JP6252209B2 - Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric device using the piezoelectric vibrating piece - Google Patents

Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric device using the piezoelectric vibrating piece Download PDF

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Description

本発明は圧電振動片と当該圧電振動片を用いた圧電デバイスに関する。   The present invention relates to a piezoelectric vibrating piece and a piezoelectric device using the piezoelectric vibrating piece.

水晶振動子等の圧電デバイスは各種通信機器など様々な用途に用いられている。例えば表面実装型の水晶振動子では、上部が開口した凹部を有するベース（容器）に水晶振動片を搭載し、前記凹部を包囲するベースの堤部の上面に、平板状の蓋を封止材を介して接合した構成となっている。ベースと蓋とを接合することによって水晶振動子のパッケージが構成され、水晶振動片は当該パッケージの内部に気密に封止される。このような構造の水晶振動子は例えば特許文献１乃至２に開示されている。   Piezoelectric devices such as quartz resonators are used in various applications such as various communication devices. For example, in a surface-mount type crystal resonator, a crystal resonator element is mounted on a base (container) having a recess with an upper opening, and a flat lid is used as a sealing material on the upper surface of a base bank portion surrounding the recess. It becomes the composition joined via. A crystal resonator package is formed by bonding the base and the lid, and the crystal resonator element is hermetically sealed inside the package. For example, Patent Documents 1 and 2 disclose a crystal resonator having such a structure.

近年の電子機器の小型化により、当該電子機器の内部基板に実装される圧電デバイスも小型化が進んでいる。例えば前述の表面実装型の水晶振動子では平面視の形状が略矩形であり、その外形寸法は長さ２．０ｍｍ×幅１．６ｍｍ程度と非常に小さくなっている。さらに圧電デバイスの小型化が進行すると、圧電振動片を収容するための空間である前記凹部も狭小化し、凹部内の所定位置に圧電振動片を正確に位置決め搭載することが困難になってくる。   With recent miniaturization of electronic devices, piezoelectric devices mounted on the internal substrate of the electronic devices are also becoming smaller. For example, the above-described surface-mount type crystal resonator has a substantially rectangular shape in plan view, and its external dimensions are as small as 2.0 mm long × 1.6 mm wide. As the piezoelectric device is further miniaturized, the concave portion, which is a space for accommodating the piezoelectric vibrating piece, is also narrowed, and it becomes difficult to accurately position and mount the piezoelectric vibrating piece at a predetermined position in the concave portion.

このように圧電デバイスが超小型になってくると、従来から行われている画像認識を用いた圧電振動片の搭載位置の検出方法では対応が困難になってくる。その結果、ベースの凹部内底面の所望の搭載位置に対して圧電振動片がずれた状態で搭載されることがある。このような搭載位置のずれが発生すると、良好な圧電デバイスの特性を得られないことがある。   When the piezoelectric device is thus miniaturized, it becomes difficult to cope with the conventional method for detecting the mounting position of the piezoelectric vibrating piece using image recognition. As a result, the piezoelectric vibrating reed may be mounted in a state of being deviated from a desired mounting position on the bottom surface of the concave portion of the base. When such mounting position shift occurs, good piezoelectric device characteristics may not be obtained.

前記搭載位置のずれの問題は、画像認識に用いられる認識ポイント（ベースの凹部内底面に設けられる電極パターンの角部や端点等）が、より微小になるため検出精度が低下してしまうことによる。当該問題点を解決するために前記電極パターンの形状等に変更を加える等の工夫を加える場合、電極材料である金属の使用量が増大したり、工数増によってコストが増大してしまう等の課題が存在する。また、検出精度を向上させるために画像認識装置自体を改良する場合はさらに製造コストが増大してしまうという問題がある。   The problem of the displacement of the mounting position is that the recognition point used for image recognition (such as the corners and end points of the electrode pattern provided on the inner bottom surface of the concave portion of the base) becomes smaller and the detection accuracy is lowered. . When adding a device such as changing the shape of the electrode pattern in order to solve the problem, there are problems such as an increase in the amount of metal used as an electrode material and an increase in cost due to an increase in man-hours. Exists. Further, when the image recognition apparatus itself is improved in order to improve the detection accuracy, there is a problem that the manufacturing cost further increases.

実開平５−２５８２７号Japanese Utility Model Publication No. 5-25827 特開平１１−１３５６５９号JP-A-11-135659

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、超小型化に対応し、正確に圧電振動片をベース内の所定位置に搭載することができる圧電振動片と、当該圧電振動片を用いた圧電デバイスを提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of such a point, and in response to ultra-miniaturization, a piezoelectric vibrating piece capable of accurately mounting a piezoelectric vibrating piece at a predetermined position in the base, and the piezoelectric vibrating piece are used. An object of the present invention is to provide a piezoelectric device.

上記目的を達成するために請求項１に係る発明は、圧電デバイス用のベースに設けられた平面視略矩形の凹部に、接合材を介して導電接合される圧電振動片のベースへの搭載方法であって、前記圧電振動片は、平面視略矩形の矩形部と、当該矩形部の４つの角部のうち、対角にある２つの角部を含む領域の各々から外方に向かって突出するとともに前記ベースの凹部の隅部に対応した突出部とを備え、前記凹部の内底面の中心点に対して略点対称の位置に２つの搭載電極が形成されてなり、当該２つの搭載電極の上に導電性接着剤を塗布し、少なくとも１つの前記突出部の先端部を、前記ベースの凹部を包囲する堤部の内壁面に当接するように、圧電振動片を前記２つの搭載電極に塗布された導電性接着剤の上に載置する圧電振動片のベースへの搭載方法となっている。 In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a method for mounting a piezoelectric vibrating reed on a base, which is conductively bonded via a bonding material to a substantially rectangular recess in plan view provided on a base for a piezoelectric device. The piezoelectric vibrating piece protrudes outward from each of a region including a rectangular portion having a substantially rectangular shape in a plan view and two diagonal corner portions among the four corner portions of the rectangular portion. And a protrusion corresponding to the corner of the recess of the base, and two mounting electrodes are formed at substantially point-symmetrical positions with respect to the center point of the inner bottom surface of the recess. A conductive adhesive is applied onto the two mounting electrodes, and a piezoelectric vibrating piece is attached to the two mounting electrodes so that the tip of at least one of the protrusions contacts the inner wall surface of the bank portion surrounding the recess of the base. Base of piezoelectric vibrating reed placed on coated conductive adhesive It has become a way of mounting.

上記発明によると、圧電デバイスが超小型になった場合でも正確に圧電振動片をベースの内部に搭載することができる。これは前記圧電振動片に、矩形部の４つの角部のうち、対角にある２つの角部を含む領域の各々から外方に向かって突出するとともにベースの凹部の角部に対応した突出部が設けられていることによる。例えば２つの突出部が形成された圧電振動片において、一方の突出部がベースの凹部を包囲する堤部の内壁面（具体的には凹部の隅部近傍）に当接するように圧電振動片をベース内に載置することによって、圧電振動片をベースの凹部の内底面の所定位置に正確に位置決め載置することができる。これにより、画像認識による搭載位置の調整が不要となり、簡便な方法で圧電振動片のベースへの正確な搭載を行うことができる。   According to the above invention, the piezoelectric vibrating piece can be accurately mounted inside the base even when the piezoelectric device is miniaturized. This protrudes outward from each of the regions including two diagonal corners of the four corners of the rectangular portion, and corresponds to the corners of the concave portion of the base. Because the part is provided. For example, in a piezoelectric vibrating piece in which two protrusions are formed, the piezoelectric vibrating piece is placed so that one protruding part abuts on the inner wall surface of the embankment that surrounds the recess of the base (specifically, near the corner of the recess). By placing in the base, the piezoelectric vibrating piece can be accurately placed and placed at a predetermined position on the inner bottom surface of the recess of the base. Thereby, adjustment of the mounting position by image recognition becomes unnecessary, and accurate mounting on the base of the piezoelectric vibrating piece can be performed by a simple method.

また上記発明によれば、前記突出部が矩形部の２つの角部を含む領域の各々から外方に突出して形成されていることにより、圧電振動片の２つの突出部のいずれか一方または両方が、突出部が形成されていない矩形部の残りの角部よりも先に、堤部の内壁面と接触することになる。矩形部の角部は圧電振動片の振動特性に影響を及ぼす部位であるが、本発明による圧電振動片であれば前記矩形部の角部が堤部の内壁面と接触することによる損傷を防止することができる。これにより、圧電デバイスの特性劣化を防止することができる。   According to the invention, the protrusion is formed to protrude outward from each of the regions including the two corners of the rectangular portion, so that either one or both of the two protrusions of the piezoelectric vibrating piece is formed. However, it comes into contact with the inner wall surface of the bank portion before the remaining corner portions of the rectangular portion where the protruding portion is not formed. The corners of the rectangular part affect the vibration characteristics of the piezoelectric vibrating piece, but with the piezoelectric vibrating piece according to the present invention, the corner part of the rectangular part prevents damage due to contact with the inner wall surface of the bank part. can do. Thereby, the characteristic deterioration of a piezoelectric device can be prevented.

前記突出部の形成数は２つに限定されるものではなく、２つ以上形成してもよい。前記突出部の形成数が例えば３つの場合、つまり矩形部の対角上に２つと、矩形部の他の１つの角部とに突出部を形成した場合、３つの突出部の少なくとも１つが堤部の内壁面と接触した場合であっても、突出部が存在することにより、残り１つの角部が前記内壁面と接触するのを回避することができる。   The number of protrusions formed is not limited to two, and two or more protrusions may be formed. For example, when the number of protrusions is three, that is, when two protrusions are formed on the diagonal of the rectangular part and one other corner of the rectangular part, at least one of the three protrusions is a bank. Even if it is a case where it contacts with the inner wall surface of a part, it can avoid that the remaining one corner | angular part contacts the said inner wall surface by having a protrusion part.

前記矩形部の４つの角部の全てに突出部を形成した場合、前述した作用効果を維持しつつ、水晶振動片全体の剛性バランスを高めることができる。さらに矩形部の４つの角部の全てに突出部が形成されていることによって圧電振動片の振動のバランスをより高めることができる。   When projecting portions are formed at all four corners of the rectangular portion, the rigidity balance of the entire quartz-crystal vibrating piece can be increased while maintaining the above-described effects. Furthermore, since the protruding portions are formed at all four corners of the rectangular portion, the balance of vibration of the piezoelectric vibrating piece can be further increased.

また上記発明によれば、前記突出部は矩形部の４つの角部のうち、対角にある２つの角部を含む領域に各々形成されているため、ベースへの搭載時の凹部内での圧電振動片の水平方向の回転を抑制することができる。これは圧電振動片の搭載時に働く水平方向の回転が、対角の位置関係にある２つの突出部が堤部の内壁面に接触することによって規制されるからである。   Further, according to the invention, the protrusion is formed in each of the four corners of the rectangular portion in the region including the two corners on the diagonal, so that the projection in the recess when mounted on the base Horizontal rotation of the piezoelectric vibrating piece can be suppressed. This is because the horizontal rotation acting when the piezoelectric vibrating piece is mounted is regulated by the two protruding portions having a diagonal positional relationship coming into contact with the inner wall surface of the bank portion.

また上記目的を達成するために請求項２に係る発明は、前記突出部が前記矩形部よりも厚肉に形成されているとともに、前記圧電振動片のベースへの搭載面側に突出している。   In order to achieve the above object, according to a second aspect of the present invention, the protruding portion is formed thicker than the rectangular portion, and protrudes toward the mounting surface side of the piezoelectric vibrating piece on the base.

上記発明によると、前記突出部が矩形部よりも厚肉に形成されているとともに、圧電振動片のベースへの搭載面側に突出して設けられているため、圧電振動片の振動エネルギーの伝搬経路をより長く確保することができる。これにより、振動エネルギーをより圧電振動片の外周部分で減衰させることができるため、等価抵抗値等の圧電デバイスの特性をさらに良化させることができる。   According to the above invention, since the projecting portion is formed thicker than the rectangular portion and is provided so as to project toward the mounting surface side of the piezoelectric vibrating piece on the base, the vibration energy propagation path of the piezoelectric vibrating piece is provided. Can be secured longer. As a result, vibration energy can be further attenuated at the outer peripheral portion of the piezoelectric vibrating piece, so that the characteristics of the piezoelectric device such as the equivalent resistance value can be further improved.

以上のように本発明によれば、小型化に対応し、正確に圧電振動片をベース内の所定位置に搭載することができる圧電振動片と、当該圧電振動片を用いた圧電デバイスを提供することができる。   As described above, according to the present invention, there is provided a piezoelectric vibrating piece capable of mounting a piezoelectric vibrating piece accurately at a predetermined position in a base, and a piezoelectric device using the piezoelectric vibrating piece, corresponding to downsizing. be able to.

本発明の第１の実施形態に係る水晶振動子の上面模式図Schematic top view of the crystal resonator according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施形態に係る水晶振動子の断面模式図1 is a schematic cross-sectional view of a crystal resonator according to a first embodiment of the invention. 本発明の第１の実施形態の変形例に係る水晶振動子の上面模式図The upper surface schematic diagram of the crystal oscillator which concerns on the modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施形態に係る水晶振動片の斜視図The perspective view of the crystal vibrating piece which concerns on the 2nd Embodiment of this invention 本発明の第２の実施形態の変形例に係る水晶振動片の斜視図The perspective view of the crystal vibrating piece which concerns on the modification of the 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明による実施形態を圧電デバイスとして表面実装型の水晶振動子を例に挙げて図面を参照しながら説明する。本実施形態で適用される水晶振動子の外観は略直方体であり、平面視では略矩形となっている。本実施形態では水晶振動子の平面視の外形寸法は縦１．２ｍｍ×横１．０ｍｍとなっている。なお前記外形寸法は一例であり、本発明は前記外形寸法の圧電デバイスに限定されるものではない。また図２は図１のＡ−Ａ線における断面模式図となっている。   Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be described by using a surface-mount type crystal resonator as an example with reference to the drawings. The appearance of the crystal resonator applied in the present embodiment is a substantially rectangular parallelepiped, and is substantially rectangular in plan view. In this embodiment, the external dimensions of the crystal resonator in plan view are 1.2 mm long × 1.0 mm wide. In addition, the said external dimension is an example and this invention is not limited to the piezoelectric device of the said external dimension. FIG. 2 is a schematic sectional view taken along line AA in FIG.

―第１の実施形態―
図１は本発明の第１の実施形態に係る水晶振動子の上面模式図である。水晶振動子１は、蓋４と水晶振動片３とベース２とが主な構成部材となっている。なお図１では説明の便宜上、蓋を取り除いた状態で表している。また図面の見易さを考慮し、導電性接着剤の記載は省略している。 -First embodiment-
FIG. 1 is a schematic top view of a crystal resonator according to a first embodiment of the present invention. The crystal resonator 1 includes a lid 4, a crystal resonator element 3, and a base 2 as main constituent members. For convenience of explanation, FIG. 1 shows the state with the lid removed. In addition, the description of the conductive adhesive is omitted for easy viewing of the drawings.

図１においてベース２は、凹部９を備えたセラミック材料を基材とする容器であり、上部が開口した箱状体となっている。凹部９には水晶振動片３が収容され、ベースの開口部分を覆うように平板状の蓋４がベース２と封止材を介して接合される。これにより水晶振動片３は、蓋４とベース２との接合によって形成される内部空間に気密に封止されるようになっている。   In FIG. 1, a base 2 is a container made of a ceramic material having a recess 9 as a base material, and has a box-like body with an upper part opened. The crystal vibrating piece 3 is accommodated in the recess 9, and the flat lid 4 is joined to the base 2 via a sealing material so as to cover the opening of the base. As a result, the quartz crystal vibrating piece 3 is hermetically sealed in an internal space formed by joining the lid 4 and the base 2.

ベース２は２層のセラミックグリーンシートの積層体であり、これらのシートは所定位置に内部配線の印刷処理を施した後に位置決め積層され、焼成によって一体成形されている。具体的にはベース２は、平板状の底板部２０と、底板部２０の上面に積層される枠状の堤部２１とで構成されている（図２参照）。   The base 2 is a laminate of two layers of ceramic green sheets. These sheets are positioned and laminated after printing processing of internal wiring at predetermined positions, and are integrally formed by firing. Specifically, the base 2 includes a flat bottom plate portion 20 and a frame-like bank portion 21 stacked on the upper surface of the bottom plate portion 20 (see FIG. 2).

図１においてベース２の堤部２１の上面２１０は平坦面となっており、図示しない接合材が環状に形成されている。本実施形態では前記接合材は３層から成り、下から順にタングステンメタライズ層、ニッケルメッキ層、金メッキ層の構成となっている。前記接合材は蓋４の外周部分と対応している。なお、タングステンの代わりにモリブデンを用いてもよい。   In FIG. 1, the upper surface 210 of the bank portion 21 of the base 2 is a flat surface, and a bonding material (not shown) is formed in an annular shape. In this embodiment, the bonding material is composed of three layers, and has a structure of a tungsten metallized layer, a nickel plating layer, and a gold plating layer in order from the bottom. The bonding material corresponds to the outer peripheral portion of the lid 4. Note that molybdenum may be used instead of tungsten.

凹部９の内底面２００は平面視略矩形となっており、当該内底面２００の中心点Ｏ’に対して略点対称の位置に２つの搭載電極６ａ，６ｂが形成されている。具体的には平面視略矩形の内底面２００の対角線上に位置する２つの角部付近に形成されている。この搭載電極６（６ａ，６ｂ）は水晶振動片３と導電性接着剤７を介して導電接合される電極となっており、内底面２００上にタングステンメタライズを施し、その上部にニッケルメッキが、さらにその上部に金メッキが施された層構成となっている。そして搭載電極６ａ，６ｂは、内底面２００に形成された内部配線（図示省略）および底板部２０を貫通するビア（図示省略）を介して、ベース２の外底面２０１（底板部２０の下面）に形成された４つの外部接続端子（１０）のうちの２つと電気的に接続されている（図２参照）。   The inner bottom surface 200 of the recess 9 has a substantially rectangular shape in plan view, and two mounting electrodes 6 a and 6 b are formed at positions that are substantially point-symmetric with respect to the center point O ′ of the inner bottom surface 200. Specifically, it is formed in the vicinity of two corners located on the diagonal line of the inner bottom surface 200 having a substantially rectangular shape in plan view. The mounting electrode 6 (6a, 6b) is an electrode that is conductively bonded to the crystal vibrating piece 3 via the conductive adhesive 7, and tungsten metallization is performed on the inner bottom surface 200, and nickel plating is formed on the top thereof. Furthermore, it has a layered structure with gold plating on the top. The mounting electrodes 6a and 6b are connected to the outer bottom surface 201 of the base 2 (the lower surface of the bottom plate portion 20) via internal wiring (not shown) formed on the inner bottom surface 200 and vias (not shown) penetrating the bottom plate portion 20. Are electrically connected to two of the four external connection terminals (10) formed in (see FIG. 2).

搭載電極６および外部接続端子１０等を構成する金属膜は電解メッキ法によって一括で形成されている。なお搭載電極６と外部接続端子１０との電気的接続は、ベースの外側面の一部をベースの上下方向に切り欠き、その内壁面に導体が被着された，いわゆるキャスタレーションを形成することによって行ってもよい。   The metal films constituting the mounting electrode 6 and the external connection terminal 10 are collectively formed by an electrolytic plating method. The mounting electrode 6 and the external connection terminal 10 are electrically connected by forming a so-called castellation in which a part of the outer surface of the base is notched in the vertical direction of the base and a conductor is attached to the inner wall surface. You may go by.

図１において水晶振動片３は、平板状の水晶振動板に各種電極が付加された圧電素子である。前記水晶振動板は水晶インゴットから所定の角度で切り出されたＡＴカット水晶片であり、本実施形態では発振周波数は基本波振動モードで４８ＭＨｚとなっている。なお本実施形態では水晶振動片の断面視形状は略長方形となっているが、励振電極が付加される領域である振動部に対して外側の領域にある外周部を前記振動部よりも厚肉とした、いわゆる逆メサ構造や、振動部よりも外周部を薄肉とした、いわゆるメサ構造であっても本発明は適用可能である。また前記逆メサ構造やメサ構造は、水晶振動片の表裏主面のうち一方の主面または両方の主面のいずれに適用してもよい。   In FIG. 1, a crystal vibrating piece 3 is a piezoelectric element in which various electrodes are added to a flat plate-shaped crystal vibrating plate. The quartz diaphragm is an AT-cut quartz piece cut out from a quartz ingot at a predetermined angle. In this embodiment, the oscillation frequency is 48 MHz in the fundamental wave vibration mode. In this embodiment, the crystal resonator element has a substantially rectangular cross-sectional shape, but the outer peripheral portion in the outer region is thicker than the vibrating portion with respect to the vibrating portion to which the excitation electrode is added. The present invention can be applied to a so-called reverse mesa structure or a so-called mesa structure in which the outer peripheral part is thinner than the vibrating part. The inverted mesa structure or the mesa structure may be applied to either one of the main surfaces or both of the main surfaces of the front and back main surfaces of the crystal vibrating piece.

