JP6251575B2 - シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 - Google Patents
シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6251575B2 JP6251575B2 JP2014005102A JP2014005102A JP6251575B2 JP 6251575 B2 JP6251575 B2 JP 6251575B2 JP 2014005102 A JP2014005102 A JP 2014005102A JP 2014005102 A JP2014005102 A JP 2014005102A JP 6251575 B2 JP6251575 B2 JP 6251575B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- resin composition
- thermosetting resin
- group
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 title claims description 67
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims description 66
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 45
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 45
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 18
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 16
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 15
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 12
- GKTNLYAAZKKMTQ-UHFFFAOYSA-N n-[bis(dimethylamino)phosphinimyl]-n-methylmethanamine Chemical compound CN(C)P(=N)(N(C)C)N(C)C GKTNLYAAZKKMTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000013001 point bending Methods 0.000 claims description 12
- 238000004898 kneading Methods 0.000 claims description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 7
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 claims description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 35
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 35
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 13
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 12
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 125000000951 phenoxy group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(O*)C([H])=C1[H] 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 7
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 7
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 7
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 6
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 6
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 6
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 6
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 6
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical class C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- -1 t-butoxy group Chemical group 0.000 description 5
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 4
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 4
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 4
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHKPXKGJFOKCGG-UHFFFAOYSA-N 2-methylprop-1-ene;styrene Chemical compound CC(C)=C.C=CC1=CC=CC=C1.C=CC1=CC=CC=C1 UHKPXKGJFOKCGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 3
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 3
- 125000003253 isopropoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(O*)C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 3
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 3
- 125000006606 n-butoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 125000003506 n-propoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 3
- 229920006132 styrene block copolymer Polymers 0.000 description 3
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 2
- 125000004036 acetal group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N pentan-3-one Chemical compound CCC(=O)CC FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N triphenylmethane Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000009781 Myrtillocactus geometrizans Nutrition 0.000 description 1
- 240000009125 Myrtillocactus geometrizans Species 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229920006242 ethylene acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920006226 ethylene-acrylic acid Polymers 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229920003049 isoprene rubber Polymers 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001421 myristyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000002903 organophosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000002958 pentadecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000004382 potting Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229920003987 resole Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 125000002889 tridecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002948 undecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/49—Phosphorus-containing compounds
- C08K5/5399—Phosphorus bound to nitrogen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
- C08J5/18—Manufacture of films or sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/34—Silicon-containing compounds
- C08K3/36—Silica
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
- H01L23/295—Organic, e.g. plastic containing a filler
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2361/00—Characterised by the use of condensation polymers of aldehydes or ketones; Derivatives of such polymers
- C08J2361/04—Condensation polymers of aldehydes or ketones with phenols only
- C08J2361/06—Condensation polymers of aldehydes or ketones with phenols only of aldehydes with phenols
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2363/00—Characterised by the use of epoxy resins; Derivatives of epoxy resins
- C08J2363/02—Polyglycidyl ethers of bis-phenols
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Description
本発明は、シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法に関する。
従来、実装基板上の半導体素子、コンデンサ及び抵抗素子などの電子部品の封止は、粉末状エポキシ樹脂組成物によるトランスファー封止や、液状エポキシ樹脂組成物、シリコーン樹脂などによるポッティング、ディスペンス、印刷などによって行われているが、近年、より安価で簡便な封止方法としてシート状の熱硬化性樹脂組成物を用いたシート封止が提案されている。
例えば、特許文献１には、特定の複合化金属水酸化物などを含有し、難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足するエポキシ樹脂組成物が記載されている。しかしながら、硬化後の強度については検討されていない。このように、難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足し、かつ優れた強度が得られるシート状の熱硬化性樹脂組成物については検討されていない。
本発明は前記問題点に鑑みなされたものであり、難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足し、かつ硬化後の強度に優れたシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物を提供することを目的とする。
本発明は、シリカの含有量が、シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物全体に対して、７０〜９３重量％であり、難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足し、１５０℃で１時間加熱し硬化させた後の常温における３点曲げ強度が８０ＭＰａ以上であるシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物に関する。
本発明のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物は、シリカを特定量含有し、難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足し、硬化後の強度が特定範囲である。難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足するため難燃性に優れ、また、硬化後の強度が特定範囲であるため、信頼性の高い樹脂封止型半導体装置を製造できる。
前記シリカの平均粒子径が０．１〜３０μｍであることが好ましい。これにより、成型時の流動性に優れたシート状の電子部品用熱硬化性樹脂組成物が得られる。
本発明のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物は、硬化前の粘度が９０℃において５×１０３Ｐａ・ｓ以下であることが好ましい。硬化前の粘度が９０℃において５×１０３Ｐａ・ｓ以下であると、成型性に優れた樹脂組成物が得られる。
本発明のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物は、混練押出により製造されることが好ましい。特定量のシリカを配合すると、シート状に成形し難いが、混練押出することで、容易にシート状に成形できる。
本発明のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物は、ホスファゼン系難燃剤を含むことが好ましい。難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足させるために、難燃剤用水酸化マグネシウムなどの金属水酸化物を配合すると、樹脂強度が低下してしまう。本発明では、ホスファゼン系難燃剤を配合することで、優れた難燃性が得られるとともに、硬化後の強度を特定範囲に良好に調整できる。
本発明はまた、前記シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物を用いて得られる樹脂封止型半導体装置に関する。
本発明はまた、前記シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物を用いて電子部品を封止する工程を含む樹脂封止型半導体装置の製造方法に関する。
本発明のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物は、シリカの含有量が、シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物全体に対して、７０〜９３重量％であり、難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足し、１５０℃で１時間加熱し硬化させた後の常温における３点曲げ強度が８０ＭＰａ以上である。本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は難燃性、硬化後の強度が優れる。必要に応じてホスファゼン系難燃剤を含有することにより、難燃性、硬化後の強度がより好適に得られる。
本発明で使用できる樹脂成分としては特に限定されず、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。
エポキシ樹脂としては、特に限定されるものではない。例えば、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、変性ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂などの各種のエポキシ樹脂を用いることができる。これらエポキシ樹脂は単独で用いてもよいし２種以上併用してもよい。
エポキシ樹脂の硬化後の靭性及びエポキシ樹脂の反応性を確保する観点からは、エポキシ当量１５０〜２５０、軟化点もしくは融点が５０〜１３０℃の常温で固形のものが好ましく、なかでも、信頼性の観点から、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂が好ましい。
また、低応力性の観点から、アセタール基やポリオキシアルキレン基などの柔軟性骨格を有する変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が好ましく、アセタール基を有する変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂は、液体状で取り扱いが良好であることから、特に好適に用いることができる。
シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物の柔軟性という点から、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂が特に好ましい。
エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは１５０ｇ／ｅｑ．以上、より好ましくは１７０ｇ／ｅｑ．以上である。一方、エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは３００ｇ／ｅｑ．以下、より好ましくは２５０ｇ／ｅｑ．以下である。
なお、エポキシ樹脂のエポキシ当量は、ＪＩＳ Ｋ ７２３６−２００９に規定された方法で測定できる。
なお、エポキシ樹脂のエポキシ当量は、ＪＩＳ Ｋ ７２３６−２００９に規定された方法で測定できる。
エポキシ樹脂の含有量は、樹脂成分１００重量％中、好ましくは２０重量％以上、より好ましくは３０重量％以上である。また、エポキシ樹脂の含有量は、好ましくは６０重量％以下、より好ましくは５０重量％以下である。
フェノール樹脂は、エポキシ樹脂との間で硬化反応を生起するものであれば特に限定されるものではない。例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ビフェニルアラルキル樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、クレゾールノボラック樹脂、レゾール樹脂などが用いられる。これらフェノール樹脂は単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。
フェノール樹脂としては、エポキシ樹脂との反応性の観点から、水酸基当量が７０〜２５０、軟化点が５０〜１１０℃（好ましくは７０〜９０℃）のものを用いることが好ましく、なかでも硬化反応性が高いという観点から、フェノールノボラック樹脂を好適に用いることができる。また、信頼性の観点から、フェノールアラルキル樹脂やビフェニルアラルキル樹脂のような低吸湿性のものも好適に用いることができる。
フェノール樹脂の水酸基当量は、好ましくは７０ｇ／ｅｑ．以上、より好ましくは９０ｇ／ｅｑ．以上である。一方、フェノール樹脂の水酸基当量は、好ましくは３００ｇ／ｅｑ．以下、より好ましくは２５０ｇ／ｅｑ．以下である。
エポキシ樹脂とフェノール樹脂の配合割合は、硬化反応性という観点から、エポキシ樹脂中のエポキシ基１当量に対して、フェノール樹脂中の水酸基の合計が０．７〜１．５当量となるように配合することが好ましく、より好ましくは０．９〜１．２当量である。
エポキシ樹脂及びフェノール樹脂の合計含有量は、樹脂成分１００重量％中、好ましくは５０重量％以上、より好ましくは６０重量％以上、更に好ましくは６５重量％以上である。５０重量％以上であると、電子部品用途向けに必要な樹脂強度を良好に確保できる。
エポキシ樹脂及びフェノール樹脂の合計含有量は、樹脂成分１００重量％中、好ましくは９８重量％以下、より好ましくは９５重量％以下である。９８重量％以下であると、成型性の良好なシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物が得られる。
エポキシ樹脂及びフェノール樹脂の合計含有量は、樹脂成分１００重量％中、好ましくは９８重量％以下、より好ましくは９５重量％以下である。９８重量％以下であると、成型性の良好なシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物が得られる。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。これにより、柔軟性、硬化後の強度が良好に得られる。
熱可塑性樹脂としては、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、６−ナイロンや６，６−ナイロンなどのポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ＰＥＴやＰＢＴなどの飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、又はフッ素樹脂などが挙げられる。また、スチレン−イソブチレン−スチレンブロック共重合体なども挙げられる。これらの熱可塑性樹脂は単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。なかでも、接着力と樹脂強度を良好に確保でき、信頼性の高い樹脂封止型半導体装置を製造できるという点から、スチレン−イソブチレン−スチレンブロック共重合体が好ましい。
熱可塑性樹脂の含有量は、樹脂成分１００重量％中、好ましくは２重量％以上、より好ましくは５重量％以上である。２重量％以上であると、柔軟性、硬化後の強度が良好に得られる。熱可塑性樹脂の含有量は、樹脂成分１００重量％中、好ましくは５０重量％以下、より好ましくは４０重量％以下である。５０重量％以下であると、難燃性が良好に得られる。
シリカとしては特に限定されないが、充填性、流動性に優れるという点から、溶融シリカ粉末を用いることがより好ましい。溶融シリカ粉末としては、球状溶融シリカ粉末、破砕溶融シリカ粉末が挙げられるが、流動性という観点から、球状溶融シリカ粉末を用いることが特に好ましい。
シリカの平均粒子径は、好ましくは０．１μｍ以上、より好ましくは０．３μｍ以上である。０．１μｍ以上であると、流動低下へ影響が少なく，良好な成型性が得られる。シリカの平均粒子径は、好ましくは３０μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下である。２０μｍ以下であると、成型時に電子部品へのダメージが少なく，信頼性の高い樹脂封止型半導体装置を製造できる。
なお、平均粒子径は、例えば、母集団から任意に抽出される試料を用い、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いて測定することにより導き出すことができる。
なお、平均粒子径は、例えば、母集団から任意に抽出される試料を用い、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いて測定することにより導き出すことができる。
シリカの含有量は、シート状熱硬化性樹脂組成物全体に対して、７０重量％以上、好ましくは８０重量％以上、より好ましくは８５重量％以上である。７０重量％以上であると、難燃性、硬化後の強度が良好に得られる。シリカの含有量は、シート状熱硬化性樹脂組成物全体に対して、９３重量％以下、好ましくは９０重量％以下である。９３重量％以下であると、流動低下へ影響が少なく，良好な成型性が得られる。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、ホスファゼン系難燃剤を含むことが好ましい。難燃剤用水酸化マグネシウムなどの金属水酸化物を配合すると、硬化後の強度が低下してしまうが、ホスファゼン系難燃剤を配合することで、硬化後の強度を特定範囲に良好に調整できる。
ホスファゼン系難燃剤としては特に限定されないが、難燃性、硬化後の強度に優れるという理由から、式（１）又は式（２）で表される化合物が好ましい。
Ｒ１及びＲ２のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基などが挙げられる。なかでも、炭素数４〜１０のアルコキシ基が好ましい。
Ｒ１及びＲ２のフェノキシ基としては、例えば、式（３）で表される基が挙げられる。
（式中、Ｒ１１は、水素、水酸基、アルキル基、アルコキシ基、グリシジル基又はこれらの基からなる群より選択される少なくとも１種の基を有する１価の有機基を表す。）
Ｒ１１のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｉｓｏ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、へキシル基、へプチル基、２−エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、オクタデシル基などが挙げられる。Ｒ１１のアルコキシ基としては、Ｒ１及びＲ２のアルコキシ基と同様の基が挙げられる。
Ｒ１及びＲ２としては、難燃性、硬化後の強度が良好に得られるという理由から、フェノキシ基が好ましく、式（３）で表される基がより好ましい。
ｘは３〜２５の整数を表すが、難燃性、硬化後の強度が良好に得られるという理由から、３〜１０が好ましく、３〜４がより好ましい。
式（２）において、Ｒ３及びＲ５のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基などが挙げられる。なかでも、炭素数４〜１０のアルコキシ基が好ましい。
Ｒ３及びＲ５のフェノキシ基としては、例えば、前記式（３）で表される基が挙げられる。
Ｒ３及びＲ５におけるアルコキシ基、フェノキシ基、アミノ基、水酸基及びアリル基からなる群より選択される少なくとも１種の基を有する１価の有機基としては特に限定されない。
Ｒ３及びＲ５としては、難燃性、硬化後の強度が良好に得られるという理由から、フェノキシ基が好ましく、式（３）で表される基がより好ましい。
Ｒ４の２価の有機基が有するアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基などが挙げられる。なかでも、炭素数４〜１０のアルコキシ基が好ましい。
Ｒ４の２価の有機基が有するフェノキシ基としては、例えば、前記式（３）で表される基が挙げられる。
ｙは３〜２５の整数を表すが、難燃性、硬化後の強度が良好に得られるという理由から、３〜１０が好ましい。
ｚは３〜２５の整数を表すが、難燃性、硬化後の強度が良好に得られるという理由から、３〜１０が好ましい。
少量でも難燃効果を発揮するという観点から、ホスファゼン系難燃剤に含まれるリン元素の含有率は、１２重量％以上であることが好ましい。
ホスファゼン系難燃剤の含有量は、シート状熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは０．０５重量％以上、より好ましくは０．１重量％以上、更に好ましくは０．２重量％以上である。０．０５重量％以上であると、難燃性が良好に得られる。ホスファゼン系難燃剤の含有量は、シート状熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは３０重量％以下、より好ましくは２０重量％以下、更に好ましくは５重量％以下である。３０重量％以下であると、硬化物の物性低下（具体的には、ガラス転移温度や高温樹脂強度などの物性の低下）が少なく、信頼性の高い樹脂封止型半導体装置が得られる。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、硬化促進剤を含むことが好ましい。硬化促進剤は、硬化を進行させるものであれば特に限定されるものではないが、硬化性と保存性の観点から、トリフェニルホスフィンやテトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレートなどの有機リン系化合物や、イミダゾール系化合物が好適に用いられる。
硬化促進剤の含有量は、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂の合計１００重量部に対して０．１〜５重量部であることが好ましい。
なお、本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、上記の各成分以外に必要に応じて、カーボンブラックをはじめとする顔料、シランカップリング剤、金属水酸化物など、他の添加剤を適宜配合することができる。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物において、金属水酸化物の含有量は少ないほど好ましく、シート状熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは５重量％以下、より好ましくは１重量％以下、更に好ましくは０重量％である。５重量％以下であると、硬化後の強度を特定範囲に良好に調整できる。
［シート状熱硬化性樹脂組成物の製造方法］
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、例えば、つぎのようにして製造することができる。
すなわち、まず、先に述べたシート用の各材料を均一に分散混合し、樹脂組成物を調製する。そして、調製された樹脂組成物を、シート状に形成する。この形成方法としては、例えば、調製された樹脂組成物を押出成形してシート状に形成する方法（混練押出）や、調製された樹脂組成物を有機溶剤等に溶解または分散してワニスを調製し、このワニスを、ポリエステル等の基材上に塗工し乾燥させることによりシートを製造する方法（溶剤塗工）等があげられる。溶剤塗工では、得られたシート状熱硬化性樹脂組成物を必要に応じて複数積層して、所定厚みのシート状熱硬化性樹脂組成物を得る。なお、シート状熱硬化性樹脂組成物の表面には、必要に応じ、シート状熱硬化性樹脂組成物の表面を保護するためにポリエステルフィルム等の剥離シートを貼り合わせ、封止時に剥離するようにしてもよい。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、例えば、つぎのようにして製造することができる。
すなわち、まず、先に述べたシート用の各材料を均一に分散混合し、樹脂組成物を調製する。そして、調製された樹脂組成物を、シート状に形成する。この形成方法としては、例えば、調製された樹脂組成物を押出成形してシート状に形成する方法（混練押出）や、調製された樹脂組成物を有機溶剤等に溶解または分散してワニスを調製し、このワニスを、ポリエステル等の基材上に塗工し乾燥させることによりシートを製造する方法（溶剤塗工）等があげられる。溶剤塗工では、得られたシート状熱硬化性樹脂組成物を必要に応じて複数積層して、所定厚みのシート状熱硬化性樹脂組成物を得る。なお、シート状熱硬化性樹脂組成物の表面には、必要に応じ、シート状熱硬化性樹脂組成物の表面を保護するためにポリエステルフィルム等の剥離シートを貼り合わせ、封止時に剥離するようにしてもよい。
ワニスを調製する際に用いる有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、シクロヘキサノン、ジオキサン、ジエチルケトン、トルエン、酢酸エチル等を用いることができる。これらは単独でもしくは二種以上併せて用いられる。また、通常、ワニスの固形分濃度が６０〜９０重量％の範囲となるように有機溶剤を用いることが好ましい。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物を混練押出により製造することにより、シート状に容易に成形でき、ボイド（気泡）などの少ない均一なシートとすることができる。
