JP6185863B2 - Heat treatment method and heat treatment apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、熱処理方法及び熱処理装置に関する。   The present invention relates to a heat treatment method and a heat treatment apparatus.

従来、セラミックス製品などの被処理物をローラーにより搬送しながら被処理物の熱処理を行う熱処理装置が知られている。例えば、特許文献１には、トンネル状の炉体と、炉体の内部の空間に設けられた多数のローラーと、被処理物を焼成するためのガスバーナーとを備えたローラーハースキルン（ローラーハース連続炉）が記載されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a heat treatment apparatus that heats an object to be processed such as a ceramic product while being conveyed by a roller is known. For example, Patent Document 1 discloses a roller hearth kiln (roller hearth) including a tunnel-shaped furnace body, a number of rollers provided in a space inside the furnace body, and a gas burner for firing an object to be processed. A continuous furnace).

特開平４−２７０８８４号公報Japanese Patent Laid-Open No. 4-270884

ところで、通常、このような熱処理装置において、ローラーなどを含む回転体は炉体を貫通しており、炉体外部に配置されたモーターの駆動軸と接続されている。モーターを炉体外部に配置する理由は、炉体の内部が例えば高温になる場合があるなど、炉体内部の環境がモーターを配置するのに適さないためである。そのため、炉体には回転体が貫通する貫通孔が形成されている。そして、このような貫通孔が存在することで、回転体の軸方向に沿って炉体内部の雰囲気が炉外に流出してしまう場合があった。   By the way, normally, in such a heat treatment apparatus, a rotating body including a roller or the like passes through the furnace body and is connected to a drive shaft of a motor disposed outside the furnace body. The reason for arranging the motor outside the furnace body is that the environment inside the furnace body is not suitable for arranging the motor, for example, the inside of the furnace body may be at a high temperature. Therefore, a through hole through which the rotating body passes is formed in the furnace body. And the presence of such a through-hole sometimes caused the atmosphere inside the furnace body to flow out of the furnace along the axial direction of the rotating body.

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、炉体の内部から外部空間への雰囲気の流出をより抑制することを主目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and has as its main object to further suppress the outflow of the atmosphere from the inside of the furnace body to the external space.

本発明の熱処理方法は、
処理空間としての第１空間を形成する炉体と、
前記第１空間に連通する第２空間を内部に形成し、第１壁部と、第２壁部と、該第２空間内に外部からガスを供給可能な第２空間供給口と、を有する壁体と、
前記第１空間内で被処理物を搬送可能であり、該第１空間側から外部空間に向かって前記第１壁部，前記第２空間，前記第２壁部をこの順に貫通して一端が該第２壁部から突出している回転体と、
前記回転体の前記一端側と接続されて該回転体を回転駆動可能な駆動手段と、
前記第１壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、該回転体を回転可能に支持し且つ前記回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間を有する転がり軸受である第１軸受と、
前記第２壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、前記第１軸受と比べてシール性の高いシール部材と、
を備えた熱処理装置を用いた熱処理方法であって、
前記駆動手段が前記回転体を回転駆動させることで前記処理空間内で前記被処理物を搬送しながら熱処理を行う工程、
を含み、
前記工程では、前記第１空間の雰囲気と比べて高圧のガスを前記第２空間供給口を介して前記第２空間内に供給する、
ものである。 The heat treatment method of the present invention comprises:
A furnace body forming a first space as a processing space;
A second space communicating with the first space is formed inside, and has a first wall portion, a second wall portion, and a second space supply port through which gas can be supplied from the outside into the second space. A wall,
The object to be processed can be transported in the first space, and passes through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side to the external space, and has one end thereof. A rotating body protruding from the second wall,
Drive means connected to the one end side of the rotating body and capable of rotating the rotating body;
A first bearing that is a rolling bearing that is provided in a portion through which the rotating body passes through the first wall, supports the rotating body rotatably, and has a gap through which gas can flow in the penetrating direction of the rotating body; ,
A seal member that is provided in a portion through which the rotating body passes through the second wall portion, and has a higher sealing performance than the first bearing;
A heat treatment method using a heat treatment apparatus comprising:
A step of performing a heat treatment while conveying the object to be processed in the processing space by the driving means rotating the rotating body;
Including
In the step, a gas having a pressure higher than that of the atmosphere in the first space is supplied into the second space through the second space supply port.
Is.

この本発明の熱処理方法では、熱処理方法に用いる熱処理装置が、処理空間としての第１空間を形成する炉体と、前記第１空間に連通する第２空間を内部に形成し、第１壁部と、第２壁部と、該第２空間内に外部からガスを供給可能な第２空間供給口と、を有する壁体と、を備えている。また、第１空間内で被処理物を搬送可能な回転体が、第１空間側から外部空間に向かって第１壁部，第２空間，第２壁部をこの順に貫通して一端が第２壁部から突出している。そして、この回転体の一端側と接続された駆動手段が回転体を回転駆動させることで、第１空間内で回転体により被処理物を搬送しながら第１空間内で被処理物の熱処理を行う。このとき、回転体が第１壁部を貫通する部分には、回転体を回転可能に支持し且つ回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間を有する転がり軸受である第１軸受が設けられている。また、回転体が第２壁部を貫通する部分には、第１軸受と比べてシール性の高いシール部材が設けられている。そして、熱処理中において、第１空間の雰囲気と比べて高圧のガスを第２空間供給口を介して前記第２空間内に供給する。これにより、第２空間に供給されたガスはシール部材よりもシール性の低い第１軸受の隙間から第１空間側に向かおうとする。そのため、第１空間から第１軸受の隙間を通って雰囲気ガスが流出するのを、第２空間から第１空間へ向かおうとするガスが押さえ込むことになる。したがって、炉体の内部から外部空間への雰囲気の流出をより抑制することができる。   In the heat treatment method of the present invention, a heat treatment apparatus used for the heat treatment method forms a furnace body forming a first space as a processing space and a second space communicating with the first space inside, and the first wall portion And a wall having a second wall and a second space supply port through which gas can be supplied from the outside into the second space. Further, the rotating body capable of transporting the object to be processed in the first space passes through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side to the external space, and has one end at the first end. 2 protrudes from the wall. Then, the driving means connected to one end side of the rotating body rotates the rotating body so that the object to be processed is heat-treated in the first space while conveying the object to be processed by the rotating body in the first space. Do. At this time, a portion where the rotating body passes through the first wall portion is provided with a first bearing which is a rolling bearing that supports the rotating body rotatably and has a gap through which gas can flow in the penetrating direction of the rotating body. ing. In addition, a seal member having a higher sealing performance than the first bearing is provided in a portion where the rotating body passes through the second wall portion. During the heat treatment, gas having a pressure higher than that of the atmosphere in the first space is supplied into the second space through the second space supply port. Thereby, the gas supplied to the second space tends to go to the first space side from the gap of the first bearing having a lower sealing performance than the seal member. Therefore, the gas that tries to move from the second space to the first space is suppressed from flowing out from the first space through the gap of the first bearing. Therefore, the outflow of the atmosphere from the inside of the furnace body to the external space can be further suppressed.

ここで、シール部材が「第１軸受と比べてシール性が高い」とは、回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間が、第１軸受と比べてシール部材の方が小さいことを意味する。また、シール部材が「第１軸受と比べてシール性が高い」とは、回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間をシール部材が有さない（封止されている）場合も含む。「第１空間に連通する第２空間」は、第１空間と第２空間とが直に連通している場合や、第１空間と第２空間とが他の空間（ただし外部空間以外の空間）を介して連通している場合を含む。   Here, the seal member having “higher sealability than the first bearing” means that the seal member has a smaller gap through which the gas can flow in the penetrating direction of the rotating body than the first bearing. To do. Further, the phrase “the seal member has higher sealing performance than the first bearing” includes the case where the seal member does not have (sealed) a gap through which the gas can flow in the through direction of the rotating body. The “second space communicating with the first space” refers to the case where the first space and the second space are in direct communication or the first space and the second space are other spaces (however, spaces other than the external space). ).

本発明の熱処理方法において、前記炉体は、前記第１空間内の雰囲気を排気可能な排気口を有し、前記工程では、前記第１空間の雰囲気が所定の圧力に保たれるように、前記排気口から前記第１空間の雰囲気を排気すると共に前記第２空間にガスを供給してもよい。こうすれば、第２空間供給口，第２空間及び第１軸受の隙間を介して第１空間内にガスを供給する場合に、排気口から雰囲気を排気することで第１空間内の雰囲気の圧力を所定の圧力に調整することができる。   In the heat treatment method of the present invention, the furnace body has an exhaust port capable of exhausting the atmosphere in the first space, and in the step, the atmosphere of the first space is maintained at a predetermined pressure. The atmosphere of the first space may be exhausted from the exhaust port and gas may be supplied to the second space. In this way, when the gas is supplied into the first space through the gap between the second space supply port, the second space, and the first bearing, the atmosphere in the first space can be reduced by exhausting the atmosphere from the exhaust port. The pressure can be adjusted to a predetermined pressure.