水晶振動片３は図１に示すように、平面視矩形状の矩形部３１と、当該矩形部の４つの角部（角部Ｃ１、Ｃ２以外の２つの角部は仮想点）のうち、当該矩形の中心点Ｏに対して点対称の位置関係（対角）にある２つの角部（仮想点）を含む領域の各々から外方に向かって突出する突出部３２，３３と、から成っている。なお突出部の形成位置は対角または矩形部の中心点に対して点対称の位置となっているが、これらの位置関係は厳格なものではなく、２つの突出部の間で前記位置関係に対するずれが生じていてもよい。   As shown in FIG. 1, the crystal resonator element 3 includes a rectangular portion 31 having a rectangular shape in plan view and four corner portions of the rectangular portion (two corner portions other than the corner portions C <b> 1 and C <b> 2 are virtual points) Projecting portions 32 and 33 projecting outward from each of the regions including two corner portions (virtual points) in a point-symmetrical positional relationship (diagonal) with respect to the center point O of the rectangle. Yes. In addition, although the formation position of the protruding portion is a point-symmetrical position with respect to the center point of the diagonal or rectangular portion, these positional relationships are not strict, and the positional relationship between the two protruding portions with respect to the positional relationship is not limited. Deviation may occur.

突出部３２，３３は、平面視略矩形の凹部９の４つの隅部のうちの２つに対応しており、矩形部３１の対角線ＤＬと略平行に伸長するように形成されている。このような外形形状は平板状の水晶振動板からフォトリソグラフィー技術とウエットエッチング法を用いることによって成形される。本実施形態では２つの突出部３２，３３の両端間を結ぶ線分の長さは、平面視略矩形のベースの凹部９の対角の位置関係にある２つの隅部（図１において隅部は平面視で曲面となっているが平面視で直角であってもよい）間の長さよりも僅かに短く設定されている。なお、突出部３２，３３の矩形部３１の２つの仮想角部から突出する長さは略同一となっている。   The protrusions 32 and 33 correspond to two of the four corners of the substantially rectangular recess 9 in plan view, and are formed so as to extend substantially parallel to the diagonal line DL of the rectangular portion 31. Such an outer shape is formed by using a photolithography technique and a wet etching method from a flat plate-like quartz diaphragm. In the present embodiment, the length of the line segment connecting both ends of the two projecting portions 32 and 33 is two corner portions (corner portions in FIG. 1) that are in a diagonal positional relationship with the concave portion 9 of the base that is substantially rectangular in plan view. Is a curved surface in plan view, but may be a right angle in plan view). In addition, the length which protrudes from two virtual corner | angular parts of the rectangular part 31 of the protrusion parts 32 and 33 is substantially the same.

水晶振動板の表裏主面３００，３０１には、当該水晶振動板を駆動させるための一対の励振電極５（５ａ，５ｂ）が対向形成されている。そして、これらの励振電極５ａ，５ｂの各々から矩形部３１の対角線ＤＬに沿って、突出部３２，３３の先端部に向かって引出電極５０ａ，５０ｂが表裏主面の各々において導出されている。これら引出電極５０ａ，５０ｂの終端は、突出部の先端部分に形成された接続電極５１ａ，５１ｂと接続されている。この接続電極５１ａ，５１ｂはそれぞれ突出部３２，３３の側面部分まで回り込むようにして形成されている。   A pair of excitation electrodes 5 (5a, 5b) for driving the crystal diaphragm are formed on the front and back main surfaces 300, 301 of the crystal diaphragm so as to face each other. The lead electrodes 50a and 50b are led out from the excitation electrodes 5a and 5b along the diagonal line DL of the rectangular portion 31 toward the tip ends of the protrusions 32 and 33 on the front and back main surfaces. The terminal ends of these extraction electrodes 50a and 50b are connected to connection electrodes 51a and 51b formed at the tip portions of the protruding portions. The connection electrodes 51a and 51b are formed so as to go around to the side portions of the protrusions 32 and 33, respectively.

前述の励振電極と引出電極と接続電極は、クロムを下地としてその上に金が積層された層構成となっており、これらの金属膜はスパッタリングによって一括で形成されている。接続電極を前述のように突出部の側面部分まで回り込むように形成することによって、搭載電極上に塗布される導電性接着剤のさらに上に導電性接着剤を重ね塗りして搭載電極と水晶振動片の上面側の接続電極との導通を確保する、いわゆる「上塗り」をする必要が無くなる。これにより、ベースの堤部の高さをより低くすることができ、水晶振動子の低背化に好適である。   The excitation electrode, the extraction electrode, and the connection electrode described above have a layer structure in which chromium is used as a base and gold is laminated thereon, and these metal films are collectively formed by sputtering. By forming the connection electrode so as to go around to the side surface of the protruding portion as described above, the conductive adhesive is further applied over the conductive adhesive applied on the mounting electrode, and the mounting electrode and the crystal vibration are applied. There is no need for so-called “overcoating” to ensure electrical continuity with the connection electrode on the upper surface side of the piece. Thereby, the height of the bank part of a base can be made lower, and it is suitable for the height reduction of a crystal oscillator.

接続電極５１ａ，５１ｂは、前述したベースの搭載電極６ａ，６ｂの上に導電性接着剤７を介して一対一で導電接合される。本実施形態では導電性接着剤としてシリコーン系の導電性樹脂接合材が使用されている。なお、導電性接着剤はシリコーン系の導電性樹脂接合材に限定されるものではなく、シリコーン系以外にエポキシ系などの導電性樹脂接合材も使用可能である。また樹脂系接合材以外に金属製のバンプを使用し、ＦＣＢ法（Ｆｌｉｐ Ｃｈｉｐ Ｂｏｎｄｉｎｇ）を用いて接続電極と搭載電極とを導電接合してもよい。   The connection electrodes 51a and 51b are conductively bonded one-to-one on the base mounting electrodes 6a and 6b with the conductive adhesive 7 interposed therebetween. In this embodiment, a silicone-based conductive resin bonding material is used as the conductive adhesive. The conductive adhesive is not limited to the silicone-based conductive resin bonding material, and an epoxy-based conductive resin bonding material can also be used in addition to the silicone-based adhesive. Further, a metal bump may be used in addition to the resin-based bonding material, and the connection electrode and the mounting electrode may be conductively bonded using the FCB method (Flip Chip Bonding).

本実施形態で使用される蓋４はコバールを基材とする平板であり、コバールの表面にニッケルメッキ層が形成されている。そして蓋４のベース２との接合面の，ベース堤部の上面２１０と対応する位置には、封止材８として金錫合金（ＡｕＳｎ）が前記ニッケルメッキ層の上に周状に形成されている。蓋とベースとは、蓋の封止材とベースの堤部上面に設けられた接合材とが当接するように、蓋とベースとが位置決めされた状態で加熱されることによって融着される。なお前記金錫合金は予め金と錫が所定比率に調整されている。すなわち、融着時にベース側の金メッキ層の金が金錫合金に取り込まれることによって、金錫合金中の金と錫の重量比率は、融着後の方が融着前に比べて金の重量比率が若干高くなるように設定されている。これにより、封止後の金錫合金の融点は封止前の金錫合金の融点よりも高い温度となる。なお合金の種類は金錫合金に限定されるものではなく、他の多元系合金を使用してもよい。また、前記蓋の母材をコバール以外にセラミック材料とし、封止材として低融点ガラスを用いてもよい。   The lid 4 used in this embodiment is a flat plate based on Kovar, and a nickel plating layer is formed on the surface of Kovar. A gold-tin alloy (AuSn) is formed on the nickel plating layer as a sealing material 8 at a position corresponding to the upper surface 210 of the base bank portion of the joint surface with the base 2 of the lid 4. Yes. The lid and the base are fused by being heated in a state where the lid and the base are positioned so that the sealing material of the lid and the bonding material provided on the upper surface of the bank portion of the base come into contact with each other. The gold-tin alloy is preliminarily adjusted to a predetermined ratio of gold and tin. That is, when the gold of the gold plating layer on the base side is taken into the gold-tin alloy at the time of fusion, the weight ratio of gold and tin in the gold-tin alloy is the weight of gold after fusion compared to before fusion. The ratio is set to be slightly higher. Thereby, the melting point of the gold-tin alloy after sealing becomes higher than the melting point of the gold-tin alloy before sealing. The type of alloy is not limited to the gold-tin alloy, and other multi-component alloys may be used. Further, the base material of the lid may be a ceramic material other than Kovar, and a low melting point glass may be used as a sealing material.

次に本発明の第１の実施形態に係る水晶振動片の、ベースへの搭載方法について説明する。まずベース２の搭載電極６ａ，６ｂの上に導電性接着剤７を所定量塗布する。この導電性接着剤の搭載電極への塗布は画像認識手段を用いて行われる。   Next, a method for mounting the quartz crystal resonator element according to the first embodiment of the present invention on the base will be described. First, a predetermined amount of conductive adhesive 7 is applied on the mounting electrodes 6a, 6b of the base 2. Application of the conductive adhesive to the mounting electrode is performed using image recognition means.

次に水晶振動片３を吸着ノズルで保持し、２つの突出部３２，３３のうち、突出部３３の先端部がベースの堤部２１の内壁面に接触もしくは近接するように、水晶振動片３を搭載電極６ａ，６ｂ上に位置決め載置する。このとき水晶振動片３の接続電極５１ａ，５１ｂの各々は、搭載電極６ａ，６ｂの上に塗布された導電性接着剤７に接触した状態となる。なお本実施形態では突出部３３を基準として水晶振動片３を搭載電極６上に位置決め載置しているが、突出部３２を基準としてもよい。あるいは突出部３２，３３の両方を基準として、２つの突出部の先端部が堤部２１の内壁面に接触しないように水晶振動片３を搭載電極６上に載置してもよい。   Next, the quartz crystal vibrating piece 3 is held by the suction nozzle, and the quartz vibrating piece 3 so that the tip of the projecting portion 33 of the two projecting portions 32 and 33 is in contact with or close to the inner wall surface of the base bank 21. Is positioned and mounted on the mounting electrodes 6a and 6b. At this time, each of the connection electrodes 51a and 51b of the crystal vibrating piece 3 comes into contact with the conductive adhesive 7 applied on the mounting electrodes 6a and 6b. In this embodiment, the crystal vibrating piece 3 is positioned and mounted on the mounting electrode 6 with the protrusion 33 as a reference, but the protrusion 32 may be used as a reference. Alternatively, the crystal vibrating piece 3 may be placed on the mounting electrode 6 so that the tip ends of the two protruding portions do not contact the inner wall surface of the bank portion 21 with both the protruding portions 32 and 33 as a reference.

前述の水晶振動片３のベース２への位置決め載置の後、水晶振動片の上方から下方に向かって水晶振動片に対して外力を加えて押し込む（押込工程）。当該押込工程によって水晶振動片の接続電極と導電性接着剤との接触領域が拡大し、水晶振動片の接続電極とベースの搭載電極とを電気機械的に確実に接合することができる。   After positioning and placing the crystal vibrating piece 3 on the base 2, the external force is applied to the crystal vibrating piece from the upper side to the lower side of the crystal vibrating piece (pushing process). By the pressing step, the contact area between the connection electrode of the crystal vibrating piece and the conductive adhesive is expanded, and the connection electrode of the crystal vibration piece and the mounting electrode of the base can be reliably bonded together electromechanically.

このようにして水晶振動片３をベース２に搭載することによって、図１に示すように水晶振動片の矩形部の中心点Ｏは、ベースの凹部の内底面２００の中心点Ｏ’に対してずれた状態となる。つまり水晶振動片３は図１において斜め左上方向に偏芯した状態で搭載電極６上に載置されることになる。なお本実施形態では突出部３２，３３の先端は平面視で角部を有する形状となっているが、当該角部を曲面状に成形してもよい。この場合、堤部の内壁面との接触を面接触に近づけることができるため、突出部と堤部とが接触した場合の水晶振動片のチッピングの発生を抑制することができる。   By mounting the crystal vibrating piece 3 on the base 2 in this manner, the center point O of the rectangular portion of the crystal vibrating piece is set to the center point O ′ of the inner bottom surface 200 of the recess of the base as shown in FIG. It is in a shifted state. That is, the crystal vibrating piece 3 is placed on the mounting electrode 6 in a state of being eccentric in the diagonally upper left direction in FIG. In addition, in this embodiment, although the front-end | tip of the protrusion parts 32 and 33 becomes a shape which has a corner | angular part by planar view, you may shape | mold the said corner | angular part in a curved surface shape. In this case, since the contact with the inner wall surface of the bank portion can be brought close to the surface contact, the occurrence of chipping of the crystal vibrating piece when the projecting portion and the bank portion are in contact can be suppressed.

また突出部の先端の前記曲面の曲率半径を、ベースの堤部２１の凹部に面する内周側の４隅の曲率半径よりも大きくすることによって、突出部が堤部の内壁面に接触した場合であっても、より奥側まで突出部が到達にしにくくなり、突出部の先端部分が堤部の内壁面と複数箇所で接触する確率が高まる。これにより、１点（１箇所）のみによる堤部の内壁面との接触に比べて応力集中を抑制することができる。   Further, by making the radius of curvature of the curved surface at the tip of the protruding portion larger than the radius of curvature of the four corners on the inner peripheral side facing the concave portion of the base bank portion 21, the protruding portion contacts the inner wall surface of the bank portion. Even if it is a case, it becomes difficult for a protrusion part to reach | attain to the back | inner side, and the probability that the front-end | tip part of a protrusion part will contact with the inner wall face of a bank part in multiple places increases. Thereby, compared with the contact with the inner wall surface of the bank part by only one point (one place), stress concentration can be suppressed.

本実施形態によると、水晶振動子が超小型になった場合でも正確に水晶振動片をベースの内部に搭載することができる。これは水晶振動片３に、矩形部３１の４つの角部のうち、対角にある２つの角部を含む領域の各々から外方に向かって突出するとともに、凹部９の角部に対応した突出部３２，３３が設けられていることによる。２つの突出部３２，３３のうちいずれか一方の突出部が、堤部２１の内壁面（具体的には凹部９の隅部付近）に当接するように水晶振動片３をベース内に載置することによって、水晶振動片３を搭載電極６の所定位置に正確に位置決め載置することができる。これにより、画像認識による搭載位置の調整が不要となり、簡便な方法で水晶振動片のベースへの正確な搭載を行うことができる。   According to this embodiment, the crystal resonator element can be accurately mounted inside the base even when the crystal resonator is ultra-compact. This protrudes outward from each of the four corners of the rectangular portion 31 on the quartz resonator element 3 and includes two corners on the diagonal, and corresponds to the corner of the recess 9. This is because the protrusions 32 and 33 are provided. The quartz crystal resonator element 3 is placed in the base so that one of the two protrusions 32 and 33 is in contact with the inner wall surface of the bank portion 21 (specifically, near the corner of the recess 9). By doing so, the crystal vibrating piece 3 can be accurately positioned and placed at a predetermined position of the mounting electrode 6. Thereby, adjustment of the mounting position by image recognition becomes unnecessary, and accurate mounting on the base of the quartz crystal vibrating piece can be performed by a simple method.

また本実施形態によれば、突出部３２，３３が矩形部３１の２つの角部を含む領域の各々から外方に突出して形成されていることにより、水晶振動片の２つの突出部のいずれか一方または両方が、突出部が形成されていない矩形部の残りの角部よりも先に、堤部２１の内壁面と接触することになる。矩形部の角部は水晶振動片の振動特性に影響を及ぼす部位であるが、本発明による水晶振動片であれば前記矩形部の角部が堤部の内壁面と接触することによる損傷を防止することができる。これにより、水晶振動子の特性劣化を防止することができる。   Further, according to the present embodiment, the protrusions 32 and 33 are formed to protrude outward from each of the regions including the two corners of the rectangular part 31, so that any of the two protrusions of the crystal vibrating piece Either one or both comes into contact with the inner wall surface of the bank portion 21 before the remaining corner portion of the rectangular portion where the protruding portion is not formed. The corner part of the rectangular part is a part that affects the vibration characteristics of the quartz crystal vibrating piece, but if the quartz crystal vibrating piece according to the present invention, the corner part of the rectangular part prevents damage due to contact with the inner wall surface of the bank part. can do. Thereby, characteristic deterioration of the crystal resonator can be prevented.

また本実施形態によれば、突出部３２，３３は矩形部３１の中心Ｏに対して点対称となる位置に２箇所形成されているため、ベースへの搭載時の凹部９の空間内での水平方向の回転を抑制することができる。これは水晶振動片の搭載時に働く水平方向の回転が、互いに点対称の位置関係にある２つの突出部が堤部の内壁面に接触することによって規制されるからである。   Moreover, according to this embodiment, since the protrusions 32 and 33 are formed at two positions that are point-symmetric with respect to the center O of the rectangular portion 31, the protrusions 32 and 33 are formed in the space of the recess 9 when mounted on the base. Horizontal rotation can be suppressed. This is because the horizontal rotation that is applied when the crystal vibrating piece is mounted is restricted by two projecting portions that are point-symmetric with respect to each other contacting the inner wall surface of the bank portion.

―第１の実施形態の変形例―
本発明の第１の実施形態の変形例として、図３に示すような構成の突出部であってもよい。すなわち、水晶振動片３０の突出部３５，３６は、矩形部３４の長辺および短辺のそれぞれと平行な辺３６L，３６Ｗ（突出部３５については記載を省略）を有し、かつ第１の実施形態における突出部に比べて、矩形部３４の長辺および短辺の各々の中央に向かう方向において幅広に形成されている。 -Modification of the first embodiment-
As a modification of the first embodiment of the present invention, a protrusion having a configuration as shown in FIG. 3 may be used. That is, the protrusions 35 and 36 of the quartz crystal vibrating piece 30 have sides 36L and 36W (not shown for the protrusion 35) that are parallel to the long side and the short side of the rectangular part 34, respectively. Compared to the protruding portion in the embodiment, the rectangular portion 34 is formed wider in a direction toward the center of each of the long side and the short side.

図３に示すように水晶振動片３０は、突出部３５，３６の辺３６L，３６Ｗがベースの堤部２１の内壁面に沿うように凹部９に位置決め載置される。このとき突出部の外縁（３６L，３６Ｗ）が堤部２１の内壁面に接触するように水晶振動片３０を搭載電極６上（導電性接着剤上）に載置してもよい。なお、前述した本発明の第１の実施形態と同様に、突出部３５，３６の両端間を結ぶ線分の長さは、平面視略矩形のベースの凹部９の対角の位置関係にある２つの隅部の間の長さよりも僅かに短く設定されている。また、水晶振動片３０は図３において斜め左上方向に偏芯した状態で搭載電極６上に載置されている。   As shown in FIG. 3, the quartz crystal vibrating piece 30 is positioned and placed in the concave portion 9 so that the sides 36 </ b> L and 36 </ b> W of the protruding portions 35 and 36 are along the inner wall surface of the base bank portion 21. At this time, the crystal vibrating piece 30 may be placed on the mounting electrode 6 (on the conductive adhesive) so that the outer edges (36L, 36W) of the protruding portions are in contact with the inner wall surface of the bank portion 21. As in the first embodiment of the present invention described above, the length of the line segment connecting both ends of the protrusions 35 and 36 is in a diagonal positional relationship with the concave portion 9 of the base that is substantially rectangular in plan view. It is set slightly shorter than the length between the two corners. Further, the quartz crystal vibrating piece 30 is placed on the mounting electrode 6 in a state of being eccentric in the upper left direction in FIG.

このような構成であれば、突出部の辺３６L，３６Ｗを、堤部２１の内壁面に面接触させることができる。これにより、堤部の内壁面との接触による応力集中を緩和することができる。また２つの突出部の各々には、堤部の内壁面と略平行な２辺（突出部３６の場合は３６L，３６Ｗ）が存在するため、水晶振動片３０が凹部９に嵌め合うように収まる。そして突出部３５，３６によって、水晶振動片が凹部内に入り込んだときの水晶振動片の水平方向の回転が規制される。これは水晶振動片が凹部内に入り込んだ後に、水晶振動片に回転モーメントが働いた場合であっても、２つの突出部のいずれか一方または両方が堤部の内壁面と接触することにより、それ以上回転しにくくなるためである。また前記構成の２つの突出部がガイドのように機能するため、水晶振動片の凹部内への位置決め精度をより向上させることができる。なお、突出部の最も外方に位置する角部（突出部３６については辺３６Ｌと３６Ｗとが交差する点）を曲面状にしてもよい。このように曲面状にすることにより、突出部の外縁と堤部の内壁面との鋭角な接触を抑制することができる。   With such a configuration, the sides 36L and 36W of the protruding portion can be brought into surface contact with the inner wall surface of the bank portion 21. Thereby, the stress concentration by contact with the inner wall surface of the bank can be relaxed. Each of the two protruding portions has two sides (36L and 36W in the case of the protruding portion 36) that are substantially parallel to the inner wall surface of the bank portion, so that the crystal vibrating piece 30 fits into the recess 9. . The protrusions 35 and 36 restrict the rotation of the quartz crystal vibrating piece in the horizontal direction when the quartz crystal vibrating piece enters the recess. Even if this is a case where a rotational moment acts on the quartz crystal vibrating piece after the quartz crystal vibrating piece has entered the recess, either one or both of the two projecting parts come into contact with the inner wall surface of the bank, This is because it becomes difficult to rotate further. Further, since the two projecting portions having the above-described structure function like a guide, the positioning accuracy of the quartz crystal vibrating piece in the recess can be further improved. In addition, you may make the corner | angular part (point in which the sides 36L and 36W cross | intersect about the protrusion part 36) located in the outermost part of a protrusion part into a curved surface shape. By making the surface curved in this way, it is possible to suppress acute contact between the outer edge of the protruding portion and the inner wall surface of the bank portion.