混練押出により製造する方法としては、例えば、上述の各成分をミキシングロール、加圧式ニーダー、押出機などの公知の混練機で溶融混練することにより混練物を調製し、得られた混練物を押し出してシート状に成形する方法などが挙げられる。
混練条件として、温度は、上述の各成分の軟化点以上であることが好ましく、例えば３０〜１５０℃、エポキシ樹脂の熱硬化性を考慮すると、好ましくは４０〜１４０℃、さらに好ましくは６０〜１２０℃である。時間は、例えば１〜３０分間、好ましくは５〜１５分間である。これによって、混練物を調製することができる。
混練条件として、温度は、上述の各成分の軟化点以上であることが好ましく、例えば３０〜１５０℃、エポキシ樹脂の熱硬化性を考慮すると、好ましくは４０〜１４０℃、さらに好ましくは６０〜１２０℃である。時間は、例えば１〜３０分間、好ましくは５〜１５分間である。これによって、混練物を調製することができる。
得られる混練物を押出成形により成形することにより、シート状熱硬化性樹脂組成物を得ることができる。具体的には、溶融混練後の混練物を冷却することなく高温状態のままで、押出成形することで、シート状熱硬化性樹脂組成物を成形することができる。このような押出方法としては、特に制限されず、平板プレス法、Ｔダイ押出法、ロール圧延法、ロール混練法、インフレーション押出法、共押出法、カレンダー成形法などが挙げられる。押出温度としては、上述の各成分の軟化点以上が好ましく、エポキシ樹脂の熱硬化性及び成形性を考慮すると、例えば４０〜１５０℃、好ましくは５０〜１４０℃、さらに好ましくは７０〜１２０℃である。以上により、シート状熱硬化性樹脂組成物を成形することができる。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物の厚さは特に限定されないが、０．１ｍｍ〜１ｍｍであることが好ましく、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍであることが好ましい。上記範囲内であると、電子部品を良好に封止できる。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、米国ＵＬ規格における難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足する。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、硬化前の粘度が４０℃において５×１０５Ｐａ・ｓ以下であることが好ましい。５×１０５Ｐａ・ｓ以下であると、シート状やロール状への加工性に優れ、シート状およびロール状に製造可能となる。該粘度の下限は特に限定されないが、好ましくは３×１０2Ｐａ・ｓ以上である。３×１０2Ｐａ・ｓ以上であると、ハンドリング性に優れる。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、硬化前の粘度が９０℃において５×１０３Ｐａ・ｓ以下であることが好ましい。５×１０３Ｐａ・ｓ以下であると、良好な成型性が得られる。該粘度の下限は特に限定されないが、好ましくは３×１０2Ｐａ・ｓ以上である。３×１０2Ｐａ・ｓ以上であると、樹脂の角形状を維持したまま成型が可能である。
硬化前の粘度は、実施例に記載の方法で測定できる。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、１５０℃で１時間加熱し硬化させた後の常温における３点曲げ強度が８０ＭＰａ以上である。８０ＭＰａ以上であると、樹脂が割れにくく高い信頼性の樹脂封止型半導体装置が得られる。該３点曲げ強度は、１００ＭＰａ以上が好ましい。
該３点曲げ強度の上限は特に限定されないが、例えば、２００ＭＰａ以下、好ましくは１８０ＭＰａ以下である。２００ＭＰａ以下であると、硬化物の加工性に優れる。
該３点曲げ強度は、実施例に記載の方法で測定できる。なお、本明細書において、常温とは２３℃である。
該３点曲げ強度の上限は特に限定されないが、例えば、２００ＭＰａ以下、好ましくは１８０ＭＰａ以下である。２００ＭＰａ以下であると、硬化物の加工性に優れる。
該３点曲げ強度は、実施例に記載の方法で測定できる。なお、本明細書において、常温とは２３℃である。
なお、３点曲げ強度は、難燃剤の種類、シリカの含有量、熱硬化性樹脂の含有量、エポキシ樹脂のエポキシ当量、フェノール樹脂の水酸基当量などによりコントロールできる。例えば、ホスファゼン系難燃剤を使用すること、シリカを増量すること、熱硬化性樹脂を増量すること、エポキシ当量が大きいエポキシ樹脂を使用すること、水酸基当量が大きいフェノール樹脂を使用することなどにより、３点曲げ強度を高めることができる。
本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、半導体ウェハ、半導体チップ、コンデンサ、抵抗などの電子部品の封止に使用される。なかでも、半導体ウェハ、半導体チップの封止に好適に使用できる。本発明のシート状熱硬化性樹脂組成物は、電子部品及びそれに付随する要素を外部環境から保護するための封止樹脂として機能できる。
封止方法としては特に限定されず、従来公知の方法で封止できる。例えば、シート状熱硬化性樹脂組成物に電子部品を埋め込む方法、軟化させたシート状熱硬化性樹脂組成物で電子部品を覆う方法が代表的である。
例えば、支持板、支持板上に積層された仮固定材及び仮固定材上に仮固定された半導体チップを備えるチップ仮固定体と、チップ仮固定体上に配置されたシート状熱硬化性樹脂組成物とを備える積層体を、平行平板方式で熱プレスすることにより、シート状熱硬化性樹脂組成物に電子部品を埋め込むことができる。支持板の材料としては特に限定されず、例えば、ＳＵＳなどの金属材料、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォンなどのプラスチック材料などである。仮固定材としては特に限定されないが、容易に剥離できるという理由から、通常は、熱発泡性粘着剤などの熱剥離性粘着剤などを使用する。
例えば、基板、基板上に配置された電子部品及び電子部品上に配置されたシート状熱硬化性樹脂組成物を備える積層構造体を、平行平板方式で熱プレスすることにより、シート状熱硬化性樹脂組成物に電子部品を埋め込むことができる。基板としては特に限定されず、例えば、ガラス布基材エポキシ樹脂銅張積層板、鉄ニッケル合金板、半導体ウェハなどが挙げられる。
基板上の電子部品を覆うようにシート状熱硬化性樹脂組成物を載置し、シート状熱硬化性樹脂組成物を熱硬化することで電子部品を封止することができる。
このような方法により得られた樹脂封止型半導体装置は、難燃性、硬化後の強度に優れ、信頼性が高い。
以下、本発明に関し実施例を用いて詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。また、各例中、部は特記がない限りいずれも重量基準である。
実施例で使用した成分について説明する。
エポキシ樹脂：新日鐵化学社製のＹＳＬＶ−８０ＸＹ（ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂：エポキシ当量 １９１、軟化点 ８０℃）
フェノール樹脂：明和化成社製のＭＥＨ７８５１ＳＳ（フェノールアラルキル樹脂：水酸基当量２０３、軟化点６７℃）
触媒：四国化成工業社製の２ＰＨＺ−ＰＷ（イミダゾール系触媒）
球状溶融シリカ：電気化学工業社製のＦＢ−９４５４（溶融球状シリカ、平均粒子径 ２０μｍ）
カーボンブラック：三菱化学社製の＃２０
シランカップリング剤：信越化学社製のＫＢＭ−４０３（３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン）
エラストマー（熱可塑性樹脂）：カネカ社製のＳＩＢＳＴＥＲ ０７２Ｔ（スチレン−イソブチレン−スチレンブロック共重合体）
難燃剤Ａ：伏見製薬所製のＦＰ−１００（ホスファゼン系難燃剤：式（４）で表される化合物）
（式中、ｍは３〜４の整数を表す。）
難燃剤Ｂ：タテホ化学工業社製のＺ−１０（難燃剤用水酸化マグネシウム）
エポキシ樹脂：新日鐵化学社製のＹＳＬＶ−８０ＸＹ（ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂：エポキシ当量 １９１、軟化点 ８０℃）
フェノール樹脂：明和化成社製のＭＥＨ７８５１ＳＳ（フェノールアラルキル樹脂：水酸基当量２０３、軟化点６７℃）
触媒：四国化成工業社製の２ＰＨＺ−ＰＷ（イミダゾール系触媒）
球状溶融シリカ：電気化学工業社製のＦＢ−９４５４（溶融球状シリカ、平均粒子径 ２０μｍ）
カーボンブラック：三菱化学社製の＃２０
シランカップリング剤：信越化学社製のＫＢＭ−４０３（３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン）
エラストマー（熱可塑性樹脂）：カネカ社製のＳＩＢＳＴＥＲ ０７２Ｔ（スチレン−イソブチレン−スチレンブロック共重合体）
難燃剤Ａ：伏見製薬所製のＦＰ−１００（ホスファゼン系難燃剤：式（４）で表される化合物）
難燃剤Ｂ：タテホ化学工業社製のＺ−１０（難燃剤用水酸化マグネシウム）
［樹脂シートの作製］
実施例１〜２及び比較例１〜４
表１に記載の配合比に従い、各成分を２軸混練り機により、１２０℃で１０分間混練し、混練物を調製した。次に、上記混練物を押出成形し、厚さ０．８ｍｍの樹脂シートを得た。
実施例１〜２及び比較例１〜４
表１に記載の配合比に従い、各成分を２軸混練り機により、１２０℃で１０分間混練し、混練物を調製した。次に、上記混練物を押出成形し、厚さ０．８ｍｍの樹脂シートを得た。
実施例３
表１に記載の配合比に従い、各成分をメチルエチルケトンとトルエンを５：５で含む混合液と混合し、成分濃度９０重量％の混合物を作製した。混合物を自転公転式ミキサー（シンキ―社製、あわとり練太郎）を用いて、２０００ｒｐｍで１０分間撹拌することで、塗工用ワニスを得た。塗工用ワニスを厚み５０μｍのシリコーン処理ＰＥＴ（三菱化学製：ＭＲＦ５０）上に塗工し、次いで熱風乾燥機で１１０℃１０分間乾燥させることにより、厚さ１００μｍのシートを得た。８枚のシートを真空ラミネーターにより、ロール温度９０℃、速度０．４ｍ／ｍｉｎで積層することにより、厚さ０．８ｍｍの樹脂シートを得た。なお、メチルエチルケトンとトルエンを含む混合液を使用したのは、エラストマーであるＳＩＢＳＴＡＲ ０７２Ｔがメチルエチルケトンに溶解しにくいためである。
表１に記載の配合比に従い、各成分をメチルエチルケトンとトルエンを５：５で含む混合液と混合し、成分濃度９０重量％の混合物を作製した。混合物を自転公転式ミキサー（シンキ―社製、あわとり練太郎）を用いて、２０００ｒｐｍで１０分間撹拌することで、塗工用ワニスを得た。塗工用ワニスを厚み５０μｍのシリコーン処理ＰＥＴ（三菱化学製：ＭＲＦ５０）上に塗工し、次いで熱風乾燥機で１１０℃１０分間乾燥させることにより、厚さ１００μｍのシートを得た。８枚のシートを真空ラミネーターにより、ロール温度９０℃、速度０．４ｍ／ｍｉｎで積層することにより、厚さ０．８ｍｍの樹脂シートを得た。なお、メチルエチルケトンとトルエンを含む混合液を使用したのは、エラストマーであるＳＩＢＳＴＡＲ ０７２Ｔがメチルエチルケトンに溶解しにくいためである。
［評価］
得られた樹脂シートを用いて以下の評価を行った。結果を表１に示す。
得られた樹脂シートを用いて以下の評価を行った。結果を表１に示す。
＜難燃性＞
図１を用いて、難燃性の測定方法について説明する。
図１は、難燃性試験の様子を示す図である。
図１を用いて、難燃性の測定方法について説明する。
図１は、難燃性試験の様子を示す図である。
まず、難燃性試験に使用した装置などについて説明する。
チャンバー：無風状態の試験箱
クランプ付きリングスタンド
工業用メタンガス
乾燥脱脂綿：５０．８ｍｍ × ５０．８ｍｍ × ６．４ｍｍ
恒温恒湿器：２３±２℃、湿度５０±５％
チャンバー：無風状態の試験箱
クランプ付きリングスタンド
工業用メタンガス
乾燥脱脂綿：５０．８ｍｍ × ５０．８ｍｍ × ６．４ｍｍ
恒温恒湿器：２３±２℃、湿度５０±５％
試験片の作製
樹脂シートから、１２７ｍｍ × １２．７ｍｍ × １／３２ｉｎｃｈの試験片１を切り出した。試験片１を、恒温恒湿器（２３±２℃、湿度５０±５％）に４８時間以上放置し、難燃性試験に用いた（前処理）。
樹脂シートから、１２７ｍｍ × １２．７ｍｍ × １／３２ｉｎｃｈの試験片１を切り出した。試験片１を、恒温恒湿器（２３±２℃、湿度５０±５％）に４８時間以上放置し、難燃性試験に用いた（前処理）。
難燃性試験の手順
チャンバー内に、クランプ付きリングスタンドを配置し、試験片１をクランプ２に取り付けた。また、試験片１の下方に乾燥脱脂綿３を配置した。
次いで、バーナー４を点火し、青色炎になるよう調整した。バーナー４を試験片１の下方に配置し、試験片１下部に１０秒間炎５を当てた。このとき、炎５の高さ１１はバーナー４の頂点から２０±１ｍｍであった。試験片１とバーナー４の頂点との距離１２は１０±１ｍｍであった。試験片１と乾燥脱脂綿３との距離１３は３００±１０ｍｍであった。炎５を試験片１から離した後、有炎燃焼時間を測定した。
試験片１の炎が消えた後（有炎燃焼時間の測定後）、再度、試験片１下部へ１０秒間接炎した。炎５を試験片１から離した後、有炎燃焼時間と赤熱時間を測定した。
チャンバー内に、クランプ付きリングスタンドを配置し、試験片１をクランプ２に取り付けた。また、試験片１の下方に乾燥脱脂綿３を配置した。
次いで、バーナー４を点火し、青色炎になるよう調整した。バーナー４を試験片１の下方に配置し、試験片１下部に１０秒間炎５を当てた。このとき、炎５の高さ１１はバーナー４の頂点から２０±１ｍｍであった。試験片１とバーナー４の頂点との距離１２は１０±１ｍｍであった。試験片１と乾燥脱脂綿３との距離１３は３００±１０ｍｍであった。炎５を試験片１から離した後、有炎燃焼時間を測定した。
試験片１の炎が消えた後（有炎燃焼時間の測定後）、再度、試験片１下部へ１０秒間接炎した。炎５を試験片１から離した後、有炎燃焼時間と赤熱時間を測定した。
難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）の要求事項
難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）の要求事項は以下の通りである。各例の試験片１について、全ての要求事項を満たす場合を○、満たさない場合を×とした。結果を表１に示す。
１）各有炎燃焼時間が１０秒以下であること。
２）１組５個の試験片１に合計１０回接炎し、合計の有炎燃焼時間が５０秒以下であること。
３）有炎燃焼又は赤熱燃焼がクランプ２まで達しないこと。
４）有炎滴下物により、試験片１の下方に置かれた乾燥脱脂綿３に着火しないこと。
５）赤熱燃焼時間が３０秒以内であること。
難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）の要求事項は以下の通りである。各例の試験片１について、全ての要求事項を満たす場合を○、満たさない場合を×とした。結果を表１に示す。
１）各有炎燃焼時間が１０秒以下であること。
２）１組５個の試験片１に合計１０回接炎し、合計の有炎燃焼時間が５０秒以下であること。
３）有炎燃焼又は赤熱燃焼がクランプ２まで達しないこと。
４）有炎滴下物により、試験片１の下方に置かれた乾燥脱脂綿３に着火しないこと。
５）赤熱燃焼時間が３０秒以内であること。
＜樹脂強度（３点曲げ強度）＞
図２を用いて、樹脂強度の測定方法について説明する。
図２は、３点曲げ試験の様子を示す図である。
図２を用いて、樹脂強度の測定方法について説明する。
図２は、３点曲げ試験の様子を示す図である。
１５０℃で１時間加熱し硬化させた後の樹脂シートから、１０ｍｍ（幅）×４０ｍｍ（長さ）×１ｍｍ（厚み）の試験片５１を切り出した。次いで、オートグラフ ＡＧ−５００Ｃ（島津製作所社製）を用いて、支点間距離６１が２０ｍｍである支持体５２に試験片５１を載せ、試験片５１の中央部に押し金具５３を当て、試験片５１と垂直方向に荷重を加え（荷重速度５ｍｍ／分）、試験片５１の３点曲げ強度を測定した。なお、測定は、常温で行った。
結果を表１に示す。
結果を表１に示す。
＜柔軟性＞
樹脂シートについて、ティーエイインスツルメント社製の粘弾性測定装置ＡＲＥＳを用いて、４０℃及び９０℃における粘度を測定した（測定条件：直径８ｍｍのパラレルプレート、昇温速度１０℃／分、周波数１Ｈｚ、歪み５％）。結果を表１に示す。
樹脂シートについて、ティーエイインスツルメント社製の粘弾性測定装置ＡＲＥＳを用いて、４０℃及び９０℃における粘度を測定した（測定条件：直径８ｍｍのパラレルプレート、昇温速度１０℃／分、周波数１Ｈｚ、歪み５％）。結果を表１に示す。
１ 試験片
２ クランプ
３ 乾燥脱脂綿
４ バーナー
５ 炎
１１ 炎の高さ
１２ 試験片とバーナーの頂点との距離
１３ 試験片と乾燥脱脂綿との距離
２１ １２７ｍｍ
２２ １２．７ｍｍ
５１ 試験片
５２ 支持体
５３ 押し金具
６１ 支点間距離
６２ 荷重方向
２ クランプ
３ 乾燥脱脂綿
４ バーナー
５ 炎
１１ 炎の高さ
１２ 試験片とバーナーの頂点との距離
１３ 試験片と乾燥脱脂綿との距離
２１ １２７ｍｍ
２２ １２．７ｍｍ
５１ 試験片
５２ 支持体
５３ 押し金具
６１ 支点間距離
６２ 荷重方向
Claims (6)
- エポキシ樹脂と、
フェノール樹脂と、
ホスファゼン系難燃剤と、
３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランとを含み、
金属水酸化物を含んでおらず、
エポキシ樹脂として、軟化点５０℃〜１３０℃のエポキシ樹脂のみを含み、
シリカの含有量が、シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物全体に対して、７０〜９３重量％であり、
難燃性規格（ＵＬ９４Ｖ−０）を満足し、
１５０℃で１時間加熱し硬化させた後の常温における３点曲げ強度が８０ＭＰａ以上であるシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物。 - 前記シリカの平均粒子径が０．１〜３０μｍである請求項１に記載のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物。
- 硬化前の粘度が９０℃において５×１０３Ｐａ・ｓ以下である請求項１又は２に記載のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物。
- 混練押出により製造される請求項１〜３のいずれか１項に記載のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物。
- 請求項１〜４のいずれか１項に記載のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物を用いて得られる樹脂封止型半導体装置。
- 請求項１〜４のいずれか１項に記載のシート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物を用いて電子部品を封止する工程を含む樹脂封止型半導体装置の製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014005102A JP6251575B2 (ja) | 2013-01-23 | 2014-01-15 | シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 |
| CN201480005497.4A CN104937036A (zh) | 2013-01-23 | 2014-01-21 | 片状的电子部件密封用热固化性树脂组合物、树脂密封型半导体装置、和树脂密封型半导体装置的制造方法 |
| PCT/JP2014/051123 WO2014115725A1 (ja) | 2013-01-23 | 2014-01-21 | シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 |
| SG11201505714WA SG11201505714WA (en) | 2013-01-23 | 2014-01-21 | Sheet-form thermosetting resin composition for sealing electronic component, resin-sealed semiconductor device, and method of manufacturing resin-sealed semiconductor device |
| KR1020157022786A KR20150108916A (ko) | 2013-01-23 | 2014-01-21 | 시트상의 전자 부품 봉지용 열경화성 수지 조성물, 수지 봉지형 반도체 장치, 및 수지 봉지형 반도체 장치의 제조 방법 |
| TW103102481A TW201446870A (zh) | 2013-01-23 | 2014-01-23 | 薄片狀之電子零件密封用熱硬化性樹脂組成物、樹脂密封型半導體裝置、及樹脂密封型半導體裝置之製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013010225 | 2013-01-23 | ||
| JP2013010225 | 2013-01-23 | ||
| JP2014005102A JP6251575B2 (ja) | 2013-01-23 | 2014-01-15 | シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014159555A JP2014159555A (ja) | 2014-09-04 |
| JP6251575B2 true JP6251575B2 (ja) | 2017-12-20 |
Family
ID=51227516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014005102A Active JP6251575B2 (ja) | 2013-01-23 | 2014-01-15 | シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6251575B2 (ja) |
| KR (1) | KR20150108916A (ja) |
| CN (1) | CN104937036A (ja) |
| SG (1) | SG11201505714WA (ja) |
| TW (1) | TW201446870A (ja) |
| WO (1) | WO2014115725A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6302801B2 (ja) * | 2014-09-03 | 2018-03-28 | 日東電工株式会社 | 封止用シート |
| US20170051184A1 (en) | 2015-02-04 | 2017-02-23 | Lg Chem, Ltd. | Pressure-sensitive adhesive composition |
| KR101826545B1 (ko) | 2015-07-31 | 2018-02-07 | 현대자동차 주식회사 | 차량용 배기 시스템 |
| JP2017088656A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | 信越化学工業株式会社 | 難燃性樹脂組成物、難燃性樹脂フィルム及び半導体装置とその製造方法 |
| EP3395907B1 (en) | 2015-12-25 | 2020-08-05 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | Sealing resin composition, and semiconductor device |
| JP6819067B2 (ja) * | 2016-03-31 | 2021-01-27 | 住友ベークライト株式会社 | 熱硬化性樹脂組成物、キャリア付樹脂膜、プリント配線基板および半導体装置 |
| KR20200135310A (ko) * | 2018-03-26 | 2020-12-02 | 린텍 가부시키가이샤 | 수지 시트 및 그 제조 방법 |
| JP7222320B2 (ja) * | 2019-06-25 | 2023-02-15 | 味の素株式会社 | 樹脂組成物 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0841171A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-13 | Matsushita Electric Works Ltd | 封止用エポキシ樹脂組成物 |
| JPH09202850A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-08-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 封止用エポキシ樹脂組成物、それを用いた半導体装置、及びその封止用エポキシ樹脂組成物の製造方法 |
| JPH1180559A (ja) * | 1997-08-29 | 1999-03-26 | Nippon Zeon Co Ltd | 半導体チップ基板間封止材料 |
