (en) | Anti-vibration system in exposure apparatus | |
JP2000274482A (ja) | 能動的除振装置、露光装置及び方法並びにデバイス製造方法 | |
JP6109049B2 (ja) | 処理装置、位置決め装置の制御方法、物品の製造方法 | |
JP2006344685A (ja) | 露光装置 | |
US9599185B2 (en) | Vibration control apparatus, lithography apparatus, and article manufacturing method | |
WO2005085671A1 (ja) | 防振装置、露光装置、及び防振方法 | |
JP6302305B2 (ja) | 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 | |
JP2007120646A (ja) | 制振装置およびそれを備えた露光装置 | |
JP2008166497A (ja) | 露光装置およびそれを用いたデバイス製造方法 | |
KR20220046483A (ko) | 위치결정 장치, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법 | |
US10209633B2 (en) | Vibration control apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article | |
JP2008175394A (ja) | 周波数フィルタリングによって機械的振動の伝達を制限するためのシステム | |
JP2009168122A (ja) | 除振装置、露光装置およびデバイス製造方法 | |
JP6338647B2 (ja) | パターニング装置、位置決め装置の制御方法、物品の製造方法 | |
JP2001221279A (ja) | 能動制振装置 | |
JP2016023720A (ja) | 振動制御装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 | |
JP2015201492A (ja) | ステージ装置、露光装置、および物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161128 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170517 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170824 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171006 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180116 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6278676 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |