JP6245179B2 - 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2012年4月10日に出願された米国特許仮出願61/622,235及び2013年3月11日に出願された米国特許出願13/793,667に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXの一例を示す概略構成図である。本実施形態の露光装置EXは、液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する液浸露光装置である。本実施形態においては、基板Pに照射される露光光ELの光路Kが液体LQで満たされるように液浸空間LSが形成される。液浸空間LSとは、液体で満たされた部分(空間、領域)をいう。基板Pは、液浸空間LSの液体LQを介して露光光ELで露光される。本実施形態においては、液体LQとして、水(純水)を用いる。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (22)
- 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材を備え、
前記液浸部材は、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1面を有する第1部材と、
前記第1部材と間隙を介して前記第1部材の下方で移動可能であり、前記第1面と対向する第2面と前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口とを有する第2部材と、
前記第1面と前記第2面との間隙に対する前記液体の浸入を抑制する抑制部と、
を備え、
前記第2部材は、前記物体との相対速度が、前記第1部材と前記物体との相対速度よりも小さくなるように移動する露光装置。 - 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材を備え、
前記液浸部材は、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1面を有する第1部材と、
前記露光光の前記光路に対して前記第1部材の少なくとも一部の外側で移動可能であり、前記第1面に対向する第2面と前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口とを有する第2部材と、
前記第1面と前記第2面との間隙に対する前記液体の浸入を抑制する抑制部と、
を備え、
前記第2部材は、前記物体との相対速度が、前記第1部材と前記物体との相対速度よりも小さくなるように移動する露光装置。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と垂直な所定面と実質的に平行に移動可能である請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記第2部材は、前記第1部材と前記物体との間において移動可能である請求項1から3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2部材は、前記第2部材と前記物体との間の空間の少なくとも一部に前記液体が存在する状態で、前記物体の移動の少なくとも一部と並行して移動する請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2部材は、前記回収口から前記液体を回収しながら移動可能である請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記回収口は、前記物体が対向するように配置される請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1面は、前記光学部材の光軸と垂直な所定面と実質的に平行であり、
前記第2部材は、前記第1面に沿って移動する請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1面と前記第2面との間に液体が存在しない請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記液浸空間の前記液体の界面の少なくとも一部が前記第1面の内縁と前記第2面の内縁との間に形成される請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記抑制部は、前記第1面及び前記第2面の少なくとも一方に配置される撥液性の膜を含む請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記抑制部は、前記第1面と前記第2面との間に気体を供給する給気部を含む請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1面と前記第2面との間にガスベアリングが形成される請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1面及び前記第2面の少なくとも一方に配置され、前記第1面と前記第2面との間隙に気体を供給する給気口と、
前記第1面及び前記第2面の少なくとも一方に配置され、前記間隙の気体の少なくとも一部を排出する排気口と、を有し、
前記給気口からの気体供給及び前記排気口からの気体排出によって前記ガスベアリングが形成される請求項13に記載の露光装置。 - 前記第1部材は、前記射出面から射出される前記露光光が通過可能な開口の周囲に配置され、前記物体との間で前記液体を保持可能な下面を有し、
前記第1面は、前記下面の周囲において前記下面よりも上方に配置される請求項1〜14のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記物体が対向可能な下面をさらに有し、
前記第2部材の下面は、前記第1部材の下面よりも上方に配置される請求項15に記載の露光装置。 - 前記第1部材は、前記液浸空間を形成するための液体を供給する供給口をさらに有する請求項1〜16のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2部材を移動する駆動システムと、
前記基板を保持して移動可能な基板ステージをさらに備え、
前記物体は、前記基板及び前記基板ステージの少なくとも一方を含む請求項1から17のいずれか一項に記載の露光装置。 - 液体を介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材を用いて液浸空間を形成することを含み、
前記液浸部材は、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1面を有する第1部材と、
前記第1部材と間隙を介して前記第1部材の下方で移動可能であり、前記第1面と対向する第2面と前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口とを有する第2部材と、
前記第1面と前記第2面との間隙に対する前記液体の浸入を抑制する抑制部と、
を備え、
前記第2部材を、前記物体との相対速度が、前記第1部材と前記物体との相対速度よりも小さくなるように移動させる露光方法。 - 液体を介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材を用いて液浸空間を形成することを含み、
前記液浸部材は、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1面を有する第1部材と、
前記露光光の前記光路に対して前記第1部材の少なくとも一部の外側で移動可能であり、前記第1面に対向する第2面と前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口とを有する第2部材と、
前記第1面と前記第2面との間隙に対する前記液体の浸入を抑制する抑制部と、
を備え、
前記第2部材を、前記物体との相対速度が、前記第1部材と前記物体との相対速度よりも小さくなるように移動させる露光方法。 - 請求項1〜18のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 請求項19又は20に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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