JP6236486B2 - 位置調節機構、樹脂封止装置、樹脂封止方法、及び樹脂封止製品の製造方法。 - Google Patents
位置調節機構、樹脂封止装置、樹脂封止方法、及び樹脂封止製品の製造方法。 Download PDFInfo
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Description
基板を樹脂封止する樹脂封止装置における、前記基板の厚み方向の位置を調節する位置調節機構であって、
プラテンと、一対の楔形部材とを含み、
前記一対の楔形部材は、
第1楔形部材と第2楔形部材とを含み、
前記プラテンに取り付けられ、
前記第1楔形部材と前記第2楔形部材とは、
それぞれが、テーパ面を有しており、
互いの前記テーパ面が対向するように、配置されており、
少なくとも一方の楔形部材を、そのテーパ面に沿ってスライドさせることで、前記一対の楔形部材の前記基板の厚み方向の長さを変化可能であり、
前記位置調節機構は、前記樹脂封止装置において、前記基板を配置する樹脂封止用成形型とは別々に構成されていることを特徴とする。
基板を樹脂封止する樹脂封止装置であって、
前記本発明の位置調節機構と、樹脂封止用成形型を設置する設置部とを含み、
前記位置調節機構は、前記設置部の上方及び下方の少なくとも一方に配置されていることを特徴とする。
基板を樹脂封止する樹脂封止方法であって、
樹脂封止用成形型が前記設置部に設置された前記本発明の樹脂封止装置を用い、
少なくとも一方の楔形部材を、そのテーパ面に沿ってスライドさせることで、前記一対の楔形部材の厚み方向の長さを変化させて前記基板の厚み方向の位置を調節する、位置調節工程と、
前記基板を樹脂封止する樹脂封止工程と、
を含むことを特徴とする。
さらに、弾性部材を含む位置調節補助機構を含み、
前記位置調節補助機構は、前記設置部の上方及び下方の少なくとも一方に配置され、
樹脂封止用成形型を仮締めした状態で、前記弾性部材の伸長力により、前記基板を、前記樹脂封止用成形型に固定することが可能であっても良い。なお、本発明において、成形型の「仮締め」は、樹脂封止時の型締め(本締め)に先立ち行う型締めをいう。例えば、仮締めは、本締めよりも緩い力で型締めすることができる。なお、詳細は後述するが、樹脂封止用成形型を仮締めした状態から、一旦型締めを解除して、樹脂封止用成形型を型締め(本締め)して基板を樹脂封止しても良いし、または、樹脂封止用成形型を仮締めした状態を維持して、型締めを解除することなく、引き続き樹脂封止用成形型を型締め(本締め)して基板を樹脂封止しても良い。
前記位置調節補助機構が、さらに、ホルダーを含み、
前記弾性部材が、前記ホルダーと、前記樹脂封止用成形型との間に挟まれた状態で伸縮可能であっても良い。
前記位置調節補助機構が、さらに、剛体部材を含み、
前記樹脂封止用成形型が型締めされ、前記基板が前記樹脂封止用成形型により挟持された状態で、前記樹脂封止用成形型を開閉させる方向への前記樹脂封止用成形型の移動が、前記剛体部材により停止されても良い。なお、本発明において、「樹脂封止用成形型を開閉させる方向」は、例えば、基板の厚み方向と同じであり、例えば、上下方向である。
11 コッター(一対の楔形部材)
11a 第1コッター(第1楔形部材)
11b 第2コッター(第2楔形部材)
12 駆動機構
13 モールドベース
14 プラテン(可動プラテン)
15 固定部材
16 コッター動力伝達部材
21、21b ホルダー(下型チェイスホルダー)
22、22b ヒータープレート
23、23b ヒーター
24、24b 断熱プレート
25、25b クランププレート
31、31b フローティングスプリング(弾性部材)
32、32b ピラー(剛体部材)
41 プランジャ
42 ポットブロック
43 カルブロック
51 下型キャビティ部材51a、51b 下型
51x、51y 下型ベース
52 下型外周ホルダー
53 下型キャビティ下面部材
54 下型キャビティ部材
55 フローティングスプリング(弾性部材)
56 キャビティ
61 上型キャビティ部材
61a、61b 上型
62、62b 上型チェイスホルダー
71、71b 固定プラテン
81、81b 基盤
82、82b 駆動機構
83、83b プレス動力伝達部材
91、91b タイバー(柱状部材)
101、301 封止樹脂
101a、301b 溶融樹脂(流動性樹脂)
201 基板
202 チップ
203 ワイヤ
204 バンプ
1000、2000 樹脂封止装置
1100、2100 設置部
1200、2200 位置調節補助機構
Claims (16)
- 基板を樹脂封止する樹脂封止装置であって、
前記基板の厚み方向の位置を調節する位置調節機構と、弾性部材を含む位置調節補助機構と、樹脂封止用成形型を設置する設置部とを含み、
前記位置調節機構は、前記設置部の上方及び下方の少なくとも一方に配置され、
前記位置調節機構は、プラテンと、一対の楔形部材とを含み、
前記一対の楔形部材は、
第1楔形部材と第2楔形部材とを含み、
前記プラテンに取り付けられ、
前記第1楔形部材と前記第2楔形部材とは、
それぞれが、テーパ面を有しており、
互いの前記テーパ面が対向するように、配置されており、
少なくとも一方の楔形部材を、そのテーパ面に沿ってスライドさせることで、前記一対の楔形部材の前記基板の厚み方向の長さを変化可能であり、
前記位置調節機構は、前記樹脂封止装置において、前記基板を配置する樹脂封止用成形型とは別々に構成されており、
前記位置調節補助機構は、前記設置部の上方及び下方の少なくとも一方に配置され、
前記樹脂封止用成形型を仮締めした状態で、前記弾性部材の伸長力により、前記基板を、前記樹脂封止用成形型に固定することが可能であることを特徴とする樹脂封止装置。 - 前記位置調節機構が、さらに、前記一対の楔形部材を駆動するための駆動機構を有している、請求項1記載の樹脂封止装置。
- 前記位置調節機構が、前記設置部の下方に配置されている請求項1又は2記載の樹脂封止装置。
- 前記位置調節補助機構が、さらに、ホルダーを含み、
前記弾性部材が、前記ホルダーと、前記樹脂封止用成形型との間に挟まれた状態で伸縮可能である請求項1から3のいずれか一項に記載の樹脂封止装置。 - 前記位置調節補助機構が、さらに、剛体部材を含み、
前記樹脂封止用成形型が型締めされ、前記基板が前記樹脂封止用成形型により挟持された状態で、前記樹脂封止用成形型を開閉させる方向への前記樹脂封止用成形型の移動が、前記剛体部材により停止される請求項1から4のいずれか一項に記載の樹脂封止装置。 - 前記位置調節補助機構が、前記設置部の下方に配置され、さらにその下方に、前記位置調節機構が配置されている請求項1から5のいずれか一項に記載の樹脂封止装置。
- 前記プラテンが、前記一対の楔形部材とともに、上下に昇降可能である請求項1から6のいずれか一項に記載の樹脂封止装置。
- さらに、前記設置部に設置される樹脂封止用成形型を含む請求項1から7のいずれか一項に記載の樹脂封止装置。
- 前記樹脂封止用成形型が、上型及び下型を含む請求項8記載の樹脂封止装置。
- トランスファ成形用の樹脂封止装置である請求項1から9のいずれか一項に記載の樹脂封止装置。
- 圧縮成形用の樹脂封止装置である請求項1から9のいずれか一項に記載の樹脂封止装置。
- 前記基板上に配置されたチップを樹脂封止して電子部品を製造するための、請求項1から11のいずれか一項に記載の樹脂封止装置。
- 前記位置調節機構を2つ以上有する請求項1から12のいずれか一項に記載の樹脂封止装置。
- 基板を樹脂封止する樹脂封止方法であって、
樹脂封止用成形型が前記設置部に設置された請求項1から13のいずれか一項に記載の樹脂封止装置を用い、
少なくとも一方の楔形部材を、そのテーパ面に沿ってスライドさせることで、前記一対の楔形部材の厚み方向の長さを変化させて前記基板の厚み方向の位置を調節する、位置調節工程と、
前記基板を樹脂封止する樹脂封止工程と、
を含むことを特徴とする樹脂封止方法。 - 前記位置調節工程が、
前記樹脂封止用成形型を仮締めして前記基板を前記樹脂封止用成形型により挟持した状態で、前記少なくとも一方の楔形部材をスライドさせ、前記一対の楔形部材の厚み方向の長さを変化させて前記基板の厚み方向の位置を前記仮締め状態に対応した位置に調節する工程と、
その後に、前記樹脂封止用成形型を型開きして前記基板の挟持を解除した状態で、再度、前記少なくとも一方の楔形部材をスライドさせ、前記一対の楔形部材の厚み方向の長さを、前記基板の締め代量だけ増大させる工程と、
を含む、請求項14記載の樹脂封止方法。 - 基板が樹脂封止された樹脂封止製品の製造方法であって、請求項14又は15記載の樹脂封止方法により前記基板を樹脂封止することを特徴とする製造方法。
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