JP6253432B2 - 平面研削装置及び平面研削方法 - Google Patents

Description

本発明は、平面研削装置及び平面研削方法に関する。

従来、平面研削装置のテーブルは油圧駆動されていた（特許文献１）。テーブルを定速で移動させながら被研削物の上面の研削を行う場合には、油圧駆動されるテーブルを用いることで支障は生じない。近年、加工能率の向上を図るために、被研削物の上面の加工を行うためのテーブルに被研削物を保持した状態で、前後の端面の加工も行う５面加工の要求が高まっている。

被研削物の上面を研削する場合には、テーブルを定速で移動させれば十分であり、テーブルの絶対的な位置精度は求められない。ところが、被研削物の端面の加工を行う場合には、テーブルに高い位置決め精度が求められる。

特許文献２に、ボールねじと油圧シリンダとを組み合わせてテーブルを高速で移動させる高速送り装置が開示されている。この高速送り装置においては、テーブルの起動時及び停止時に、油圧シリンダから大きな駆動力及び制動力をテーブルに作用させる。これにより、テーブルの起動及び停止が、円滑かつ高精度に行われる。

特許文献３に、粗動機構とボイスコイルモータとを用いて、テーブルを高精度に位置決めする装置が開示されている。この装置においては、往復台に、ボイスコイルモータを介してテーブルが取り付けられている。粗動機構が往復台を軸方向に移動させることにより、往復台及びテーブルの粗い位置決めが行われる。粗い位置決め後、ボイスコイルモータを駆動することにより、往復台に対してテーブルの位置を微調整することができる。

特開２０１３−２２６６３４号公報 特開平３−２５６６３８号公報 特開２００２−３５５７３０号公報

平面研削装置に用いられるテーブルは、重量が数十トンに及ぶこともあり、大きな慣性を有する。このテーブルを油圧シリンダで駆動する場合、作動油の体積が大きくなるため、油圧シリンダ系の周波数応答特性は数Ｈｚ程度まで低下してしまう。また、テーブルの摺動抵抗が１トンを超えることも珍しくない。これらの特性により、微速領域でいわゆるスティックスリップ現象が発生し、高精度な位置決めを行うことが困難である。

ボールねじと油圧シリンダとを組み合わせた高速送り装置では、ボールねじによるストロークと、油圧シリンダによるストロークとがほぼ等しい。大きなストロークを確保するためには、ボールねじと油圧シリンダとの両方を大型化しなければならない。

粗動機構とボイスコイルモータとを用いた装置では、粗動機構とボイスコイルとテーブルとがシリーズ結合されているため、粗動時の駆動力がボイスコイルに直接加わる。このため、粗動機構と同等の駆動力を持つボイスコイルが必要になる。特に、平面研削装置のようにテーブルの重量が大きい場合はボイスコイルが巨大になる。このため、粗動機構と
ボイスコイルモータとを用いた装置を平面研削装置に適用することは困難である。

本発明の目的は、高精度な位置決めを行うことが可能な平面研削装置、及び平面研削方法を提供することである。

本発明の一観点によると、
被研削物を保持するように構成され、ベースフレームに対して第１の方向に移動可能に支持されたテーブルと、
前記テーブルに保持された被研削物を研削する少なくとも１つの砥石車と、
前記テーブルを前記ベースフレームに対して前記第１の方向に移動させる主駆動装置と、
副駆動装置と、
前記ベースフレームに対して前記第１の方向に移動可能な支持部を含み、前記副駆動装置が前記支持部に支持されており、前記支持部が前記第１の方向に移動可能な解放状態と、前記ベースフレームに対する位置が拘束された拘束状態とを選択することができる支持機構と
を有し、
前記支持機構が前記拘束状態のとき、前記副駆動装置は前記支持部に対して前記テーブルを前記第１の方向に移動させることができ、前記支持機構が前記解放状態のとき、前記副駆動装置は前記テーブルと共に前記第１の方向に移動するように構成され、前記副駆動装置による前記テーブルの位置決め精度が、前記主駆動装置による前記テーブルの位置決め精度より高く、前記主駆動装置による前記テーブルの可動範囲が、前記副駆動装置による前記テーブルの可動範囲より広い平面研削装置が提供される。

本発明の他の観点によると、
主駆動装置を動作させることにより、被研削物が保持されたテーブルを第１の方向に移動させながら、前記被研削物の上面を研削する工程と、
前記主駆動装置を動作させて、前記テーブルを副駆動装置及び前記副駆動装置を支持する支持部と共に前記第１の方向に移動させ、前記テーブルの前記第１の方向に関する粗い位置決めを行う工程と、
前記テーブルの粗い位置決めの後、前記主駆動装置を、前記テーブルの前記第１の方向への移動が自由なニュートラル状態にし、前記副駆動装置を動作させて前記支持部に対して前記テーブルを前記第１の方向に移動させることにより、前記テーブルの前記第１の方向に関する位置を微調整する工程と、
前記テーブルの位置の微調整の後、前記被研削物の、前記第１の方向に直交する表面の研削を行う工程と
を有する平面研削方法が提供される。

主駆動装置でテーブルを移動させながら、被研削物の上面の研削を行うことができる。副駆動装置でテーブルの位置を微調整することにより、テーブルの位置決め精度を高めることができる。

図１は、実施例による平面研削装置の概略斜視図である。 図２は、実施例による平面研削装置の概略平面図である。 図３は、図２の一点鎖線３−３における断面図である。 図４は、実施例による平面研削装置に搭載された副駆動装置の支持機構を解放状態にしたときの平面研削装置の断面図である。 図５は、実施例による平面研削装置に搭載された副駆動装置の支持機構を拘束状態にしたときの平面研削装置の断面図である。 図６は、支持機構が解放状態のときの、図２の一点鎖線６−６における断面図である。 図７は、支持機構が拘束状態のときの、図２の一点鎖線６−６における断面図である。 図８は、実施例による平面研削方法のフローチャートである。 図９は、実施例の変形による平面研削装置の概略平面図である。

図１に、実施例による平面研削装置の概略斜視図を示す。水平面をｘｙ面とし、鉛直下向きをｚ軸の正方向とするｘｙｚ直交座標系を定義する。テーブル１０が直動ガイド１１によってｘ方向に移動可能に支持されている。テーブル１０の上に、被研削物１５が保持される。テーブル１０の上方に、第１の砥石ヘッド１６がｙ方向に移動可能に支持されている。第１の砥石ヘッド１６は、ｙ軸に平行な回転中心を持つ第１の砥石車１７を含む。被研削物１５をｘ方向に定速で移動させながら、第１の砥石車１７で被研削物１５の上面の研削が行われる。

テーブル１０の側方に第２の砥石ヘッド１８がｙ方向に移動可能に支持されている。第２の砥石ヘッド１８は、ｚ軸に平行な回転中心を持つ第２の砥石車１９を含む。第２の砥石ヘッド１８を静止させ、被研削物１５をｘ方向に移動させることにより、第２の砥石車１９で被研削物１５の、ｙ方向に対して垂直な表面（端面）を研削することができる。被研削物１５を静止させ、第２の砥石ヘッド１８をｙ方向に移動させることにより、被研削物１５の、ｘ方向に対し垂直な表面（端面）を研削することができる。なお、１つの砥石車で上面と端面とを研削することができるユニバーサル砥石を用いてもよい。

制御装置１３が、テーブル１０、第１の砥石ヘッド１６、第２の砥石ヘッド１８の移動を制御する。

図２に、実施例による平面研削装置の平面図を示す。直動ガイド１１がベースフレーム１２に支持されている。テーブル１０が直動ガイド１１により、ｘ方向に移動可能に支持されている。主駆動装置２０がテーブル１０をｘ方向に移動させる。主駆動装置２０には、例えば油圧シリンダ機構が用いられる。

主駆動装置２０は、シリンダ２１、ピストン２２、第１ピストンロッド２３Ｆ、及び第２ピストンロッド２３Ｂを含む。シリンダ２１は、テーブル１０の底面に固定されている。シリンダ２１内にピストン２２が挿入されており、シリンダ２１内の空間が、ピストン２２により第１圧力室２４Ｆと第２圧力室２４Ｂとに区分される。

ピストン２２からｘ軸の正の方向に第１ピストンロッド２３Ｆが伸び、ｘ軸の負の方向に第２ピストンロッド２３Ｂが伸びる。第１ピストンロッド２３Ｆ、第２ピストンロッド２３Ｂ、及びピストン２２は、ベースフレーム１２に固定されている。第１ピストンロッド２３Ｆに設けられた作動油経路を通して、第１圧力室２４Ｆへの作動油の導入及び排出が行われる。第２ピストンロッド２３Ｂに設けられた作動油経路を通して、第２圧力室２４Ｂへの作動油の導入及び排出が行われる。

テーブル１０に副駆動装置３０が取り付けられている。副駆動装置３０は、電動サーボモータ３１及びボールねじ３２を含む。ボールねじ３２の回転軸はｘ方向と平行である。電動サーボモータ３１はボールねじ３２のねじ軸３２Ａを回転させる。電動サーボモータ３１には、例えば誘導モータ、同期モータ、ステッピングモータ等が用いられる。ボールねじ３２のナット３２Ｂは、テーブル１０に固定されている。

支持機構４０が、副駆動装置３０をｘ方向に移動可能に支持している。支持機構４０は、ベースフレーム１２に取り付けられた直動ガイド４１と、直動ガイド４１によってｘ方
向に案内される支持プレート４２とを含む。電動サーボモータ３１は、支持プレート４２に固定されている。電動サーボモータ３１を動作させると、支持プレート４２とテーブル１０とのｘ方向に関する距離が変動する。

テーブル１０の、ｘ方向に平行な側面にリニアスケール５０が取り付けられている。センサ５１がリニアスケール５０を読み取ることにより、テーブル１０のｘ方向に関する位置を検出することができる。センサ５１の読み取り結果が制御装置１３に入力される。主駆動装置２０及び副駆動装置３０は、制御装置１３によって制御される。

図３に、図２の一点鎖線３−３における概略断面図を示す。テーブル１０の底面に、ｘ方向と平行な中心軸を持つシリンダ２１が固定されている。シリンダ２１内にピストン２２が挿入されている。ピストン２２により、シリンダ２１内の空間が、ｘ軸の正の側の第１圧力室２４Ｆと、ｘ軸の負の側の第２圧力室２４Ｂとに区分されている。ピストン２２からｘ軸の正の方向及び負の方向に、それぞれ第１ピストンロッド２３Ｆ及び第２ピストンロッド２３Ｂが伸びる。第１ピストンロッド２３Ｆ及び第２ピストンロッド２３Ｂは、ベースフレーム１２に固定されている。

第１ピストンロッド２３Ｆ内に、第１作動油経路２５Ｆが設けられており、第２ピストンロッド２３Ｂ内に第２作動油経路２５Ｂが設けられている。第１作動油経路２５Ｆ及び第２作動油経路２５Ｂは、それぞれ第１圧力室２４Ｆ及び第２圧力室２４Ｂに連続している。第１作動油経路２５Ｆ及び第２作動油経路２５Ｂは、それぞれ双方向油圧ポンプ２６の第１吐出口２６Ｆ及び第２吐出口２６Ｂに接続されている。双方向油圧ポンプ２６は油圧ポンプ駆動モータ２７により駆動される。油圧ポンプ駆動モータ２７は、制御装置１３により制御される。

双方向油圧ポンプ２６を駆動することにより、テーブル１０をｘ軸の正の方向または負の方向に移動させることができる。双方向油圧ポンプ２６に代えて、１つの吐出口を持つ油圧ポンプと、作動油の流れの方向を切り替える方向制御弁とを用いてもよい。

支持機構４０が、直動ガイド４１及び支持プレート４２を含む。直動ガイド４１により支持プレート４２がｘ方向に移動可能に支持されている。支持機構４０は、支持プレート４２がｘ方向に移動可能な解放状態と、支持プレート４２の位置が拘束された拘束状態とを選択的に実現することができる。支持機構４０が拘束状態のとき、ベースフレーム１２に対して支持プレート４２の位置が拘束される。

支持プレート４２に電動サーボモータ３１が固定されている。ボールねじ３２のねじ軸３２Ａが電動サーボモータ３１の回転軸に結合し、ナット３２Ｂがテーブル１０に固定されている。

図４に、支持機構４０が解放状態のときの平板研削装置の断面図を示す。副駆動装置３０がｘ方向に自由に移動可能である。双方向油圧ポンプ２６を動作させてテーブル１０をｘ方向に移動させると、副駆動装置３０も、テーブル１０と共にｘ方向に移動する。

図５に、支持機構４０が拘束状態のときの平板研削装置の断面図を示す。双方向油圧ポンプ２６は、第１吐出口２６Ｆと第２吐出口２６Ｂとの間で作動油が自由に流通可能なニュートラル状態になっている。このとき、テーブル１０は、主駆動装置２０によって拘束されることなく、ｘ方向に自由に移動可能である。

支持プレート４２及び電動サーボモータ３１がベースフレーム１２に対して固定されているため、電動サーボモータ３１を動作させると、ボールねじ３２によって回転運動が直
線運動に変換され、テーブル１０がｘ方向に移動する。

図６に、図２の一点鎖線６−６における断面図を示す。テーブル１０が直動ガイド１１によってｘ方向に移動可能に支持されている。直動ガイド１１のレール１１Ａがベースフレーム１２（図２）に固定されている。直動ガイド１１の可動部１１Ｂがテーブル１０に固定されている。支持プレート４２が直動ガイド４１によってｘ方向に移動可能に支持されている。直動ガイド４１のレール４１Ａが、直動ガイド１１のレール１１Ａに固定されている。直動ガイド４１の可動部４１Ｂが支持プレート４２に固定されている。

支持プレート４２に、クランプ機構４３及び電動サーボモータ３１が取り付けられている。クランプ機構４３は、クランプシリンダ４３Ａ、クランプピストン４３Ｂ、及びクランプ部４３Ｃを含む。クランプシリンダ４３Ａは支持プレート４２に固定されており、クランプピストン４３Ｂがクランプシリンダ４３Ａ内で上下に移動する。クランプピストン４３Ｂの下端にクランプ部４３Ｃが取り付けられている。

直動ガイド４１、支持プレート４２、及びクランプ機構４３が支持機構４０を構成する。図６は、支持機構４０が解放状態のときの断面図を示している。支持機構４０が解放状態のとき、クランプピストン４３Ｂが下端まで下降しており、クランプ部４３Ｃが直動ガイド４１のレール４１Ａに接触していない。このため、支持プレート４２がｘ方向に自由に移動することができる。

図７に、支持機構４０が拘束状態のときの、図２の一点鎖線６−６における断面図を示す。クランプピストン４３Ｂが上方に移動し、クランプ部４３Ｃが直動ガイド４１のレール４１Ａに接触している。クランプ部４３Ｃとレール４１Ａとの摩擦力により、支持プレート４２の位置が拘束される。クランプ機構４３は、制御装置１３（図２）により制御される。

図８に、実施例による平面研削方法のフローチャートを示す。テーブル１０（図１）に被研削物１５が保持された状態で、ステップＳ１において、支持機構４０（図４、図６）を解放状態にする。ステップＳ２において、図４に示したように、主駆動装置２０を動作させてテーブル１０をｘ方向に定速で移動させながら、被研削物１５の上面を第１の砥石車１７（図１）で研削する。テーブル１０のｘ方向への移動と、第１の砥石ヘッド１６のｙ方向への移動とを交互に繰り返すことにより、被研削物１５の上面の全域が研削される。

ステップＳ３において、主駆動装置２０（図２）を動作させることにより、第２の砥石車１９で被研削物１５の側面を研削可能な位置までテーブル１０を移動させる。このステップＳ３で、テーブル１０の粗い位置決めが完了する。このとき、支持機構４０（図４）が解放状態であるため、副駆動装置３０はテーブル１０と共にｘ方向に移動する。

ステップＳ４において、図５に示したように支持機構４０を拘束状態にし、主駆動装置２０をニュートラル状態にする。ステップＳ５において、副駆動装置３０を動作させることにより、ｘ方向に関してテーブル１０の位置を微調整する。微調整後、電動サーボモータ３１をサーボロックする。ステップＳ６において、テーブル１０が静止した状態で、第２の砥石ヘッド１８（図１）をｙ方向に移動させることにより、被研削物１５の、ｘ方向に垂直な表面（端面）の研削を行う。

図８では、上面の研削を行った後、端面の研削を行ったが、端面の研削を行った後、上面の研削を行ってもよい。

次に、上記実施例による平面研削装置及び平面研削方法の効果について説明する。上記実施例で用いられるテーブル１０（図１）の重量は、一般的に数十トンに及ぶ。また、大きな被研削物１５（図１）の研削を行うために、長いストロークを確保する必要がある。このため、主駆動装置２０に用いられるシリンダ２１内の第１圧力室２４Ｆ（図３）及び第２圧力室２４Ｂ（図３）の合計の容積が大きくなる。さらに、テーブル１０の摺動抵抗が１トンを超えることも珍しくない。シリンダ２１内の作動油の体積、及び摺動抵抗が大きくなることにより、微速領域でスティックスリップ現象が発生しやすくなる。スティックスリップ現象が発生すると、テーブル１０の高精度な位置決めを行うことが困難である。

実施例では、ステップＳ５（図８）において、副駆動装置３０によりテーブル１０の位置を微調整する。電動サーボモータ３１とボールねじ３２とを用いた副駆動装置３０は、油圧シリンダを用いた主駆動装置２０よりも高い応答特性を有する。このため、テーブル１０の位置決め時において静止摩擦から動摩擦に遷移する負性抵抗領域でも高精度の位置決め制御を行うことが可能である。このように、副駆動装置３０によるテーブル１０の位置決め精度が、主駆動装置２０によるテーブル１０の位置決め精度より高い。これにより、ステップＳ６（図８）における被研削物１５の側面の研削時における研削精度を高めることができる。

さらに、実施例では、テーブル１０を定速で移動させながら被研削物１５の上面を研削するとき（ステップＳ２）、及びテーブル１０の粗い位置決めを行うとき（ステップＳ３）に、図４に示したように主駆動装置２０が、副駆動装置３０を介在させることなくテーブル１０を直接駆動する。このため、副駆動装置３０に、主駆動時と同等の駆動力は要求されない。副駆動装置に要求される駆動力としては、精密位置決めに必要な低い駆動力で十分である。加えて、位置決め時の速度は微速の方が好ましいため、副駆動装置として、主駆動装置より定格出力が格段に小さなものを用いることができる。主駆動装置と副駆動装置とをシリーズ接続する構成では、副駆動装置として、主駆動装置と同程度の定格出力を持つものを使用しなければならない。これに対し、実施例による装置では、副駆動装置として、主駆動装置より定格出力の小さなものを用いることができるため、装置のコスト低減を図ることができる。

副駆動装置３０は、テーブル１０の位置の微調整に用いられ、被研削物１５の上面を研削するときのテーブル１０の定速移動には用いられない。このため、副駆動装置３０として、主駆動装置２０よりも可動範囲（ストローク）の小さな直動駆動装置を用いることができる。上記実施例では、副駆動装置３０に電動サーボモータ３１とボールねじ３２とを用いたが、主駆動装置２０よりも位置決め精度の高い他の直動駆動装置を用いてもよい。例えば、副駆動装置３０として、シリンダ内の圧力室の容積が、主駆動装置２０のシリンダ２１（図３）内の圧力室の容積より小さな油圧駆動装置を用いることも可能である。圧力室の容積を小さくすることにより、圧力に対して高い応答特性が得られ、高い位置決め精度を実現することができる。

図９に、実施例の変形例による平面研削装置の平面図を示す。図１〜図８に示した実施例では、副駆動装置３０のボールねじ３２が、常にテーブル１０に結合されていた。図９に示した変形例では、ボールねじ３２のナット３２Ｂが、テーブル１０に着脱可能に取り付けられている。このため、テーブル１０から副駆動装置３０を切り離すことが可能である。このように、副駆動装置３０がテーブル１０に接続されてテーブル１０と共に移動する接続状態と、テーブル１０から切り離されて、副駆動装置３０が静止した状態でテーブル１０を移動させることが可能な切離し状態とが実現可能である。図９では、副駆動装置３０がテーブル１０から切り離された状態を示している。

この変形例では、被研削物１５の上面を研削するとき（ステップＳ２）に、副駆動装置３０がテーブル１０から切り離されている。テーブル１０の粗い位置決め（ステップＳ３）を行う前に、副駆動装置３０をテーブル１０に結合させる。この状態で、図８のステップＳ３からステップＳ６までを実行することにより、被研削物１５の側面の研削を行うことができる。

被研削物１５の上面の研削時に、テーブル１０を定速で移動させる期間、副駆動装置３０がテーブル１０から切り離されているため、主駆動装置２０に加わる負荷を軽減することができる。

以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。

１０ テーブル
１１ 直動ガイド
１１Ａ レール
１１Ｂ 可動部
１２ ベースフレーム
１３ 制御装置
１５ 被研削物
１６ 第１の砥石ヘッド
１７ 第１の砥石車
１８ 第２の砥石ヘッド
１９ 第２の砥石車
２０ 主駆動装置
２１ シリンダ
２２ ピストン
２３Ｆ 第１ピストンロッド
２３Ｂ 第２ピストンロッド
２４Ｆ 第１圧力室
２４Ｂ 第２圧力室
２５Ｆ 第１作動油経路
２５Ｂ 第２作動油経路
２６ 双方向油圧ポンプ
２６Ｆ 第１吐出口
２６Ｂ 第２吐出口
２７ 油圧ポンプ駆動モータ
３０ 副駆動装置
３１ 電動サーボモータ
３２ ボールねじ
３２Ａ ねじ軸
３２Ｂ ナット
４０ 支持機構
４１ 直動ガイド
４１Ａ レール
４１Ｂ 可動部
４２ 支持プレート
４３ クランプ機構
４３Ａ クランプシリンダ
４３Ｂ クランプピストン
４３Ｃ クランプ部
５０ リニアスケール
５１ センサ

Claims (6)

1. 被研削物を保持するように構成され、ベースフレームに対して第１の方向に移動可能に支持されたテーブルと、
   前記テーブルに保持された被研削物を研削する少なくとも１つの砥石車と、
   前記テーブルを前記ベースフレームに対して前記第１の方向に移動させる主駆動装置と、
   副駆動装置と、
   前記ベースフレームに対して前記第１の方向に移動可能な支持部を含み、前記副駆動装置が前記支持部に支持されており、前記支持部が前記第１の方向に移動可能な解放状態と、前記ベースフレームに対する位置が拘束された拘束状態とを選択することができる支持機構と
   を有し、
   前記支持機構が前記拘束状態のとき、前記副駆動装置は前記支持部に対して前記テーブルを前記第１の方向に移動させることができ、前記支持機構が前記解放状態のとき、前記副駆動装置は前記テーブルと共に前記第１の方向に移動するように構成され、前記副駆動装置による前記テーブルの位置決め精度が、前記主駆動装置による前記テーブルの位置決め精度より高く、前記主駆動装置による前記テーブルの可動範囲が、前記副駆動装置による前記テーブルの可動範囲より広い平面研削装置。
2. 少なくとも１つの前記砥石車は、前記テーブルに保持された被研削物の、前記第１の方向と直交する表面を研削するように構成されている請求項１に記載の平面研削装置。
3. 前記副駆動装置は、電動サーボモータとボールねじとを含み、前記電動サーボモータは前記支持部に固定されて前記ボールねじを駆動することにより前記テーブルを前記支持部に対して前記第１の方向に移動させる請求項１または２に記載の平面研削装置。
4. 前記副駆動装置が前記テーブルに接続されて前記テーブルとともに移動する接続状態と、前記テーブルから切り離されて、前記副駆動装置が静止した状態で前記テーブルを移動させることが可能な切離し状態とが実現可能である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の平面研削装置。
5. 主駆動装置を動作させることにより、被研削物が保持されたテーブルを第１の方向に移動させながら、前記被研削物の上面を研削する工程と、
   前記主駆動装置を動作させて、前記テーブルを副駆動装置及び前記副駆動装置を支持する支持部と共に前記第１の方向に移動させ、前記テーブルの前記第１の方向に関する粗い位置決めを行う工程と、
   前記テーブルの粗い位置決めの後、前記主駆動装置を、前記テーブルの前記第１の方向への移動が自由なニュートラル状態にし、前記副駆動装置を動作させて前記支持部に対して前記テーブルを前記第１の方向に移動させることにより、前記テーブルの前記第１の方向に関する位置を微調整する工程と、
   前記テーブルの位置の微調整の後、前記被研削物の、前記第１の方向に直交する表面の研削を行う工程と
   を有する平面研削方法。
6. 前記被研削物の上面を研削する工程において、前記テーブルと共に前記副駆動装置も前記第１の方向に移動させる請求項５に記載の平面研削方法。
   

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