本発明の熱処理方法において、前記炉体は、前記第１空間内にガスを供給可能な第１空間供給口を有し、前記工程では、前記第１空間の雰囲気が所定の圧力に保たれるように、前記排気口から前記第１空間の雰囲気を排気すると共に前記第１空間及び前記第２空間にガスを供給してもよい。こうすれば、第２空間及び第１軸受の隙間を介さない経路で第１空間にガスを供給するため、第１空間内の雰囲気（雰囲気ガスの組成や気圧など）を調整しやすい。なお、前記工程において、第１空間供給口から第１空間に供給するガスと、第２空間供給口から第２空間に供給するガスとは、組成及び圧力が同じであってもよいし、組成及び圧力の少なくとも一方が異なっていてもよい。   In the heat treatment method of the present invention, the furnace body has a first space supply port capable of supplying a gas into the first space, and the atmosphere of the first space is maintained at a predetermined pressure in the step. As described above, the atmosphere of the first space may be exhausted from the exhaust port and gas may be supplied to the first space and the second space. In this case, since the gas is supplied to the first space through a path that does not pass through the gap between the second space and the first bearing, it is easy to adjust the atmosphere (the composition of the atmospheric gas, the atmospheric pressure, etc.) in the first space. In the step, the gas supplied from the first space supply port to the first space and the gas supplied from the second space supply port to the second space may have the same composition and pressure. And at least one of the pressures may be different.

本発明の熱処理方法において、前記熱処理装置は、前記第１空間供給口に接続された第１配管と、前記第２空間供給口に接続された第２配管と、前記第１配管及び前記第２配管に接続された共通配管と、を備え、前記工程では、前記共通配管にガスを供給することで、該共通配管及び第２配管を介して前記第１空間の雰囲気と比べて高圧のガスを前記第２空間内に供給し、前記共通配管及び前記第１配管を介してガスを第１空間内に供給してもよい。こうすれば、第１空間供給口を介した第１空間へのガスの供給と、第２空間供給口を介した第２空間へのガスの供給との両方を、共通配管にガスを供給することでまとめて行うことができる。なお、前記工程では、前記第１配管に、共通配管以外の経路からもガスを供給してもよい。こうすれば、共通配管にガスを供給することで第１空間と第２空間との両方にガスを供給しつつ、第１配管に他の経路からのガスも流通させる（共通配管からのガスと混合させる）ことで、第１空間供給口を介して供給するガスと第２空間供給口を介して供給するガスとの組成を異ならせることができる。   In the heat treatment method of the present invention, the heat treatment apparatus includes a first pipe connected to the first space supply port, a second pipe connected to the second space supply port, the first pipe, and the second pipe. A common pipe connected to the pipe, and in the step, by supplying a gas to the common pipe, a gas having a pressure higher than that of the atmosphere in the first space is supplied via the common pipe and the second pipe. The gas may be supplied into the second space, and the gas may be supplied into the first space through the common pipe and the first pipe. If it carries out like this, gas supply to 1st space via a 1st space supply port and gas supply to 2nd space via a 2nd space supply port will be supplied to common piping Can be done together. In the step, gas may be supplied to the first pipe from a route other than the common pipe. If it carries out like this, while supplying gas to both 1st space and 2nd space by supplying gas to common piping, the gas from other paths is also distribute | circulated to 1st piping (gas from common piping) By mixing), the composition of the gas supplied through the first space supply port and the gas supplied through the second space supply port can be made different.

本発明の熱処理方法において、前記熱処理装置は、前記第１配管に接続され該第１配管の流量を調整する第１流量調整弁と、前記第２配管に接続され該第２配管の流量を調整する第２流量調整弁と、を備えており、前記工程では、前記共通配管にガスを供給することで、該共通配管及び前記第１配管を介して前記第１流量調整弁で流量が調整されたガスを前記第１空間に供給すると共に、該共通配管及び前記第２配管を介して前記第２流量調整弁で流量が調整されたガスを前記第２空間に供給してもよい。   In the heat treatment method of the present invention, the heat treatment apparatus is connected to the first pipe and adjusts a flow rate of the first pipe, and a first flow rate adjustment valve that adjusts a flow rate of the first pipe and a flow rate of the second pipe that is connected to the second pipe. A flow rate is adjusted by the first flow rate adjustment valve via the common pipe and the first pipe by supplying gas to the common pipe. The gas whose flow rate is adjusted by the second flow rate adjusting valve may be supplied to the second space via the common pipe and the second pipe.

本発明の熱処理方法において、前記熱処理装置は、前記共通配管と前記第１配管との少なくとも一方に設けられ、且つ前記第１流量調整弁よりも上流側に設けられた第１減圧弁と、前記第２配管のうち前記第２流量調整弁よりも上流側に設けられた第２減圧弁と、を備え、前記第１減圧弁は、下流側のガスの圧力を前記第１空間の雰囲気よりも高圧の第１圧力まで減圧し、前記第２減圧弁は、下流側のガスの圧力を前記第１空間の雰囲気よりも高圧の第２圧力まで減圧し、前記工程では、前記第１圧力及び前記第２圧力を超える圧力のガスを前記共通配管に供給してもよい。こうすれば、減圧後の圧力（第１圧力及び第２圧力）よりも高圧のガスを共通配管から供給するため、第１減圧弁より上流側や第２減圧弁より上流側の配管を細くしても必要なガスの流量を確保することができる。   In the heat treatment method of the present invention, the heat treatment apparatus is provided in at least one of the common pipe and the first pipe, and is provided upstream of the first flow rate adjustment valve, A second pressure reducing valve provided on the upstream side of the second flow rate adjustment valve in the second pipe, wherein the first pressure reducing valve causes the pressure of the gas on the downstream side to be higher than the atmosphere of the first space. The second pressure reducing valve reduces the pressure of the gas on the downstream side to a second pressure higher than the atmosphere in the first space. In the step, the first pressure and the second pressure reducing valve A gas having a pressure exceeding the second pressure may be supplied to the common pipe. In this way, in order to supply a gas having a pressure higher than the pressure after the pressure reduction (the first pressure and the second pressure) from the common pipe, the pipe upstream from the first pressure reducing valve or the pipe upstream from the second pressure reducing valve is narrowed. However, the necessary gas flow rate can be secured.

本発明の熱処理方法において、前記熱処理装置は、前記被処理物を前記外部空間と前記第１空間との間で搬送する搬送路と、前記搬送路の鉛直上側に設けられ、鉛直下側に開口して該搬送路内に連通する上方空間を形成する上方空間形成部と、前記搬送路の鉛直下側に設けられ、鉛直上側に開口して該搬送路内に連通する下方空間を形成する下方空間形成部と、を備え、前記工程では、前記第１空間の雰囲気を外気より高い温度に加熱し、前記上方空間と前記下方空間との少なくとも一方を吸引してもよい。こうすれば、第１空間の雰囲気ガスが外気より高い温度に加熱されているため、第１空間から搬送路に流出する雰囲気ガスは上方空間に向かいやすく、外気は下方空間に向かいやすい。また、この状態で上方空間と下方空間との少なくとも一方を吸引することで、搬送路から上方空間に向かう上方向のガスの流れと搬送路から下方空間に向かう下方向のガスの流れとの少なくとも一方が生じる。これらにより、第１空間の雰囲気や外気は搬送路内で上下方向に流れやすくなるため、外部空間及び第１空間の一方の雰囲気が搬送路を通過して他方に流れる（上下方向に垂直な方向にガスが流れる）のをより抑制できる。すなわち、炉体の内外での搬送路を介した雰囲気の流出入をより抑制することができる。また、炉体が搬送路を介して外部空間に常に開口した状態でも、上記のように炉体の内外での流出入をより抑制できる。ここで、前記搬送路は、前記被処理物を外部から炉体に搬入するためのものであってもよいし、前記被処理物を炉体から外部に搬出するためのものであってもよい。   In the heat treatment method of the present invention, the heat treatment apparatus is provided on a transport path for transporting the object to be processed between the external space and the first space, on a vertically upper side of the transport path, and opened on a vertically lower side. And an upper space forming portion that forms an upper space that communicates with the inside of the transport path, and a lower portion that is provided on the vertically lower side of the transport path and that opens to the vertical upper side and forms a lower space that communicates with the transport path. A space forming unit, and in the step, the atmosphere of the first space may be heated to a temperature higher than the outside air, and at least one of the upper space and the lower space may be sucked. In this way, since the atmospheric gas in the first space is heated to a temperature higher than that of the outside air, the atmospheric gas flowing out from the first space to the conveyance path tends to go to the upper space, and the outside air tends to go to the lower space. In this state, by sucking at least one of the upper space and the lower space, at least one of the upward gas flow from the transport path to the upper space and the downward gas flow from the transport path to the lower space. One occurs. As a result, the atmosphere in the first space and the outside air easily flow in the vertical direction in the transport path, so that one atmosphere in the external space and the first space flows through the transport path to the other (direction perpendicular to the vertical direction). Gas flow). That is, the inflow and outflow of the atmosphere via the conveyance path inside and outside the furnace body can be further suppressed. Moreover, even when the furnace body is always open to the external space through the conveyance path, the inflow and outflow inside and outside the furnace body can be further suppressed as described above. Here, the conveyance path may be for carrying the object to be processed into the furnace body from the outside, or for carrying the object to be treated out from the furnace body. .

本発明の熱処理装置は、
処理空間内で被処理物に対する熱処理を行う熱処理装置であって、
前記処理空間としての第１空間を形成する炉体と、
前記第１空間に連通する第２空間を内部に形成し、第１壁部と、第２壁部と、該第２空間内に外部からガスを供給可能な第２空間供給口と、を有する壁体と、
前記第１空間内で前記被処理物を搬送可能であり、該第１空間側から外部空間に向かって前記第１壁部，前記第２空間，前記第２壁部をこの順に貫通して一端が該第２壁部から突出している回転体と、
前記回転体の前記一端側と接続されて該回転体を回転駆動可能な駆動手段と、
前記第１壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、該回転体を回転可能に支持し且つ前記回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間を有する転がり軸受である第１軸受と、
前記第２壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、前記第１軸受と比べてシール性の高いシール部材と、
を備えたものである。 The heat treatment apparatus of the present invention
A heat treatment apparatus for performing heat treatment on an object to be processed in a processing space,
A furnace body forming a first space as the processing space;
A second space communicating with the first space is formed inside, and has a first wall portion, a second wall portion, and a second space supply port through which gas can be supplied from the outside into the second space. A wall,
The object to be processed can be transported in the first space, and passes through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side to the external space, and ends at one end. A rotating body protruding from the second wall,
Drive means connected to the one end side of the rotating body and capable of rotating the rotating body;
A first bearing that is a rolling bearing that is provided in a portion through which the rotating body passes through the first wall, supports the rotating body rotatably, and has a gap through which gas can flow in the penetrating direction of the rotating body; ,
A seal member that is provided in a portion through which the rotating body passes through the second wall portion, and has a higher sealing performance than the first bearing;
It is equipped with.

この本発明の熱処理装置は、処理空間としての第１空間を形成する炉体と、前記第１空間に連通する第２空間を内部に形成し、第１壁部と、第２壁部と、該第２空間内に外部からガスを供給可能な第２空間供給口と、を有する壁体と、を備えている。また、第１空間内で被処理物を搬送可能な回転体が、第１空間側から外部空間に向かって第１壁部，第２空間，第２壁部をこの順に貫通して一端が第２壁部から突出している。そして、この回転体の一端側と接続された駆動手段が回転体を回転駆動させることで、第１空間内で回転体により被処理物を搬送しながら第１空間内で被処理物の熱処理を行うことができる。このとき、回転体が第１壁部を貫通する部分には、回転体を回転可能に支持し且つ回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間を有する転がり軸受である第１軸受が設けられている。また、回転体が第２壁部を貫通する部分には、第１軸受と比べてシール性の高いシール部材が設けられている。このため、例えば熱処理中において、第１空間の雰囲気と比べて高圧のガスを第２空間供給口を介して前記第２空間内に供給することで、第２空間に供給されたガスはシール部材よりもシール性の低い第１軸受の隙間から第１空間側に向かおうとする。そのため、第１空間から第１軸受の隙間を通って雰囲気ガスが流出するのを、第２空間から第１空間へ向かおうとするガスが押さえ込むことになる。したがって、炉体の内部から外部空間への雰囲気の流出をより抑制することができる。   The heat treatment apparatus of the present invention includes a furnace body that forms a first space as a processing space, a second space that communicates with the first space, and a first wall portion, a second wall portion, And a wall having a second space supply port through which gas can be supplied from the outside into the second space. Further, the rotating body capable of transporting the object to be processed in the first space passes through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side to the external space, and has one end at the first end. 2 protrudes from the wall. Then, the driving means connected to one end side of the rotating body rotates the rotating body so that the object to be processed is heat-treated in the first space while conveying the object to be processed by the rotating body in the first space. It can be carried out. At this time, a portion where the rotating body passes through the first wall portion is provided with a first bearing which is a rolling bearing that supports the rotating body rotatably and has a gap through which gas can flow in the penetrating direction of the rotating body. ing. In addition, a seal member having a higher sealing performance than the first bearing is provided in a portion where the rotating body passes through the second wall portion. For this reason, for example, during the heat treatment, a gas having a pressure higher than that of the atmosphere in the first space is supplied into the second space via the second space supply port, so that the gas supplied to the second space is sealed with the seal member. It tends to go to the 1st space side from the crevice of the 1st bearing with lower sealing nature. Therefore, the gas that tries to move from the second space to the first space is suppressed from flowing out from the first space through the gap of the first bearing. Therefore, the outflow of the atmosphere from the inside of the furnace body to the external space can be further suppressed.

本発明の熱処理装置において、前記第１軸受よりも前記回転体の前記一端側を回転可能に支持する一端側軸受、を備え、前記シール部材は、軸シールであってもよい。この場合において、前記一端側軸受は、前記第２壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられていてもよい。また、前記一端側軸受は、外部空間で前記回転体を支持していてもよい。   The heat treatment apparatus of the present invention may further include an end-side bearing that rotatably supports the one end side of the rotating body relative to the first bearing, and the seal member may be a shaft seal. In this case, the one end side bearing may be provided in a portion where the rotating body passes through the second wall portion. The one end side bearing may support the rotating body in an external space.

本発明の熱処理装置において、前記シール部材は、前記第２壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、該回転体を回転可能に支持し且つ前記第１軸受と比べてシール性の高い転がり軸受である第２軸受であってもよい。こうすることで、上述した軸シールの役割と一端側軸受の役割とを第２軸受が兼ねることができる。   In the heat treatment apparatus of the present invention, the sealing member is provided in a portion where the rotating body passes through the second wall portion, supports the rotating body rotatably, and has a higher sealing performance than the first bearing. The 2nd bearing which is a rolling bearing may be sufficient. By carrying out like this, the 2nd bearing can serve as the role of the shaft seal mentioned above and the role of the one end side bearing.

本発明の熱処理装置において、前記第２軸受は、内輪と、外輪と、該内輪及び該外輪の間に収納された複数の転動体と、該内輪の軸方向に該複数の転動体からずれた位置で該内輪と該外輪との間に配置された遮蔽部材と、を有しており、前記第２軸受の遮蔽部材は、前記内輪と前記外輪との間に前記第１軸受の前記隙間と比べて小さい隙間を形成しているか、又は前記内輪と前記外輪との間を封止していてもよい。こうすれば、第２軸受における回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間を、遮蔽部材を用いて容易に小さくするか又は封止することができる。そのため、第２空間の雰囲気（例えば第２空間供給口から供給されたガス）が第２軸受の隙間を通って外部空間に流出することをより抑制することができる。なお、第２軸受の遮蔽部材は第２軸受の内輪と外輪との間を封止していることが好ましい。   In the heat treatment apparatus of the present invention, the second bearing is displaced from the plurality of rolling elements in the axial direction of the inner ring, the outer ring, the plurality of rolling elements housed between the inner ring and the outer ring, and the inner ring. A shielding member disposed between the inner ring and the outer ring at a position, and the shielding member of the second bearing includes the gap of the first bearing between the inner ring and the outer ring. A smaller gap may be formed, or the space between the inner ring and the outer ring may be sealed. By so doing, the gap through which the gas can flow in the direction of penetration of the rotating body in the second bearing can be easily reduced or sealed using the shielding member. Therefore, it is possible to further suppress the atmosphere of the second space (for example, gas supplied from the second space supply port) from flowing out to the external space through the gap of the second bearing. The shielding member of the second bearing preferably seals between the inner ring and the outer ring of the second bearing.

第２軸受が遮蔽部材を有する態様の本発明の熱処理装置において、前記第１軸受は、内輪と、外輪と、該内輪及び該外輪の間に収納された複数の転動体と、該内輪の軸方向に該複数の転動体からずれた位置で該内輪と該外輪との間に配置された遮蔽部材と、を有しており、前記第１軸受の遮蔽部材は、前記内輪と前記外輪との間に前記隙間を形成していてもよい。こうすれば、第１軸受における回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間を、遮蔽部材を用いて容易に小さくすることができる。これにより、ガスが第２空間から第１空間へ向かおうとするようにしつつ、第１軸受の隙間を介して第２空間から第１空間へ塵などの微粒子が侵入することを抑制しやすい。   In the heat treatment apparatus of the present invention in which the second bearing has a shielding member, the first bearing includes an inner ring, an outer ring, a plurality of rolling elements housed between the inner ring and the outer ring, and a shaft of the inner ring. A shielding member disposed between the inner ring and the outer ring at a position displaced from the plurality of rolling elements in a direction, and the shielding member of the first bearing is formed between the inner ring and the outer ring. The gap may be formed between them. By so doing, the gap through which the gas can flow in the direction of penetration of the rotating body in the first bearing can be easily reduced using the shielding member. Thereby, it is easy to suppress the entry of fine particles such as dust from the second space into the first space through the gap of the first bearing while trying to move the gas from the second space to the first space.

本発明の熱処理装置において、前記第１軸受及び前記第２軸受は、ボールベアリングとしてもよい。すなわち、前記第１軸受及び前記第２軸受の各々は、内輪と、外輪と、該内輪及び該外輪の間に収納された複数の球状の転動体とを有するものとしてもよい。なお、第１軸受及び前記第２軸受はボールベアリングに限らず、例えば転動体が円柱状であるものとしてもよい。転動体は、自身が回転することで、内輪が回転するなどの外輪と内輪との相対的な位置ずれを可能にする部材であればよい。   In the heat treatment apparatus of the present invention, the first bearing and the second bearing may be ball bearings. That is, each of the first bearing and the second bearing may include an inner ring, an outer ring, and a plurality of spherical rolling elements housed between the inner ring and the outer ring. The first bearing and the second bearing are not limited to ball bearings, and for example, the rolling elements may be cylindrical. The rolling element only needs to be a member that allows relative displacement between the outer ring and the inner ring such that the inner ring rotates by rotating itself.

本発明の熱処理装置において、前記熱処理は、前記被処理物の加熱処理を含んでいてもよい。ここで、第１空間において加熱処理を含む処理が行われる場合、炉体内で回転体が加熱されることなどにより第１軸受が加熱されることがある。このような場合に、第２空間供給口から第２空間にガスを供給し、第２空間から第１軸受の隙間を介して第１空間に向かう流れを生じさせることで、このガスの流れにより第１軸受を冷却して加熱を抑制することができる。   In the heat treatment apparatus of the present invention, the heat treatment may include a heat treatment of the workpiece. Here, when the process including the heat treatment is performed in the first space, the first bearing may be heated by heating the rotating body in the furnace. In such a case, gas is supplied from the second space supply port to the second space, and a flow from the second space to the first space through the gap of the first bearing is generated. The first bearing can be cooled to suppress heating.

本発明の熱処理装置において、前記炉体は、前記第１空間内の雰囲気を排気可能な排気口を有していてもよい。こうすれば、第２空間供給口，第２空間及び第１軸受の隙間を介して第１空間内にガスを供給する場合に、排気口から雰囲気を排気することで第１空間内の雰囲気の圧力を調整しやすい。この場合において、前記排気口は前記炉体の外部で排気弁に接続されていてもよい。また、本発明の熱処理装置は、排気口に接続され第１空間内の雰囲気を吸引する排気手段を備えていてもよい。   In the heat treatment apparatus of the present invention, the furnace body may have an exhaust port through which the atmosphere in the first space can be exhausted. By so doing, when the gas is supplied into the first space through the gap between the second space supply port, the second space, and the first bearing, the atmosphere in the first space can be reduced by exhausting the atmosphere from the exhaust port. Easy to adjust pressure. In this case, the exhaust port may be connected to an exhaust valve outside the furnace body. In addition, the heat treatment apparatus of the present invention may include an exhaust unit that is connected to the exhaust port and sucks the atmosphere in the first space.

本発明の熱処理装置において、前記炉体は、前記第１空間内にガスを供給可能な第１空間供給口を有していてもよい。こうすれば、第２空間及び第１軸受の隙間を介さずに第１空間にガスを供給できるため、第１空間内の雰囲気（雰囲気ガスの組成や気圧など）を調整しやすい。なお、第１空間供給口から第１空間に供給するガスと、第２空間供給口から第２空間に供給するガスとは、組成及び圧力が同じであってもよいし、組成及び圧力の少なくとも一方が異なっていてもよい。   In the heat treatment apparatus of the present invention, the furnace body may have a first space supply port through which a gas can be supplied into the first space. In this way, since the gas can be supplied to the first space without passing through the gap between the second space and the first bearing, it is easy to adjust the atmosphere (the composition of the atmospheric gas, the atmospheric pressure, etc.) in the first space. The gas supplied from the first space supply port to the first space and the gas supplied from the second space supply port to the second space may have the same composition and pressure, or at least the composition and pressure. One may be different.

本発明の熱処理装置は、前記第１空間供給口に接続された第１配管と、前記第２空間供給口に接続された第２配管と、前記第１配管及び前記第２配管に接続された共通配管と、を備えていてもよい。こうすれば、第１空間供給口を介した第１空間へのガスの供給と、第２空間供給口を介した第２空間へのガスの供給との両方を、共通配管にガスを供給することでまとめて行うことができる。なお、第１配管は、共通配管以外の経路からのガスも流通可能であるものとしてもよい。こうすれば、共通配管にガスを供給することで第１空間と第２空間との両方にガスを供給可能にしつつ、第１配管に他の経路からのガスも流通させる（共通配管からのガスと混合させる）ことで、第１空間供給口を介して供給するガスと第２空間供給口を介して供給するガスとの組成を異ならせることができる。   The heat treatment apparatus of the present invention is connected to the first pipe connected to the first space supply port, the second pipe connected to the second space supply port, the first pipe and the second pipe. And common piping. If it carries out like this, gas supply to 1st space via a 1st space supply port and gas supply to 2nd space via a 2nd space supply port will be supplied to common piping Can be done together. Note that the first pipe may be capable of circulating gas from a route other than the common pipe. In this way, by supplying gas to the common pipe, gas can be supplied to both the first space and the second space, and gas from other paths is also circulated through the first pipe (gas from the common pipe). The composition of the gas supplied through the first space supply port and the gas supplied through the second space supply port can be made different.

本発明の熱処理装置は、前記第１配管に接続され該第１配管の流量を調整する第１流量調整弁と、前記第２配管に接続され該第２配管の流量を調整する第２流量調整弁と、を備えていてもよい。こうすれば、第１空間及び第２空間に流入するガスの流量を調整することができる。   The heat treatment apparatus of the present invention includes a first flow rate adjustment valve that is connected to the first pipe and adjusts the flow rate of the first pipe, and a second flow rate adjustment that is connected to the second pipe and adjusts the flow rate of the second pipe. And a valve. If it carries out like this, the flow volume of the gas which flows in into 1st space and 2nd space can be adjusted.

本発明の熱処理装置は、前記共通配管と前記第１配管との少なくとも一方に設けられ、且つ前記第１流量調整弁よりも上流側に設けられた第１減圧弁と、前記第２配管のうち前記第２流量調整弁よりも上流側に設けられた第２減圧弁と、を備え、前記第１減圧弁は、下流側のガスの圧力を前記第１空間の雰囲気よりも高圧の第１圧力まで減圧し、前記第２減圧弁は、下流側のガスの圧力を前記第１空間の雰囲気よりも高圧の第２圧力まで減圧してもよい。こうすれば、減圧後の圧力（第１圧力及び第２圧力）よりも高圧のガスを共通配管から供給することができる。そのため、第１減圧弁より上流側や第２減圧弁より上流側の配管を細くしても必要なガスの流量を確保することができる。   The heat treatment apparatus of the present invention includes a first pressure reducing valve provided on at least one of the common pipe and the first pipe, and provided upstream of the first flow rate adjustment valve, and the second pipe. A second pressure reducing valve provided on the upstream side of the second flow rate adjusting valve, and the first pressure reducing valve has a first pressure higher than that of the atmosphere in the first space. The second pressure reducing valve may reduce the pressure of the downstream gas to a second pressure higher than the atmosphere of the first space. If it carries out like this, gas higher pressure than the pressure (1st pressure and 2nd pressure) after pressure reduction can be supplied from common piping. Therefore, even if the piping on the upstream side from the first pressure reducing valve or the upstream side from the second pressure reducing valve is narrowed, the necessary gas flow rate can be ensured.

本発明の熱処理装置は、前記第１空間と前記第２空間との間に該第１空間及び該第２空間と連通する第３空間を形成し、前記回転体に貫通されている第３空間形成部材、を備えていてもよい。こうすれば、第１空間と第２空間との間に第３空間が存在することで、例えば炉体からの熱伝導により壁体の第１軸受，シール部材の温度が変化するなどの、炉体から壁体への影響をより抑制することができる。また、この場合において、本発明の熱処理装置は、前記第３空間内で前記回転体を回転可能に支持する支持手段をさらに備えていてもよい。   In the heat treatment apparatus according to the present invention, a third space that communicates with the first space and the second space is formed between the first space and the second space, and the third space is penetrated by the rotating body. A forming member. In this case, the third space exists between the first space and the second space, so that the temperature of the first bearing and the seal member of the wall body changes due to heat conduction from the furnace body, for example. The influence on the wall from the body can be further suppressed. In this case, the heat treatment apparatus of the present invention may further include a support unit that rotatably supports the rotating body in the third space.

第３空間形成部材を備える態様の本発明の熱処理装置において、前記回転体は、前記第１空間内で前記被処理物を搬送可能な搬送ローラーと、前記駆動手段に回転駆動され前記壁体を貫通する駆動軸と、前記駆動軸のうち前記搬送ローラー側の端部が挿入されて該端部と接続された中空パイプ状のホルダーと、前記搬送ローラーのうち前記駆動軸側に固定されたローラーキャップと、前記ホルダーと前記ローラーキャップとに挿入されて該ホルダー及び該ローラーキャップに接続された連結シャフトと、を備え、前記ホルダー，前記ローラーキャップ，及び前記連結シャフトは、前記第３空間内に配置されており、前記ローラーキャップの内周面と前記連結シャフトとの間にはクリアランスがあり、該連結シャフトは前記ローラーキャップに対して該クリアランスにより軸ずれ可能に接続されていてもよい。こうすれば、連結シャフトがローラーキャップに対して軸ずれ可能に接続されていることで、搬送ローラーと駆動軸とに偏心（軸ずれ）が生じても、駆動軸を介して搬送ローラーに駆動手段からの回転駆動力を伝達することができる。この場合において、本発明の熱処理装置は、前記第３空間内で前記ローラーキャップを回転可能に支持する支持手段をさらに備えていてもよい。   In the heat treatment apparatus according to the aspect of the invention including a third space forming member, the rotating body is rotated by a driving roller capable of transporting the object to be processed in the first space and the driving unit. A driving shaft that penetrates, a hollow pipe-shaped holder that is connected to the end of the driving shaft on the side of the transport roller, and a roller that is fixed to the side of the driving shaft of the transport roller A cap, and a coupling shaft inserted into the holder and the roller cap and connected to the holder and the roller cap, and the holder, the roller cap, and the coupling shaft are in the third space. There is a clearance between the inner peripheral surface of the roller cap and the connecting shaft, and the connecting shaft is connected to the roller cap. May be axially displaced connected by said clearance with. In this way, the connecting shaft is connected to the roller cap so that the shaft can be displaced, so that even if the transport roller and the drive shaft are decentered (axis misalignment), the drive means is connected to the transport roller via the drive shaft. The rotational driving force from can be transmitted. In this case, the heat treatment apparatus of the present invention may further include support means for rotatably supporting the roller cap in the third space.

