JP6204675B2 - 非接触厚さ測定方法 - Google Patents
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Description
すなわち本発明は、以下の構成を有するものである。
膜の厚さ測定にかかる実施形態例である測定装置について、図1を用いて説明する。
測定対象のサンプル膜1をはさんで、片側に発信プローブ3を配置、反対側に受信プローブ4を配置する。超音波発信・受信装置2で生成されたバースト波超音波信号を発信プローブ3から超音波としてサンプル膜1に発信し、サンプル膜1を透過した超音波を受信プローブ4で受信し、プリアンプ5で増幅し超音波発信・受信装置2に入力し信号処理を施し、受信波形すなわちエコーを表示装置6に表示する。このエコー高さを読み取る。
実施例1と同じ測定装置を用い、従来技術であるパルス波超音波とバースト波超音波を比較した。両者の出力はいずれも20Vである。またバースト波は5波である。
サンプル膜と発信プローブ、受信プローブとの距離は、同一とし、下表のとおりそれぞれその距離を200mm、50mm,20mmの3水準について透過波の強度を測定した。サンプル膜は厚さ75μmの合成樹脂製膜である。
2. 超音波発信・受信装置
3. 発信プローブ
4. 受信プローブ
5. プリアンプ
6. 表示装置
Claims (4)
- 対象物の一方の面にバースト波超音波もしくはチャープ波超音波の発信プローブを配置し、他方の面にバースト波超音波もしくはチャープ波超音波の受信プローブを配置し、発信プローブから発せられ、対象物を透過し受信プローブで受信されるバースト波超音波もしくはチャープ波超音波の受信波の強度または強度の逆数から対象物の厚さを測定する非接触厚さ測定方法にあって、
対象物と発信プローブ及び受信プローブとの距離が50mm以上である非接触厚さ測定方法。 - 発信プローブ及び受信プローブと対象物との間に空気を介する請求項1に記載の非接触厚さ測定方法。
- 発信する超音波の周波数が20kHzから60kHzである請求項1または2に記載の非接触厚さ測定方法。
- 対象物が厚さ1μmから130μmの膜状物である請求項1〜3のいずれかに記載の非接触厚さ測定方法。
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