JP2016135490A - 流体混合素子 - Google Patents
流体混合素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016135490A JP2016135490A JP2016092245A JP2016092245A JP2016135490A JP 2016135490 A JP2016135490 A JP 2016135490A JP 2016092245 A JP2016092245 A JP 2016092245A JP 2016092245 A JP2016092245 A JP 2016092245A JP 2016135490 A JP2016135490 A JP 2016135490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- fluid
- mixing element
- fluid mixing
- main flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 146
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Accessories For Mixers (AREA)
Abstract
【解決手段】一端部の端面に始端が開口するとともに他端部13の端面に終端が開口する第1内部流路3と、中間部の側周面に始端が開口するとともに前記他端部13の端面に終端が開口する第2内部流路4とが形成してあり、主流路Aと副流路Bとの接続部位よりも上流側の主流路Aに前記一端部が嵌合するとともに、該接続部位よりも下流側の主流路Aに前記他端部13が嵌合し、前記第2内部流路4の終端開口が前記副流路の始端開口に臨むように配設されて、前記主流路Aを流れてきた第1流体が前記第1内部流路3を通ってこの流体混合素子10よりも下流側の主流路Aに流れ込む一方、前記副流路Bを流れてきた第2流体が前記第2内部流路4を通ってこの流体混合素子10よりも下流側の主流路Aに流れ込むように構成してある。
【選択図】図1
Description
ところで、コンパクト化の要請によって主流路の配管長を短くすると、上述した構成では材料ガスの十分な混合を図れない恐れがでてくる。
<第1実施形態>
本実施形態に係る流体混合素子10は、図1に示すように、主流路Aの途中に副流路Bが接続するように構成された配管構造体20に適用されて、主流路Aを流れる第1流体と副流路Bを流れる第2流体との混合を促進するものである。なお、ここでの第1流体及び第2流体は、例えば半導体プロセスに用いられる種類の異なるガスであって、第1流体の流量の方が第2流体の流量よりも大きくなるように設定してある。また、各流体は単一成分からなるものに限らず、複数の材料ガスが混合したものも含まれる。
当該流体混合素子10には、図2〜図5に示すように、さらに2種類の内部流路、すなわち、第1内部流路3と第2内部流路4とが設けてある。
主流路Aを上流から流れてきた第1流体は、その全てが流体混合素子10の第1内部流路3を通過するが、そのとき、流路断面積が小さくなる部分、つまり前流路31の円錐状部分311を通る際に流速が上がる。その後、この第1流体は、分流して各後流路32を通った際に、流れベクトルに円周方向成分が加わり、流体混合素子10の他端部端面1cから主流路Aの下流側に向かって捻れるように吹き出す。
このように本実施形態によれば、短配管長、短時間での流体混合を実現できる。
次に、本発明の第2実施形態について、図6〜図9を参照して説明する。
この流体混合素子10は、前記第1実施形態のものと類似するが、やや扁平なことと、内部流路の構成が異なる点で、前記第1実施形態とは相違する。
そこで、以下では、相違点である内部流路について特に詳述する。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、図10に示すように、配管構造体20を、主流路Aに上流側から順に副流路Bを複数連設したものにしてもよい。この図では、主流路Aと副流路Bの接続部位にそれぞれ第1実施形態の流体混合素子1を設け、かつ隣り合う流体混合素子1が略接触するように構成している。
また、主流路において、流体混合素子よりも下流側にさらに別の撹拌素子を配置しても良い。
また、副流路は、主流路に対して必ずしも直角に交わる必要はなく、斜めに交わっても良い。その場合、副流路の角度に制限はない。図15、図16に示す従来のものであると、副流路を斜めに取り付ける場合、主流路の上流側から該主流路に近づくように傾斜させなければならない(逆だと、主流路の第1流体が副流路に入り込む恐れが強くなる。)が、本発明であれば、その恐れがなく、前述したように、副流路の角度に制限はないので、配管の自由度が高くなるという効果も得られる。
20・・・配管構造体(配管部材)
11・・・一端部
12・・・中間部
13・・・他端部
1a・・・一端部端面
1c・・・他端部端面
3・・・第1内部流路
4・・・第2内部流路
A・・・主流路
B・・・副流路
Claims (5)
- 第1流体が流れる主流路の途中に、第2流体が流れる副流路が接続されて第1流体と第2流体とが混合するように構成された配管部材に配設される流体混合素子であって、
一端部の端面に始端が開口するとともに他端部の端面に終端が開口する第1内部流路と、前記一端部及び他端部の間の中間部の側周面に始端が開口するとともに前記他端部の端面に終端が開口する第2内部流路とが形成してあり、
前記副流路との接続部位よりも上流側の主流路に前記一端部が嵌合するとともに、同接続部位よりも下流側の主流路に前記他端部が嵌合して、前記第2内部流路の終端開口が前記副流路の始端開口に臨むように配設されることを特徴とする流体混合素子。 - 前記第1内部流路又は第2内部流路のうちの少なくともいずれかの終端部分の延伸方向が、前記主流路の軸線方向に対して斜め方向に設定してある請求項1記載の流体混合素子。
- 第1内部流路又は第2内部流路のうちの少なくともいずれかの終端部分が、複数本設けてある請求項1記載の流体混合素子。
- 第1内部流路及び第2内部流路の終端部分が、それぞれ複数本設けてあり、各終端部分の開口が、該流体混合素子の他端部端面に交互に配設してある請求項1記載の流体混合素子。
- 前記第2内部流路が、前記中間部の側周面に周回するように設けた周回溝と、該周回溝流路内に始端が開口するとともに前記他端部端面に終端が開口する1以上の連通孔とからなるものである請求項1記載の流体混合素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016092245A JP6193440B2 (ja) | 2016-05-02 | 2016-05-02 | 流体混合素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016092245A JP6193440B2 (ja) | 2016-05-02 | 2016-05-02 | 流体混合素子 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012287129A Division JP5933429B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 流体混合素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016135490A true JP2016135490A (ja) | 2016-07-28 |
JP6193440B2 JP6193440B2 (ja) | 2017-09-06 |
Family
ID=56512406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016092245A Expired - Fee Related JP6193440B2 (ja) | 2016-05-02 | 2016-05-02 | 流体混合素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6193440B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180064187A (ko) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | 한국원자력연구원 | 배관 혼합 장치 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1603090A (en) * | 1978-05-25 | 1981-11-18 | Hughes & Co | Jetting apparatus |
JP2003144879A (ja) * | 2001-11-16 | 2003-05-20 | Purio:Kk | 毛詰り解消型汚水ミキシング装置及びその装置の使用方法 |
JP2007237161A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-09-20 | Hiroshima Kasei Ltd | 加水素水の製造方法及び製造装置 |
JP2008074702A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Boc Group Inc:The | ガス混合装置及び使用方法 |
US20110087056A1 (en) * | 2009-10-09 | 2011-04-14 | Dow Global Technologies | Adiabatic plug flow reactors and processes incorporating the same |
CA2705055A1 (en) * | 2010-05-20 | 2011-11-20 | Suncor Energy Inc. | Method and device for in-line injection of flocculent agent into a fluid flow of mature fine tailings |
-
2016
- 2016-05-02 JP JP2016092245A patent/JP6193440B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1603090A (en) * | 1978-05-25 | 1981-11-18 | Hughes & Co | Jetting apparatus |
JP2003144879A (ja) * | 2001-11-16 | 2003-05-20 | Purio:Kk | 毛詰り解消型汚水ミキシング装置及びその装置の使用方法 |
JP2007237161A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-09-20 | Hiroshima Kasei Ltd | 加水素水の製造方法及び製造装置 |
JP2008074702A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Boc Group Inc:The | ガス混合装置及び使用方法 |
US20110087056A1 (en) * | 2009-10-09 | 2011-04-14 | Dow Global Technologies | Adiabatic plug flow reactors and processes incorporating the same |
CA2705055A1 (en) * | 2010-05-20 | 2011-11-20 | Suncor Energy Inc. | Method and device for in-line injection of flocculent agent into a fluid flow of mature fine tailings |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180064187A (ko) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | 한국원자력연구원 | 배관 혼합 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6193440B2 (ja) | 2017-09-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5933429B2 (ja) | 流体混合素子 | |
KR101658341B1 (ko) | 혼합 챔버 | |
CN101663084B (zh) | 用于连续流反应器的混合器、形成该混合器的方法及操作该混合器的方法 | |
KR20100060476A (ko) | 수동형 미세혼합기 | |
KR101749047B1 (ko) | 정적 믹서 | |
CN104948351A (zh) | 用于至少两个流体流的均化设备 | |
JP7223496B2 (ja) | 混合器及び気化装置 | |
US10464038B2 (en) | Mixer and reactor including the same | |
KR101479796B1 (ko) | 인라인 믹서 장치 | |
US9309983B2 (en) | Fluid control apparatus joint, and fluid control apparatus | |
CN112513383A (zh) | 用于水配件的出水部件 | |
JP6193440B2 (ja) | 流体混合素子 | |
US11703135B2 (en) | Multi-port coolant flow control valve assembly | |
JP2018508700A (ja) | 混合箱 | |
JP6925020B2 (ja) | 混合装置及び混合方法 | |
US20200368700A1 (en) | Mixing System | |
JP2019141828A (ja) | 微細気泡発生ノズル | |
KR102438422B1 (ko) | 유체 혼합용 챔버 | |
US10520137B2 (en) | Flow channel structure | |
KR101334905B1 (ko) | 비정렬된 주입구를 이용한 와류 미세혼합기 | |
KR20190113358A (ko) | 유체 혼합 장치 | |
JP2004162962A (ja) | 冷媒分流器 | |
CN112710172B (zh) | 螺旋式热交换器中的中心体 | |
JPH0416222A (ja) | ミキサー | |
CN106765092A (zh) | 一种上进风燃气灶燃烧器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160601 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170727 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170809 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6193440 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |