JP6258803B2 - Live time signal synthesis circuit, live time signal synthesis method, radiation detection apparatus, and sample analyzer - Google Patents
Live time signal synthesis circuit, live time signal synthesis method, radiation detection apparatus, and sample analyzer Download PDFInfo
- Publication number
- JP6258803B2 JP6258803B2 JP2014145259A JP2014145259A JP6258803B2 JP 6258803 B2 JP6258803 B2 JP 6258803B2 JP 2014145259 A JP2014145259 A JP 2014145259A JP 2014145259 A JP2014145259 A JP 2014145259A JP 6258803 B2 JP6258803 B2 JP 6258803B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- live time
- time signal
- signal
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
本発明は、ライブタイム信号合成回路、ライブタイム信号合成方法、放射線検出装置、および試料分析装置に関する。 The present invention relates to a live time signal synthesis circuit, a live time signal synthesis method, a radiation detection apparatus, and a sample analysis apparatus.
Ｘ線検出装置として、エネルギー分散型Ｘ線検出装置（Ｅｎｅｒｇｙ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ−ｒａｙ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＥＤＳ）や、波長分散型Ｘ線検出装置（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ−ｒａｙ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＷＤＳ）が知られている。 As an X-ray detection apparatus, an energy dispersive X-ray detection apparatus (Energy Dispersive X-ray spectroscopy, EDS) and a wavelength dispersive X-ray detection apparatus (Wavelength-Dispersive X-ray spectroscopy, WDS) are known.
エネルギー分散型Ｘ線検出装置は、試料から発生したＸ線を半導体検出器で検出し、電気信号に変えて分光分析する装置である。 The energy dispersive X-ray detection apparatus is an apparatus that detects X-rays generated from a sample with a semiconductor detector and converts them into electric signals for spectroscopic analysis.
例えば、特許文献１に開示されているエネルギー分散型Ｘ線検出装置を備えた蛍光Ｘ線分析装置では、半導体検出器から出力される信号を、プリアンプ（前置増幅器）で増幅した後、波形整形回路で特性Ｘ線のエネルギー値に応じた波高を持つパルスに整形して、マルチチャンネルアナライザへＸ線検出信号として送出する。マルチチャンネルアナライザでは、このＸ線検出信号をその波高に応じて弁別・計算し、波高分布図（エネルギースペクトル、Ｘ線スペクトル）を得る。エネルギースペクトルには、試料中に含まれる元素から放出される特性Ｘ線のエネルギー値に対応する位置に各元素固有のピークが現れる。
For example, in a fluorescent X-ray analyzer equipped with an energy dispersive X-ray detector disclosed in
このようなＸ線検出装置を用いて定量分析を行う際には、Ｘ線のカウントを測定時間で割った単位時間あたりのＸ線強度を用いる。しかし、エネルギー分散型の検出器では、入力されたＸ線信号からＸ線のエネルギー（波高値）を計算する処理を行う時間が必要であり、短時間に複数のＸ線信号が入力されても処理することができない。 When quantitative analysis is performed using such an X-ray detection apparatus, the X-ray intensity per unit time obtained by dividing the X-ray count by the measurement time is used. However, the energy dispersive detector requires time to perform processing for calculating X-ray energy (peak value) from the input X-ray signal, and even if a plurality of X-ray signals are input in a short time. It cannot be processed.
そのため、検出器から出力されたＸ線検出信号は、検出器に入力されたＸ線信号よりも小さくなる。すなわち、検出器で検出されたＸ線の数は、検出器に入力されたＸ線の数よりも少なくなる。したがって、単位時間あたりのＸ線強度（Ｘ線検出信号／測定時間）の値は、本来の値よりも小さくなる。これを回避するために、補正した測定時間（ライブタイム）を用いて定量を行う。 Therefore, the X-ray detection signal output from the detector is smaller than the X-ray signal input to the detector. That is, the number of X-rays detected by the detector is smaller than the number of X-rays input to the detector. Therefore, the value of the X-ray intensity per unit time (X-ray detection signal / measurement time) is smaller than the original value. In order to avoid this, quantification is performed using the corrected measurement time (live time).
例えば、特許文献２には、放射線検出器の信号処理回路として、パイルアップにより生じた無効時間、およびプリアンプにおけるリセット時間によって生じた無効時間を全測定時間から差し引いてライブタイムを計時するライブタイム測定回路が開示されている。
For example, in
特許文献１に示すように、従来、１つのエネルギー分散型Ｘ線検出装置には１つの検出器が搭載されていたが、高感度化を図るために、１つの装置に複数台の検出器を搭載する場合がある。
As shown in
このとき、複数の検出器から出力される信号を、１つにまとめる必要がある。検出器から出力される信号のうちライブタイム信号は、単純な足し合わせや、平均をとることでは合成することができない。 At this time, it is necessary to combine signals output from a plurality of detectors into one. Of the signals output from the detector, the live time signal cannot be synthesized by simple addition or averaging.
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、複数の放射線検出器の各々から出力されるライブタイム信号を合成することができるライブタイム信号合成回路、およびライブタイム信号合成方法を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記ライブタイム信号合成回路を含む放射線検出装置、および当該放射線検出装置を含む試料分析装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and one of the objects according to some aspects of the present invention is to synthesize live time signals output from each of a plurality of radiation detectors. An object of the present invention is to provide a live time signal synthesizing circuit and a live time signal synthesizing method. Another object of some aspects of the present invention is to provide a radiation detection apparatus including the live time signal synthesis circuit and a sample analysis apparatus including the radiation detection apparatus.
（１）本発明に係るライブタイム信号合成回路は、
複数の放射線検出器の各々から出力されたライブタイム信号を合成するライブタイム信号合成回路であって、
複数の前記放射線検出器の各々から出力された各前記放射線検出器への放射線の入力のタイミングを表す放射線入力タイミング信号に基づいて、放射線が入力された前記放射線検出器を特定するための情報を記憶する記憶部と、
各前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号を受け取り、前記放射線検出器を特定するための情報に基づいて前記ライブタイム信号を選択して出力するライブタイム信号選択部と、
を含む。
(1) A live time signal synthesizing circuit according to the present invention includes:
A live time signal synthesis circuit that synthesizes a live time signal output from each of a plurality of radiation detectors,
Information for identifying the radiation detector to which radiation is input is based on a radiation input timing signal that represents the timing of radiation input to each radiation detector output from each of the plurality of radiation detectors. A storage unit for storing;
A live time signal selector that receives the live time signal output from each of the radiation detectors, and selects and outputs the live time signal based on information for specifying the radiation detector;
including.
このようなライブタイム信号合成回路では、後述するように、各放射線検出器のライブタイム信号を合成することができる。 In such a live time signal synthesis circuit, as will be described later, it is possible to synthesize live time signals of the respective radiation detectors.
（２）本発明に係るライブタイム信号合成回路において、
前記記憶部は、複数の前記放射線検出器のうちの第１放射線検出器から出力された第１放射線入力タイミング信号に基づいて前記第１放射線検出器を特定するための第１情報を記憶し、複数の前記放射線検出器のうちの第２放射線検出器から出力された第２放射線入力タイミング信号に基づいて前記第２放射線検出器を特定するための第２情報を記憶し、
前記ライブタイム信号選択部は、前記記憶部から前記第１情報を読み出した場合に前記第１放射線検出器から出力された第１ライブタイム信号を出力し、前記記憶部から前記第２情報を読み出した場合に前記第２放射線検出器から出力された第２ライブタイム信号を出力してもよい。
(2) In the live time signal synthesis circuit according to the present invention,
The storage unit stores first information for identifying the first radiation detector based on a first radiation input timing signal output from a first radiation detector of the plurality of radiation detectors, Storing second information for identifying the second radiation detector based on a second radiation input timing signal output from a second radiation detector of the plurality of radiation detectors;
The live time signal selection unit outputs the first live time signal output from the first radiation detector when the first information is read from the storage unit, and reads the second information from the storage unit. In this case, the second live time signal output from the second radiation detector may be output.
このようなライブタイム信号合成回路では、第１放射線検出器の第１ライブタイム信号と第２放射線検出器の第２ライブタイム信号を合成することができる。 In such a live time signal synthesis circuit, the first live time signal of the first radiation detector and the second live time signal of the second radiation detector can be synthesized.
（３）本発明に係るライブタイム信号合成回路は、
複数の放射線検出器の各々から出力されたライブタイム信号を合成するライブタイム信号合成回路であって、
複数の放射線検出器のうちの１つの前記放射線検出器から出力された放射線のエネルギーを表す放射線出力信号と、他の前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号と、をＡＮＤ演算する演算部と、
前記演算部におけるＡＮＤ演算の結果に基づいて、放射線を検出した前記放射線検出器を特定するための情報を記憶する記憶部と、
各前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号を受け取り、前記放射線検出器を特定するための情報に基づいて前記ライブタイム信号を選択して出力するライブタイ
ム信号選択部と、
を含む。
(3) A live time signal synthesizing circuit according to the present invention includes:
A live time signal synthesis circuit that synthesizes a live time signal output from each of a plurality of radiation detectors,
An arithmetic unit that performs an AND operation on a radiation output signal representing the energy of radiation output from one of the plurality of radiation detectors and the live time signal output from the other radiation detector. When,
A storage unit that stores information for specifying the radiation detector that has detected the radiation based on the result of the AND operation in the arithmetic unit;
A live time signal selector that receives the live time signal output from each of the radiation detectors, and selects and outputs the live time signal based on information for specifying the radiation detector;
including.
このようなライブタイム信号合成回路では、後述するように、各放射線検出器のライブタイム信号を合成することができる。 In such a live time signal synthesis circuit, as will be described later, it is possible to synthesize live time signals of the respective radiation detectors.
（４）本発明に係るライブタイム信号合成回路において、
前記演算部は、
２つの前記放射線検出器のうちの一方の第１放射線検出器から出力された第１放射線出力信号と、２つの前記放射線検出器のうちの他方の第２放射線検出器から出力された第２ライブタイム信号と、をＡＮＤ演算して第１ＡＮＤ信号を出力する第１ゲート部と、
前記第２放射線検出器から出力された第２放射線出力信号と、前記第１放射線検出器から出力された第１ライブタイム信号と、をＡＮＤ演算して第２ＡＮＤ信号を出力する第２ゲート部と、
を有し、
前記記憶部は、前記第１ＡＮＤ信号に基づいて前記第１放射線検出器を特定するための第１情報を記憶し、前記第２ＡＮＤ信号に基づいて前記第２放射線検出器を特定するための第２情報を記憶し、
前記ライブタイム信号選択部は、前記記憶部から前記第１情報を読み出した場合に前記第１放射線検出器の前記第１ライブタイム信号を出力し、前記記憶部から前記第２情報を読み出した場合に前記第２放射線検出器の前記第２ライブタイム信号を出力してもよい。
(4) In the live time signal synthesis circuit according to the present invention,
The computing unit is
A first radiation output signal output from one first radiation detector of the two radiation detectors and a second live output from the other second radiation detector of the two radiation detectors. A first gate unit that performs an AND operation on the time signal and outputs a first AND signal;
A second gate unit that performs an AND operation on the second radiation output signal output from the second radiation detector and the first live time signal output from the first radiation detector and outputs a second AND signal; ,
Have
The storage unit stores first information for specifying the first radiation detector based on the first AND signal, and a second information for specifying the second radiation detector based on the second AND signal. Remember information,
The live time signal selection unit outputs the first live time signal of the first radiation detector when reading the first information from the storage unit, and reads the second information from the storage unit Alternatively, the second live time signal of the second radiation detector may be output.
このようなライブタイム信号合成回路では、第１放射線検出器のライブタイム信号と第２放射線検出器のライブタイム信号を合成することができる。 In such a live time signal synthesis circuit, the live time signal of the first radiation detector and the live time signal of the second radiation detector can be synthesized.
（５）本発明に係るライブタイム信号合成回路において、
前記記憶部は、リングバッファであってもよい。
(5) In the live time signal synthesis circuit according to the present invention,
The storage unit may be a ring buffer.
このようなライブタイム信号合成回路では、一定間隔ごとに、放射線検出器を特定するための情報を記憶することができる。 In such a live time signal synthesis circuit, information for specifying a radiation detector can be stored at regular intervals.
（６）本発明に係るライブタイム信号合成方法は、
複数の放射線検出器の各々から出力されたライブタイム信号を合成するライブタイム信号合成方法であって、
複数の前記放射線検出器の各々から出力された各前記放射線検出器への放射線の入力のタイミングを表す放射線入力タイミング信号に基づいて、放射線が入力された前記放射線検出器を特定するための情報を記憶する工程と、
各前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号を受け取り、前記放射線検出器を特定するための情報に基づいて前記ライブタイム信号を選択して出力する工程と、
を含む。
(6) The live time signal synthesis method according to the present invention includes:
A live time signal synthesis method for synthesizing a live time signal output from each of a plurality of radiation detectors,
Information for identifying the radiation detector to which radiation is input is based on a radiation input timing signal that represents the timing of radiation input to each radiation detector output from each of the plurality of radiation detectors. Memorizing process;
Receiving the live time signal output from each of the radiation detectors, selecting and outputting the live time signal based on information for specifying the radiation detector;
including.
このようなライブタイム信号合成方法では、後述するように、各放射線検出器のライブタイム信号を合成することができる。 In such a live time signal synthesis method, as will be described later, the live time signals of the respective radiation detectors can be synthesized.
（７）本発明に係るライブタイム信号合成方法は、
複数の放射線検出器の各々から出力されたライブタイム信号を合成するライブタイム信号合成方法であって、
複数の放射線検出器のうちの１つの前記放射線検出器から出力された放射線のエネルギーを表す放射線出力信号と、他の前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号と、をＡＮＤ演算する工程と、
前記ＡＮＤ演算の結果に基づいて、放射線を検出した前記放射線検出器を特定するための情報を記憶する工程と、
各前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号を受け取り、前記放射線検出器を特定するための情報に基づいて前記ライブタイム信号を選択して出力する工程と、
を含む。
(7) The live time signal synthesis method according to the present invention includes:
A live time signal synthesis method for synthesizing a live time signal output from each of a plurality of radiation detectors,
ANDing a radiation output signal representing the energy of radiation output from one of the plurality of radiation detectors and the live time signal output from the other radiation detector; ,
Storing information for identifying the radiation detector that has detected radiation based on the result of the AND operation;
Receiving the live time signal output from each of the radiation detectors, selecting and outputting the live time signal based on information for specifying the radiation detector;
including.
このようなライブタイム信号合成方法では、後述するように、各放射線検出器のライブタイム信号を合成することができる。 In such a live time signal synthesis method, as will be described later, the live time signals of the respective radiation detectors can be synthesized.
（８）本発明に係る放射線検出装置は、
本発明に係るライブタイム信号合成回路を含む。
(8) A radiation detection apparatus according to the present invention includes:
A live time signal synthesis circuit according to the present invention is included.
このような放射線検出装置では、本発明に係るライブタイム信号合成回路を含むため、高い定量精度を得ることができるライブタイム信号を出力することができる。 Since such a radiation detection apparatus includes the live time signal synthesis circuit according to the present invention, it is possible to output a live time signal capable of obtaining high quantitative accuracy.
（９）本発明に係る試料分析装置は、
本発明に係る放射線検出装置を含む。
(9) A sample analyzer according to the present invention comprises:
A radiation detection apparatus according to the present invention is included.
このような試料分析装置では、本発明に係る放射線検出装置を含むため、定量分析において、高い定量精度を得ることができる。 Since such a sample analyzer includes the radiation detection apparatus according to the present invention, high quantitative accuracy can be obtained in quantitative analysis.
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments described below do not unduly limit the contents of the present invention described in the claims. In addition, not all of the configurations described below are essential constituent requirements of the present invention.
１． 第１実施形態
１．１． ライブタイム信号合成回路
まず、第１実施形態に係るライブタイム信号合成回路について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係るライブタイム信号合成回路１００を含む放射線検出装置１０００の構成を模式的に示す図である。
1. 1. First embodiment 1.1. Live Time Signal Synthesis Circuit First, the live time signal synthesis circuit according to the first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a
放射線検出装置１０００は、放射線検出器１０Ａ，１０Ｂと、ライブタイム信号合成回路１００と、を含む。
The
放射線検出装置１０００は、例えば、エネルギー分散型Ｘ線検出装置である。放射線検出装置１０００は、２つの放射線検出器（第１放射線検出器１０Ａ、第２放射線検出器１０Ｂ）を備えている。
The
（１）放射線検出器
放射線検出器１０Ａ，１０Ｂは、例えば、Ｘ線を検出する。放射線検出器１０Ａ，１０Ｂは、エネルギー分散型の検出器である。放射線検出器１０Ａ，１０Ｂは、半導体検出素子と、半導体検出素子から出力された信号を処理するための信号処理回路と、を含んで構成されている。半導体検出素子としては、例えば、Ｓｉ（Ｌｉ）検出器、シリコンドリフト検出器（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｄｒｉｆｔ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ：ＳＤＤ）等を用いることができる。
(1) Radiation detector The
第１放射線検出器１０Ａは、第１放射線入力タイミング信号２Ａと、第１ライブタイム信号３Ａと、を出力する。
The
第１放射線入力タイミング信号２Ａは、第１放射線検出器１０ＡへのＸ線の入力（Ｘ線の入射）のタイミングを表す信号である。第１放射線入力タイミング信号２Ａは、例えば、第１放射線検出器１０ＡにＸ線が入力されるごとに立ち上がる信号である。第１放射線入力タイミング信号２Ａの立ち上がりの数は、第１放射線検出器１０Ａに入力されたＸ線の数、すなわち、第１放射線検出器１０Ａの入力カウントに対応している。
The first radiation
第１放射線検出器１０Ａの信号処理回路には、イベント検出回路（図示せず）が設けられており、第１放射線入力タイミング信号２Ａとしてイベント検出回路の出力信号を用いることができる。イベント検出回路は、第１放射線検出器１０ＡにＸ線が入力されるごとに１つのパルスを出力する。イベント検出回路は、第１放射線検出器１０Ａに入力される複数の近接したＸ線のそれぞれについて１つずつのパルスを出力可能とするために高い時間分解能を有している。イベント検出回路は、例えば、パイルアップを検出するために用いられる。
The signal processing circuit of the
第１ライブタイム信号３Ａは、ライブタイムの情報を含む信号である。
The first
ここで、ライブタイムについて説明する。ライブタイムは、放射線検出器においてパイルアップにより生じた無効時間や、プリアンプにおけるリセット時間によって生じた無効時間を、全測定時間から差し引いた時間（全有効時間）である。 Here, the live time will be described. The live time is a time (total effective time) obtained by subtracting, from the total measurement time, the invalid time caused by the pile-up in the radiation detector and the invalid time caused by the reset time in the preamplifier.
ライブタイムは、次式が成り立つように測定時間を補正したものである。 The live time is obtained by correcting the measurement time so that the following equation holds.
ＩＣ／ＭＴ＝ＯＣ／ＬＴ
ＬＴ＝（ＯＣ／ＩＣ）×ＭＴ
ここで、ＩＣは放射線検出器に入力されたＸ線の数（入力カウント）であり、ＯＣは放射線検出器が出力したＸ線パルスの数（出力カウント）であり、ＭＴは全測定時間であり、ＬＴはライブタイムである。
IC / MT = OC / LT
LT = (OC / IC) × MT
Here, IC is the number of X-rays input to the radiation detector (input count), OC is the number of X-ray pulses output by the radiation detector (output count), and MT is the total measurement time. , LT is live time.
ライブタイムＬＴは、上記式に示すように、入力カウントＩＣと出力カウントＯＣとの比ＯＣ／ＩＣとして表される。例えば、放射線検出器に入力されたＸ線信号の数（入力カウント）ＩＣが１００ｃｏｕｎｔｓ、検出器が出力したＸ線パルスの数（出力カウント）ＯＣが７０ｃｏｕｎｔｓ、全測定時間ＭＴが１００秒の場合、ライブタイムＬＴは７０秒となる。 The live time LT is expressed as a ratio OC / IC between the input count IC and the output count OC as shown in the above formula. For example, when the number of X-ray signals input to the radiation detector (input count) IC is 100 counts, the number of X-ray pulses output by the detector (output count) OC is 70 counts, and the total measurement time MT is 100 seconds, The live time LT is 70 seconds.
