JP6256176B2 - 接合体の製造方法、パワーモジュール用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
風力発電、電気自動車等の電気車両など、大電力を制御するために用いられるパワー半導体素子は発熱量が多い。このため、搭載する基板としては、例えば、Si3N4(窒化ケイ素)、AlN(窒化アルミニウム)、Al2O3(アルミナ)など、耐熱性、および絶縁性に優れたセラミックス基板が用いられる。そして、このセラミックス基板の一方の面に、導電性の優れた金属板を回路層として接合したパワーモジュール用基板が、従来から広く用いられている。また、セラミックス基板の他方の面にも、他の金属板を接合することもある。
このセラミックス基板とろう材との接合界面に形成される金属間化合物層は、硬いため、冷熱サイクルが負荷された場合、セラミックス基板と回路層との接合信頼性が低下するおそれがあった。
また、前記積層工程において、前記セラミックス部材側に前記ろう材を配置し、前記Cu部材側に前記活性金属材を配置することにより、前記加熱工程において溶融したろう材がセラミックス部材と確実に接触することとなり、セラミックス部材とCu部材とを良好に接合することが可能である。
これらの共晶元素を採用することによって、Cuに対して共晶反応させ、ろう材の溶融温度を大きく低下させることが可能になる。従って、低い温度でセラミックス部材とCu部材とを接合することが可能になる。
Cuと、該Cuと共晶反応する元素とからなるろう材を用いれば、Alの融点よりも低い温度でろう材を溶融することができ、セラミックス部材の一方の面にCu部材を接合する工程と、他方の面にAl部材を接合する工程とを一工程で行うことが可能になる。
セラミックス部材としてSi3N4、AlN、Al2O3を選択することで、絶縁性、および放熱性に優れた接合体を製造することができる。
なお、セラミックス基板に接合されたCu板は、回路層、あるいはセラミックス基板における回路層を接合した面とは反対の面に形成された金属層となる。
図1は、本発明の接合体の製造方法によって得られる接合体の一例を示す断面図である。
接合体10は、図1に示すように、セラミックス部材11と、このセラミックス部材11の一方の面11a(図1において上面)側に配設され、ろう材を介して接合されたCu部材12と、からなる。
ろう材は、Cuと、このCuと共晶反応する共晶元素とからなる。ろう材に用いられる共晶元素は、例えば、Cuとの共晶反応によってAlよりも低い融点を持つ合金を形成する元素から選択される。Cuと共晶反応する元素としては、Ca,Ge,Sr,Sn,Sb,Ba,La,Ce,Al(以下、これら元素は共晶元素と称する)が挙げられる。そして、これら共晶元素のうちから選択される1種または2種以上の元素がろう材に含有される。
Ca:32%以上78%以下(より望ましくは34%以上75%以下)
Ge:37%以上41%以下(より望ましくは38%以上40%以下)
Sr:58%以上93%以下(より望ましくは62%以上90%以下)
Sn:56%以上90%以下(より望ましくは74%以上84%以下)
Sb:52%以上97%以下(より望ましくは52%以上92%以下)
Ba:62%以上95%以下(より望ましくは68%以上91%以下)
La:72%以上89%以下(より望ましくは74%以上87%以下)
Ce:73%以上93%以下(より望ましくは75%以上90%以下)
Al:40%以上95%以下(より望ましくは50%以上85%以下)
図2は、本発明の接合体の製造方法を段階的に示した断面図である。
例えば、パワーモジュール用基板として用いられる接合体を製造する際には、まず、Si3N4(窒化ケイ素)、AlN(窒化アルミニウム)、Al2O3(アルミナ)等のセラミックスからなるセラミックス部材21を用意する(図2(a)参照)。本実施形態では、AlNからなり、厚みが0.635mmのセラミックス基板を用いた。
また、Cuと共晶元素との合金粉末を、適切なバインダーを介してペースト状にしたもの(ろう材ペースト)を、セラミックス部材21の一面21aに塗布することもできる。
また、Cuと共晶元素からなる箔状のろう材を、セラミックス部材21と活性金属材23との間に配置することもできる。
なお、活性金属材23の厚さが薄い場合には蒸着を、比較的厚い場合には箔や、ペーストを用いて形成することが好ましい。
本実施形態では、活性金属材として、TiをCu部材24に蒸着することで形成されている。
また、共晶元素のうち、2種以上を選択することによって、ろう材22の融点が上昇することを抑制し、かつろう材22の流動性が低下することを抑え、セラミックス部材21とCu部材24との接合性を更に向上させることができる。
図3、図4は、本発明のパワーモジュール用基板の製造方法を段階的に示した断面図である。
