JP6274025B2 - 光受信モジュールの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、光受信モジュールの製造方法に関し、特に、波長多重化された信号光を受信する光受信モジュールの製造方法に関する。

近年、通信速度の高速化が進んでおり、光トランシーバ等に用いられる光受信モジュールには４０Ｇｂｐｓや１００Ｇｂｐｓの伝送速度に対応することが求められる。このような高速伝送では、単一波長の信号光ではなく波長多重化された信号光が用いられることが多い。

波長多重化された信号光を受信する場合、受光素子を１つのみ実装した光受信モジュールを光トランシーバに複数設ける構成では、光トランシーバが大型化してしまうので、小型の光トランシーバでは複数の受光素子を単一の光受信モジュールに実装して、該光受信モジュールにて波長多重化された信号光を受信することが行われている（例えば特許文献１及び２参照）。

特開２０１０−１８６０９０号公報 特開２０１３−１２５０４５号公報

特許文献２の光受信モジュールでは、各受光素子から出力された電気信号を増幅するプリアンプ回路を、該モジュールを大型化させずに該モジュール内に収容するために、以下のような構成としている。
すなわち、特許文献２の光受信モジュールでは、波長多重化された信号光が入射され異なる波長の複数の信号光に分波する光分波器と、該光分波器により分波された分波信号光をそれぞれパッケージ底壁方向に向けて反射させる反射器とが、パッケージ底壁から支持部材により離間させて配置したキャリア上に実装された形態で収容されている。また、反射器で反射された分波信号光をそれぞれ集光する複数のレンズを介して該分波光信号をそれぞれ受光する複数の受光素子と、受光素子からの出力信号を増幅するプリアンプ回路とが互いに近接してパッケージ底壁上に実装されて収容されている。
しかし、特許文献２の光受信モジュールでは、光分波器及び反射器をパッケージ内に調芯して収容するのが難しいが、特許文献２ではその点について開示していない。また、特許文献１は異なる構造の光受信モジュールに関するものであり上述の点について開示していない。

本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、複数の受光素子とプリアンプ回路とがパッケージ底壁上に実装され、該パッケージ底壁から支持部材により離間させて配したキャリア上に実装された光分波器と反射器とが調芯されて収容された小型の光受信モジュールの製造方法を提供することをその目的とする。

本発明に係わる光受信モジュールの製造方法は、波長多重光を受信し、この波長多重光を波長に基づいて光分波器により複数の信号光に分波し、これら複数の信号光を反射器により反射し、レンズアレイを介してＰＤアレイで受光する光受信モジュールの製造方法であって、光分波器及び反射器はキャリア上に搭載されており、これら光分波器、キャリア、反射器、レンズアレイ、ＰＤアレイは実装基準面を有するパッケージに搭載されている。そして、本発明に係る製造方法は、この実装基準面を基準にレンズアレイとＰＤアレイをパッケージに実装する工程と、反射器をキャリアの一辺に対して平行に、光分波器をこのキャリアの一辺に対して所定の角度をもって実装する工程と、実装基準面に対して垂直な光軸を有する外部光源を準備する工程と、キャリアの光分波器及び反射器の実装面をパッケージに実装されたレンズアレイに対向させた状態で保持して光分波器の入射側面を外部光源の光軸に対して垂直とした後所定角度回転する工程と、反射器で反射された光がレンズアレイを介してＰＤアレイに受光されるようにキャリアをＰＤアレイに対して調芯する工程と、を含む。

レンズアレイとＰＤアレイをパッケージに実装する工程は、例えば、ＰＤアレイの一辺を実装基準面に突き当てた後、ＰＤアレイを平行移動してパッケージに実装する工程と、レンズアレイの一辺を実装基準面に突き当てた後、レンズアレイを平行移動してレンズアレイの中心とＰＤアレイの中心を一致させ、レンズアレイを実装する工程を含む。

キャリアをＰＤアレイに対して調芯する工程は、例えば、波長多重光を出射する光源を準備する工程と、この光源が出力する波長多重光を光分波器に入射させて複数の信号光に分波し、それぞれの信号光を反射器で反射して、レンズアレイでＰＤアレイ上に集光しＰＤアレイからの出力信号が所定値以上となるようにキャリアをＰＤアレイに対して調芯する工程と、を含む。

外部光源を準備する工程は、例えば、実装基準面に対して平行でかつこの実装基準面に対向する反射面を準備し、外部光源の出射光を反射面で反射させて、その光軸を実装基準面に対して垂直にする工程を含む。

複数の受光素子とプリアンプ回路とがパッケージ底壁上に実装され、該パッケージ底壁から支持部材により離間させて配したキャリア上に光分波器と反射器とが実装された小型の光受信モジュール内に、光分波器と反射器とを調芯して収容することができる。

本発明に係る光受信モジュールの製造方法により製造される光受信モジュールの一例を示す図である。 本発明に係る光受信モジュールの製造方法により製造される光受信モジュールの一例を示す図である。 レンズアレイとＰＤアレイの第１の実装基板への実装形態を説明する図である。 第１の実装基板及びＩＣ部品が実装されていない状態の第２の実装基板がパッケージ内に実装された様子を示す図である。 光分波器と反射器を説明するための図である。 本発明に係わる光受信モジュールの製造方法における各工程を説明する図である。 本発明に係わる光受信モジュールの製造方法における各工程を説明する図である。 本発明に係わる光受信モジュールの製造方法における各工程を説明する図である。 本発明に係わる光受信モジュールの製造方法における各工程を説明する図である。 本発明に係わる光受信モジュールの製造方法における各工程を説明する図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の光受信モジュールの製造方法に係る好適な実施の形態について説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内ですべての変更が含まれることを意図する。また、以下の説明において、異なる図面においても同じ符号を付した構成は同様のものであるとして、その説明を省略する場合がある。

図１及び図２は、本発明に係る光受信モジュールの製造方法により製造される光受信モジュールの一例を示す図である。図１は説明を容易にするためにパッケージ蓋体を外し、パッケージフレームの一部を破断した状態で示す斜視図、図２（Ａ）は図１（Ａ）の光受信モジュールの断面図、図２（Ｂ）は光受信部分の構成を説明するための模式図である。

図の光受信モジュール１０は、光ファイバが接続されるレセプタクル部１１と、受光素子や光学部品等が収容されるパッケージ部１２と、外部回路との電気接続のための端子部１３とを備えている。レセプタクル部１１は、光コネクタのフェルールが挿入されるスリーブ１４と、レセプタクル部１１をパッケージ部１２に接合させるためのホルダ１６と、調芯可能にスリーブ１４とホルダ１６とを連結するジョイントスリーブ１５とを有する。
以下では、光受信モジュール１０のレセプタクル部１１側を前側、反対側を後側として説明する。

パッケージ部１２は、略直方体形状であり、例えば、角筒状のパッケージフレーム２０と、底壁を形成するパッケージ底壁２１と、上部開口を塞ぐパッケージ蓋体２２（図２（Ａ）参照）とを有する。パッケージフレーム２０の前壁には、円筒状のブッシュ２３が設けられている。ブッシュ２３の前面は後述するコレットでの調芯作業での基準面となるように平坦面とされている。パッケージ底壁２１は、銅モリブデンや銅タングステン等の材料を用いることができ、また、熱伝導性のよい材料を用いることにより放熱性を高めることができる。パッケージ蓋体２２は、素子や部品の収容と配線後に、これらを密封するようにパッケージフレーム２０に対して固定される。

端子部１３は、例えば、複数のセラミック基板を積層して形成され、パッケージフレーム２０の後壁に嵌め込むような形態で組み付けられ、さらに、パッケージ部１２内の素子と外部系とを電気的に接続する、高周波ライン、電源ラインが形成されている。
これらパッケージ部１２と端子部１３が本発明の「パッケージ」を構成する。

レセプタクル部１１のホルダ１６は、図２（Ａ）に示すように、パッケージフレーム２０の前面側に設けたブッシュ２３を介してパッケージ部１２に固定される。ホルダ１６には、ジョイントスリーブ１５を介してスリーブ１４が結合され、ジョイントスリーブ１５により軸方向と径方向に対する調芯が行われる。スリーブ１４内には、光結合を形成するスタブ１７が配され、ホルダ１６にはスタブ１７内の光ファイバから出射された信号光を集光し平行光にするレンズ１８が配される。レンズ１８からの信号光は、ブッシュ２３内に密封形態で設けられた光学窓１９を経て、パッケージ部１２内に出射される。

パッケージ部１２内には、レンズ１８から出射された波長多重化された信号光を異なる波長の複数の信号光に分波する光分波器（以下、O-DeMux）２６と、この分波された信号光（以下、分波信号光という）を、それぞれパッケージ底壁２１側に反射させるプリズム等で形成された反射器２７とが収容される。これらO-DeMux２６と反射器２７は、支持部材２４によりパッケージ底壁２１から平行に離間して配置されたキャリア２５上に実装させて、パッケージ底壁２１に向き合うように収容される。

また、パッケージ部１２内には、反射器２７で反射された分波信号光をそれぞれ集光する複数のレンズが形成されたレンズアレイ２８と、このレンズアレイ２８を介して分波信号光をそれぞれ受光する複数の受光素子として複数のフォトダイオード（ＰＤ）が形成されたＰＤアレイ２９とが収容される。これらレンズアレイ２８及びＰＤアレイ２９は、第１の実装基板３０及び第２の実装基板３１を介してパッケージ底壁２１上に実装される。

上述のような部品から構成される光受信モジュール１０は、図２（Ｂ）に示すように、O-DeMux２６と反射器２７は、パッケージ底壁２１の平面から高さ方向に平行に離間したキャリア２５の実装面に実装される。そして、レンズアレイ２８とＰＤアレイ２９は、パッケージ底壁２１の平面から高さ方向に離間した空間を利用して、上下方向に配列して実装される。すなわち、反射器２７とレンズアレイ２８とＰＤアレイ２９は、パッケージ部１２内の上下方向に重なるように配列され、平面方向の配列スペースが軽減される。これにより空いたスペースに、ＰＤアレイ２９の信号を増幅するプリアンプ回路であるＩＣ部品３２が実装される。

図３は、レンズアレイ２８とＰＤアレイ２９の第１の実装基板３０への実装形態を説明する図である。
レンズアレイ２８は、図３に示すように、複数のレンズ２８ａが透明なガラス基板２８ｂと一体に形成されたものである。ＰＤアレイ２９は、複数のＰＤ２９ａが一体に形成されたものである。
レンズアレイ２８とＰＤアレイ２９は、受光感度を高めるため、レンズ２８ａのピッチとＰＤ２９ａのピッチ、言い換えると隣接ＰＤ間隔と隣接レンズ間隔が設計上一致しており、各レンズ２８ａと各ＰＤ２９ａの光軸が略一致するように固定される。

第１の実装基板３０は、その中央部分の一定箇所に共晶半田３０ａが塗布されている。共晶半田は金錫（AuSn）半田が好ましい。この共晶半田３０ａが塗布されている部分にＰＤアレイ２９が固定される。また、第１の実装基板３０の両端には、角柱状の支持ポスト３３を固定するため、支持ポスト３３の底面と略同じ形状のAuSnパターン（不図示）が形成されている。このAuSnパターン上に、底面に金属メッキが施された支持ポスト３３が固定され、該支持ポスト３３上にＰＤアレイ２９が固定される。