第１放射線検出器１０Ａは、ライブタイムの補正を、Ｘ線を検出（計測）しながらリアルタイムで行う。第１放射線検出器１０Ａの信号処理回路にはライブタイムを計測するライブタイム測定回路が設けられており、ライブタイム測定回路は第１ライブタイム信号３ＡをＯＮ／ＯＦＦすることでライブタイムを生成している。
The
図２は、第１放射線検出器１０Ａの第１ライブタイム信号３Ａの一例を示す図である。第１ライブタイム信号３ＡのＯＮの時間を積算した時間が第１放射線検出器１０Ａのライブタイムとなる。
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the first
なお、第１放射線検出器１０Ａは、さらに、第１放射線出力信号（後述する図７に示す第１放射線出力信号５Ａ）を出力する。第１放射線出力信号は、第１放射線検出器１０Ａで検出されたＸ線のエネルギーを表す信号である。第１放射線出力信号は、例えば、第１放射線検出器１０Ａで検出されたＸ線のエネルギー値に応じた波高を持つパルス信号である。例えば、第１放射線検出器１０Ａでは、半導体検出素子でＸ線が検出されると、半導体検出素子から出力された信号はプリアンプで増幅され、波形整形回路でＸ線のエネルギーに応じた波高を持つパルスに整形されて第１放射線出力信号として出力される。
The
第２放射線検出器１０Ｂは、第２放射線入力タイミング信号２Ｂと、第２ライブタイム信号３Ｂと、を出力する。第２放射線検出器１０Ｂは、第１放射線検出器１０Ａと同様に構成されている。
The
第２放射線入力タイミング信号２Ｂは、第２放射線検出器１０ＢへのＸ線の入力のタイミングを表す信号である。第２放射線入力タイミング信号２Ｂは、例えば、第２放射線検出器１０ＢにＸ線が入力されるごとに、立ち上がる信号である。第２放射線入力タイミング信号２Ｂの立ち上がりの数は、第２放射線検出器１０Ｂに入力されたＸ線の数、すなわち、第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントに対応している。
The second radiation
第２ライブタイム信号３Ｂは、ライブタイムの情報を含む信号である。第２放射線検出器１０Ｂは、ライブタイムの補正を、Ｘ線を計測しながらリアルタイムで行う。第２ライブタイム信号３ＢのＯＮの時間を積算した時間が第２放射線検出器１０Ｂのライブタイムとなる。
The second
なお、第２放射線検出器１０Ｂは、さらに、第２放射線出力信号（後述する図７に示す第２放射線出力信号５Ｂ）を出力する。第２放射線出力信号は、第２放射線検出器１０Ｂで検出されたＸ線のエネルギーを表す信号である。第２放射線出力信号は、例えば、第２放射線検出器１０Ｂで検出されたＸ線のエネルギー値に応じた波高を持つパルス信号である。
The
（２）ライブタイム信号合成回路
ライブタイム信号合成回路１００は、第１放射線検出器１０Ａから出力された第１ライブタイム信号３Ａと第２放射線検出器１０Ｂから出力された第２ライブタイム信号３Ｂとを合成するための回路である。
(2) Live time signal synthesis circuit The live time
まず、ライブタイム信号合成回路１００の動作原理について説明する。
First, the operation principle of the live time
第１放射線検出器１０Ａと第２放射線検出器１０Ｂの２つの放射線検出器を備えた放射線検出装置１０００において、定量計算に用いるＸ線の強度（定量強度）は、次式のように表される。
In the
定量強度＝（［第１放射線検出器１０Ａの出力カウント］＋［第２放射線検出器１０Ｂの出力カウント］）／［合成されたライブタイム］
また、２つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを備えたシステムのライブタイム（合成されたライブタイム）は次式のように表される。
Quantitative intensity = ([output count of
Further, the live time (synthesized live time) of the system including the two
（ＩＣ＿Ａ＋ＩＣ＿Ｂ）／ＭＴ＝（ＯＣ＿Ａ＋ＯＣ＿Ｂ）／ＬＴ
ＬＴ＝｛（ＯＣ＿Ａ＋ＯＣ＿Ｂ）／（ＩＣ＿Ａ＋ＩＣ＿Ｂ）｝×ＭＴ・・・（１）
なお、ＩＣ＿Ａは第１放射線検出器１０Ａに入力されたＸ線の数（入力カウント）である。また、ＩＣ＿Ｂは第２放射線検出器１０Ｂに入力されたＸ線の数（入力カウント）である。また、ＯＣ＿Ａは第１放射線検出器１０Ａが出力したＸ線パルスの数（出力カウント）である。また、ＯＣ＿Ｂは第２放射線検出器１０Ｂが出力したＸ線パルスの数（出力カウント）である。
(IC_A + IC_B) / MT = (OC_A + OC_B) / LT
LT = {(OC_A + OC_B) / (IC_A + IC_B)} × MT (1)
IC_A is the number of X-rays (input count) input to the
ここで、第１放射線検出器１０Ａの出力カウントＯＣ＿Ａと第２放射線検出器１０Ｂの出力カウントＯＣ＿Ｂは、次式で表される。
Here, the output count OC_A of the
ＯＣ＿Ａ＝（ＬＴ＿Ａ／ＭＴ）×ＩＣ＿Ａ・・・（２）
ＯＣ＿Ｂ＝（ＬＴ＿Ｂ／ＭＴ）×ＩＣ＿Ｂ・・・（３）
なお、ＬＴ＿Ａは第１放射線検出器１０Ａのライブタイムであり、ＬＴ＿Ｂは第２放射線検出器１０Ｂのライブタイムである。
OC_A = (LT_A / MT) × IC_A (2)
OC_B = (LT_B / MT) × IC_B (3)
LT_A is the live time of the
式（２）、（３）を、式（１）に代入する。 Expressions (2) and (3) are substituted into Expression (1).
ＬＴ＝｛ＩＣ＿Ａ／（ＩＣ＿Ａ＋ＩＣ＿Ｂ）｝×ＬＴ＿Ａ＋｛ＩＣ＿Ｂ／（ＩＣ＿Ａ＋ＩＣ＿Ｂ）｝×ＬＴ＿Ｂ・・・（４）
式（４）から、２つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを備えたシステムのライブタイムＬＴは、ライブタイムＬＴ＿ＡとライブタイムＬＴ＿Ｂを、第１放射線検出器１０Ａの入力カウントと第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ）で合成することで得られる。
LT = {IC_A / (IC_A + IC_B)} × LT_A + {IC_B / (IC_A + IC_B)} × LT_B (4)
From the equation (4), the live time LT of the system including the two
この処理をリアルタイムで行う場合には、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３Ｂとをそれぞれの入力カウントの割合（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ）で切り替えて出力すればよい。これにより、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３Ｂとを合成することができる。
When this processing is performed in real time, the first
次に、ライブタイム信号合成回路１００の構成について説明する。ライブタイム信号合成回路１００は、図１に示すように、記憶部１１０と、ライブタイム信号選択部（ライブタイム信号切替部）１２０と、を含む。
Next, the configuration of the live time
記憶部１１０は、各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂから出力された放射線入力タイミング信号２Ａ，２Ｂに基づいて、Ｘ線が入力された放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報を記憶する。
The
記憶部１１０は、第１放射線検出器１０Ａから出力される第１放射線入力タイミング信号２Ａ、および第２放射線検出器１０Ｂから出力される第２放射線入力タイミング信号２
Ｂを受け取る。記憶部１１０は、第１放射線入力タイミング信号２Ａに基づいて、第１放射線検出器１０Ａを特定するための第１情報Ａを記憶する。また、記憶部１１０は、第２放射線入力タイミング信号２Ｂに基づいて、第２放射線検出器１０Ｂを特定するための第２情報Ｂを記憶する。
The
Receive B. The
具体的には、記憶部１１０は、第１放射線検出器１０ＡへのＸ線の入力のタイミングを表す信号（第１放射線入力タイミング信号２Ａの立ち上がり）が入力された場合に第１情報Ａを記憶する。また、記憶部１１０は、第２放射線検出器１０ＢへのＸ線の入力のタイミングを表す信号（第２放射線入力タイミング信号２Ｂの立ち上がり）が入力された場合に、第２情報Ｂを記憶する。記憶部１１０は、放射線検出器１０Ａ，１０ＢへのＸ線の入力のタイミングを表す信号が入力されるごとに（放射線入力タイミング信号２Ａ，２Ｂが立ち上がるごとに）、情報Ａ，Ｂを記憶する。
Specifically, the
記憶部１１０は、有限数のリングバッファである。ここで、リングバッファとは、一時的にデータをためておくバッファ領域のうち、終端と先端が連結され循環的に利用されるようになっているものをいう。
The
記憶部１１０が上述のように各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂから出力された放射線入力タイミング信号２Ａ，２Ｂに基づいて情報Ａ，Ｂを記憶することにより、記憶部１１０には、第１情報Ａと第２情報Ｂとの割合の情報、すなわち、第１放射線検出器１０Ａの入力カウントと第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ）の情報が記憶される。
As the
ライブタイム信号選択部１２０は、各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂから出力されたライブタイム信号３Ａ，３Ｂを受け取り、Ｘ線が入力された放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報Ａ，Ｂに基づいてライブタイム信号３Ａ，３Ｂを選択して（切り替えて）出力する。
The live time
具体的には、ライブタイム信号選択部１２０は、所定の時間間隔で記憶部１１０から情報Ａ，Ｂを読み出す処理を行う。そして、ライブタイム信号選択部１２０は、記憶部１１０から第１情報Ａを読み出した場合、第１ライブタイム信号３Ａを出力する。また、ライブタイム信号選択部１２０は、記憶部１１０から第２情報Ｂを読み出した場合、第２ライブタイム信号３Ｂを出力する。
Specifically, the live time
ここで、記憶部１１０には、上述のように、第１放射線検出器１０Ａの入力カウントと第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ）の情報が記憶されている。したがって、ライブタイム信号選択部１２０は、第１放射線検出器１０Ａの入力カウントと第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ）に応じてライブタイム信号３Ａ，３Ｂを選択して（切り替えて）出力することができる。これにより、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３Ｂとを合成することができる。
Here, as described above, the
ライブタイム信号選択部１２０で合成された第１ライブタイム信号３Ａおよび第２ライブタイム信号３Ｂは、ライブタイム信号合成回路１００のライブタイム信号４として、ＰＣ（パーソナルコンピューター）２０に出力される。
The first
ＰＣ２０は、ライブタイム信号４と、放射線検出器１０Ａ,１０Ｂから出力された放射線出力信号と、を受け取る。ＰＣ２０は、放射線出力信号からエネルギーごとのＸ線のカウントの情報を取得する。また、ＰＣ２０は、ライブタイム信号４からライブタイムの情報を取得する。ＰＣ２０は、例えば、Ｘ線のカウントをライブタイムで割って単位時間あたりのＸ線強度を求め、定量分析を行う。
The
１．２． ライブタイム合成方法
次に、ライブタイム信号合成回路１００におけるライブタイム合成方法について、図面を参照しながら説明する。図３は、ライブタイム信号合成回路１００におけるライブタイム合成方法の一例を示すフローチャートである。図４は、ライブタイム信号合成回路１００の動作を説明するための図である。
1.2. Next, a live time synthesis method in the live time
まず、記憶部１１０は、放射線入力タイミング信号２Ａ，２Ｂに基づいて、Ｘ線が入力された放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報Ａ，Ｂを記憶する（ステップＳ１０）。
First, the
具体的には、記憶部１１０は、図４に示すように、第１放射線入力タイミング信号２Ａが立ち上がると第１情報Ａを記憶し、第２放射線入力タイミング信号２Ｂが立ち上がると第２情報Ｂを記憶する。記憶部１１０は、放射線入力タイミング信号２Ａ，２Ｂが立ち上がった順に情報Ａ，Ｂを記憶する。
Specifically, as shown in FIG. 4, the
図４に示す例では、記憶部１１０には、第１放射線入力タイミング信号２Ａが２回、第２放射線入力タイミング信号２Ｂが２回、第１放射線入力タイミング信号２Ａが２１回、第２放射線入力タイミング信号２Ｂが２回、この順で立ち上がったため、記憶部１１０には、「ＡＡＢＢＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＡＢＢ」が記憶される。記憶部１１０に記憶された第１情報Ａの数と第２情報Ｂの数の比が第１放射線検出器１０Ａの入力カウントと第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ）に対応している。
In the example illustrated in FIG. 4, the
次に、ライブタイム信号選択部１２０は、各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂから出力されたライブタイム信号３Ａ，３Ｂを受け取り、情報Ａ，Ｂに基づいて、ライブタイム信号３Ａ，３Ｂを選択して出力する（ステップＳ１２）。
Next, the live time
具体的には、ライブタイム信号選択部１２０は、所定の時間間隔で記憶部１１０の記憶内容を読み出し、記憶部１１０から第１情報Ａを読み出した場合、図４に示すように、第１ライブタイム信号３Ａを出力する。また、ライブタイム信号選択部１２０は、記憶部１１０から第２情報Ｂを読み出した場合、第２ライブタイム信号３Ｂを出力する。これにより、第１放射線検出器１０Ａの入力カウントと第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ）に応じてライブタイム信号３Ａ，３Ｂが選択されて（切り替えられて）出力される。
Specifically, when the live time
以上の工程により、第１放射線検出器１０Ａの第１ライブタイム信号３Ａと第２放射線検出器１０Ｂの第２ライブタイム信号３Ｂを合成することができる。
Through the above steps, the first
ライブタイム信号合成回路１００は、例えば、以下の特徴を有する。
The live time
ライブタイム信号合成回路１００では、記憶部１１０は放射線検出器１０Ａ，１０Ｂの各々から出力された各放射線検出器１０Ａ，１０ＢへのＸ線の入力のタイミングを表す放射線入力タイミング信号２Ａ，２Ｂに基づいて、Ｘ線が入力された放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報Ａ，Ｂを記憶する。これにより、入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ）の情報を得ることができる。また、ライブタイム信号合成回路１００では、ライブタイム信号選択部１２０は各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂから出力されるライブタイム信号３Ａ，３Ｂを受け取り、放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報Ａ，Ｂに基づいてライブタイム信号３Ａ，３Ｂを選択して出力する。これにより、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３Ｂとがそれぞれの入力カウントの比（ＩＣ＿
Ａ：ＩＣ＿Ｂ）で選択されて出力される。したがって、ライブタイム信号合成回路１００では、ライブタイム信号３Ａ，３Ｂを合成することができる。
In the live time
A: IC_B) is selected and output. Therefore, the live time
また、ライブタイム信号合成回路１００で得られたライブタイムを用いて定量分析を行うことで、複数の検出器のライブタイムを単純に平均して定量分析を行った場合と比べて、高い定量精度を得ることができる。以下にその理由について説明する。
Further, by performing quantitative analysis using the live time obtained by the live time
図５は、２つの放射線検出器のライブタイムを単純に平均したものと、２つの放射線検出器のうちの一方の放射線検出器のライブタイムと他方の放射線検出器のライブタイムをそれぞれの放射線検出器の入力カウントの比で合成したものとをシミュレーションした結果を示すグラフである。 FIG. 5 shows a simple average of the live times of two radiation detectors, and the radiation time of one of the two radiation detectors and the live time of the other radiation detector. It is a graph which shows the result of having simulated with what was synthesize | combined with the ratio of the input count of a device.
なお、シミュレーションの条件は下記表の通りである。装置は蛍光Ｘ線分析装置（ＸＲＦ）を想定した。 The simulation conditions are as shown in the following table. The apparatus was assumed to be an X-ray fluorescence analyzer (XRF).
図５に示すグラフにおいて、縦軸はライブタイムと管電流で正規化したＸ線強度であり、定量に用いる数値である。また、図５に示すグラフにおいて、横軸は入力係数率である。図５に示すグラフでは、ライブタイムの補正量が少ない低計数率のときを基準としている。 In the graph shown in FIG. 5, the vertical axis represents the X-ray intensity normalized by the live time and the tube current, and is a numerical value used for quantification. In the graph shown in FIG. 5, the horizontal axis represents the input coefficient rate. The graph shown in FIG. 5 is based on a low count rate with a small live time correction amount.
図５に示すように、２つの放射線検出器のライブタイムを単純に平均した場合、１６０００ｃｐｓのときに２割も強度が落ちている。この数値は定量値に直接影響するので、単純平均すると入力計数によっては定量値に２割の差が生じる。 As shown in FIG. 5, when the live times of the two radiation detectors are simply averaged, the intensity drops by 20% at 16000 cps. Since this numerical value directly affects the quantitative value, a simple average causes a difference of 20% in the quantitative value depending on the input count.
これに対して、２つの放射線検出器のうちの一方の放射線検出器のライブタイムと他方の放射線検出器のライブタイムをそれぞれの放射線検出器の入力カウントの比で合成したものは、強度が数％の誤差に収まっている。 On the other hand, when the live time of one of the two radiation detectors and the live time of the other radiation detector are combined by the ratio of the input counts of the respective radiation detectors, the intensity is several. It is within the error of%.
このように図５に示す結果から、ライブタイム信号合成回路１００で得られたライブタイムを用いて定量分析を行うことで、複数の放射線検出器のライブタイムを単純に平均して定量分析を行った場合と比べて、高い定量精度を得ることができることがわかる。
As described above, from the results shown in FIG. 5, the quantitative analysis is performed by simply averaging the live times of a plurality of radiation detectors by performing the quantitative analysis using the live time obtained by the live time
ライブタイム信号合成回路１００では、記憶部１１０は、リングバッファである。これにより、一定間隔ごとに、放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報Ａ，Ｂを記憶することができ、入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ）の情報を得ることができる。
In the live time
放射線検出装置１０００は、ライブタイム信号合成回路１００を含むため、高い定量精度を得ることができるライブタイム信号を出力することができる。
Since the
２． 第２実施形態
次に、第２実施形態に係るライブタイム信号合成回路について図面を参照しながら説明
する。図６は、第２実施形態に係るライブタイム信号合成回路２００を含む放射線検出装置２０００の構成を模式的に示す図である。以下、第２実施形態に係る放射線検出装置２０００において、第１実施形態に係る放射線検出装置１０００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2. Second Embodiment Next, a live time signal synthesis circuit according to a second embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is a diagram schematically showing the configuration of the
上述したライブタイム信号合成回路１００は、図１に示すように、２つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂのライブタイム信号３Ａ，３Ｂを合成していた。
The above-described live time
これに対して、ライブタイム信号合成回路２００は、図６に示すように、３つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃのライブタイム信号３Ａ，３Ｂ，３Ｃを合成している。
On the other hand, the live time
（１）放射線検出器
第３放射線検出器１０Ｃは、第１放射線検出器１０Ａ、第２放射線検出器１０Ｂと同様に構成されている。第３放射線検出器１０Ｃは、第３放射線入力タイミング信号２Ｃと、第３ライブタイム信号３Ｃと、を出力する。
(1) Radiation detector The
（２）ライブタイム信号合成回路
まず、ライブタイム信号合成回路２００の動作原理について説明する。
(2) Live Time Signal Synthesis Circuit First, the operation principle of the live time
３つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを備えたシステムのライブタイム（合成されたライブタイム）は次式のように表される。
The live time (synthesized live time) of the system including the three
ＬＴ＝｛ＩＣ＿Ａ／（ＩＣ＿Ａ＋ＩＣ＿Ｂ＋ＩＣ＿Ｃ）｝×ＬＴ＿Ａ
＋｛ＩＣ＿Ｂ／（ＩＣ＿Ａ＋ＩＣ＿Ｂ＋ＩＣ＿Ｃ）｝×ＬＴ＿Ｂ
＋｛ＩＣ＿Ｃ／（ＩＣ＿Ａ＋ＩＣ＿Ｂ＋ＩＣ＿Ｃ）｝×ＬＴ＿Ｃ・・・（５）
なお、ＩＣ＿Ｃは第３放射線検出器１０Ｃに入力されたＸ線の数（入力カウント）である。また、ＬＴ＿Ｃは、第３放射線検出器１０Ｃのライブタイムである。
LT = {IC_A / (IC_A + IC_B + IC_C)} × LT_A
+ {IC_B / (IC_A + IC_B + IC_C)} × LT_B
+ {IC_C / (IC_A + IC_B + IC_C)} × LT_C (5)
IC_C is the number of X-rays (input count) input to the
式（５）から、３つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを備えたシステムのライブタイムＬＴは、ライブタイムＬＴ＿Ａ、ライブタイムＬＴ＿Ｂ、ライブタイムＬＴ＿Ｃを、第１放射線検出器１０Ａの入力カウントと第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントと第３放射線検出器１０Ｃの入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ：ＩＣ＿Ｃ）で合成することで得られる。
From the equation (5), the live time LT of the system including the three
この処理をリアルタイムで行う場合には、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３Ｂと第３ライブタイム信号３Ｃをそれぞれの入力カウントの割合（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ：ＩＣ＿Ｃ）で切り替えて出力すればよい。これにより、第１ライブタイム信号３Ａ、第２ライブタイム信号３Ｂ、第３ライブタイム信号３Ｃを合成することができる。
When this processing is performed in real time, the first
次に、ライブタイム信号合成回路２００の構成について説明する。ライブタイム信号合成回路２００は、図６に示すように、記憶部１１０と、ライブタイム信号選択部１２０と、を含む。
Next, the configuration of the live time
記憶部１１０は、各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから出力された放射線入力タイミング信号２Ａ，２Ｂ，２Ｃに基づいて、Ｘ線が入力された放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを特定するための情報を記憶する。
The
記憶部１１０は、第１放射線検出器１０Ａから出力される第１放射線入力タイミング信号２Ａ、第２放射線検出器１０Ｂから出力される第２放射線入力タイミング信号２Ｂ、第３放射線検出器１０Ｃから出力される第３放射線入力タイミング信号２Ｃを受け取る。記
憶部１１０は、第１放射線入力タイミング信号２Ａに基づいて、第１情報Ａを記憶する。また、記憶部１１０は、第２放射線入力タイミング信号２Ｂに基づいて、第２情報Ｂを記憶する。また、記憶部１１０は、第３放射線入力タイミング信号２Ｃに基づいて、第３放射線検出器１０Ｃを特定するための第３情報Ｃを記憶する。
The
具体的には、記憶部１１０は、第１放射線検出器１０ＡへのＸ線の入力のタイミングを表す信号（第１放射線入力タイミング信号２Ａの立ち上がり）が入力された場合に第１情報Ａを記憶する。また、記憶部１１０は、第２放射線検出器１０ＢへのＸ線の入力のタイミングを表す信号（第２放射線入力タイミング信号２Ｂの立ち上がり）が入力された場合に第２情報Ｂを記憶する。また、記憶部１１０は、第３放射線検出器１０ＣへのＸ線の入力のタイミングを表す信号（第３放射線入力タイミング信号２Ｃの立ち上がり）が入力された場合に第３情報Ｃを記憶する。
Specifically, the
記憶部１１０が上述のように各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから出力される放射線入力タイミング信号２Ａ，２Ｂ，２Ｃに基づいて情報Ａ，Ｂ，Ｃを記憶することにより、記憶部１１０には、第１情報Ａと第２情報Ｂと第３情報Ｃの割合の情報、すなわち、第１放射線検出器１０Ａの入力カウント、第２放射線検出器１０Ｂの入力カウント、第３放射線検出器１０Ｃの入力カウントの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ：ＩＣ＿Ｃ）の情報が記憶される。
The
ライブタイム信号選択部１２０は、各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから出力されたライブタイム信号３Ａ，３Ｂ，３Ｃを受け取り、Ｘ線が入力された放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを特定するための情報Ａ，Ｂ，Ｃに基づいてライブタイム信号３Ａ，３Ｂ，３Ｃを選択して（切り替えて）出力する。
The live time
具体的には、ライブタイム信号選択部１２０は、所定の時間間隔で記憶部１１０の記憶内容を読み出し、記憶部１１０から第１情報Ａを読み出した場合、第１ライブタイム信号３Ａを出力する。また、ライブタイム信号選択部１２０は、記憶部１１０から第２情報Ｂを読み出した場合、第２ライブタイム信号３Ｂを出力する。また、ライブタイム信号選択部１２０は、記憶部１１０から第３情報Ｃを読み出した場合、第３ライブタイム信号３Ｃを出力する。
Specifically, the live time
ここで、記憶部１１０には、上述のように、第１放射線検出器１０Ａの入力カウントと第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントと第３放射線検出器１０Ｃの入力カウントとの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ：ＩＣ＿Ｃ）の情報が記憶されている。したがって、ライブタイム信号選択部１２０は、第１放射線検出器１０Ａの入力カウントと第２放射線検出器１０Ｂの入力カウントと第３放射線検出器１０Ｃの入力カウントとの比（ＩＣ＿Ａ：ＩＣ＿Ｂ：ＩＣ＿Ｃ）に応じてライブタイム信号３Ａ，３Ｂ，３Ｃを選択して（切り替えて）出力することができる。これにより、第１ライブタイム信号３Ａ、第２ライブタイム信号３Ｂ、第３ライブタイム信号３Ｃを合成することができる。
Here, as described above, the
なお、第１実施形態ではライブタイム信号合成回路１００が２つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂのライブタイム信号３Ａ，３Ｂを合成する例について説明し、第２実施形態ではライブタイム信号合成回路２００が３つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃのライブタイム信号３Ａ，３Ｂ，３Ｃを合成する例について説明したが、本発明に係るライブタイム信号合成回路では、同様の手法で、４つ以上の放射線検出器のライブタイム信号を合成することができる。
In the first embodiment, an example in which the live time
３． 第３実施形態
３．１． ライブタイム信号合成回路
次に、第３実施形態に係るライブタイム信号合成回路について図面を参照しながら説明する。図７は、第３実施形態に係るライブタイム信号合成回路３００を含む放射線検出装置３０００の構成を模式的に示す図である。以下、第３実施形態に係る放射線検出装置３０００において、第１実施形態に係る放射線検出装置１０００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
3. Third Embodiment 3.1. Live Time Signal Synthesis Circuit Next, a live time signal synthesis circuit according to the third embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a diagram schematically showing the configuration of the
上述したライブタイム信号合成回路１００では、放射線検出器１０Ａ，１０Ｂが出力する放射線入力タイミング信号２Ａ，２Ｂを用いて、ライブタイム信号３Ａ，３Ｂを合成していた。
In the live time
これに対して、ライブタイム信号合成回路２００では、放射線検出器１０Ａ，１０Ｂが出力する放射線出力信号５Ａ，５Ｂを用いて、ライブタイム信号３Ａ，３Ｂを合成する。
In contrast, the live time
（１）放射線検出器
第１放射線検出器１０Ａは、第１放射線出力信号５Ａと、第１ライブタイム信号３Ａと、を出力する。第２放射線検出器１０Ｂは、第２放射線出力信号５Ｂと、第２ライブタイム信号３Ｂと、を出力する。
(1) Radiation detector The
（２）ライブタイム信号合成回路
まず、ライブタイム信号合成回路３００の動作原理について説明する。
(2) Live Time Signal Synthesis Circuit First, the operation principle of the live time
２つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを備えたシステムのライブタイムＬＴを表す式（４）を、入力カウントＩＣ＿Ａ，ＩＣ＿Ｂの代わりに第１放射線検出器１０Ａの出力カウントＯＣ＿Ａと第２放射線検出器１０Ｂの出力カウントＯＣ＿Ｂで表すと次式（６）のようになる。
Equation (4) representing the live time LT of the system including the two
ＬＴ＝｛（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ）／（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ＋ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）｝・ＬＴ＿Ａ＋｛（ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）／（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ＋ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）｝・ＬＴ＿Ｂ・・・（６）
式（６）から、２つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを備えたシステムのライブタイムＬＴは、ライブタイムＬＴ＿ＡとライブタイムＬＴ＿Ｂを、第２放射線検出器１０ＢのライブタイムＬＴ＿Ｂと第１放射線検出器１０Ａの出力カウントＯＣ＿Ａの積（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ）と、第１放射線検出器１０ＡのライブタイムＬＴ＿Ａと第２放射線検出器１０Ｂの出力カウントＯＣ＿Ｂの積（ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）と、の比（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ：ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）で合成することで得られる。
LT = {(LT_B · OC_A) / (LT_B · OC_A + LT_A · OC_B)} · LT_A + {(LT_A · OC_B) / (LT_B · OC_A + LT_A · OC_B)} · LT_B (6)
From the equation (6), the live time LT of the system including the two
この処理をリアルタイムで行う場合には、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３Ｂとを、それぞれ（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ：ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）の比で切り替えて出力すればよい。これにより、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３Ｂとを合成することができる。
When this processing is performed in real time, the first
なお、第２放射線検出器１０ＢのライブタイムＬＴ＿Ｂと第１放射線検出器１０Ａの出力カウントＯＣ＿Ａの積（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ）のカウントは、第２ライブタイム信号３Ｂと第１放射線出力信号５ＡのＡＮＤの信号をカウントすることで得ることができる。同様に、第１放射線検出器１０ＡのライブタイムＬＴ＿Ａと第２放射線検出器１０Ｂの出力カウントＯＣ＿Ｂの積（ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）のカウントは、第１ライブタイム信号３Ａと第２放射線出力信号５ＢのＡＮＤの信号をカウントすることで得ることができる。
The product of the live time LT_B of the
次に、ライブタイム信号合成回路３００の構成について説明する。ライブタイム信号合成回路３００は、図７に示すように、記憶部１１０と、ライブタイム信号選択部１２０と
、演算部３１０と、を含む。
Next, the configuration of the live time
演算部３１０は、複数の放射線検出器１０Ａ，１０Ｂのうちの１つの放射線検出器から出力された放射線出力信号と、他の放射線検出器から出力されたライブタイム信号と、をＡＮＤ演算する。演算部３１０は、第１ゲート部３１０Ａと、第２ゲート部３１０Ｂと、を有している。
The
第１ゲート部３１０Ａは、第１放射線出力信号５Ａと第２ライブタイム信号３Ｂとを受け取る。そして、第１ゲート部３１０Ａは、第１放射線出力信号５Ａと第２ライブタイム信号３ＢとをＡＮＤ演算する。
The
第１ゲート部３１０Ａは、第１放射線検出器１０Ａで検出されたＸ線のエネルギーを表す信号（第１放射線出力信号５Ａのパルス）が入力され、かつ、第２ライブタイム信号３ＢがＯＮの場合に、第１放射線出力信号５Ａと第２ライブタイム信号３ＢとがＡＮＤであることを示す信号（パルス）を出力する。例えば、第１ゲート部３１０Ａは、第２ライブタイム信号３Ｂでゲートがコントロールされ、第２ライブタイム信号３ＢがＯＮのときに第１放射線出力信号５Ａが出力される回路である。第１ゲート部３１０Ａの出力信号（第１ＡＮＤ信号６Ａ）は、記憶部１１０に出力される。
The
第２ゲート部３１０Ｂは、第２放射線出力信号５Ｂと第１ライブタイム信号３Ａとを受け取る。そして、第２ゲート部３１０Ｂは、第２放射線出力信号５Ｂと第１ライブタイム信号３ＡとをＡＮＤ演算する。第２ゲート部３１０Ｂは、第２放射線検出器１０Ｂで検出されたＸ線のエネルギーを表す信号（第２放射線出力信号５Ｂのパルス）が入力され、かつ、第１ライブタイム信号３ＡがＯＮの場合に、第２放射線出力信号５Ｂと第１ライブタイム信号３ＡとがＡＮＤであることを示す信号（パルス）を出力する。例えば、第２ゲート部３１０Ｂは、第１ライブタイム信号３Ａでゲートがコントロールされ、第１ライブタイム信号３ＡがＯＮのときに第２放射線出力信号５Ｂが出力される回路である。第２ゲート部３１０Ｂの出力信号（第２ＡＮＤ信号６Ｂ）は、記憶部１１０に出力される。
The
記憶部１１０は、ゲート部３１０Ａ，３１０Ｂでの演算結果に基づいて、Ｘ線を検出した放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報Ａ，Ｂを記憶する。
The
記憶部１１０は、第１ＡＮＤ信号６Ａおよび第２ＡＮＤ信号６Ｂを受け取る。記憶部１１０は、第１ＡＮＤ信号６Ａに基づいて、第１放射線検出器１０Ａを特定するための第１情報Ａを記憶する。また、記憶部１１０は、第２ＡＮＤ信号６Ｂに基づいて、第２放射線検出器１０Ｂを特定するための第２情報Ｂを記録する。
The
具体的には、記憶部１１０は、第１放射線出力信号５Ａと第２ライブタイム信号３ＢとがＡＮＤであることを示す信号（第１ＡＮＤ信号６Ａのパルス）が入力された場合に、第１情報Ａを記憶する。また、記憶部１１０は、第２放射線出力信号５Ｂと第１ライブタイム信号３ＡとがＡＮＤであることを示す信号（第２ＡＮＤ信号６Ｂのパルス）が入力された場合に、第２情報Ｂを記憶する。
Specifically, the
記憶部１１０が上述のようにゲート部３１０Ａ，３１０Ｂでの演算結果に基づいて、情報Ａ，Ｂを記憶することにより、記憶部１１０には、第２放射線検出器１０Ｂのライブタイムと第１放射線検出器１０Ａの出力カウントの積と、第１放射線検出器１０Ａのライブタイムと第２放射線検出器１０Ｂの出力カウントの積の比（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ：ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）の情報が記憶される。
The
ライブタイム信号選択部１２０は、各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂから出力されたライ
ブタイム信号３Ａ，３Ｂを受け取り、Ｘ線が検出された放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報Ａ，Ｂに基づいてライブタイム信号３Ａ，３Ｂを選択して（切り替えて）出力する。
The live time
記憶部１１０には、上述のように、比（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ：ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）の情報が記憶されている。したがって、ライブタイム信号選択部１２０は、比（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ：ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）に応じてライブタイム信号３Ａ，３Ｂを選択して出力することができる。これにより、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３Ｂを合成することができる。
As described above, information on the ratio (LT_B · OC_A: LT_A · OC_B) is stored in the
３．２． ライブタイム合成方法
次に、ライブタイム信号合成回路３００におけるライブタイム合成方法について、図面を参照しながら説明する。図８は、ライブタイム信号合成回路３００におけるライブタイム合成方法の一例を示すフローチャートである。図９は、ライブタイム信号合成回路３００の動作を説明するための図である。
3.2. Live Time Synthesis Method Next, a live time synthesis method in the live time
まず、第１ゲート部３１０Ａは、第１放射線出力信号５Ａと第２ライブタイム信号３Ｂとを受け取り、第１放射線出力信号５Ａと第２ライブタイム信号３ＢとをＡＮＤ演算する。また、第２ゲート部３１０Ｂは、第２放射線出力信号５Ｂと第１ライブタイム信号３Ａとを受け取り、第２放射線出力信号５Ｂと第１ライブタイム信号３ＡとをＡＮＤ演算する（ステップＳ２０）。
First, the
第１ゲート部３１０Ａは、図９に示すように、第１放射線出力信号５Ａのパルスが入力され、かつ、第２ライブタイム信号３ＢがＯＮの場合に、第１放射線出力信号５Ａと第２ライブタイム信号３ＢとがＡＮＤであることを示すパルスを出力する。同様に、第２ゲート部３１０Ｂは、第２放射線出力信号５Ｂのパルスが入力され、かつ、第１ライブタイム信号３ＡがＯＮの場合に、第２放射線出力信号５Ｂと第１ライブタイム信号３ＡとがＡＮＤであることを示すパルスを出力する。
As shown in FIG. 9, the
次に、記憶部１１０は、ＡＮＤ信号６Ａ，６Ｂを受け取り、第１ＡＮＤ信号６Ａに基づいて第１放射線検出器１０Ａを特定するための第１情報Ａを記憶し、第２ＡＮＤ信号６Ｂに基づいて第２放射線検出器１０Ｂを特定するための第２情報Ｂを記録する（ステップＳ２２）。
Next, the
記憶部１１０は、図９に示すように、第１放射線出力信号５Ａと第２ライブタイム信号３ＢとがＡＮＤであることを示す第１ＡＮＤ信号６Ａのパルスが入力された場合に、第１情報Ａを記憶する。同様に、記憶部１１０は、第２放射線出力信号５Ｂと第１ライブタイム信号３ＡとがＡＮＤであることを示す第２ＡＮＤ信号６Ｂのパルスが入力された場合に、第２情報Ｂを記憶する。
As shown in FIG. 9, when the
次に、ライブタイム信号選択部１２０は、各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂから出力されたライブタイム信号３Ａ，３Ｂを受け取り、情報Ａ，Ｂに基づいて、ライブタイム信号３Ａ，３Ｂを選択して出力する（ステップＳ２４）。これにより、第２放射線検出器１０Ｂのライブタイムと第１放射線検出器１０Ａの出力カウントの積と、第１放射線検出器１０Ａのライブタイムと第２放射線検出器１０Ｂの出力カウントの積の比（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ：ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）に応じてライブタイム信号３Ａ，３Ｂが切り替えられて（選択されて）出力される。
Next, the live time
以上の工程により、第１放射線検出器１０Ａの第１ライブタイム信号３Ａと第２放射線検出器１０Ｂの第２ライブタイム信号３Ｂを合成することができる。
Through the above steps, the first
ライブタイム信号合成回路３００は、例えば、以下の特徴を有する。
The live time
ライブタイム信号合成回路３００では、演算部３１０は複数の放射線検出器１０Ａ，１０Ｂのうちの１つの放射線検出器１０Ａ（１０Ｂ）から出力された放射線出力信号５Ａ（５Ｂ）と、他の放射線検出器１０Ｂ（１０Ａ）から出力されたライブタイム信号３Ｂ（３Ａ）と、をＡＮＤ演算し、記憶部１１０はＡＮＤ演算の結果に基づいて放射線を検出した放射線検出器１０Ａ，１０Ｂの情報Ａ，Ｂを記憶する。これにより、第２放射線検出器１０Ｂのライブタイムと第１放射線検出器１０Ａの出力カウントの積と、第１放射線検出器１０Ａのライブタイムと第２放射線検出器１０Ｂの出力カウントの積の比（ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ：ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂ）の情報を得ることができる。
In the live time
また、ライブタイム信号合成回路３００では、ライブタイム信号選択部１２０は、各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂから出力されたライブタイム信号３Ａ，３Ｂを受け取り、放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報Ａ，Ｂに基づいてライブタイム信号３Ａ，３Ｂを選択して出力する。これにより、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３ＢとがＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ａ：ＬＴ＿Ａ・ＯＣ＿Ｂの比で選択されて出力される。したがって、ライブタイム信号合成回路３００では、ライブタイム信号３Ａ，３Ｂを合成することができる。
In the live time
さらに、ライブタイム信号合成回路３００では、ライブタイム信号合成回路１００と同様に、ライブタイム信号合成回路３００で得られたライブタイムを用いて定量分析を行うことで、複数の検出器のライブタイムを単純に平均して定量分析を行った場合と比べて、高い定量精度を得ることができる。
Furthermore, in the live time
４． 第４実施形態
次に、第４実施形態に係るライブタイム信号合成回路について図面を参照しながら説明する。図１０は、第４実施形態に係るライブタイム信号合成回路４００を含む放射線検出装置４０００の構成を模式的に示す図である。以下、第４実施形態に係る放射線検出装置４０００において、第２実施形態に係る放射線検出装置２０００および第３実施形態に係る放射線検出装置３０００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
4). Fourth Embodiment Next, a live time signal synthesis circuit according to a fourth embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a diagram schematically showing the configuration of the
上述したライブタイム信号合成回路３００は、図７に示すように、２つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂのライブタイム信号３Ａ，３Ｂを合成していた。
The live time
これに対して、ライブタイム信号合成回路４００は、図１０に示すように、３つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃのライブタイム信号３Ａ，３Ｂ，３Ｃを合成している。
On the other hand, the live time
（１）放射線検出器
第３放射線検出器１０Ｃは、第３放射線出力信号５Ｃと、第３ライブタイム信号３Ｃと、を出力する。
(1) Radiation detector The
（２）ライブタイム信号合成回路
まず、ライブタイム信号合成回路４００の動作原理について説明する。
(2) Live Time Signal Synthesis Circuit First, the operation principle of the live time
３つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを備えたシステムのライブタイム（合成されたライブタイム）は次式のように表される。
The live time (synthesized live time) of the system including the three
ＬＴ＝
＋｛（ＬＴ＿Ｂ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ａ）／（ＬＴ＿Ｂ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ａ＋ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ｂ＋ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ｃ）｝・ＬＴ＿Ａ
＋｛（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ｂ）／（ＬＴ＿Ｂ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ａ＋ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ｂ＋ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ｃ）｝・ＬＴ＿Ｂ
＋｛（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ｃ）／（ＬＴ＿Ｂ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ａ＋ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ｂ＋ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ｃ）｝・ＬＴ＿Ｃ
なお、ＯＣ＿Ｃは第３放射線検出器１０Ｃが出力したＸ線パルスの数（出力カウント）である。
LT =
+ {(LT_B · LT_C · OC_A) / (LT_B · LT_C · OC_A + LT_A · LT_C · OC_B + LT_A · LT_B · OC_C)} · LT_A
+ {(LT_A · LT_C · OC_B) / (LT_B · LT_C · OC_A + LT_A · LT_C · OC_B + LT_A · LT_B · OC_C)} · LT_B
+ {(LT_A · LT_B · OC_C) / (LT_B · LT_C · OC_A + LT_A · LT_C · OC_B + LT_A · LT_B · OC_C)} · LT_C
OC_C is the number of X-ray pulses (output count) output from the
上記式から、３つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを備えたシステムのライブタイムＬＴは、第１放射線検出器１０ＡのライブタイムＬＴ＿Ａ、第２放射線検出器１０ＢのライブタイムＬＴ＿Ｂ、第３放射線検出器１０ＣのライブタイムＬＴ＿Ｃを、（ＬＴ＿Ｂ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ａ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ｂ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ｃ）の割合で合成することで得られる。
From the above formula, the live time LT of the system including the three
この処理をリアルタイムで行う場合には、第１ライブタイム信号３Ａ、第２ライブタイム信号３Ｂ、第３ライブタイム信号３Ｃをそれぞれ（ＬＴ＿Ｂ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ａ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ｂ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ｃ）の割合で切り替えて出力すればよい。これにより、第１ライブタイム信号３Ａ、第２ライブタイム信号３Ｂ、第３ライブタイム信号３Ｃを合成することができる。
When this processing is performed in real time, the first
次に、ライブタイム信号合成回路４００の構成について説明する。ライブタイム信号合成回路３００は、図１０に示すように、記憶部１１０と、ライブタイム信号選択部１２０と、演算部３１０と、を含む。
Next, the configuration of the live time
演算部３１０は、ゲート部３１０Ａ，３１０Ｂ，３１０Ｃと、ＡＮＤ回路４１０Ａ，４１０Ｂ，４１０Ｃと、を有している。
The
第１ＡＮＤ回路４１０Ａは、第２ライブタイム信号３Ｂと第３ライブタイム信号３Ｃとを受け取る。第１ＡＮＤ回路４１０Ａは、第２ライブタイム信号３Ｂと第３ライブタイム信号３ＣとをＡＮＤ演算する。具体的には、第１ＡＮＤ回路４１０Ａは、第２ライブタイム信号３Ｂと第３ライブタイム信号３ＣがどちらもＯＮのときに、ＯＮを出力する。第１ＡＮＤ回路４１０Ａの出力信号７Ａは、第１ゲート部３１０Ａに出力される。
The first AND
第２ＡＮＤ回路４１０Ｂは、第１ライブタイム信号３Ａと第３ライブタイム信号３Ｃとを受け取る。第２ＡＮＤ回路４１０Ｂは、第１ライブタイム信号３Ａと第３ライブタイム信号３ＣとをＡＮＤ演算する。具体的には、第２ＡＮＤ回路４１０Ｂは、第１ライブタイム信号３Ａと第３ライブタイム信号３ＣがどちらもＯＮのときに、ＯＮを出力する。第２ＡＮＤ回路４１０Ｂの出力信号７Ｂは、第２ゲート部３１０Ｂに出力される。
The second AND
第３ＡＮＤ回路４１０Ｃは、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３Ｂとを受け取る。第３ＡＮＤ回路４１０Ｃは、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３ＢとをＡＮＤ演算する。具体的には、第３ＡＮＤ回路４１０Ｃは、第１ライブタイム信号３Ａと第２ライブタイム信号３ＢがどちらもＯＮのときに、ＯＮを出力する。第３ＡＮＤ回路４１０Ｃの出力信号７Ｃは、第３ゲート部３１０Ｃに出力される。
The third AND
第１ゲート部３１０Ａは、第１放射線出力信号５Ａと、第１ＡＮＤ回路４１０Ａの出力信号７Ａと、を受け取る。そして、第１ゲート部３１０Ａは、第１放射線出力信号５Ａと出力信号７ＡとをＡＮＤ演算する。第１ゲート部３１０Ａは、第１放射線出力信号５Ａと出力信号７ＡがともにＯＮのときに、第１放射線出力信号５Ａと第１放射線検出器１０Ａ
以外の放射線検出器１０Ｂ，１０Ｃのライブタイム信号３Ｂ，３ＣとがＡＮＤであることを示す信号（パルス）を出力する。例えば、第１ゲート部３１０Ａは、第１ＡＮＤ回路４１０Ａの出力信号７Ａでゲートがコントロールされ、出力信号７ＡがＯＮのときに第１放射線出力信号５Ａが第１ＡＮＤ信号６Ａとして出力される回路であってもよい。第１ＡＮＤ信号６Ａは、記憶部１１０に出力される。
The
Signals (pulses) indicating that the
第２ゲート部３１０Ｂは、第２放射線出力信号５Ｂと、第２ＡＮＤ回路４１０Ｂの出力信号７Ｂと、を受け取る。そして、第２ゲート部３１０Ｂは、第２放射線出力信号５Ｂと出力信号７ＢとをＡＮＤ演算する。第２ゲート部３１０Ｂは、第２放射線出力信号５Ｂと出力信号７ＢがともにＯＮのときに、第２放射線出力信号５Ｂと第２放射線検出器１０Ｂ以外の放射線検出器１０Ａ，１０Ｃのライブタイム信号３Ａ，３ＣとがＡＮＤであることを示す信号（パルス）を出力する。例えば、第２ゲート部３１０Ｂは、第２ＡＮＤ回路４１０Ｂの出力信号７Ｂでゲートがコントロールされ、出力信号７ＢがＯＮのときに第２放射線出力信号５Ｂが第２ＡＮＤ信号６Ｂとして出力される回路であってもよい。第２ＡＮＤ信号６Ｂは、記憶部１１０に出力される。
The
第３ゲート部３１０Ｃは、第３放射線出力信号５Ｃと、第３ＡＮＤ回路４１０Ｃの出力信号７Ｃと、を受け取る。そして、第３ゲート部３１０Ｃは、第３放射線出力信号５Ｃと出力信号７ＣとをＡＮＤ演算する。第３ゲート部３１０Ｃは、第３放射線出力信号５Ｃと出力信号７ＣがともにＯＮのときに、第３放射線出力信号５Ｃと第３放射線検出器１０Ｃ以外の放射線検出器１０Ａ，１０Ｂのライブタイム信号３Ａ，３ＢとがＡＮＤであることを示す信号（パルス）を出力する。例えば、第３ゲート部３１０Ｃは、第３ＡＮＤ回路４１０Ｃの出力信号７Ｃでゲートがコントロールされ、出力信号７ＣがＯＮのときに第３放射線出力信号５Ｃが第３ＡＮＤ信号６Ｃとして出力される回路であってもよい。第３ＡＮＤ信号６Ｃは、記憶部１１０に出力される。
The
記憶部１１０は、ゲート部３１０Ａ，３１０Ｂ，３１０Ｃでの演算結果に基づいて、Ｘ線を検出した放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを特定するための情報Ａ，Ｂ，Ｃを記憶する。
The
記憶部１１０は、第１ＡＮＤ信号６Ａ、第２ＡＮＤ信号６Ｂ、第３ＡＮＤ信号６Ｃを受け取る。記憶部１１０は、第１ＡＮＤ信号６Ａに基づいて、第１放射線検出器１０Ａを特定するための第１情報Ａを記憶する。また、記憶部１１０は、第２ＡＮＤ信号６Ｂに基づいて、第２放射線検出器１０Ｂを特定するための第２情報Ｂを記録する。また、記憶部１１０は、第３ＡＮＤ信号６Ｃに基づいて、第２放射線検出器１０Ｂを特定するための第３情報Ｃを記録する。
The
具体的には、記憶部１１０は、第１放射線出力信号５Ａとライブタイム信号３Ｂ，３ＣとがＡＮＤであることを示す第１ＡＮＤ信号６Ａのパルスが入力された場合に、第１情報Ａを記憶する。また、記憶部１１０は、第２放射線出力信号５Ｂとライブタイム信号３Ａ，３ＣとがＡＮＤであることを示す第２ＡＮＤ信号６Ｂのパルスが入力された場合に、第２情報Ｂを記憶する。また、記憶部１１０は、第３放射線出力信号５Ｃとライブタイム信号３Ａ，３ＢとがＡＮＤであることを示す第３ＡＮＤ信号６Ｃのパルスが入力された場合に、第３情報Ｃを記憶する。
Specifically, the
記憶部１１０が上述のようにゲート部３１０Ａ，３１０Ｂ，３１０Ｃでの演算結果に基づいて、情報Ａ，Ｂ，Ｃを記憶することにより、記憶部１１０には、比（ＬＴ＿Ｂ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ａ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ｂ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ｃ）の情報が記憶される。
As the
ライブタイム信号選択部１２０は、各放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから出力されたライブタイム信号３Ａ，３Ｂを受け取り、Ｘ線が検出された放射線検出器１０Ａ，１０Ｂを特定するための情報Ａ，Ｂ，Ｃに基づいてライブタイム信号３Ａ，３Ｂ，３Ｃを選択して（切り替えて）出力する。
The live time
記憶部１１０には、上述のように、比（ＬＴ＿Ｂ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ａ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ｂ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ｃ）の情報が記憶されている。したがって、ライブタイム信号選択部１２０は、比（ＬＴ＿Ｂ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ａ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｃ・ＯＣ＿Ｂ）：（ＬＴ＿Ａ・ＬＴ＿Ｂ・ＯＣ＿Ｃ）に応じてライブタイム信号３Ａ，３Ｂ，３Ｃを選択して出力することができる。これにより、第１ライブタイム信号３Ａ、第２ライブタイム信号３Ｂ、第３ライブタイム信号３Ｃを合成することができる。
As described above, information on the ratio (LT_B · LT_C · OC_A) :( LT_A · LT_C · OC_B) :( LT_A · LT_B · OC_C) is stored in the
なお、第３実施形態ではライブタイム信号合成回路３００が２つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂのライブタイム信号３Ａ，３Ｂを合成する例について説明し、第４実施形態ではライブタイム信号合成回路４００が３つの放射線検出器１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃのライブタイム信号３Ａ，３Ｂ，３Ｃを合成する例について説明したが、本発明に係るライブタイム信号合成回路では、同様の手法で、４つ以上の放射線検出器のライブタイム信号を合成することができる。
In the third embodiment, an example in which the live time
５． 第５実施形態
次に、第５実施形態に係る試料分析装置５０００について、図面を参照しながら説明する。図１１は、第５実施形態に係る試料分析装置５０００の構成を模式的に示す図である。
5. Fifth Embodiment Next, a
試料分析装置５０００は、図１１に示すように、本発明に係る放射線検出装置を含んで構成されている。ここでは、本発明に係る放射線検出装置として、放射線検出装置１０００を含んで構成されている場合について説明する。
As shown in FIG. 11, the
試料分析装置５０００は、放射線照射部５１０と、放射線検出装置１０００と、ＰＣ２０と、を含んで構成されている。試料分析装置５０００は、放射線照射部５１０で試料Ｓに一次Ｘ線Ｐｘを照射し、一次Ｘ線Ｐｘを照射することにより試料Ｓから発生した二次Ｘ線（蛍光Ｘ線）Ｓｘを、放射線検出装置１０００で検出する。試料分析装置５０００は、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置である。
The
放射線照射部５１０は、試料Ｓに一次Ｘ線Ｐｘを照射する。放射線照射部５１０は、例えば、Ｘ線管、および高圧電源を含んで構成されている。放射線照射部５１０は、図示はしないが、フィラメントから発生した熱電子を高電圧で加速させ、金属ターゲットに衝突させて、一次Ｘ線Ｐｘを発生させる。
The
放射線照射部５１０で発生した一次Ｘ線Ｐｘは、試料Ｓに照射される。一次Ｘ線Ｐｘを照射することにより試料Ｓから発生した二次Ｘ線（蛍光Ｘ線）Ｓｘは、放射線検出装置１０００の第１放射線検出器１０Ａ、第２放射線検出器１０Ｂ（図１参照）で検出される。そして、放射線検出装置１０００は、第１放射線検出器１０Ａのライブタイム信号３Ａと第２放射線検出器１０Ｂのライブタイム信号３Ｂとを合成してライブタイム信号４として出力する。また、放射線検出装置１０００は、第１放射線検出器１０Ａの放射線出力信号５Ａと第２放射線検出器１０Ｂの放射線出力信号５Ｂとを合成して放射線出力信号を出力する。
The sample X is irradiated with the primary X-rays Px generated by the
ＰＣ２０は、放射線検出装置１０００から出力されたライブタイム信号および放射線出
力信号を受け取り、定量分析を行う。
The
試料分析装置５０００は、放射線検出装置１０００を含んで構成されているため、定量分析において、高い定量精度を得ることができる。
Since the
なお、ここでは、本発明に係る試料分析装置が、蛍光Ｘ線分析装置である場合について説明したが、本発明に係る試料分析装置は、電子線やイオンを照射して試料から放射線（Ｘ線）を発生させて、発生した放射線（Ｘ線）を検出する装置であってもよい。例えば、本発明に係る試料分析装置は、本発明に係る放射線検出装置を搭載した透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、および走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の電子顕微鏡、電子プローブマイクロアナライザー等であってもよい。 In addition, although the case where the sample analyzer according to the present invention is a fluorescent X-ray analyzer has been described here, the sample analyzer according to the present invention irradiates an electron beam or ions to emit radiation (X-rays). ) To detect the generated radiation (X-rays). For example, a sample analyzer according to the present invention includes an electron microscope such as a transmission electron microscope (TEM), a scanning transmission electron microscope (STEM), and a scanning electron microscope (SEM) equipped with the radiation detection apparatus according to the present invention. A microanalyzer or the like may be used.
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。 The present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations that have the same functions, methods, and results, or configurations that have the same objects and effects). In addition, the invention includes a configuration in which a non-essential part of the configuration described in the embodiment is replaced. In addition, the present invention includes a configuration that exhibits the same operational effects as the configuration described in the embodiment or a configuration that can achieve the same object. Further, the invention includes a configuration in which a known technique is added to the configuration described in the embodiment.
２Ａ…第１放射線入力タイミング信号、２Ｂ…第２放射線入力タイミング信号、２Ｃ…第３放射線入力タイミング信号、３Ａ…第１ライブタイム信号、３Ｂ…第２ライブタイム信号、３Ｃ…第３ライブタイム信号、４…ライブタイム信号、５Ａ…第１放射線出力信号、５Ｂ…第２放射線出力信号、５Ｃ…第３放射線出力信号、６Ａ…第１ＡＮＤ信号、６Ｂ…第２ＡＮＤ信号、６Ｃ…第３ＡＮＤ信号、７Ａ，７Ｂ，７Ｃ…出力信号、１０Ａ…第１放射線検出器、１０Ｂ…第２放射線検出器、１０Ｃ…第３放射線検出器、２０…ＰＣ、１００…ライブタイム信号合成回路、１１０…記憶部、１２０…ライブタイム信号選択部、２００，３００…ライブタイム信号合成回路、３１０…演算部、３１０Ａ…第１ゲート部、３１０Ｂ…第２ゲート部、３１０Ｃ…第３ゲート部、４００…ライブタイム信号合成回路、４１０Ａ…第１ＡＮＤ回路、４１０Ｂ…第２ＡＮＤ回路、４１０Ｃ…第３ＡＮＤ回路、５１０…放射線照射部、１０００，２０００，３０００，４０００…放射線検出装置，５０００…試料分析装置 2A ... 1st radiation input timing signal, 2B ... 2nd radiation input timing signal, 2C ... 3rd radiation input timing signal, 3A ... 1st live time signal, 3B ... 2nd live time signal, 3C ... 3rd live time signal 4 ... Live time signal, 5A ... 1st radiation output signal, 5B ... 2nd radiation output signal, 5C ... 3rd radiation output signal, 6A ... 1st AND signal, 6B ... 2nd AND signal, 6C ... 3rd AND signal, 7A , 7B, 7C ... output signal, 10A ... first radiation detector, 10B ... second radiation detector, 10C ... third radiation detector, 20 ... PC, 100 ... live time signal synthesis circuit, 110 ... storage unit, 120 ... Live time signal selection unit, 200, 300 ... Live time signal synthesis circuit, 310 ... Calculation unit, 310A ... First gate unit, 310B ... Second gate unit, 3 DESCRIPTION OF SYMBOLS 0C ... 3rd gate part, 400 ... Live time signal synthetic | combination circuit, 410A ... 1st AND circuit, 410B ... 2nd AND circuit, 410C ... 3rd AND circuit, 510 ... Radiation irradiation part, 1000, 2000, 3000, 4000 ... Radiation detection apparatus , 5000 ... Sample analyzer
Claims (9)
複数の前記放射線検出器の各々から出力された各前記放射線検出器への放射線の入力のタイミングを表す放射線入力タイミング信号に基づいて、放射線が入力された前記放射線検出器を特定するための情報を記憶する記憶部と、
各前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号を受け取り、前記放射線検出器を特定するための情報に基づいて前記ライブタイム信号を選択して出力するライブタイム信号選択部と、
を含む、ライブタイム信号合成回路。 A live time signal synthesis circuit that synthesizes a live time signal output from each of a plurality of radiation detectors,
Information for identifying the radiation detector to which radiation is input is based on a radiation input timing signal that represents the timing of radiation input to each radiation detector output from each of the plurality of radiation detectors. A storage unit for storing;
A live time signal selector that receives the live time signal output from each of the radiation detectors, and selects and outputs the live time signal based on information for specifying the radiation detector;
Including a live time signal synthesis circuit.
前記記憶部は、複数の前記放射線検出器のうちの第１放射線検出器から出力された第１放射線入力タイミング信号に基づいて前記第１放射線検出器を特定するための第１情報を記憶し、複数の前記放射線検出器のうちの第２放射線検出器から出力された第２放射線入力タイミング信号に基づいて前記第２放射線検出器を特定するための第２情報を記憶し、
前記ライブタイム信号選択部は、前記記憶部から前記第１情報を読み出した場合に前記第１放射線検出器から出力された第１ライブタイム信号を出力し、前記記憶部から前記第２情報を読み出した場合に前記第２放射線検出器から出力された第２ライブタイム信号を出力する、ライブタイム信号合成回路。 In claim 1,
The storage unit stores first information for identifying the first radiation detector based on a first radiation input timing signal output from a first radiation detector of the plurality of radiation detectors, Storing second information for identifying the second radiation detector based on a second radiation input timing signal output from a second radiation detector of the plurality of radiation detectors;
The live time signal selection unit outputs the first live time signal output from the first radiation detector when the first information is read from the storage unit, and reads the second information from the storage unit. A live time signal synthesizing circuit for outputting a second live time signal output from the second radiation detector in the case of being detected.
複数の放射線検出器のうちの１つの前記放射線検出器から出力された放射線のエネルギーを表す放射線出力信号と、他の前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号と、をＡＮＤ演算する演算部と、
前記演算部におけるＡＮＤ演算の結果に基づいて、放射線を検出した前記放射線検出器を特定するための情報を記憶する記憶部と、
各前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号を受け取り、前記放射線検出器を特定するための情報に基づいて前記ライブタイム信号を選択して出力するライブタイム信号選択部と、
を含む、ライブタイム信号合成回路。 A live time signal synthesis circuit that synthesizes a live time signal output from each of a plurality of radiation detectors,
An arithmetic unit that performs an AND operation on a radiation output signal representing the energy of radiation output from one of the plurality of radiation detectors and the live time signal output from the other radiation detector. When,
A storage unit that stores information for specifying the radiation detector that has detected the radiation based on the result of the AND operation in the arithmetic unit;
A live time signal selector that receives the live time signal output from each of the radiation detectors, and selects and outputs the live time signal based on information for specifying the radiation detector;
Including a live time signal synthesis circuit.
前記演算部は、
２つの前記放射線検出器のうちの一方の第１放射線検出器から出力された第１放射線出力信号と、２つの前記放射線検出器のうちの他方の第２放射線検出器から出力された第２ライブタイム信号と、をＡＮＤ演算して第１ＡＮＤ信号を出力する第１ゲート部と、
前記第２放射線検出器から出力された第２放射線出力信号と、前記第１放射線検出器から出力された第１ライブタイム信号と、をＡＮＤ演算して第２ＡＮＤ信号を出力する第２ゲート部と、
を有し、
前記記憶部は、前記第１ＡＮＤ信号に基づいて前記第１放射線検出器を特定するための第１情報を記憶し、前記第２ＡＮＤ信号に基づいて前記第２放射線検出器を特定するための第２情報を記憶し、
前記ライブタイム信号選択部は、前記記憶部から前記第１情報を読み出した場合に前記第１放射線検出器の前記第１ライブタイム信号を出力し、前記記憶部から前記第２情報を読み出した場合に前記第２放射線検出器の前記第２ライブタイム信号を出力する、ライブタイム信号合成回路。 In claim 3,
The computing unit is
A first radiation output signal output from one first radiation detector of the two radiation detectors and a second live output from the other second radiation detector of the two radiation detectors. A first gate unit that performs an AND operation on the time signal and outputs a first AND signal;
A second gate unit that performs an AND operation on the second radiation output signal output from the second radiation detector and the first live time signal output from the first radiation detector and outputs a second AND signal; ,
Have
The storage unit stores first information for specifying the first radiation detector based on the first AND signal, and a second information for specifying the second radiation detector based on the second AND signal. Remember information,
The live time signal selection unit outputs the first live time signal of the first radiation detector when reading the first information from the storage unit, and reads the second information from the storage unit A live time signal synthesis circuit for outputting the second live time signal of the second radiation detector.
前記記憶部は、リングバッファである、ライブタイム信号合成回路。 In any one of Claims 1 thru | or 4,
The storage unit is a live time signal synthesis circuit which is a ring buffer.
複数の前記放射線検出器の各々から出力された各前記放射線検出器への放射線の入力のタイミングを表す放射線入力タイミング信号に基づいて、放射線が入力された前記放射線検出器を特定するための情報を記憶する工程と、
各前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号を受け取り、前記放射線検出器を特定するための情報に基づいて前記ライブタイム信号を選択して出力する工程と、
を含む、ライブタイム信号合成方法。 A live time signal synthesis method for synthesizing a live time signal output from each of a plurality of radiation detectors,
Information for identifying the radiation detector to which radiation is input is based on a radiation input timing signal that represents the timing of radiation input to each radiation detector output from each of the plurality of radiation detectors. Memorizing process;
Receiving the live time signal output from each of the radiation detectors, selecting and outputting the live time signal based on information for specifying the radiation detector;
Including a live time signal synthesis method.
複数の放射線検出器のうちの１つの前記放射線検出器から出力された放射線のエネルギーを表す放射線出力信号と、他の前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号と、をＡＮＤ演算する工程と、
前記ＡＮＤ演算の結果に基づいて、放射線を検出した前記放射線検出器を特定するための情報を記憶する工程と、
各前記放射線検出器から出力された前記ライブタイム信号を受け取り、前記放射線検出器を特定するための情報に基づいて前記ライブタイム信号を選択して出力する工程と、
を含む、ライブタイム信号合成方法。 A live time signal synthesis method for synthesizing a live time signal output from each of a plurality of radiation detectors,
ANDing a radiation output signal representing the energy of radiation output from one of the plurality of radiation detectors and the live time signal output from the other radiation detector; ,
Storing information for identifying the radiation detector that has detected radiation based on the result of the AND operation;
Receiving the live time signal output from each of the radiation detectors, selecting and outputting the live time signal based on information for specifying the radiation detector;
Including a live time signal synthesis method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014145259A JP6258803B2 (en) | 2014-07-15 | 2014-07-15 | Live time signal synthesis circuit, live time signal synthesis method, radiation detection apparatus, and sample analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014145259A JP6258803B2 (en) | 2014-07-15 | 2014-07-15 | Live time signal synthesis circuit, live time signal synthesis method, radiation detection apparatus, and sample analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016020871A JP2016020871A (en) | 2016-02-04 |
| JP6258803B2 true JP6258803B2 (en) | 2018-01-10 |
Family
ID=55265783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014145259A Active JP6258803B2 (en) | 2014-07-15 | 2014-07-15 | Live time signal synthesis circuit, live time signal synthesis method, radiation detection apparatus, and sample analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6258803B2 (en) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3585388A (en) * | 1968-11-08 | 1971-06-15 | Nuclear Chicago Corp | Dead time generator for liquid scintillation counting system |
| JPS60192284A (en) * | 1984-03-13 | 1985-09-30 | Hitachi Medical Corp | Radiant ray counting circuit |
| JPS6154488A (en) * | 1984-08-27 | 1986-03-18 | Nippon Atom Ind Group Co Ltd | Measuring method of live time |
| JP2637204B2 (en) * | 1988-12-08 | 1997-08-06 | 株式会社東芝 | Random pulse counter |
| JP3182037B2 (en) * | 1994-03-31 | 2001-07-03 | 日本電子株式会社 | Live time measurement circuit for radiation measurement |
-
2014
- 2014-07-15 JP JP2014145259A patent/JP6258803B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2016020871A (en) | 2016-02-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6009975B2 (en) | Radiation detector and sample analyzer | |
| CN109216142B (en) | Electron probe microanalyzer and storage medium | |
| JP2014159973A (en) | X-ray data processing device, x-ray data processing method and x-ray data processing program | |
| CN108027331B (en) | Fluorescent X-ray analysis device and spectrum display method used therein | |
| JP6503145B2 (en) | Replacement site measuring device and replacement site measuring method | |
| JP2019502436A (en) | Device for determining the effective energy spectrum of an X-ray tube | |
| US20220187228A1 (en) | Charged particle beam device, computer, and signal processing method for charged particle beam device | |
| JP6994931B2 (en) | X-ray fluorescence analyzer and analysis method | |
| JP6851283B2 (en) | Image processing equipment, analyzers, and image processing methods | |
| JP6258803B2 (en) | Live time signal synthesis circuit, live time signal synthesis method, radiation detection apparatus, and sample analyzer | |
| KR101908807B1 (en) | Apparatus and method for measuring element of metal sample | |
| JP2014153342A (en) | Sample analysis method and sample analysis device | |
| US20080103727A1 (en) | Multichannel analyzer | |
| JP2015011018A (en) | Sample analysis method, program, and sample analyzer | |
| JP2018054468A (en) | Radiation measuring device and method | |
| JP6326347B2 (en) | Live time ratio calculation circuit, live time ratio calculation method, radiation detection apparatus, and sample analyzer | |
| JP2008089325A (en) | Geological age measuring method by electron probe microanalyzer | |
| US20230059414A1 (en) | Measurement system and method of setting parameter of charged particle beam device | |
| JP2008104122A (en) | Radiation imaging apparatus, and method and device for interpolation of semiconductor detector | |
| US10002741B2 (en) | Electron microscope with plural X-ray detectors for acquiring elemental spectrum | |
| WO2015079535A1 (en) | X-ray analysis device and x-ray analysis method | |
| KR20140055791A (en) | Method of calibrating an x-ray detector | |
| JP2014139537A (en) | Inspection data processing device for charged particle radiation device | |
| CN111221028A (en) | Spectral line detection method and device, spectral line detector and spectral line detection system | |
| JP2021009149A (en) | X-ray analyzer, signal processor for x-ray analysis and x ray analysis method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170221 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171117 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171129 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171207 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6258803 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |