JP6224139B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
本発明のプラズマ処理装置1を用いて、長尺状の被処理物Wに対してプラズマ処理を行い、処理効果の検討を行った。
長尺状の被処理物Wは、所定のプラズマ処理装置設置範囲(本実施例においては、約1mの設置範囲を設けた。)を設けて設置された2台のニップローラ付糸送りロールによって、未処理の長尺状の被処理物Wが巻かれた原糸ボビンから巻取りボビンへと搬送されるようセットされている。
測定装置には、FIBROsystemAB社(Sweden)製の携帯式接触角計PG−Xを用いた。測定は、サンプルの整列して巻き付けられた糸上に測定装置をセットし、当該糸上に純水を滴下して、整列した糸列と純水との接触角を検出した。なお、接触角は、値が小さいほど親水性の表面であることを示し、値が大きいほど撥水性の表面であることを示す。
2 第1筒状部
2a 単位筒
3 リング状電極
4 プラズマ生成用ガス導入部
5 ガイド部
5a ガイド部材
5b 同心円
5c 支持孔
5d 貫通孔
6 絶縁管
7 導電材料
8 第2筒状部
9 連結部材
9a,9b、9c、9d 開口部
W 長尺状の被処理物
P 電源
Claims (4)
- 内部にプラズマが生成される第1筒状部と、
前記第1筒状部の両端部にそれぞれ設けられ、内部にプラズマ生成用ガスを導入するプラズマ生成用ガス導入部と、
前記第1筒状部の少なくとも1箇所に対して直交して貫通するように一体に形成され、電気伝導性材料からなる長尺状の被処理物が内部に送通される第2筒状部と、
前記第1筒状部の前記第2筒状部が交差する両側の長手方向の外周面に少なくとも2個以上ずつ設けられたリング状電極とを備え、
前記リング状電極のうち、前記第2筒状部が交差している部分の両側に隣接するそれぞれ1個の前記リング状電極が接地されており、互いに隣接する接地されていない前記リング状電極と接地されている前記リング状電極との間においてのみ電界を形成することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記第1筒状部が、複数の単位筒を長手方向に連結させて形成され、
前記第1筒状部と前記第2筒状部とが交差する部分が、十字型の連結部材によって連結されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1筒状部の2箇所以上に前記第2筒状部が設けられている場合には、
前記第1筒状部上における前記第2筒状部と前記第2筒状部との間であって、 両側に2個以上の前記リング状電極が配置される位置に、前記プラズマ生成用ガス導入部がさらに設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2筒状部には、処理効果を向上させるための添加ガスを導入する添加ガス導入口が設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016010813A JP6224139B2 (ja) | 2016-01-22 | 2016-01-22 | プラズマ処理装置 |
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JP2011237324A Division JP5946119B2 (ja) | 2011-10-28 | 2011-10-28 | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置並びに長尺物の製造方法 |
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JP2016129138A JP2016129138A (ja) | 2016-07-14 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6224139B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109644546A (zh) * | 2016-09-02 | 2019-04-16 | 夏普株式会社 | 等离子体生成元件 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61155430A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-15 | Isuzu Motors Ltd | プラズマ処理方法 |
JPH03222210A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-10-01 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 絶縁電線 |
EP1613133B1 (fr) * | 2000-11-10 | 2013-01-16 | Apit Corp. SA | Procédé de traitement par plasma atmosphérique de matériaux conducteurs d'électricité et dispositif pour sa mise en oeuvre |
JP4023302B2 (ja) * | 2002-11-22 | 2007-12-19 | 松下電工株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US20060219754A1 (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-05 | Horst Clauberg | Bonding wire cleaning unit and method of wire bonding using same |
JP5274791B2 (ja) * | 2007-06-11 | 2013-08-28 | 矢崎総業株式会社 | 表面改質装置及びその表面改質方法 |
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2016
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016129138A (ja) | 2016-07-14 |
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