JP6193440B2 - 流体混合素子 - Google Patents
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Description
ところで、コンパクト化の要請によって主流路の配管長を短くすると、上述した構成では材料ガスの十分な混合を図れない恐れがでてくる。
<第1実施形態>
本実施形態に係る流体混合素子10は、図1に示すように、主流路Aの途中に副流路Bが接続するように構成された配管構造体20に適用されて、主流路Aを流れる第1流体と副流路Bを流れる第2流体との混合を促進するものである。なお、ここでの第1流体及び第2流体は、例えば半導体プロセスに用いられる種類の異なるガスであって、第1流体の流量の方が第2流体の流量よりも大きくなるように設定してある。また、各流体は単一成分からなるものに限らず、複数の材料ガスが混合したものも含まれる。
当該流体混合素子10には、図2〜図5に示すように、さらに2種類の内部流路、すなわち、第1内部流路3と第2内部流路4とが設けてある。
主流路Aを上流から流れてきた第1流体は、その全てが流体混合素子10の第1内部流路3を通過するが、そのとき、流路断面積が小さくなる部分、つまり前流路31の円錐状部分311を通る際に流速が上がる。その後、この第1流体は、分流して各後流路32を通った際に、流れベクトルに円周方向成分が加わり、流体混合素子10の他端部端面1cから主流路Aの下流側に向かって捻れるように吹き出す。
このように本実施形態によれば、短配管長、短時間での流体混合を実現できる。
次に、本発明の第2実施形態について、図6〜図9を参照して説明する。
この流体混合素子10は、前記第1実施形態のものと類似するが、やや扁平なことと、内部流路の構成が異なる点で、前記第1実施形態とは相違する。
そこで、以下では、相違点である内部流路について特に詳述する。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、図10に示すように、配管構造体20を、主流路Aに上流側から順に副流路Bを複数連設したものにしてもよい。この図では、主流路Aと副流路Bの接続部位にそれぞれ第1実施形態の流体混合素子1を設け、かつ隣り合う流体混合素子1が略接触するように構成している。
また、主流路において、流体混合素子よりも下流側にさらに別の撹拌素子を配置しても良い。
また、副流路は、主流路に対して必ずしも直角に交わる必要はなく、斜めに交わっても良い。その場合、副流路の角度に制限はない。図15、図16に示す従来のものであると、副流路を斜めに取り付ける場合、主流路の上流側から該主流路に近づくように傾斜させなければならない(逆だと、主流路の第1流体が副流路に入り込む恐れが強くなる。)が、本発明であれば、その恐れがなく、前述したように、副流路の角度に制限はないので、配管の自由度が高くなるという効果も得られる。
20・・・配管構造体(配管部材)
11・・・一端部
12・・・中間部
13・・・他端部
1a・・・一端部端面
1c・・・他端部端面
3・・・第1内部流路
4・・・第2内部流路
A・・・主流路
B・・・副流路
Claims (3)
- 第1流体が流れる主流路の途中に、第2流体が流れる副流路が接続されて第1流体と第2流体とが混合するように構成された配管部材と、
一端部の端面に始端が開口するとともに他端部の端面に終端が開口する第1内部流路と、前記一端部及び他端部の間の中間部の側周面に始端が開口するとともに前記他端部の端面に終端が開口する第2内部流路とが形成してあり、前記副流路との接続部位よりも上流側の主流路に前記一端部が嵌合するとともに、同接続部位よりも下流側の主流路に前記他端部が嵌合して、前記第2内部流路の始端開口が前記副流路の終端開口に臨むように配設された流体混合素子とを具備し、
前記主流路に複数の前記副流路が接続されており、前記主流路と前記副流路との接続部位それぞれに前記流体混合素子が配設されており、
互いに隣り合う前記流体混合素子において、上流側の前記流体混合素子の他端部の端面と下流側の前記流体混合素子の一端部の端面とが接触している流体システム。 - 前記複数の副流路が所定間隔で設けられており、前記流体混合素子の一端部の端面から他端部の端面までの長さが前記所定間隔と等しい請求項1記載の流体システム。
- 前記第2内部流路が、前記中間部の側周面に周回するように設けた周回溝と、該周回溝流路内に始端が開口するとともに前記他端部端面に終端が開口する1以上の連通孔とからなるものである請求項1又は2記載の流体システム。
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