| JP2003249510A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-05 | Asuriito Fa Kk | 半導体封止方法 |
| JP2004018602A (ja) * | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Nitto Denko Corp | 半導体封止用樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
| JP2004067774A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
| JP4850510B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2012-01-11 | 京セラケミカル株式会社 | 封止用樹脂組成物および半導体装置 |
| JP5157473B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2013-03-06 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
| JP2011246596A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Kyocera Chemical Corp | シート状樹脂組成物、及びそれを用いて封止された回路部品 |
| JP5882040B2 (ja) * | 2011-05-20 | 2016-03-09 | 日東電工株式会社 | 樹脂混練物、樹脂シートおよび樹脂混練物の製造方法 |
| JP2013006171A (ja) * | 2011-05-20 | 2013-01-10 | Nitto Denko Corp | 混練機 |
| CN104105756A (zh) * | 2012-01-26 | 2014-10-15 | 东丽株式会社 | 树脂组合物及将该树脂组合物成型而成的半导体安装基板 |
-
2014
- 2014-01-15 JP JP2014005102A patent/JP6251575B2/ja active Active
- 2014-01-21 KR KR1020157022786A patent/KR20150108916A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-01-21 SG SG11201505714WA patent/SG11201505714WA/en unknown
- 2014-01-21 WO PCT/JP2014/051123 patent/WO2014115725A1/ja active Application Filing
- 2014-01-21 CN CN201480005497.4A patent/CN104937036A/zh active Pending
- 2014-01-23 TW TW103102481A patent/TW201446870A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20150108916A (ko) | 2015-09-30 |
| CN104937036A (zh) | 2015-09-23 |
| TW201446870A (zh) | 2014-12-16 |
| WO2014115725A1 (ja) | 2014-07-31 |
| SG11201505714WA (en) | 2015-09-29 |
| JP2014159555A (ja) | 2014-09-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6251575B2 (ja) | シート状の電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
| JP5133598B2 (ja) | 封止用熱硬化型接着シート | |
| CN102002240B (zh) | 一种阻燃脱醇型室温固化硅橡胶 | |
| US9873771B2 (en) | Film-like epoxy resin composition, method of producing film-like epoxy resin composition, and method of producing semiconductor device | |
| US20120296010A1 (en) | Encapsulating sheet and electronic device | |
| TWI621225B (zh) | 中空密封用樹脂薄片及中空封裝之製造方法 | |
| CN107210274B (zh) | 密封用膜及使用该密封用膜的电子部件装置 | |
| JP2013147589A (ja) | 電子部品封止用樹脂組成物シートおよびそれを用いた電子部品装置の製法 | |
| KR20150136471A (ko) | 전자 디바이스 봉지용 수지 시트 및 전자 디바이스 패키지의 제조 방법 | |
| KR20180037017A (ko) | 에폭시 수지 조성물, 필름형 에폭시 수지 조성물 및 전자 장치 | |
| KR20180048674A (ko) | 수지 조성물, 경화물, 봉지용 필름 및 봉지 구조체 | |
| JP2011032436A (ja) | 電子部品封止用のシート状エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 | |
| WO2014156927A1 (ja) | 電子デバイス封止用樹脂シート及び電子デバイスパッケージの製造方法 | |
| JP5769674B2 (ja) | 電子部品封止用樹脂シート、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
| JP7099453B2 (ja) | 封止用フィルム、封止構造体及び封止構造体の製造方法 | |
| JP5768023B2 (ja) | 電子部品封止用熱硬化性樹脂シート、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
| TWI738912B (zh) | 密封用薄膜及其硬化物、以及電子裝置 | |
| JP2009013309A (ja) | エポキシ樹脂組成物およびそれを用いて得られる電子部品 | |
| KR102441766B1 (ko) | 봉지용 필름 및 봉지 구조체, 및 이들의 제조 방법 | |
| TWI699393B (zh) | 熱硬化性樹脂組成物、硬化物、樹脂薄片、密封結構體及其製造方法、以及電子零件裝置及其製造方法 | |
| JPWO2019188255A1 (ja) | 樹脂シートおよびその製造方法 | |
| JP2010018736A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびその製法ならびにそれにより得られる半導体装置 | |
| JP6302692B2 (ja) | 中空封止用樹脂シート及び中空パッケージの製造方法 | |
| WO2021085230A1 (ja) | ポリフェニレンスルフィド樹脂接着用ポリオルガノシロキサン組成物 | |
| JP2014229768A (ja) | 電子部品装置の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161124 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170907 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171102 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171114 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171127 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6251575 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |