JP2015515738A - 液浸部材、及び、露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2012年4月10日に出願された米国特許仮出願61/622,235及び2013年3月11日に出願された米国特許出願13/793,667に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXの一例を示す概略構成図である。本実施形態の露光装置EXは、液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する液浸露光装置である。本実施形態においては、基板Pに照射される露光光ELの光路Kが液体LQで満たされるように液浸空間LSが形成される。液浸空間LSとは、液体で満たされた部分(空間、領域)をいう。基板Pは、液浸空間LSの液体LQを介して露光光ELで露光される。本実施形態においては、液体LQとして、水(純水)を用いる。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (54)
- 光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記第1部材と間隙を介して前記第1部材の下方で移動可能であり、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口を有する第2部材と、を備える液浸部材。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と垂直な所定面と実質的に平行に移動可能である請求項1に記載の液浸部材。
- 前記第2部材は、前記第1部材と前記物体との間において移動可能である請求項1又は2に液浸部材。
- 前記第2部材は、前記第2部材と前記物体との間の空間の少なくとも一部に前記液体が存在する状態で、前記物体の移動の少なくとも一部と並行して移動する請求項1〜3のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第2部材は、前記回収口から前記液体を回収しながら移動可能である請求項1〜4のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記回収口は、前記物体が対向するように配置される請求項1〜5のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第1部材は、実質的に移動しない請求項1〜6のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第2部材は、移動可能に支持される請求項1〜7のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第1部材は、前記光学部材の光軸と垂直な所定面と実質的に平行な第1面を有し、
前記第2部材は、前記第1面と対向する第2面を有し、前記第1面に沿って移動する請求項8に記載の液浸部材。 - 前記第1面と前記第2面との間に液体が存在しない請求項9に記載の液浸部材。
- 前記液浸空間の前記液体の界面の少なくとも一部が前記第1面の内縁と前記第2面の内縁との間に形成される請求項9又は10に記載の液浸部材。
- 前記第1面と前記第2面との前記間隙に対する前記液体の浸入を抑制する抑制部をさらに備える請求項9〜11のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記抑制部は、前記第1面及び前記第2面の少なくとも一方に配置される撥液性の膜を含む請求項12に記載の液浸部材。
- 前記抑制部は、前記第1面と前記第2面との間に気体を供給する給気部を含む請求項12又は13に記載の液浸部材。
- 前記第1面と前記第2面との間にガスベアリングが形成される請求項9〜14のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第1面及び前記第2面の少なくとも一方に配置され、前記第1面と前記第2面との間隙に気体を供給する給気口と、前記間隙の気体の少なくとも一部を排出する排気口と、をさらに有し、
前記給気口からの気体供給及び前記排気口からの気体排出によって前記ガスベアリングが形成される請求項15に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記射出面から射出される前記露光光が通過可能な開口の周囲に配置され、前記物体との間で前記液体を保持可能な下面をさらに有し、
前記第1面は、前記下面の周囲において前記下面よりも上方に配置される請求項9〜16のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記物体が対向可能な下面をさらに有し、
前記第2部材の下面は、前記第1部材の下面よりも上方に配置される請求項17に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記下面の外縁と前記第1面の内縁とを結ぶ外面をさらに有し、
前記第2部材は、前記外面の周囲の空間において移動する請求項17又は18に記載の液浸部材。 - 前記外面の周囲に配置される前記第2部材の内面は、前記光路に対する放射方向に関して外側に向かって下方に傾斜する請求項19に記載の液浸部材。
- 前記第1部材は、間隙を介して前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される請求項1〜20のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第2部材は、多孔部材を含み、
前記回収口は、前記多孔部材の孔を含む請求項1〜21のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記液浸空間を形成するための液体を供給する供給口をさらに有する請求項1〜22のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記供給口は、前記光路に対する放射方向に関して前記回収口の内側に配置される請求項23に記載の液浸部材。
- 前記供給口は、前記第1部材に配置される請求項23又は24に記載に液浸部材。
- 光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記露光光の前記光路に対して前記第1部材の少なくとも一部の外側で移動可能であり、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口を有する第2部材と、を備える液浸部材。 - 前記第2部材は、間隙を介して前記第1部材の周囲の少なくとも一部に配置される請求項26に記載の液浸部材。
- 前記第1部材は、前記光学部材の外面の周囲に配置される部分を含み、
前記第2部材は、前記部分の周囲の空間において移動される請求項26又は27に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記第1部材の前記部分の外面の周囲に配置される内面を有し、
前記外面と前記内面とが接触しないように移動される請求項28に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と垂直な所定面と実質的に平行に移動可能である請求項26〜29のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第2部材は、前記第1部材と前記物体との間において移動可能である請求項26〜30のいずれか一項に液浸部材。
- 前記第2部材は、前記第2部材と前記物体との間の空間の少なくとも一部に前記液体が存在する状態で、前記物体の移動の少なくとも一部と並行して移動可能である請求項26〜31のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第2部材は、前記回収口から前記液体を回収しながら移動可能である請求項26〜32のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記回収口は、前記物体が対向するように配置される請求項26〜33のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第1部材は、実質的に移動しない請求項26〜34のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記第2部材は、多孔部材を含み、
前記回収口は、前記多孔部材の孔を含む請求項26〜35のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記液浸空間を形成するための液体を供給する供給口をさらに有する請求項26〜36のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 前記供給口は、前記光路に対する放射方向に関して前記回収口の内側に配置される請求項37に記載の液浸部材。
- 前記供給口は、前記第1部材に配置される請求項37又は38に記載に液浸部材。
- 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
請求項1〜39のいずれか一項に記載の液浸部材を備える露光装置。 - 前記第2部材は、前記物体との相対速度が小さくなるように移動する請求項40に記載の露光装置。
- 前記第2部材は、前記物体との相対速度が、前記第1部材と前記物体との相対速度よりも小さくなるように移動する請求項40又は41に記載の露光装置。
- 前記第2部材は、前記物体と同期して移動する請求項40〜42のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2部材は、前記所定面内の第1位置から第2位置までの第1経路、前記第2位置から第3位置までの曲線を含む第2経路、前記第1経路と交差する前記第3位置から第4位置までの第3経路、及び前記第4位置から前記第1位置までの曲線を含む第4経路を順次移動する請求項40〜43のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記液浸空間が形成された状態で、前記物体は、少なくとも一部が前記所定面内の第1軸と平行な第5経路、前記第1経路の終点の第5位置から前記第1軸と直交する第2軸と平行な方向に関して前記第5位置の一側に隣り合う第6位置までの第6経路、少なくとも一部が前記第1軸と平行な前記第6位置から第7位置までの第7経路、及び前記第7位置から前記第2軸と平行な方向に関して前記第7位置の一側に隣り合う第8位置までの第8経路を順次移動し、
前記第1、第3経路は、前記第1軸及び前記第2軸の両方と傾斜し、
前記物体が前記第5、第6、第7、第8経路を移動するとき、前記第2部材は前記第1、第2、第3、第4経路を移動する請求項44に記載の露光装置。 - 前記基板を保持して移動可能な基板ステージをさらに備え、
前記物体は、前記基板及び前記基板ステージの少なくとも一方を含む請求項45に記載の露光装置。 - 前記第2部材を移動する駆動システムをさらに備える請求項40〜46のいずれか一項記載の露光装置。
- 請求項40〜47のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 液体を介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
光学部材の射出面から射出される前記露光光の光路が前記液体で満たされるように液浸空間を形成することと、
前記液浸空間の液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と間隙を介して前記第1部材の下方に配置され、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口を有する第2部材を移動することと、を含む露光方法。 - 前記基板上のあるショット領域が露光されるスキャン移動動作の期間の少なくとも一部において、前記第2部材22は、前記基板と同じスキャン方向へ移動するとともに、前記基板のステップ方向とは逆向きの方向に移動する請求項49記載の露光方法。
- 前記基板上のあるショット領域の露光完了後、次のショット領域の露光が開始されるまでのステップ移動動作の期間の少なくとも一部において、前記第2部材22は、前記基板と同じスキャン方向へ移動するとともに、前記基板と同じステップ方向に移動する請求項49又は50記載の露光方法。
- 請求項49〜51のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - コンピュータに、液体を介して露光光で基板を露光する露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
光学部材の射出面から射出される前記露光光の光路が前記液体で満たされるように液浸空間を形成することと、
前記液浸空間の液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と間隙を介して前記第1部材の下方に配置され、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口を有する第2部材を移動することと、を実行させるプログラム。 - 請求項53に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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