図４は、第１の実装基板３０及びＩＣ部品３２が実装されていない状態の第２の実装基板３１がパッケージ内に実装された様子を示す図である。
第２の実装基板３１は、例えば銅タングステン基板から成るものであって、図４に示すように、パッケージ内の後端であって、端子１３ａからの高周波・電源ラインが敷設されたフィードスルー（feed-through）基板１３ｂの直近に実装される。
第２の実装基板３１の後方には、ＩＣ部品３２（図１参照）が実装しやすいように当該部品３２の形状に合わせたそのパターン３１ａが形成されている。また、図示は省略するが、第２の実装基板３１の側方には、ダイキャパシタ等の電子部品用の実装パターンが形成されている。第２の実装基板３１のＩＣ部品３２及びダイキャパシタが存在しない部分すなわち前方部分には、第１の実装基板３０が実装される。

図５は、O-DeMux２６と反射器２７を説明するための図であり、図５（Ａ）はキャリア２５上に実装されたO-DeMux２６と反射器２７の斜視図、図５（Ｂ）は同平面図である。

O-DeMux２６は、図５（Ａ）に示すように、単一の反射部材２６ａと透過する波長が互いに異なる複数の波長フィルタ２６ｂとを、透明光学部材２６ｃにより一体化したものであり、例えば、誘電多層膜（フィルタ群）で構成され、キャリア２５の中央付近に実装される。
反射器２７は、O-DeMux２６により分波された複数の信号光をＰＤアレイ２９に向けてその光軸を曲げるものであり、例えば、プリズムで形成され、その反射面２７ａは４５度の角度で、O-DeMux２６の方向に向くようにして、キャリア２５の後端部に実装される。
キャリア２５は、O-DeMux２６と反射器２７を実装するものである。なお、戻り光対策等のため、O-DeMux２６はブッシュ２３の前端面の基準面２３ａ（図８（Ａ）参照）に対して所定の角度をつけて固定されている。

図５（Ｂ）に示すように、互いに異なる波長（λ１、λ２、λ３、λ４）の信号光が多重化された多重化信号光がO-DeMux２６に入射されると、まず１番目に配列された波長フィルタ２６ｂに当てられて、波長λ１の信号光は透過するが、その他の波長の信号光（λ２、λ３、λ４）は反射される。この反射された信号光は、反射部材２６ａにより２番目の波長フィルタ２６ｂに当てられて、波長λ２の信号光は透過し、その他の波長の信号光（λ３、λ４）は反射される。以下、同様に透過と反射を繰り返して、多重化信号光は、波長が異なる複数の信号光に分波される。分波された信号光は、反射器２７の反射面２７ａにより直交する方向に反射されて、上述したようにレンズアレイ２８を経てＰＤアレイ２９で受光される。

上述のO-DeMux２６、反射器２７及びキャリア２５の一体物を中間アセンブリという。

中間アセンブリの作製は例えば以下の手順で行う。
まず、矩形のキャリア２５を所定の冶具上に固定する。そして、キャリア２５の所定位置すなわちO-DeMux２６及び反射器２７の実装位置に紫外線硬化樹脂を一定量塗布する。さらに、外部光源を準備し、キャリア２５の後端辺２５ａを基準辺として該外部光源の光軸がこの基準辺に対して９０°をなすように設定する。この設定のために後端辺２５ａの少なくとも一部は反射面とされる。

次いで、O-DeMux２６を把持し、その光出射面２６ｄが上記外部光源の光軸と垂直になるように、O-DeMux２６の角度を調節する。光出射面２６ｄに対して入射した光は反射部材２６ａに反射されるので、この反射光に基づいて上述のO-DeMux２６の角度の調節が可能である。この調節後、さらに、O-DeMux２６の仕様で定まる角度だけO-DeMux２６を回転する。この角度を維持したままO-DeMux２６を移動してキャリア２５上の所定位置に裁置する。さらに、反射器２７については、後端面２７ｂが外部光源の光軸と垂直となるように角度を調節する。この設定のために反射器２７の後端面２７ｂの少なくとも一部は反射面とされる。この調節の後、反射器２５をキャリア２５上の所定位置に裁置する。キャリア２５上でのO-DeMux２６及び反射器２７のＸＹ位置は、キャリア２５上に設けられたマークにより決める。
最後に紫外線を照射しさらに熱を加えて両部品をキャリア２５に固定することで中間アセンブリが得られる。

上述の中間アセンブリ作製方法は外部光源を用いる方法であったが以下のようなさらに簡便な方法としてもよい。まず、キャリア２５の前端辺２５ａに仮設定された冶具面に、コレットにより吸着されたO-DeMux２６、反射器２７をそれぞれ軽く押し当て、当該冶具面とO-DeMux２６、反射器２７の突き当てられた一面が平行になるように調節する。そして、反射器２７はそのままキャリア２５上の所定位置に、O-DeMux２６は上記仕様で定まる角度だけ回転した後キャリア２５上の所定位置にコレットにより移動し、キャリア２５上に両部品を固定する方法である。

次に、図１の光受信モジュール１０の製造方法を説明する。図６乃至図１０は、光受信モジュール１０の製造方法における各工程を説明する図であり、図６、図８及び図９は断面図、図７は後方斜視図、図１０は上面図である。

（１）ＰＤアレイ２９の実装工程
第１の実装基板３０の中央部分には共晶半田３０ａ（図３参照）が塗布されているが、この塗布部分に図６（Ａ）に示すようにＰＤアレイ２９をダイボンディングする。同様に、第１の実装基板３０のＰＤアレイ２９が実装されていない両端部分に、裏面に金属メッキが施された支持ポスト３３を２個固定する。

（２）第２の実装基板３１の実装工程
図６（Ｂ）に示すように、パッケージ内の予め決められた箇所に第２の実装基板３１を固定する。固定に際しては、共晶合金ペレットを使用する。この第２の実装基板３１は、ＩＣ部品やＰＤアレイを実装するため、フィードスルー基板１３ｂの近傍で且つパッケージの中心と第２の実装基板３１との中心が略一致するように実装される。

（３）第２の実装基板３１上への部品の実装工程
第２の実装基板３１にはＩＣ部品の形状に沿ったパターン３１ａ（図４参照）が形成されており、そのパターン内部に、Ａｇフィラーのエポキシ接着剤などの導電性接着剤を一定量塗布した後、パターン形状に沿って、図６（Ｃ）に示すように第２の実装基板３１上にＩＣ部品３２を載置し、導電性接着剤を熱硬化して固定する。
図示は省略するが、同様に、ダイキャパシタの外形に沿ったパターンが第２の実装基板３１に形成されているので、そのパターン内部に一定量の導電性接着剤を塗布した後、このパターンに沿ってダイキャパシタを載置し、導電性接着剤を熱硬化して固定する。

（４）ＰＤアレイ２９のパッケージへの実装工程
上記（１）の工程で作製した、ＰＤアレイ２９を実装した第１の実装基板３０を図６（Ｄ）に示すように第２の実装基板３１上に載置する。
より詳細には、まず、第２の実装基板３１上の予め決められた箇所すなわち第１の実装基板３０の実装箇所に導電性接着剤を一定量塗布する。次に、専用コレット及び該コレットの駆動装置を用いて、（１）の工程で作製した第１の実装基板３０を吸着する。そして、コレットに吸着された第１の実装基板３０とパッケージの中心とが略一致するような形態で、パッケージ前壁のブッシュ２３の外面である実装基準面（以下、基準面）２３ａに、第１の実装基板３０の後端を軽く突き当て、その基準面２３ａに対して第１の実装基板３０すなわちＰＤアレイ２９が平行になるように調整する。そして、コレットを一旦上方に移動した上で、基準面２３ａより予め決められた量だけ後方に移動した後、コレットごと第１の実装基板３０を第２の実装基板３１に押え付ける。その状態で第１の実装基板３０の裏面の導電性接着剤を熱硬化する。熱硬化終了後、フィードスルー基板１３ｂ上の配線パターンとＩＣ部品３２との間、同配線パターンとダイキャパシタとの間、ＰＤアレイ２９とＩＣ部品３２との間、ＰＤアレイ２９とダイキャパシタとの間などをワイヤボンディングにより電気接続する。

（５）レンズアレイ２８の実装工程
まず、図７に示すように、パッケージフレーム２０等から成るパッケージを専用のステージ４０上に固定する。次に、第１の実装基板上に実装された支持ポスト３３の頂部に紫外線硬化型接着剤を一定量塗布する。そして、レンズアレイ２８を把持する専用のコレット５０を用いてレンズアレイ２８を把持し、当該コレットの駆動装置を用いて、（４）の工程と同様に、レンズアレイ２８の中心とパッケージの中心とが略一致するような形態で、図８（Ａ）に示すように、パッケージの基準面２３ａにレンズアレイ２８を突き当てる。その後、レンズアレイ２８を把持したコレットをＰＤアレイ２９の直上に移動する。ここで、レンズアレイ２８の中心とＰＤアレイ２９の中心とが一致しているか否かを確認する。両者がオフセットしている場合には、パッケージの長軸に垂直方向にのみレンズアレイ２８をスライドし両者の中心を一致させる。上記確認は目視で行う。その上で、コレットを降下し、レンズアレイ２８の底面を支持ポスト３３に押え付けつつ、紫外線を照射してレンズアレイ２８を仮固定し、コレットによるレンズアレイ２８の把持を解消した後、熱硬化を行ってレンズアレイ２８をＰＤアレイ２９の上方で固定する。この工程の特徴は、レンズアレイ２８とＰＤアレイ２９との調芯を全て目視により行っていることである。

（６）支持部材２４のパッケージ内への実装工程
まず、パッケージ内部の支持部材２４が実装される箇所に紫外線硬化型接着剤を塗布する。次に、（５）の工程と同様に、所定のコレット及び当該コレットの駆動装置を用いて、支持部材２４を、該支持部材２４の中心とパッケージの中心とが略一致するような形態で、図８（Ｂ）に示すように、パッケージの基準面２３ａに支持部材２４を突き当て、この基準面２３ａと平行となるように調整する。その後、支持部材２４をパッケージ上の予め決められた箇所に移動し、一定荷重を付与しながらコレットごとパッケージ底壁２１に当て付けた後、紫外線を照射して仮固定を行う。この段階では支持部材２４の上には何も搭載されていない。支持部材２４は上部に開いた断面Ｕ字形状の部品であり、当該工程では単に支持部材２４をパッケージ内に実装したのみである。

（７）中間アセンブリの支持部材２４上への実装工程
まず、（６）の工程で仮固定した支持部材２４の２辺の頂部に紫外線硬化型接着剤を塗布する。次に、（６）の工程と同様に、所定のコレット及び当該コレットの駆動装置を用いて、中間アセンブリＭの調芯を行うことになる。
具体的には、まず初めに、（６）の工程まで行ったパッケージを図９に示すように実装ステージ６０に固定する。実装ステージ６０には、平坦面６０ａが設けられ、また、該平坦面６０ａに対して垂直な衝立面６１ａを有する断面Ｌ字の実装冶具６１が平坦面６０ａ上に設けられている。パッケージはその前端の基準面２３ａが衝立面６１ａに押し付けられて固定される。これにより、衝立面６１ａと基準面２３ａの平行度を維持する。なお、実装冶具６１は、例えば一様の厚みを有するＳＵＳ板を９０°折り曲げることで作製できる。また、実装冶具６１は、後の工程で実装冶具６１ａにパッケージを固定したままでパッケージ外から光学窓１９を介してパッケージ内へ光を入射できるように開口６１ｂが設けられている。

次いで、外部光源７０を衝立面６１ａの前方に準備する。外部光源７０は、例えば受光部を有するオートコリメータであり、また、光受信モジュールが受信する多重化信号光を出射できる。
そして、外部光源７０の光軸がパッケージの基準面２３ａに垂直になるように調整する。具体的には、まず、実装冶具６１の衝立面６１ａの反対側の面６１ｃに沿ってミラー６２を配し衝立面６１ａとミラー６２とが平行になるようにセットする。そして、外部光源７０のレーザ光をこのミラー６２に照射し、外部光源７０の受光部で受光されるミラー６２からの反射光強度が最大になるように外部光源７０の角度を調整する。

この外部光源７０の調整後、キャリア２５のO-DeMux２６及び反射器２７の実装面がパッケージ底壁２１と対向するように中間アセンブリＭの向きを変えてからコレットで把持して、その搭載予定箇所の上部に移動する。外部光源７０からのレーザ光を中間アセンブリＭのO-DeMux２６の入射側面すなわち前端面２６ｅに照射し、より具体的には、O-DeMux２６の反射部材２６ａ（図５参照）の前端面２６ｅに照射し、その前端面２６ｅからの反射光強度を外部光源７０の受光部にて検知する。前端面２６ｅの少なくとも一部は反射面とされる。そして、前端面２６ｅからの反射光強度が最大になるように中間アセンブリＭの角度を調整する。これにより外部光源７０の光軸とO-DeMux２６の前端面２６ｅの角度が垂直になり、図１０（Ａ）に示すように、パッケージの基準面２３ａとO-DeMux２６の前端面２６ｅとが平行となる。その後、図１０（Ｂ）に示すように、ステージ６０の平坦面６０ａ（図９参照）内すなわち図のＸＹ平面内で、中間アセンブリＭを設計値分だけ回転する。これにより、O-DeMux２６を基準面２３ａに対して所定の角度だけ傾けることができる。

ここでは、ステージ６０の平坦面６０ａ（図９参照）内すなわち図のＸＹ平面内の角度と、該ＸＹ平面に対するあおり角φ（図９参照）との２つの角度を調芯する場合を示すが、ＸＹ平面内の角度のみの調芯としてもよい。これは、あおり角φについてはそのトレランスが大きいためである。なお、上述の中間アセンブリＭをＸＹ平面内で設計値分だけ回転する際に、上記あおり角を維持したまま回転させることは可能である。

そして、外部光源７０（図９参照）をその角度を維持したまま設計上の方向及び距離だけ移動し、その光軸をブッシュ２３の中心軸に一致させる。また、角度を調整した中間アセンブリＭを下降し、支持部材２４上に裁置する。次いで、外部光源７０から中間アセンブリのO-DeMux２６に波長多重光を入射し分光させ反射器２７により反射させＰＤアレイ２９に入射させる。そして、ＰＤアレイ２９の各ＰＤの出力信号が最大となるように又は出力信号が所定値を超えるように中間アセンブリＭの図のＸＹ平面内の位置を微調整する。上記微調整終了後、紫外線を照射し、中間アセンブリＭの仮固定を行う。そして、パッケージごと熱を付与し、仮固定状態の接着剤を熱硬化させる。

（８）その他の実装工程
（７）までの実装が終了した後は、周知技術に倣い、パッケージフレーム２０の上面にパッケージ蓋体を載置し、真空下でシーム溶接を行う。そして、ブッシュ２３の前面にレセプタクル部を溶接により取り付けるともに、パッケージの高周波ライン及び電源ラインが形成されている部分にＦＰＣ（フレキシブルプリント回路基板）を取り付けることにより、集積ＲＯＳＡ（Receiving Optical Sub-Assembly）が完成する。

なお、各部品の固定に際し、上述の例以外の接着剤を用いてもよい。

１０…光受信モジュール、１１…レセプタクル部、１２…パッケージ部、１３…端子部、１３ａ…端子、１３ｂ…フィードスルー基板、１４…スリーブ、１５…ジョイントスリーブ、１６…ホルダ、１７…スタブ、１８…レンズ、１９…光学窓、２０…パッケージフレーム、２１…パッケージ底壁、２２…パッケージ蓋体、２３…ブッシュ、２３ａ…実装基準面（基準面）、２４…支持部材、２５…キャリア、２５ａ…前端辺、２６…O-DeMux、２６ａ…反射部材、２６ｂ…波長フィルタ、２６ｃ…透明光学部材、２７…反射器、２７ａ…反射面、２８…レンズアレイ、２８ａ…レンズ、２８ｂ…ガラス基板、２８ｃ…後端辺、２９…ＰＤアレイ、２９ａ…ＰＤ、３０…第１の実装基板、３０ａ…共晶半田、３１…第２の実装基板、３１ａ…パターン、３２…ＩＣ部品、３３…支持ポスト、４０…ステージ、５０…コレット、６０…実装ステージ、６１…実装冶具、６２…反射ミラー、７０…外部光源。

Claims (4)

1. 波長多重光を受信し、該波長多重光を光分波器により波長に基づいて複数の信号光に分波し、該複数の信号光を反射器により反射してレンズアレイを介してＰＤアレイで受光する光受信モジュールの製造方法であって、
   前記光分波器及び前記反射器はキャリア上に搭載されており、前記光分波器、前記キャリア、前記反射器、前記レンズアレイ、前記ＰＤアレイは実装基準面を有するパッケージに搭載されており、
   前記製造方法は、
   前記実装基準面を基準に、前記レンズアレイ及び前記ＰＤアレイを前記パッケージに実装する工程と、
   前記反射器を前記キャリアの一辺に対して平行に、前記光分波器を前記キャリアの前記一辺に対して所定の角度をもって前記キャリアの第１の面に実装する工程と、
   前記実装基準面に対して垂直な光軸を有する外部光源を準備する工程と、
   前記キャリアの第１の面を前記パッケージに実装された前記レンズアレイに対向させた状態で前記光分波器の入射側面を前記外部光源の光軸に対して垂直とした後、該キャリアを所定角度回転する工程と、
   前記反射器で反射した光が前記ＰＤアレイに受光されるように前記キャリアを前記ＰＤアレイに対して調芯する工程と、を含む光受信モジュールの製造方法。
2. 前記レンズアレイ及び前記ＰＤアレイを前記パッケージに実装する工程は、
   前記ＰＤアレイの一辺を前記実装基準面に突き当てた後、前記ＰＤアレイを平行移動して前記パッケージに実装する工程と、
   前記レンズアレイの一辺を前記実装基準面に突き当てた後、前記レンズアレイを平行移動して前記レンズアレイの中心と前記ＰＤアレイの中心を一致させ、前記レンズアレイを前記パッケージに実装する工程とを含む請求項１に記載の光受信モジュールの製造方法。
3. 前記キャリアを前記ＰＤアレイに対して調芯する工程は、
   前記波長多重光を出射する光源を準備する工程と、
   該光源が出力する波長多重光を前記光分波器に入射して前記複数の信号光に分波し、該複数の信号光それぞれを前記反射器で反射して、前記レンズアレイで前記ＰＤアレイ上に集光し、前記ＰＤアレイの出力信号が所定値以上となるように前記キャリアを前記ＰＤアレイに対して調芯する工程、を含む請求項１または２に記載の光受信モジュールの製造方法。
4. 前記外部光源を準備する工程は、
   前記実装基準面に対して平行でかつ該実装基準面に対向する反射面を準備する工程と、
   前記外部光源の出射光を前記反射面で反射させて、前記外部光源の光軸を前記実装基準面に対して垂直にする工程を含む請求項１〜３のいずれか１項に記載の光受信モジュールの製造方法。

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