図3(a)に示すように、パワーモジュール用基板を製造する際には、まず、セラミックスからなるセラミックス基板31を用意する。そして、このセラミックス基板31の一面31a側に、ろう材32、活性金属材33、およびCu板34を順に積層する。また、セラミックス部材31の他面31b側に、ろう材35、およびAl板36を順に積層し、積層体37を形成する(積層工程)。
本実施形態では、ろう材32として、上述したろう材22と同じろう材を用いた。
なお、活性金属材23の厚さが薄い場合には蒸着を、比較的厚い場合には箔や、ペーストを用いて形成することが好ましい。
本実施形態では、活性金属材として、TiをCu板34に蒸着することで形成されている。
また、活性金属材33は、ろう材32と一部または全部が混合された状態で、セラミックス基板31とCu板34との間に配置することもできる。
(実施例1)
AlNからなるセラミックス基板(40mm×40mm×0.635mmt)の一方の面に、表1記載のろう材、活性金属材(厚さ6μmの箔)、無酸素銅からなるCu板(37mm×37mm×0.3mmt)を順に積層する。
また、比較例1は、ろう材として、Cuに対して共晶反応を起こさない元素(Ni)を用いた。比較例2は、セラミックス基板とCu板との間にCu箔を介在させる構成とした。
接合率評価は、接合体に対し、セラミックス基板とCu板との界面の接合率について超音波探傷装置を用いて評価し、以下の式から算出した。
ここで、初期接合面積とは、接合前における接合すべき面積、すなわち本実施例ではCu板の面積とした。超音波探傷像において剥離は接合部内の白色部で示されることから、この白色部の面積を剥離面積とした。
(接合率(%))={(初期接合面積)−(剥離面積)}/(初期接合面積)×100
以上のような確認実験の結果を表1に示す。
一方、セラミックス基板とCu板との接合の際に、Cuと、このCuと共晶合金を形成しない元素を用いて接合した比較例1や共晶合金を形成する元素を用いなかった比較例2では、接合されなかった。
表2記載のセラミックス基板(40mm×40mm×0.635mmt)の一方の面に、表2記載のろう材、活性金属材(厚さ1μmの箔)、無酸素銅からなるCu板(37mm×37mm×0.3mmt)を順に積層する。そして、セラミックス基板の他方の面にAl−10質量%Siろう材箔(厚さ20μm)を介して純度99.99%以上のアルミニウム板(37mm×37mm×0.6mmt)を積層し、積層体を作製した。
そして、積層体を積層方向に圧力15kgf/cm2で加圧した状態で真空加熱炉に投入し、加熱することによってセラミックス基板の一方の面にCu板を、他方の面にアルミニウム板を接合した。なお、真空加熱炉内の圧力は10−3Paに設定し、加熱温度及び加熱時間は、表2の条件に設定した。このようにして、本発明例2−1〜2−15のパワーモジュール用基板を得た。
接合率は実施例1と同様の方法で算出した。
結果を表2に示す
11 セラミックス部材
12 Cu部材
21 セラミックス部材
22 ろう材
23 活性金属材
24 Cu部材
26 接合体
39 パワーモジュール用基板
Claims (5)
- セラミックスからなるセラミックス部材と、Cu又はCu合金からなるCu部材とが接合されてなる接合体の製造方法であって、
Cuおよび該Cuと共晶反応する共晶元素を含むろう材と、活性金属材とを介して、前記セラミックス部材の一面側に前記Cu部材を積層する積層工程と、
積層された前記セラミックス部材および前記Cu部材を加熱処理する加熱処理工程と、を備えており、
前記積層工程において、前記セラミックス部材側に前記ろう材を配置し、前記Cu部材側に前記活性金属材を配置することを特徴とする接合体の製造方法。 - 前記共晶元素は、Ca,Ge,Sr,Sn,Sb,Ba,La,Ce,Alのうちから選択される1種または2種以上の元素であることを特徴とする請求項1に記載の接合体の製造方法。
- 前記積層工程では、前記セラミックス部材の他面側に、Al又はAl合金からなるAl部材を更に積層し、
前記加熱処理工程では、積層された前記セラミックス部材、前記Cu部材、および前記Al部材を加熱処理することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の接合体の製造方法。 - 前記セラミックス部材は、Si3N4、AlN、Al2O3のうち、いずれかより構成されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の接合体の製造方法。
- セラミックス基板の一方の面にCu又はCu合金からなるCu板が配設されたパワーモジュール用基板の製造方法であって、
前記セラミックス基板と前記Cu板とを、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の接合体の製造方法によって接合することを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。
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