JP6224774B1 - 計測用マイクロホンモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
2 収容部材(第2収容部材の一例)
3 外部端子
11 集音口
12 矩形凹部
21,22 ランド部
23,24 接続部(第1接続部の例)
31 後室部
32 切欠部
33,34 スルーホール(導電性貫通部材の例)
41 静電容量式MEMS素子
42 振動膜部材
42a 枠部
42b 振動膜部
43 背面電極部材
Claims (4)
- 略円柱形状の第1収容部材と、
前記第1収容部材に収容される静電容量式MEMS素子と、
前記第1収容部材に固定される略円柱形状の第2収容部材と、
前記静電容量式MEMS素子に電気的に接続され、前記第2収容部材に設置される外部端子とを備え、
前記第1収容部材は、前記第1収容部材の一方の端部における集音口と、前記第1収容部材の他方の端部における矩形形状の矩形凹部とを備え、
前記矩形凹部は、前記集音口に繋がっており、
前記静電容量式MEMS素子は、縦および横の寸法が略同一な略正方形の形状を有し、
前記静電容量式MEMS素子は、前記矩形凹部内に収容され、
前記第2収容部材は、前記第2収容部材の2つの端部のうちの前記第1収容部材側の端部に後室部を備え、
前記第1収容部材は、前記第1収容部材の端面上にランド部をさらに備え、
前記ランド部は、前記静電容量式MEMS素子にワイヤボンディングされており、
前記静電容量式MEMS素子は、振動膜部材と、背面電極部材と、絶縁層部材とを備え、
前記絶縁層部材は、前記振動膜部材と前記背面電極部材とを所定の間隙を持って絶縁状態で互いに固定し、
前記矩形凹部の深さは前記静電容量式MEMS素子の高さを上回り、前記背面電極部材の背面と前記第1収容部材の端面とが、前記ランド部と前記背面電極部材とのワイヤボンディング条件が等しくなるように略同一の高さとなっており、
前記矩形凹部の縦および横の寸法は、前記静電容量式MEMS素子が矩形凹部に隙間を有して収容可能なように、前記静電容量式MEMS素子の縦および横の寸法と略同一とされ、
前記振動膜部材は、枠部と、前記枠部より薄い振動膜部とを備え、
前記振動膜部は、前記枠部の内側に位置しており、前記枠部と前記振動膜部との間に傾斜面部が設けられており、
前記背面電極部材は、4本の支持部と、主電極部とを備え、
前記主電極部は、前記振動膜部と同平面サイズを有し、
前記4本の支持部は、前記主電極部の4辺から垂直に延びており、
前記4本の支持部には、前記絶縁層部材が固定されており、
前記第2収容部材は、前記第1収容部材側の端部が開口した形状を有し、
前記後室部は、前記矩形凹部に繋がっており、所望の周波数特性を得られる容積を有する略円柱状の中空部であること、
を特徴とする計測用マイクロホンモジュール。 - 前記第2収容部材は、前記ランド部に対応する位置における切欠部をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の計測用マイクロホンモジュール。
- 前記第1収容部材は、前記第1収容部材の端面に第1接続部をさらに備え、
前記第1接続部は、前記ランド部に配線パターンで電気的に接続されており、
前記第2収容部材は、前記第2収容部材の端面に第2接続部をさらに備え、
前記第2接続部は、前記第1収容部材に前記第2収容部材を固定する際に前記第1接続部に対向する位置に設けられており、
前記第2接続部は、前記外部端子に電気的に接続されていること、
を特徴とする請求項2記載の計測用マイクロホンモジュール。 - 前記第2収容部材は、前記第2収容部材の2つの端面の一方から他方まで延びる導電性貫通部材をさらに備え、
前記外部端子は、前記第2収容部材の2つの端部のうちの、前記第1収容部材側の端部とは反対側の端部に配置されており、
前記第2接続部は、前記導電性貫通部材を介して前記外部端子に電気的に接続されていること、
を特徴とする請求項3記載の計測用マイクロホンモジュール。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2016115775A JP6224774B1 (ja) | 2016-06-09 | 2016-06-09 | 計測用マイクロホンモジュール |
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Family Applications (1)
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