JP6225582B2 - 熱型赤外線センサー - Google Patents
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Description
第1のサーモパイル材料3及び第2のサーモパイル材料4は、薄膜部8上から梁部10上を介して基材部1上に跨って配置されている。
図3は、ループ状の導線201の1ヶ所を交差させて互いに重なっていない第1の領域201aと第2の領域201bを形成した状態を示す模式図である。図4は、ループ状の導線201の1ヶ所を交差させて第1の領域201aが第2の領域201bに囲まれるように第1の領域201aと第2の領域201bを形成した状態を示す模式図である。
2 サーモパイル
2a,2c,2g,2i 第1の領域
2b,2h 第2の領域
2d,2j 第3の領域
2e,2f,2k 第4の領域
3 第1のサーモパイル材料
4 第2のサーモパイル材料
5a,5b 出力部分
8 薄膜部
11 絶縁膜(赤外線吸収部)
12 層間絶縁膜(赤外線吸収部)
13 赤外線吸収膜(赤外線吸収部)
14 交差部分
16 磁界
17a 第1の方向
17b 第2の方向
20 導電材料
21 連結部
Claims (10)
- サーモパイルを備えた熱型赤外線センサーにおいて、
断熱構造体と赤外線吸収部を備え、
前記断熱構造体は、基材部と、前記基材部に比べて薄い厚みを持ち、略矩形形状の領域を有する薄膜部とを備え、
前記赤外線吸収部は前記断熱構造体の前記薄膜部に配置されており、
前記サーモパイルは前記略矩形形状の4辺において前記薄膜部上から前記基材部上に跨って配置されており、
前記サーモパイルの電気的な導通経路は前記導通経路が交差している交差部分を少なくとも1ヶ所備えており、
前記導通経路の出力部分と前記交差部分を含む前記導通経路で形成される閉じられた又は略閉じられた第1の領域と、1又は複数の前記交差部分を境界とする前記導通経路で形成される閉じられた又は略閉じられた第2の領域とが重なっておらず、
前記交差部分は、前記略矩形形状の4辺に配置された前記サーモパイルの間の領域又は中央部において下層側のサーモパイル材料と上層側の配線材料が積層されて設けられている
ことを特徴とする熱型赤外線センサー。 - 前記サーモパイルの導通経路を磁界が貫く場合に、前記第1の領域の導通経路に前記磁界に起因する第1の方向の電流が流れ、前記第2の領域の導通経路に前記磁界に起因する第2の方向の電流が流れ、前記第1の方向と前記第2の方向とは互いに逆方向であることを特徴とする請求項1に記載の熱型赤外線センサー。
- 前記第1の領域の内側の面積と前記第2の領域の内側の面積とが等しいことを特徴とする請求項1又は2に記載の熱型赤外線センサー。
- 複数の前記交差部分と複数の前記第2の領域を備え、
前記サーモパイルの導通経路を磁界が貫く場合に、前記第1の領域の導通経路に前記磁界に起因する第1の方向の電流が流れ、
複数の前記第2の領域は、前記磁界に起因する電流が前記第1の方向に流れる第3の領域と、前記磁界に起因する電流が前記第1の方向とは逆の第2の方向に流れる第4の領域とを含むことを特徴とする請求項1に記載の熱型赤外線センサー。 - 前記第1の領域の内側の面積と前記第3の領域の内側の面積の和と、前記第4の領域の内側の面積とが等しいことを特徴とする請求項4に記載の熱型赤外線センサー。
- 前記サーモパイルは第1のサーモパイル材料と第2のサーモパイル材料が交互に複数本直列接続されて構成されており、
前記第1のサーモパイル材料及び前記第2のサーモパイル材料は前記薄膜部上から前記基材部上に跨って配置されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の熱型赤外線センサー。 - 前記第1のサーモパイル材料と前記第2のサーモパイル材料のうち少なくとも一方がポリシリコン材料であることを特徴とする請求項6に記載の熱型赤外線センサー。
- 前記サーモパイルの導通経路によって囲まれている領域内に、前記サーモパイルの導通経路に電気的短絡が生じない構成で導電材料が配置されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の熱型赤外線センサー。
- 前記導電材料は前記サーモパイルと電気的に接続されていることを特徴とする請求項8に記載の熱型赤外線センサー。
- 前記導電材料は赤外線を反射する材料で形成されている請求項8又は9に記載の熱型赤外線センサー。
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