JP6228965B2 - 三次元屈折率測定方法および三次元屈折率測定装置 - Google Patents
三次元屈折率測定方法および三次元屈折率測定装置 Download PDFInfo
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Description
110:変調部
120:干渉計
130:映像部
Claims (10)
- 波面制御器(wavefront shaper)を使用して入射光の走査角度および波面パターンのうち少なくとも1つを変更してサンプルに入射させる段階、
前記サンプルを通過した二次元光学場を、干渉計を利用して少なくとも1つ以上の前記入射光にしたがって測定する段階、および
測定された前記二次元光学場の情報によって三次元屈折率映像を取得する段階
を含み、
前記サンプルに入射させる段階は、
前記波面制御器として多数のマイクロミラーを含む配列を備えるデジタルマイクロミラー素子(Digital Micromirror Device:DMD)を使用し、前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)で反射した前記二次元光学場を伝達する第1レンズと第2レンズとの間に空間フィルタ(spatial filter)を配置する段階、
前記空間フィルタ(spatial filter)を通過することにより1次回折光に位相が調節されて線形的な傾きを有する前記入射光の平面波の進行角度を制御する段階、および
制御された前記平面波の進行角度を複数のレンズで拡大して前記サンプルに入射させる段階
を含む、
波面制御器を活用した三次元屈折率測定方法。 - 波面制御器(wavefront shaper)を使用して入射光の走査角度および波面パターンのうち少なくとも1つを変更してサンプルに入射させる段階、
前記サンプルを通過した二次元光学場を、干渉計を利用して少なくとも1つ以上の前記入射光にしたがって測定する段階、および
測定された前記二次元光学場の情報によって三次元屈折率映像を取得する段階
を含み、
前記サンプルに入射させる段階は、
前記波面制御器として多数のマイクロミラーを含む配列を備えるデジタルマイクロミラー素子(Digital Micromirror Device:DMD)を使用し、前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)で反射した前記二次元光学場を伝達する第1レンズおよび第2レンズのうち少なくとも1つ以上のレンズの中心が光学軸から所定の間隔だけ外れるように配列する段階、
前記第1レンズと前記第2レンズとの間に空間フィルタ(spatial filter)を配置して回折限界まで縮小して前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)のピクセルをグルーピングして形成されるスーパーピクセルを構成するピクセルを区別できないようにし、位相が0〜2πまで調節可能なスーパーピクセル配列を形成する段階、
前記スーパーピクセル配列の前記位相を調節して線形的な位相の傾きを有する前記入射光の平面波の進行角度を制御する段階、および
制御された前記平面波の進行角度を複数のレンズで拡大して前記サンプルに入射させる段階
を含む、
波面制御器を活用した三次元屈折率測定方法。 - 波面制御器(wavefront shaper)を使用して入射光の走査角度および波面パターンのうち少なくとも1つを変更してサンプルに入射させる段階、
前記サンプルを通過した二次元光学場を、干渉計を利用して少なくとも1つ以上の前記入射光にしたがって測定する段階、および
測定された前記二次元光学場の情報によって三次元屈折率映像を取得する段階
を含み、
前記サンプルに入射させる段階は、
前記波面制御器として多数のマイクロミラーを含む配列を備えるデジタルマイクロミラー素子(Digital Micromirror Device:DMD)を使用し、前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)を光学整列のフーリエ平面(Fourier
plane)上に位置させ、個別の光源によって前記多数のマイクロミラーの位置の制御が可能なレーザ配列を形成する段階、
前記レーザ配列を利用して光を反射させる前記多数のマイクロミラーの位置を変更して前記入射光の平面波の進行角度を制御する段階、および
制御された前記平面波の進行角度を複数のレンズで拡大して前記サンプルに入射させる段階
を含む、
波面制御器を活用した三次元屈折率測定方法。 - 前記三次元屈折率映像を取得する段階は、
三次元光回折断層撮影アルゴリズム(3D optical diffraction
tomography algorithm)に入力して三次元散乱ポテンシャルまたは前記三次元屈折率映像を取得すること
を特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一に記載の波面制御器を活用した三次元屈折率測定方法。 - デジタルマイクロミラー素子(Digital Micromirror Device:DMD)を使用して少なくとも1つ以上の入射光パターンをサンプルの平面に入射させる段階、
前記入射光のパターンを変更して少なくとも1つ以上の前記入射光パターンに対する二次元光学場を、干渉計を利用して測定する段階、および
測定された前記二次元光学場の情報から前記入射光パターンに含まれた互いに異なる角度の平面波に対する前記サンプルの反応を数値的に分析し、三次元屈折率映像を取得する段階
を含み、
前記サンプルに入射させる段階は、前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)で反射した前記二次元光学場を伝達する第1レンズと第2レンズとの間に空間フィルタ(spatial filter)を配置する段階、
前記空間フィルタ(spatial filter)を通過することにより1次回折光に位相が調節されて線形的な傾きを有する前記入射光の平面波の進行角度を制御する段階、および
制御された前記平面波の進行角度を複数のレンズで拡大して前記サンプルに入射させる段階
を含む、
波面制御器を活用した三次元屈折率測定方法。 - 波面制御器(wavefront shaper)を使用して入射光の走査角度および波面パターンのうち少なくとも1つを変更してサンプルに入射させる変調部、
前記サンプルを通過した二次元光学場を、少なくとも1つ以上の前記入射光にしたがって測定する干渉計、および
測定された前記二次元光学場の情報によって三次元屈折率映像を取得する映像部
を備え、
前記変調部は、
前記波面制御器として多数のマイクロミラーを含む配列を備えるデジタルマイクロミラー素子(Digital Micromirror Device:DMD)、
前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)で反射した前記二次元光学場を伝達する第1レンズおよび第2レンズ、
前記第1レンズと前記第2レンズとの間に配置され、1次回折光に位相が調節されて線形的な傾きを有する前記入射光の平面波の進行角度を制御する空間フィルタ(spatial
filter)、および
前記平面波の進行角度を拡大して前記サンプルに入射させる複数のレンズ
を含む、
波面制御器を活用した三次元屈折率測定装置。 - 波面制御器(wavefront shaper)を使用して入射光の走査角度および波面パターンのうち少なくとも1つを変更してサンプルに入射させる変調部、
前記サンプルを通過した二次元光学場を、少なくとも1つ以上の前記入射光にしたがって測定する干渉計、および
測定された前記二次元光学場の情報によって三次元屈折率映像を取得する映像部
を備え、
前記変調部は、
前記波面制御器として多数のマイクロミラーを含む配列を備えるデジタルマイクロミラー素子(Digital Micromirror Device:DMD)、
前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)で反射した前記二次元光学場を伝達し、少なくとも1つ以上のレンズの中心が光学軸から所定の間隔だけ外れるように配列される第1レンズおよび第2レンズ、
前記第1レンズと前記第2レンズとの間に配置される空間フィルタ(spatial filter)、および
平面波の進行角度を拡大して前記サンプルに入射させる複数のレンズ
を含み、
前記変調部は、回折限界まで縮小して前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)のピクセルをグルーピングして形成されるスーパーピクセルを構成するピクセルを区別できないようにし、位相が0〜2πまで調節可能なスーパーピクセル配列を形成し、前記スーパーピクセル配列の前記位相を調節して線形的な位相の傾きを有する前記入射光の平面波の進行角度を制御することを特徴とする、
波面制御器を活用した三次元屈折率測定装置。 - 波面制御器(wavefront shaper)を使用して入射光の走査角度および波面パターンのうち少なくとも1つを変更してサンプルに入射させる変調部、
前記サンプルを通過した二次元光学場を、少なくとも1つ以上の前記入射光にしたがって測定する干渉計、および
測定された前記二次元光学場の情報によって三次元屈折率映像を取得する映像部
を備え、
前記変調部は、
前記波面制御器として多数のマイクロミラーを含む配列を備えるデジタルマイクロミラー素子(Digital Micromirror Device:DMD)、
前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)で反射した前記二次元光学場を伝達する第1レンズ、および
平面波の進行角度を拡大して前記サンプルに入射させる複数のレンズ
を含み、
前記変調部は、前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)を光学整列のフーリエ平面(Fourier plane)上に位置させ、個別の光源によって前記多数のマイクロミラーの位置の制御が可能なレーザ配列を形成し、前記レーザ配列を利用して光を反射させる前記多数のマイクロミラーの位置を変更して前記入射光の平面波の進行角度を制御すること
を特徴とする、
波面制御器を活用した三次元屈折率測定装置。 - 前記映像部は、
三次元光回折断層撮影アルゴリズム(3D optical diffraction
tomography algorithm)に入力して三次元散乱ポテンシャルまたは三次元屈折率映像を取得すること
を特徴とする、請求項6乃至8のいずれか一に記載の波面制御器を活用した三次元屈折率測定装置。 - 少なくとも1つ以上の入射光パターンをサンプルの平面に入射させるデジタルマイクロミラー素子(Digital Micromirror Device:DMD)、
前記入射光の平面波の進行角度を拡大して前記サンプルに入射させる複数のレンズ、
前記入射光パターンを変更し、少なくとも1つ以上の前記入射光パターンに対する二次元光学場を測定する干渉計、および
測定された前記二次元光学場の情報から前記入射光パターンに含まれた互いに異なる角度の平面波に対する前記サンプルの反応を数値的に分析し、三次元屈折率映像を取得する映像部
を備え、
前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)は、波面制御器として多数のマイクロミラーを含む配列を備え、
さらに、前記デジタルマイクロミラー素子(DMD)で反射した前記二次元光学場を伝達する第1レンズおよび第2レンズ、
および前記第1レンズと前記第2レンズとの間に配置され、1次回折光に位相が調節されて線形的な傾きを有する前記入射光の平面波の進行角度を制御する空間フィルタ(spatial filter)、
を備える、
波面制御器を活用した三次元屈折率測定装置。
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