―第２の実施形態―
次に本発明の第２の実施形態について図４を参照しながら説明する。なお、本発明の第１の実施形態と同一の構成は同様の効果を奏するとともにその説明を割愛する。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。 -Second Embodiment-
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, the same structure as the 1st Embodiment of this invention has the same effect, and omits the description. Hereinafter, a description will be given focusing on differences from the first embodiment.

本発明の第２の実施形態では、図４に示すように水晶振動片３７の突出部３９，４０は、第１の実施形態と同様に平面視矩形状の矩形部３８の対角にある２つの角部（仮想点）を含む領域の各々から外方に向かって突出形成されている。そして突出部３９，４０は、矩形部３８の厚みよりも厚肉に形成されているとともに、水晶振動片３７のベースへの搭載面側（図４で矢印で示すＹ’軸方向）に突出して形成されている。   In the second embodiment of the present invention, as shown in FIG. 4, the protrusions 39 and 40 of the quartz crystal vibrating piece 37 are opposite to the rectangular portion 38 having a rectangular shape in plan view as in the first embodiment. Projecting outwardly from each of the regions including the two corners (virtual points). The projecting portions 39 and 40 are formed to be thicker than the rectangular portion 38 and project to the mounting surface side (Y′-axis direction indicated by the arrow in FIG. 4) on the base of the crystal vibrating piece 37. Is formed.

本実施形態において矩形部３８は、水晶振動板の表裏面に励振電極５ｃ（裏面側は表示せず）が対向形成された領域である薄肉部３７１と、薄肉部３７１の周囲に形成され薄肉部３７１よりも厚肉の厚肉部３７２とで構成されている（いわゆる逆メサ構造）。なお図４では引出電極および接続電極の記載は省略している。   In the present embodiment, the rectangular portion 38 includes a thin portion 371 that is an area where the excitation electrode 5c (the back side is not shown) is opposed to the front and rear surfaces of the quartz crystal plate, and a thin portion formed around the thin portion 371. It is comprised by the thick part 372 thicker than 371 (what is called a reverse mesa structure). In FIG. 4, the extraction electrode and the connection electrode are not shown.

前記構成によると、突出部３９，４０が厚肉部３７２よりも厚肉に形成されているとともに、水晶振動片３７のベースへの搭載面側に突出して設けられているため、水晶振動片の振動エネルギーの伝搬経路をより長く確保することができる。   According to the above configuration, the protruding portions 39 and 40 are formed thicker than the thick portion 372 and are provided so as to protrude toward the mounting surface side of the crystal vibrating piece 37 to the base. It is possible to secure a longer propagation path of vibration energy.

一般に、水晶振動板の表裏主面の中央付近に励振電極が対向形成された水晶振動片は、電圧を印加すると励振電極が形成された領域内にその殆どの振動エネルギーが閉じ込められ、振動エネルギーは励振電極の中央部分をピークとして励振電極の周縁にかけて正規分布状に減衰する。そして励振電極が形成されていない水晶振動板の外周部分に近づくにつれてさらに減衰していく。   In general, a quartz crystal resonator element having excitation electrodes facing each other near the center of the front and back main surfaces of the quartz diaphragm is confined in the region where the excitation electrode is formed when a voltage is applied, and the vibration energy is The central portion of the excitation electrode is attenuated in a normal distribution from the peak to the periphery of the excitation electrode. And it attenuate | damps further as it approaches the outer peripheral part of the quartz-crystal diaphragm in which the excitation electrode is not formed.

本発明の第２の実施形態に係る水晶振動片の構成によれば、突出部３９，４０がベースへの搭載面側に厚肉部３７２よりも厚肉に形成されているため、前記振動エネルギーの伝搬経路をより長く確保することができる。その結果、振動エネルギーをより減衰させることができるため、等価抵抗値等の水晶振動子の特性をさらに良化させることができる。   According to the configuration of the quartz crystal resonator element according to the second embodiment of the present invention, since the protruding portions 39 and 40 are formed thicker than the thick portion 372 on the mounting surface side to the base, the vibration energy It is possible to secure a longer propagation path. As a result, vibration energy can be further attenuated, so that the characteristics of the crystal resonator such as an equivalent resistance value can be further improved.

―第２の実施形態の変形例―
本発明の第２の実施形態の変形例として、図５に示すような構成の突出部であってもよい。図５に示す水晶振動片４１は、図４における突出部の構成に対して、矩形部４２の長辺と短辺の各々に略平行に伸長する部位４３ａ，４３ｂ、４４ａ，４４ｂが付加された構成となっている。 -Modification of the second embodiment-
As a modification of the second embodiment of the present invention, a protrusion having a configuration as shown in FIG. 5 may be used. 5 has portions 43a, 43b, 44a, and 44b that extend substantially parallel to the long and short sides of the rectangular portion 42 in addition to the configuration of the protruding portion in FIG. It has a configuration.

このような構成によれば、前述した本発明の第２の実施形態における作用効果に加え、前記構成の突出部によって前述した第２の実施形態の変形例におけるガイド機能も有するため、水晶振動子の特性を良化させつつ、水晶振動片４１の凹部内への位置決め精度をより向上させることができる。   According to such a configuration, in addition to the operational effects of the second embodiment of the present invention described above, the projection unit having the configuration also has a guide function in the modified example of the second embodiment described above. The positioning accuracy of the quartz crystal vibrating piece 41 in the recess can be further improved while improving the above characteristics.

前述した本発明の実施形態では、水晶振動片はベースの搭載電極と２つの突出部の各々において接合されているが、突出部が形成されていない矩形部の２つの角部において接合されていてもよい。この場合、前述した引出電極と接続電極は、励振電極から突出部が形成されていない矩形部の２つの角部を含む領域に至るように導出すればよい。   In the embodiment of the present invention described above, the crystal vibrating piece is bonded to the base mounting electrode and each of the two protruding portions, but is bonded to the two corner portions of the rectangular portion where the protruding portion is not formed. Also good. In this case, the extraction electrode and the connection electrode described above may be led out from the excitation electrode so as to reach a region including two corners of a rectangular portion where no protrusion is formed.

また水晶振動片とベースの搭載電極との接合は、必ずしも矩形部の対角上の位置でなくてもよい。例えば矩形部の一短辺側のみ、あるいは矩形部の一長辺側のみにおいて接合してもよい。また矩形部の一短辺側のみ、あるいは矩形部の一長辺側において、突出部と当該突出部に隣接する矩形部の角部との２箇所において前記接合を行ってもよい。また水晶振動片とベースとの接合箇所は２点に限定されるものではなく、２点以上であってもよい。   Further, the crystal resonator element and the base mounting electrode need not necessarily be joined at diagonal positions of the rectangular portion. For example, the bonding may be performed only on one short side of the rectangular part or only on one long side of the rectangular part. Moreover, you may perform the said joining in two places of a protrusion part and the corner | angular part of the rectangular part adjacent to the said protrusion part only in the short side of a rectangular part, or the long side of a rectangular part. Further, the joint location between the quartz crystal vibrating piece and the base is not limited to two points, and may be two or more points.

前述した水晶振動片とベースの搭載電極との種々の接合形態においては、搭載電極は水晶振動片の接続電極に対応する凹部の内底面の位置に形成すればよい。   In various forms of bonding between the crystal resonator element and the base mounting electrode described above, the mount electrode may be formed at the position of the inner bottom surface of the recess corresponding to the connection electrode of the crystal resonator element.

また、前述した本発明の実施形態では、２つの突出部の矩形部の仮想角部からの突出長さは略同一となっているが、異なる長さであってもよい。これを例えば平面視矩形状のベースの凹部の内底面の一短辺側に偏った状態で搭載電極を並列形成し、当該搭載電極上に、第１の実施形態の構成の水晶振動片の一端側（Ｃ１と、Ｃ１に隣接する仮想角部との２点）を片持ち接合する構成の場合について説明する。当該構成においては、突出部３３が堤部２１の内壁面と接触した状態における前記仮想角部の平面視の位置が、搭載電極上の所望の搭載位置に位置するように予め突出部３３の突出長さを設定しておけばよい。つまり、水晶振動片が平面視矩形の凹部内に、一方向に偏った状態で搭載される構成では、２つの突出部の突出長さに長短が生じるように予め設定しておくことによって水晶振動片のベースへの正確な搭載を行うことが可能となる。   In the embodiment of the present invention described above, the protruding lengths of the rectangular portions of the two protruding portions from the virtual corner portions are substantially the same, but may be different lengths. For example, a mounting electrode is formed in parallel in a state of being biased toward one short side of the inner bottom surface of the concave portion of the base having a rectangular shape in plan view, and one end of the crystal vibrating piece having the configuration of the first embodiment is formed on the mounting electrode. The case of a configuration in which the sides (two points of C1 and a virtual corner adjacent to C1) are cantilevered will be described. In this configuration, the protrusion 33 protrudes in advance so that the position in plan view of the virtual corner portion in a state where the protrusion 33 is in contact with the inner wall surface of the bank 21 is located at a desired mounting position on the mounting electrode. Set the length. In other words, in a configuration in which the quartz crystal resonator element is mounted in a rectangular recess in plan view while being biased in one direction, the quartz crystal vibration can be obtained by setting the projection lengths of the two projections to be long or short in advance. It is possible to accurately mount the piece on the base.

本発明の実施形態では表面実装型の水晶振動子を例に挙げているが、水晶フィルタや水晶発振器など電子機器等に用いられる他の表面実装型の圧電デバイスにも適用可能である。また本発明の実施形態では水晶振動片としてＡＴカット水晶片を例に挙げたが、他の切断角度の水晶片を用いてもよい。例えばＳＣカット等の水晶片を用いてもよい。   In the embodiment of the present invention, a surface-mount type crystal resonator is taken as an example, but the present invention can also be applied to other surface-mount type piezoelectric devices used for electronic devices such as a crystal filter and a crystal oscillator. In the embodiment of the present invention, the AT-cut crystal piece is exemplified as the crystal vibrating piece, but a crystal piece having another cutting angle may be used. For example, a crystal piece such as an SC cut may be used.

本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。   The present invention can be implemented in various other forms without departing from the spirit or main features thereof. Therefore, the above-described embodiment is merely an example in all respects and should not be interpreted in a limited manner. The scope of the present invention is indicated by the claims, and is not restricted by the text of the specification. Further, all modifications and changes belonging to the equivalent scope of the claims are within the scope of the present invention.

圧電デバイスの量産に適用できる。   Applicable for mass production of piezoelectric devices.

１ 水晶振動子
２ ベース
３、３０、３７、４１ 水晶振動片
４ 蓋
３１、３４、３８、４２ 矩形部
３２、３３、３５、３６、３９、４０、４３、４４ 突出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Crystal resonator 2 Base 3, 30, 37, 41 Crystal vibrating piece 4 Lid 31, 34, 38, 42 Rectangular part 32, 33, 35, 36, 39, 40, 43, 44 Protrusion part

Claims (2)

圧電デバイス用のベースに設けられた平面視略矩形の凹部に、接合材を介して導電接合される圧電振動片のベースへの搭載方法であって、
前記圧電振動片は、平面視略矩形の矩形部と、当該矩形部の４つの角部のうち、対角にある２つの角部を含む領域の各々から外方に向かって突出するとともに前記ベースの凹部の隅部に対応した突出部とを備え、
前記凹部の内底面の中心点に対して略点対称の位置に２つの搭載電極が形成されてなり、
当該２つの搭載電極の上に導電性接着剤を塗布し、
少なくとも１つの前記突出部の先端部を、前記ベースの凹部を包囲する堤部の内壁面に当接するように、圧電振動片を前記２つの搭載電極に塗布された導電性接着剤の上に載置することを特徴とする圧電振動片のベースへの搭載方法。 A mounting method on a base of a piezoelectric vibrating piece that is conductively bonded via a bonding material to a substantially rectangular recess in a plan view provided on a base for a piezoelectric device,
The piezoelectric vibrating piece protrudes outwardly from each of a region including a rectangular portion having a substantially rectangular shape in a plan view and two diagonal corner portions of the rectangular portion, and the base. and a protruding portion corresponding to the corner portion of the recess of,
Two mounting electrodes are formed at substantially point-symmetrical positions with respect to the center point of the inner bottom surface of the recess,
Apply conductive adhesive on the two mounted electrodes,
The piezoelectric vibrating reed is placed on the conductive adhesive applied to the two mounting electrodes so that the tip of at least one of the protrusions comes into contact with the inner wall surface of the bank portion surrounding the recess of the base. A method of mounting a piezoelectric vibrating piece on a base . 前記突出部が前記矩形部よりも厚肉に形成されているとともに、前記圧電振動片のベースへの搭載面側に突出していることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片のベースへの搭載方法。 The base of the piezoelectric vibrating piece according to claim 1, wherein the protruding portion is formed thicker than the rectangular portion and protrudes toward a mounting surface side of the piezoelectric vibrating piece to the base. Loading method .
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