JP6190580B2 - 真空ポンプの回転部及び真空ポンプ - Google Patents
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Description
さらに、仮にプロセスガスがカバー26内から漏洩して吸気口4側に逆流した場合でも、プロセスガスによって保護アミ28及び保護アミ用止め輪29の表面が腐食及び発錆することを抑制できる。
1A ドラッグポンプ(真空ポンプ)
2 ケーシング
3 ベース部
4 吸気口
5 フランジ部
6 排気口
7 ロータ軸
8 ロータ
8A ロータ
9 回転翼
10 筒型回転部材
11 モータ部
15 固定翼
16 ねじ溝スペーサ(筒状外側ステータ)
21 装置チャンバー
22 心棒
23 凹部
24 ロータ締結用ボルト
25 座金
26 カバー
26A カバー
28 保護アミ
29 保護アミ用止め輪
31 段差部
32 円筒状リブ
33 凹所
Claims (6)
- 吸気口及び排気口を有するケーシング内に、前記吸気口側の軸端部に心棒を有するロータ軸と、該ロータ軸の前記心棒にボルトで締結されたロータとを備えた真空ポンプの回転部において、
前記ボルトの締結部を覆うようにカバーを配置し、該カバーを前記心棒の端部の中央部にカバー取付用ボルトで取り付けたことを特徴とする真空ポンプの回転部。 - 前記カバーは、耐腐食性および防錆性があることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプの回転部。
- 前記カバーは、表面に耐腐食性および防錆性のあるコーティング処理が施されていることを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプの回転部。
- 前記ボルト及び前記心棒は、表面に耐腐食性および防錆性のあるコーティング処理が施されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の真空ポンプの回転部。
- 前記コーティング処理は、ニッケルコーティング処理であることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の真空ポンプの回転部。
- 請求項1から請求項5のいずれかに記載の真空ポンプの回転部を備えたことを特徴とする真空ポンプ。
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