JP6254981B2 - レーザ発振器の真空容器 - Google Patents
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Description
2番目の発明によれば、1番目の発明において、前記変形部は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する。
3番目の発明によれば、1番目または2番目の発明において、前記第一封止部材の一部分が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される。
4番目の発明によれば、1番目から3番目のいずれかの発明において、前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる。
5番目の発明によれば、レーザ発振器の真空容器において、円筒形状または角筒形状の配管と、該配管が差込まれる被差込部材と、前記配管と前記被差込部材との間に配置された第一封止部材および第二封止部材を具備し、前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも耐食性の高い材料から形成されており、前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも真空側に配置されており、前記第二封止部材は前記第一封止部材よりも封止性の高い材料から形成されており、前記第一封止部材はその封止性能を高めるように変形する変形部を少なくとも部分的に含んでおり、前記変形部は、前記第一封止部材に含まれる形状記憶金属または形状記憶樹脂である、レーザ発振器の真空容器が提供される。
6番目の発明によれば、5番目の発明において、前記変形部は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する。
7番目の発明によれば、5番目または6番目の発明において、前記第一封止部材の一部分が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される。
8番目の発明によれば、5番目から7番目のいずれかの発明において、前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる。
9番目の発明によれば、レーザ発振器の真空容器において、円筒形状または角筒形状の配管と、該配管が差込まれる被差込部材と、前記配管と前記被差込部材との間に配置された第一封止部材および第二封止部材を具備し、前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも耐食性の高い材料から形成されており、前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも真空側に配置されており、前記第二封止部材は前記第一封止部材よりも封止性の高い材料から形成されており、前記第一封止部材はその封止性能を高めるように変形する変形部を少なくとも部分的に含んでおり、前記変形部は揮発成分を含んでいて前記第一封止部材の切欠に配置されており、前記変形部は前記揮発成分が揮発することにより変形する、レーザ発振器の真空容器が提供される。
10番目の発明によれば、9番目の発明において、前記変形部は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する。
11番目の発明によれば、9番目または10番目の発明において、前記第一封止部材の一部分が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される。
12番目の発明によれば、9番目から11番目のいずれかの発明において、前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる。
5番目の発明においては、第一封止部材および第二封止部材を配置して真空引きを開始した後でまたは真空引きの開始と同時に第一封止部材の変形部を変形させることにより、第一封止部材と第二封止部材との間の領域を容易に真空にすることができる。このため、第一封止部材と第二封止部材との間の領域の大気ガスを排除することができる。また、耐食性の高い第一封止部材が真空側に配置されるので、レーザガス内の腐食性ガスが第二封止部材に到達するのを防止し、第二封止部材の劣化をさらに抑えることができる。その結果、第一封止部材および第二封止部材の交換周期を長くすることができる。さらに、第一封止部材および第二封止部材を配置した後で一定時間が経過することまたは温度が変化することにより、形状記憶金属または形状記憶樹脂形状記憶材料を含む変形部が変形し、それにより、第一封止部材自体を変形させられる。
9番目の発明においては、第一封止部材および第二封止部材を配置して真空引きを開始した後でまたは真空引きの開始と同時に第一封止部材の変形部を変形させることにより、第一封止部材と第二封止部材との間の領域を容易に真空にすることができる。このため、第一封止部材と第二封止部材との間の領域の大気ガスを排除することができる。また、耐食性の高い第一封止部材が真空側に配置されるので、レーザガス内の腐食性ガスが第二封止部材に到達するのを防止し、第二封止部材の劣化をさらに抑えることができる。その結果、第一封止部材および第二封止部材の交換周期を長くすることができる。第一封止部材および第二封止部材を配置した後で真空引きすることによって、第一弾性部材の変形部に含まれる揮発成分が揮発し、それにより、第一封止部材自体を変形させられる。
2番目、6番目、10番目の発明においては、第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持できるので、周囲の状態に関わらず、第一封止部材が長期にわたってレーザガス内の腐食性ガスを遮断できる。
3番目、7番目、11番目の発明においては、第一封止部材の一部分、例えばシート状部分を第二封止部材と被差込部材との間に把持することにより、第一封止部材を第二封止部材の近傍に固定することができる。
