JP6208543B2 - パッケージおよび電子装置 - Google Patents
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Description
の内壁4bの間の第3の内壁4c側に設けられ、ゲッター9は第3の内壁に対向する第4の内壁4dまたは底面の第4の内壁4dに近い位置に設けられるのが好ましい。ヒーター5aおよび測温用金属層5bがゲッター9から離れていることから、より正確な真空度を得ることができる。
ニッケルめっき層と0.1〜3μm程度の金めっき層とが、あるいは厚さ1〜10μm程度の
ニッケルめっき層と0.1〜1μm程度の銀めっき層とが、順次被着される。これによって
、ヒーター5a、測温用金属層5b、ヒーター用端子8a、測温用端子8b外部電極および配線導体層が腐食することを効果的に抑制できるとともに、外部電極と外部電気回路との接合を強固にできる。
ージ1の搭載部3に電子部品11を搭載する。電子部品11を固定すると主に電子部品11の電極と搭載部3に設けられた接続電極(図示せず)とを接続する。この接続は、バンプによるフリップチッブ接続や金ワイヤーによるワイヤーボンディングなどの接続方法を用いればよい。
圧および電流を測定する装置を接続し、電流を一定に保って電圧の変化を測定することによって行われる。
2・・・蓋体
3・・・搭載部
4・・・凹部
4a・・第1の内壁
4b・・第2の内壁
4c・・第3の内壁
4d・・第4の内壁
5・・・真空センサ
5a・・ヒーター用金属層
5b・・測温用金属層
6・・・絶縁基体
8a・・ヒーター用端子
8b・・測温用端子
9・・・ゲッター
9a・・ゲッター用端子
Claims (4)
- 平面視で矩形状の凹部を有する絶縁基体と、
該凹部の底面に設けられた、電子部品が搭載される搭載部と、
前記凹部の底面または内壁に設けられたヒーターと、
該ヒーターと離間して前記凹部の底面または内壁に設けられた測温用金属層と、
前記ヒーターおよび前記測温用金属層と離間して前記凹部の底面または内壁に設けられたゲッターと、
前記絶縁基体の外表面に設けられ、前記ヒーターに接続されたヒーター用端子と、
前記絶縁基体の外表面に設けられ、前記測温用金属層に接続された測温用端子と、
前記絶縁基体の外表面に設けられ、前記ゲッターに接続されたゲッター用端子とを有しており、
前記凹部は、第1の内壁および該第1の内壁に対向する第2の内壁および前記第1の内壁と前記第2の内壁との間の第3の内壁および第4の内壁を有し、
平面視において、前記ヒーターおよび前記測温用金属層は前記第3の内壁側に設けられ、前記ゲッターは前記第3の内壁に対向する前記第4の内壁側に設けられていることを特徴とするパッケージ。 - 前記ヒーターと前記測温用金属層は、平面視で前記ヒーターと前記測温用金属層とで前記搭載部を挟まない位置に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のパッケージ。
- 前記ヒーターは前記第1の内壁または前記底面の前記第1の内壁に近い位置に設けられ、
前記測温用金属層は前記第2の内壁または前記底面の前記第2の内壁に近い位置に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のパッケージ。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のパッケージと、
前記搭載部に搭載された前記電子部品と、
前記凹部を封止した蓋体とを有することを特徴とする電子装置。
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