4番目、8番目、12番目の発明においては、第一封止部材のフッ素樹脂は、第二封止部材であるフッ素ゴム製Oリングに比べ耐食性が高く、加工も比較的容易で、一般的に流通しており材料で入手容易である。
図1は本発明に基づく真空容器を含むレーザ発振器の略図である。図1に示されるレーザ発振器30は例えば炭酸ガスレーザ発振器である。図1においては、レーザ発振器30は、直列に配置された放電管31a、31bと、これら放電管31a、31bを互いに連結する中央ブロック32と、放電管31aの一端および放電管31bの他端にそれぞれ連結する端部ブロック33a、33bとを含んでいる。
11 管材
12 被差込部材
13 フランジ
13a 蓋部
14 溝部
15 第一封止部材
15a 延長部
16 第二封止部材
17 外皮部
17a 凹部
17b 開口部
18a〜18e 変形部
19 切欠
30 レーザ発振器
31a、31b 放電管
32 中央ブロック
33a、33b 端部ブロック
34 出力鏡
35 リア鏡
36 ターボブロワ
37a〜37c 熱交換器
38 吸込管路
39a、39b 戻り管路
Claims (12)
- レーザ発振器(30)の真空容器(10)において、
円筒形状または角筒形状の配管(11)と、
該配管が差込まれる被差込部材(12)と、
前記配管と前記被差込部材との間に配置された第一封止部材(15)および第二封止部材(16)を具備し、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも耐食性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも真空側に配置されており、
前記第二封止部材は前記第一封止部材よりも封止性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材はその封止性能を高めるように変形する変形部(18a〜18e)を少なくとも部分的に含んでおり、
前記変形部(18a)は、前記第一封止部材の周囲の圧力が低下することにより変形する、レーザ発振器の真空容器。 - 前記変形部(18a〜18e)は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する請求項1に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記第一封止部材の一部分(15a)が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される請求項1または2に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる請求項1から3のいずれか一項に記載のレーザ発振器の真空容器。
- レーザ発振器(30)の真空容器(10)において、
円筒形状または角筒形状の配管(11)と、
該配管が差込まれる被差込部材(12)と、
前記配管と前記被差込部材との間に配置された第一封止部材(15)および第二封止部材(16)を具備し、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも耐食性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも真空側に配置されており、
前記第二封止部材は前記第一封止部材よりも封止性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材はその封止性能を高めるように変形する変形部(18a〜18e)を少なくとも部分的に含んでおり、
前記変形部(18b〜18d)は、前記第一封止部材に含まれる形状記憶金属または形状記憶樹脂である、レーザ発振器の真空容器。 - 前記変形部(18a〜18e)は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する請求項5に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記第一封止部材の一部分(15a)が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される請求項5または6に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる請求項5から7のいずれか一項に記載のレーザ発振器の真空容器。
- レーザ発振器(30)の真空容器(10)において、
円筒形状または角筒形状の配管(11)と、
該配管が差込まれる被差込部材(12)と、
前記配管と前記被差込部材との間に配置された第一封止部材(15)および第二封止部材(16)を具備し、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも耐食性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも真空側に配置されており、
前記第二封止部材は前記第一封止部材よりも封止性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材はその封止性能を高めるように変形する変形部(18a〜18e)を少なくとも部分的に含んでおり、
前記変形部(18e)は揮発成分を含んでいて前記第一封止部材の切欠(19)に配置されており、前記変形部は前記揮発成分が揮発することにより変形する、レーザ発振器の真空容器。 - 前記変形部(18a〜18e)は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する請求項9に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記第一封止部材の一部分(15a)が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される請求項9または10に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる請求項9から11のいずれか一項に記載のレーザ発振器の真空容器。
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