本発明の熱処理装置は、前記第１空間の雰囲気と比べて高圧のガスを前記第２空間内に供給するガス供給手段を備えていてもよい。こうすれば、ガス供給手段からのガスにより、第２空間から第１軸受の隙間を通って第１空間へ向かうガスの流れを生じさせることができる。   The heat treatment apparatus of the present invention may include gas supply means for supplying a gas having a pressure higher than that of the atmosphere in the first space into the second space. If it carries out like this, the gas flow which goes to the 1st space from the 2nd space through the clearance gap of a 1st bearing with the gas from a gas supply means can be produced.

本発明の熱処理装置は、前記第１空間内に配置された加熱手段を備えていてもよい。また、本発明の熱処理装置は、第１空間内で前記被処理物を搬送可能な複数の回転体を有していてもよい。この場合、複数の回転体のうち１以上が、「第１空間側から外部空間に向かって第１壁部，第２空間，第２壁部をこの順に貫通して一端が第２壁部から突出している」ものであればよい。また、壁体は１つの回転体が貫通しているものとして、本発明の熱処理装置が複数の壁体を有していてもよい。複数の回転体に貫通されている壁体があってもよい。   The heat treatment apparatus of the present invention may include a heating unit disposed in the first space. Moreover, the heat processing apparatus of this invention may have a some rotary body which can convey the said to-be-processed object in 1st space. In this case, one or more of the plurality of rotating bodies may be “through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side to the external space, and one end from the second wall portion. Anything that protrudes is acceptable. Moreover, the heat processing apparatus of this invention may have a some wall body as a wall body through which the one rotary body has penetrated. There may be a wall that is penetrated by a plurality of rotating bodies.

本発明の熱処理装置は、前記被処理物を前記外部空間と前記第１空間との間で搬送する搬送路と、前記炉体内部の雰囲気を外気より高い温度にする加熱手段と、前記搬送路の鉛直上側に設けられ、鉛直下側に開口して該搬送路内に連通する上方空間を形成する上方空間形成部と、前記搬送路の鉛直下側に設けられ、鉛直上側に開口して該搬送路内に連通する下方空間を形成する下方空間形成部と、前記上方空間と前記下方空間との少なくとも一方を吸引する吸引手段と、を備えていてもよい。こうすれば、本発明の熱処理方法の説明で上述したように、炉体の内外での搬送路を介した雰囲気の流出入をより抑制することができる。   The heat treatment apparatus of the present invention includes a conveyance path for conveying the object to be processed between the external space and the first space, a heating means for setting the atmosphere inside the furnace body to a temperature higher than the outside air, and the conveyance path. An upper space forming portion that forms an upper space that opens to the vertical lower side and communicates with the conveyance path, and is provided on the vertical lower side of the conveyance path and opens to the vertical upper side to You may provide the lower space formation part which forms the lower space connected in a conveyance path, and the attraction | suction means which attracts | sucks at least one of the said upper space and the said lower space. In this way, as described above in the description of the heat treatment method of the present invention, it is possible to further suppress the inflow and outflow of the atmosphere through the conveyance path inside and outside the furnace body.

本発明の熱処理装置において、前記上方空間形成部は、前記炉体に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した前記上方空間を形成していてもよい。外気より高い温度の雰囲気ガスが炉体から流出したときには、この雰囲気ガスの流れる向きは炉体に対して遠ざかるほど上昇する向きとなる。そのため、上方空間が炉体に対して上部が遠ざかる方向に傾斜していることで、炉体からの雰囲気ガスが上方空間に導かれやすくなり、外部への流出をより抑制できる。   In the heat treatment apparatus according to the present invention, the upper space forming portion may form the upper space inclined in a direction in which an upper portion moves away from the furnace body. When the atmospheric gas having a temperature higher than the outside air flows out of the furnace body, the flowing direction of the atmospheric gas is a direction that increases as the distance from the furnace body increases. Therefore, since the upper space is inclined in a direction in which the upper part is away from the furnace body, the atmospheric gas from the furnace body is easily guided to the upper space, and the outflow to the outside can be further suppressed.

本発明の熱処理装置において、前記上方空間形成部は、前記炉体に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した部材であり前記上方空間を前記被処理物の搬送方向に沿って複数の区画空間に区画する区画部材を有していてもよい。こうすれば、複数の区画部材が炉体に対して上部が遠ざかる方向に傾斜していることで、炉体からの雰囲気ガスが上方空間に導かれやすくなる。この場合において、前記複数の区画空間は、前記上方空間のうち上方で互いに連通していてもよい。   In the heat treatment apparatus according to the present invention, the upper space forming portion is a member inclined in a direction in which an upper portion moves away from the furnace body, and the upper space is partitioned into a plurality of partition spaces along a conveyance direction of the workpiece. You may have the division member to do. If it carries out like this, the atmosphere gas from a furnace body will become easy to be guide | induced to upper space because the some division member inclines in the direction which an upper part distances with respect to a furnace body. In this case, the plurality of partition spaces may communicate with each other above the upper space.

本発明の熱処理装置において、前記下方空間形成部は、前記炉体に対して下部が近づく方向に傾斜した前記下方空間を形成していてもよい。外気が搬送路に流れたとき、炉体の雰囲気ガスの方が温度が高いため、この外気の流れる向きは炉体に対して近づくほど下降する向きとなる。そのため、下方空間が炉体に対して下部が近づく方向に傾斜していることで、搬送路に流れた外気が下方空間に導かれやすくなり、炉体への流入をより抑制できる。   In the heat treatment apparatus according to the present invention, the lower space forming portion may form the lower space inclined in a direction in which a lower portion approaches the furnace body. When the outside air flows into the conveyance path, the temperature of the atmosphere gas in the furnace body is higher, and therefore the direction in which this outside air flows becomes a direction of lowering as it approaches the furnace body. Therefore, since the lower space is inclined in the direction in which the lower part approaches the furnace body, the outside air that has flowed through the transport path is easily guided to the lower space, and the inflow to the furnace body can be further suppressed.

本発明の熱処理装置において、前記下方空間形成部は、前記炉体に対して下部が近づく方向に傾斜した部材であり前記下方空間を前記被処理物の搬送方向に沿って複数の区画空間に区画する区画部材を有していてもよい。こうすれば、複数の区画部材が炉体に対して下部が近づく方向に傾斜していることで、搬送路に流れた外気が下方空間に導かれやすくなる。この場合において、前記複数の区画空間は、前記下方空間のうち下方で互いに連通していてもよい。   In the heat treatment apparatus of the present invention, the lower space forming portion is a member inclined in a direction in which a lower portion approaches the furnace body, and divides the lower space into a plurality of partition spaces along a transfer direction of the workpiece. You may have the division member to do. If it carries out like this, since the several division member inclines in the direction which a lower part approaches with respect to a furnace body, it will become easy to guide the external air which flowed into the conveyance path to lower space. In this case, the plurality of partition spaces may communicate with each other below in the lower space.

第１実施形態のローラーハースキルン１０の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the roller hearth kiln 10 of 1st Embodiment. 図１のＡ−Ａ断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 図２の駆動側カバー２６及び壁体３０の周辺の拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the periphery of a drive side cover 26 and a wall body 30 in FIG. 2. 変形例のローラーハースキルンにおける壁体３０周辺の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the wall body 30 periphery in the roller hearth kiln of the modification. 変形例のローラーハースキルンにおける壁体３０周辺の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the wall body 30 periphery in the roller hearth kiln of the modification. 第２実施形態のローラーハースキルン３１０の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the roller hearth kiln 310 of 2nd Embodiment.

［第１実施形態］
次に、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の熱処理方法に用いる熱処理装置の一実施形態であるローラーハースキルン１０の縦断面図である。図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。図３は、図２の駆動側カバー２６及び壁体３０の周辺の拡大断面図である。ローラーハースキルン１０は、炉体１１の第１空間１１ａ内で複数の被処理物９６を載置したトレイ９５を搬送しながら被処理物９６に対する熱処理を行う装置である。ローラーハースキルン１０は、炉体１１と、従動側カバー２２と、駆動側カバー２６と、壁体３０と、搬送ローラー６１を含む複数の回転体６０と、ガス供給装置７０と、排気装置８６と、を備えている（図１，２参照）。 [First Embodiment]
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a roller hearth kiln 10 which is an embodiment of a heat treatment apparatus used in the heat treatment method of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the periphery of the drive side cover 26 and wall body 30 of FIG. The roller hearth kiln 10 is a device that performs heat treatment on the workpiece 96 while conveying the tray 95 on which the plurality of workpieces 96 are placed in the first space 11 a of the furnace body 11. The roller hearth kiln 10 includes a furnace body 11, a driven side cover 22, a drive side cover 26, a wall body 30, a plurality of rotating bodies 60 including a transport roller 61, a gas supply device 70, and an exhaust device 86. (See FIGS. 1 and 2).

炉体１１は、略直方体に形成された断熱構造体であり、内部で被処理物９６の熱処理を行う処理空間である第１空間１１ａと、炉体の前端面１２（図１の左端面）及び後端面１３（図１の右端面）にそれぞれ形成され外部から第１空間１１ａへの出入口となる開口１４，１５を有している（図１）。この炉体１１は、前端面１２から後端面１３までの長さが例えば２〜１５ｍである。第１空間１１ａ内には、複数の搬送ローラー６１が搬送方向（図１の前後方向）に沿って開口１４から開口１５に亘って配置されている。この搬送ローラー６１が回転することによって、複数の被処理物９６が載置されたトレイ９５は、開口１４から第１空間１１ａ内を通過して開口１５まで搬送される。なお、搬送ローラー６１は、図２に示すように、搬送方向と直交する方向（図２の左右方向）に炉体１１を貫通している。炉体１１は左右方向に貫通孔１６，貫通孔１７を有しており、搬送ローラー６１の一端（図２の左端）が炉体１１の貫通孔１６を貫通して駆動側カバー２６内まで到達し、他端（図２の右端）が炉体１１の貫通孔１７を貫通して従動側カバー２２内まで到達している。また、第１空間１１ａ内には、複数の搬送ローラー６１を上下から挟むように、炉体１１の天井及び底部に複数のヒーター２０が配置されている。ヒーター２０は、長手方向が搬送方向に直交するように配置されており、搬送方向に沿って複数配置されている。ヒーター２０は、第１空間１１ａ内を通過する被処理物９６を加熱するものであり、例えばＳｉＣヒーターなどのセラミックスヒーターとして構成されている。なお、ヒーター２０に限らず、ガスバーナーなど、被処理物９６の熱処理を行うことができる加熱装置であればよい。図２に示すように、炉体１１の天井部分には、排気装置８６と接続され第１空間１１ａの雰囲気を排気可能な排気口１９が形成されている。また、炉体１１の底部には、ガス供給装置７０と接続され第１空間１１ａにガスを供給可能な第１空間供給口１８が形成されている。なお、炉体１１は、開口１４，１５、貫通孔１６，１７、第１空間供給口１８、排気口１９を除いて気密な構造をしており、これらの部分以外では、外部空間などの他の空間との気体の流出入がほとんど生じないようになっている。また、開口１４，開口１５は気密構造の図示しない置換室内に開口していてもよい。   The furnace body 11 is a heat insulating structure formed in a substantially rectangular parallelepiped, and includes a first space 11a that is a processing space for heat-treating the workpiece 96 therein, and a front end face 12 of the furnace body (left end face in FIG. 1). And openings 14 and 15 formed on the rear end face 13 (the right end face in FIG. 1) and serving as entrances to the first space 11a from the outside (FIG. 1). The furnace body 11 has a length from the front end face 12 to the rear end face 13 of, for example, 2 to 15 m. In the first space 11a, a plurality of transport rollers 61 are arranged from the opening 14 to the opening 15 along the transport direction (the front-rear direction in FIG. 1). As the transport roller 61 rotates, the tray 95 on which a plurality of objects to be processed 96 are placed is transported from the opening 14 to the opening 15 through the first space 11a. In addition, the conveyance roller 61 has penetrated the furnace body 11 in the direction (left-right direction of FIG. 2) orthogonal to a conveyance direction, as shown in FIG. The furnace body 11 has a through hole 16 and a through hole 17 in the left-right direction, and one end (left end in FIG. 2) of the transport roller 61 passes through the through hole 16 of the furnace body 11 and reaches the inside of the drive side cover 26. The other end (the right end in FIG. 2) passes through the through hole 17 of the furnace body 11 and reaches the driven side cover 22. In the first space 11a, a plurality of heaters 20 are disposed on the ceiling and bottom of the furnace body 11 so as to sandwich the plurality of transport rollers 61 from above and below. The heater 20 is disposed such that the longitudinal direction is orthogonal to the transport direction, and a plurality of heaters 20 are disposed along the transport direction. The heater 20 heats the workpiece 96 passing through the first space 11a, and is configured as a ceramic heater such as a SiC heater, for example. Note that the heating device is not limited to the heater 20 and may be any heating device that can perform the heat treatment of the workpiece 96, such as a gas burner. As shown in FIG. 2, an exhaust port 19 connected to the exhaust device 86 and capable of exhausting the atmosphere of the first space 11 a is formed in the ceiling portion of the furnace body 11. A first space supply port 18 that is connected to the gas supply device 70 and can supply gas to the first space 11 a is formed at the bottom of the furnace body 11. The furnace body 11 has an airtight structure except for the openings 14 and 15, the through holes 16 and 17, the first space supply port 18, and the exhaust port 19. There is almost no gas flow into and out of the space. Moreover, the opening 14 and the opening 15 may be opened in a replacement chamber (not shown) having an airtight structure.

従動側カバー２２は、炉体１１の右側（図２の右側）に配置された略直方体の構造体である。この従動側カバー２２は、貫通孔１７を貫通した搬送ローラー６１の他端がローラーハースキルン１０の外部空間に露出しないように搬送ローラー６１の他端を覆っている。従動側カバー２２は、炉体１１側の貫通孔１７に連なる開口を除いて気密な構造をしており、従動側カバー２２内の空間と外部空間とで気体の流出入がほとんど生じないようになっている。また、従動側カバー２２内には、搬送ローラー６１を下側から支持する従動側支持ローラー２４が配置されている。従動側支持ローラー２４は、例えば搬送ローラー６１の下側且つ搬送ローラー６１の中心軸から前後（図２の紙面手前及び奥）にずらした位置に２つのローラーを並べたものであり、この複数のローラーによって搬送ローラー６１を回転可能に支持している。   The driven-side cover 22 is a substantially rectangular parallelepiped structure disposed on the right side (the right side in FIG. 2) of the furnace body 11. The driven side cover 22 covers the other end of the transport roller 61 so that the other end of the transport roller 61 penetrating the through hole 17 is not exposed to the external space of the roller hearth kiln 10. The driven side cover 22 has an airtight structure except for an opening connected to the through hole 17 on the furnace body 11 side, so that almost no gas flows in and out of the space inside the driven side cover 22 and the external space. It has become. A driven support roller 24 that supports the transport roller 61 from below is disposed in the driven cover 22. The driven side support roller 24 is formed by, for example, arranging two rollers at positions shifted from the lower side of the transport roller 61 and back and forth from the central axis of the transport roller 61 (front and back in FIG. 2). The conveyance roller 61 is rotatably supported by the roller.

駆動側カバー２６は、炉体１１の左側（図２の左側）に配置された略直方体の構造体であり、内部に第３空間２６ａを形成している。駆動側カバー２６は、炉体１１側（図２の右側）が開口しており、第３空間２６ａは貫通孔１６を介して第１空間１１ａと連通している。第３空間２６ａ内には、貫通孔１６を貫通した搬送ローラー６１の一端が到達しており、駆動側カバー２６は搬送ローラー６１の一端を覆っている。また、駆動側カバー２６の左側には第３空間２６ａに連通する開口２７が形成されており、搬送ローラー６１に接続された駆動軸６５が開口２７を貫通している（図３参照）。駆動側カバー２６は、開口２７や炉体１１側の貫通孔１６に連なる開口を除いて気密な構造をしており、これらの部分以外では、第３空間２６ａと第１空間１１ａ，第２空間３０ａ，外部空間との間で気体の流出入がほとんど生じないようになっている。第３空間２６ａ内には、回転体６０（ローラーキャップ６２）を下側から支持する駆動側支持ローラー２８が配置されている。駆動側支持ローラー２８は、従動側支持ローラー２４と同様の構成であり、回転体６０（ローラーキャップ６２）を回転可能に支持している。   The drive-side cover 26 is a substantially rectangular parallelepiped structure disposed on the left side (left side in FIG. 2) of the furnace body 11, and forms a third space 26a therein. The drive side cover 26 is open on the furnace body 11 side (the right side in FIG. 2), and the third space 26 a communicates with the first space 11 a through the through hole 16. One end of the transport roller 61 penetrating the through hole 16 reaches the third space 26 a, and the drive side cover 26 covers one end of the transport roller 61. An opening 27 communicating with the third space 26a is formed on the left side of the drive side cover 26, and a drive shaft 65 connected to the transport roller 61 passes through the opening 27 (see FIG. 3). The drive side cover 26 has an airtight structure except for the opening 27 and the opening connected to the through hole 16 on the furnace body 11 side. Except for these portions, the third space 26a, the first space 11a, and the second space are provided. 30a, almost no gas flows in and out of the external space. In the third space 26a, a driving support roller 28 that supports the rotating body 60 (roller cap 62) from below is disposed. The drive-side support roller 28 has the same configuration as the driven-side support roller 24 and supports the rotating body 60 (roller cap 62) in a rotatable manner.

壁体３０は、駆動側カバー２６の左側（図２の左側）に配置された略直方体の構造体である。図３に示すように、壁体３０は、板状の部材である第１壁部３１と第２壁部３２とを有しており、これらを含む複数の板状部材を接着剤やボルト締めなどにより組み合わせて略直方体の構造体としたものである。これにより壁体３０の内部には、第２空間３０ａが形成されている。第１壁部３１及び第２壁部３２は、回転体６０の軸方向（図３の左右方向）に沿って第２空間３０ａを挟むように対向して配置されている。第１壁部３１は、炉体１１側（図３の右側）の面が駆動側カバー２６の壁体３０側（図３の左側）の面と接しており、駆動側カバー２６の開口２７を塞ぐように配置されている。これにより、第１壁部３１は、炉体１１側の面が第１空間１１ａに連なる第３空間２６ａに面しており、炉体１１とは反対側の面が第２空間３０ａに面している。すなわち、第１壁部３１は第３空間２６ａと第２空間３０ａとを区画している。また、第２壁部３２は、炉体１１側の面が第２空間３０ａに面しており、炉体１１とは反対側の面が外部空間に面している。すなわち、第２壁部３２は第２空間３０ａと外部空間とを区画している。壁体３０の天井（図３の上部）には、ガス供給装置７０と接続され第２空間３０ａにガスを供給可能な第２空間供給口３３が形成されている。また、第１壁部３１は駆動軸６５によって貫通されており、この貫通部分には第１軸受４０が取り付けられている。同様に、第２壁部３２は駆動軸６５によって貫通されており、この貫通部分には第２軸受５０が取り付けられている。なお、壁体３０は、第２空間供給口３３，第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａ（図３の拡大部分参照）を除いて気密な構造をしており、これらの部分以外では、外部空間や第３空間２６ａとの気体の流出入がほとんど生じないようになっている。   The wall body 30 is a substantially rectangular parallelepiped structure disposed on the left side (left side in FIG. 2) of the drive side cover 26. As shown in FIG. 3, the wall body 30 includes a first wall portion 31 and a second wall portion 32 that are plate-like members, and a plurality of plate-like members including these members are bonded with an adhesive or bolts. These are combined into a substantially rectangular parallelepiped structure. As a result, a second space 30 a is formed inside the wall body 30. The 1st wall part 31 and the 2nd wall part 32 are opposingly arranged so that the 2nd space 30a may be pinched | interposed along the axial direction (left-right direction of FIG. 3) of the rotary body 60. As shown in FIG. The first wall portion 31 has a surface on the furnace body 11 side (right side in FIG. 3) in contact with a surface on the wall body 30 side (left side in FIG. 3) of the drive side cover 26, and an opening 27 of the drive side cover 26 is formed. It is arranged to close. Thereby, the surface of the first wall 31 faces the third space 26a connected to the first space 11a on the surface on the furnace body 11 side, and the surface on the opposite side to the furnace body 11 faces the second space 30a. ing. In other words, the first wall portion 31 partitions the third space 26a and the second space 30a. Further, the second wall portion 32 has a surface on the furnace body 11 side facing the second space 30a, and a surface opposite to the furnace body 11 facing the external space. That is, the second wall portion 32 partitions the second space 30a and the external space. A second space supply port 33 connected to the gas supply device 70 and capable of supplying gas to the second space 30a is formed on the ceiling of the wall body 30 (upper part in FIG. 3). Further, the first wall portion 31 is penetrated by the drive shaft 65, and the first bearing 40 is attached to the penetration portion. Similarly, the 2nd wall part 32 is penetrated by the drive shaft 65, and the 2nd bearing 50 is attached to this penetration part. The wall body 30 has an airtight structure except for the second space supply port 33 and the gaps 44a and 45a of the first bearing 40 (see the enlarged portion in FIG. 3). In addition, almost no gas flows into and out of the third space 26a.

第１軸受４０は、ボールベアリングとして構成された転がり軸受であり、回転体６０（駆動軸６５）を回転可能に支持するものである。第１軸受４０は、内輪４１と、外輪４２と、複数の球体４３と、遮蔽部材４４，４５と、を有している。内輪４１は、中心を駆動軸６５が貫通しており、駆動軸６５と一体に回転可能に構成されている。外輪４２は、内輪４１と同心円状に配置された部材である。外輪４２の外周面は第１壁部３１に取り付けられて、固定されている。外輪４２の外周面と第１壁部３１の貫通部分の内周面との間は、例えば封止材などにより封止されている。球体４３は、内輪４１と外輪４２との間で回転可能に配置された部材である。この球体４３は、内輪４１の外周面及び外輪４２の内周面に沿って円周方向に等間隔に複数配置されている。駆動軸６５の回転に伴って内輪４１が回転すると、回転する内輪４１と固定された外輪４２との相対的な位置ずれを球体４３が回転することで吸収する。これにより、第１軸受４０は駆動軸６５を回転可能に支持する。遮蔽部材４４，４５は、内輪４１の軸方向（図３の左右方向）に複数の球体４３からずれた位置で内輪４１と外輪４２との間に配置されたリング状の部材である。なお、遮蔽部材４４が球体４３よりも第１空間１１ａ側に配置され、遮蔽部材４５が球体４３よりも第２空間３０ａ側に配置されている。遮蔽部材４４，４５は、例えば鋼板の表面に合成ゴムなどの弾性体を固着させた部材であり、外輪４２の内周面に形成された溝に遮蔽部材４４，４５の外周面のリング状の突起が嵌り込むことで、外輪４２に固定されている。また、遮蔽部材４４，４５の内周面にもリング状の突起が形成されており、この突起は内輪４１の外周面の溝との間に隙間４４ａ，４５ａをそれぞれ形成している。すなわち、遮蔽部材４４，４５は、隙間４４ａ，４５ａを残して内輪４１と外輪４２との間の隙間を塞いでいる。この隙間４４ａ，４５ａは、内輪４１の溝と遮蔽部材４４，４５の突起とで挟まれたラビリンス形状をしている。隙間４４ａと隙間４５ａとは、複数の球体４３の間の隙間を介して連通している。そのため、第１軸受４０は、第２空間３０ａから、隙間４５ａ，複数の球体４３の間の隙間，隙間４４ａを経由して第３空間２６ａに到達するガスの流路を形成しており、これにより第２空間３０ａと第３空間２６ａとは連通している。   The 1st bearing 40 is a rolling bearing comprised as a ball bearing, and supports the rotary body 60 (drive shaft 65) rotatably. The first bearing 40 includes an inner ring 41, an outer ring 42, a plurality of spheres 43, and shielding members 44 and 45. The inner ring 41 has a drive shaft 65 passing through the center thereof, and is configured to be rotatable integrally with the drive shaft 65. The outer ring 42 is a member arranged concentrically with the inner ring 41. The outer peripheral surface of the outer ring 42 is attached to and fixed to the first wall portion 31. A space between the outer peripheral surface of the outer ring 42 and the inner peripheral surface of the penetrating portion of the first wall portion 31 is sealed with, for example, a sealing material. The spherical body 43 is a member that is rotatably disposed between the inner ring 41 and the outer ring 42. A plurality of the spheres 43 are arranged at equal intervals in the circumferential direction along the outer peripheral surface of the inner ring 41 and the inner peripheral surface of the outer ring 42. When the inner ring 41 rotates with the rotation of the drive shaft 65, the relative displacement between the rotating inner ring 41 and the fixed outer ring 42 is absorbed by the rotation of the sphere 43. Thereby, the 1st bearing 40 supports the drive shaft 65 rotatably. The shielding members 44 and 45 are ring-shaped members disposed between the inner ring 41 and the outer ring 42 at positions displaced from the plurality of spheres 43 in the axial direction of the inner ring 41 (left and right direction in FIG. 3). The shielding member 44 is disposed on the first space 11 a side with respect to the sphere 43, and the shielding member 45 is disposed on the second space 30 a side with respect to the sphere 43. The shielding members 44 and 45 are members in which an elastic body such as synthetic rubber is fixed to the surface of a steel plate, for example. The projection is fixed to the outer ring 42 by fitting. Further, ring-shaped protrusions are also formed on the inner peripheral surfaces of the shielding members 44 and 45, and the protrusions form gaps 44 a and 45 a between grooves on the outer peripheral surface of the inner ring 41, respectively. That is, the shielding members 44 and 45 block the gap between the inner ring 41 and the outer ring 42 leaving the gaps 44a and 45a. The gaps 44 a and 45 a have a labyrinth shape sandwiched between the groove of the inner ring 41 and the projections of the shielding members 44 and 45. The gap 44 a and the gap 45 a communicate with each other through gaps between the plurality of spheres 43. Therefore, the first bearing 40 forms a gas flow path that reaches the third space 26a from the second space 30a via the gap 45a, the gaps between the plurality of spheres 43, and the gap 44a. Thus, the second space 30a and the third space 26a communicate with each other.

第２軸受５０は、ボールベアリングとして構成された転がり軸受であり、回転体６０（駆動軸６５）を回転可能に支持するものである。第２軸受５０は、内輪５１と、外輪５２と、複数の球体５３と、遮蔽部材５４，５５と、を有している。内輪５１は、中心を駆動軸６５が貫通しており、駆動軸６５と一体に回転可能に構成されている。外輪５２は、内輪５１と同心円状に配置された部材である。外輪５２の外周面は第２壁部３２に取り付けられて、固定されている。外輪５２の外周面と第２壁部３２の貫通部分の内周面との間は、例えば封止材などにより封止されている。球体５３は、内輪５１と外輪５２との間で回転可能に配置された部材である。この球体５３は、内輪５１の外周面及び外輪５２の内周面に沿って円周方向に等間隔に複数配置されている。駆動軸６５の回転に伴って内輪５１が回転すると、回転する内輪５１と固定された外輪５２との相対的な位置ずれを球体５３が回転することで吸収する。これにより、第２軸受５０は駆動軸６５を回転可能に支持する。遮蔽部材５４，５５は、内輪５１の軸方向（図３の左右方向）に複数の球体５３からずれた位置で内輪５１と外輪５２との間に配置されたリング状の部材である。なお、遮蔽部材５４が球体５３よりも第２空間３０ａ側に配置され、遮蔽部材５５が球体５３よりも外部空間側に配置されている。遮蔽部材５４，５５は、例えば鋼板の表面に合成ゴムなどの弾性体を固着させた部材であり、外輪５２の内周面に形成された溝に遮蔽部材５４，５５の外周面のリング状の突起が嵌り込むことで、外輪５２に固定されている。また、第１軸受４０の遮蔽部材４４，４５とは異なり、遮蔽部材５４，５５の内周面に形成されたリング状の突起は、内輪５１の外周面の溝内に嵌り込んで溝の底部と接触している。このため、遮蔽部材５４，５５と内輪５１との間には隙間がなく、遮蔽部材５４，５５は内輪５１と外輪５２との間を封止している。   The 2nd bearing 50 is a rolling bearing comprised as a ball bearing, and supports the rotary body 60 (drive shaft 65) rotatably. The second bearing 50 includes an inner ring 51, an outer ring 52, a plurality of spheres 53, and shielding members 54 and 55. The inner ring 51 has a drive shaft 65 passing through the center thereof, and is configured to be rotatable integrally with the drive shaft 65. The outer ring 52 is a member arranged concentrically with the inner ring 51. The outer peripheral surface of the outer ring 52 is attached to the second wall portion 32 and fixed. A space between the outer peripheral surface of the outer ring 52 and the inner peripheral surface of the penetrating portion of the second wall portion 32 is sealed with, for example, a sealing material. The spherical body 53 is a member that is rotatably disposed between the inner ring 51 and the outer ring 52. A plurality of the spheres 53 are arranged at equal intervals in the circumferential direction along the outer peripheral surface of the inner ring 51 and the inner peripheral surface of the outer ring 52. When the inner ring 51 rotates with the rotation of the drive shaft 65, the relative displacement between the rotating inner ring 51 and the fixed outer ring 52 is absorbed by the rotation of the sphere 53. Thereby, the 2nd bearing 50 supports the drive shaft 65 rotatably. The shielding members 54 and 55 are ring-shaped members disposed between the inner ring 51 and the outer ring 52 at positions displaced from the plurality of spheres 53 in the axial direction of the inner ring 51 (left and right direction in FIG. 3). The shielding member 54 is disposed on the second space 30 a side with respect to the sphere 53, and the shielding member 55 is disposed on the external space side with respect to the sphere 53. The shielding members 54 and 55 are members in which an elastic body such as synthetic rubber is fixed to the surface of a steel plate, for example, and ring-shaped outer peripheral surfaces of the shielding members 54 and 55 are formed in grooves formed on the inner peripheral surface of the outer ring 52. The projection is fixed to the outer ring 52 by fitting. Further, unlike the shielding members 44 and 45 of the first bearing 40, the ring-shaped protrusions formed on the inner peripheral surfaces of the shielding members 54 and 55 are fitted into the grooves on the outer peripheral surface of the inner ring 51, and the bottoms of the grooves In contact with. For this reason, there is no gap between the shielding members 54, 55 and the inner ring 51, and the shielding members 54, 55 seal between the inner ring 51 and the outer ring 52.

回転体６０は、搬送ローラー６１と、ローラーキャップ６２と、連結シャフト６３と、ホルダー６４と、駆動軸６５と、を有している。この回転体６０は、搬送ローラー６１により第１空間１１ａ内で被処理物９６を搬送可能であり、第１空間１１ａ側から外部空間に向かって駆動側カバー２６（第３空間２６ａ），第１壁部３１，第２空間３０ａ，第２壁部３２をこの順に貫通して一端（図３の左端）が第２壁部３２から外部空間に突出している。より具体的には、搬送ローラー６１が第１空間１１ａから貫通孔１６を貫通して第３空間２６ａ内に到達し、第１空間１１ａ側から第２空間３０ａ側に向かってローラーキャップ６２，連結シャフト６３，ホルダー６４がこの順で第３空間２６ａ内に配置されている。また、駆動軸６５が第３空間２６ａ内から開口２７，第１壁部３１（第１軸受４０），第２空間３０ａ，第２壁部３２（第２軸受５０）をこの順に貫通して第２壁部３２から外部空間に突出している。駆動軸６５の一端側にはスプロケット６６が形成されており、このスプロケット６６にはローラーチェーン９２が掛けられている。ローラーチェーン９２は、外部空間に配置されたモーター９０の駆動軸９１とスプロケット６６とを掛け渡すように配置されており、回転体６０とモーター９０とを接続している。モーター９０は、駆動軸９１，ローラーチェーン９２を介してスプロケット６６に回転駆動力を伝達する。スプロケット６６が回転駆動することで回転体６０全体が回転し、搬送ローラー６１が被処理物９６を搬送する。   The rotating body 60 includes a conveyance roller 61, a roller cap 62, a connecting shaft 63, a holder 64, and a drive shaft 65. The rotating body 60 can transport the workpiece 96 in the first space 11a by the transport roller 61, and the drive side cover 26 (third space 26a), the first space from the first space 11a toward the external space. The wall 31, the second space 30 a, and the second wall 32 are penetrated in this order, and one end (the left end in FIG. 3) projects from the second wall 32 to the external space. More specifically, the transport roller 61 passes through the through hole 16 from the first space 11a and reaches the third space 26a, and is connected to the roller cap 62 from the first space 11a side to the second space 30a side. The shaft 63 and the holder 64 are disposed in the third space 26a in this order. Further, the drive shaft 65 passes through the opening 27, the first wall portion 31 (first bearing 40), the second space 30a, and the second wall portion 32 (second bearing 50) in this order from the third space 26a. 2 protrudes from the wall 32 to the external space. A sprocket 66 is formed on one end side of the drive shaft 65, and a roller chain 92 is hung on the sprocket 66. The roller chain 92 is arranged so as to bridge the drive shaft 91 of the motor 90 and the sprocket 66 arranged in the external space, and connects the rotating body 60 and the motor 90. The motor 90 transmits a rotational driving force to the sprocket 66 via the drive shaft 91 and the roller chain 92. When the sprocket 66 is rotationally driven, the entire rotating body 60 is rotated, and the transport roller 61 transports the workpiece 96.

回転体６０の各構成要素及びその接続について説明する。搬送ローラー６１は、例えばセラミックス製の中空パイプであり、一端（図３の左端）側に外径の小さい円柱状の突出部６１ａを有している。ローラーキャップ６２は、軸方向の両端が開口した筒状の部材である。ローラーキャップ６２の搬送ローラー６１側の端部の開口内には突出部６１ａが挿入されており、図示しないボルト等により突出部６１ａとローラーキャップ６２とは固定されている。これにより、搬送ローラー６１とローラーキャップ６２とは同軸に固定されている。   Each component of the rotating body 60 and its connection will be described. The conveyance roller 61 is a hollow pipe made of ceramics, for example, and has a cylindrical protrusion 61a having a small outer diameter on one end (left end in FIG. 3) side. The roller cap 62 is a cylindrical member that is open at both ends in the axial direction. A protrusion 61a is inserted into the opening at the end of the roller cap 62 on the conveying roller 61 side, and the protrusion 61a and the roller cap 62 are fixed by a bolt (not shown) or the like. Thereby, the conveyance roller 61 and the roller cap 62 are fixed coaxially.

連結シャフト６３は、ローラーキャップ６２の両端の開口径よりも小さい（例えば２分の１など）外径を有し、且つ、ホルダー６４の両端の開口径よりも小さい外径を有する円柱状の部材である。ホルダー６４は、軸方向の両端が開口した中空パイプ状の部材である。連結シャフト６３の炉体１１側の端部は、ローラーキャップ６２の壁体３０側の端部の開口内に挿入されている。また、連結シャフト６３の炉体１１側の端部付近では、差込ピン６７ａが連結シャフト６３の中心軸と垂直に連結シャフト６３を貫通している。連結シャフト６３と差込ピン６７ａとは、差込ピン６７ａと垂直に連結シャフト６３を貫通する止めネジ６８ａにより固定されている。この差込ピン６７ａは、ローラーキャップ６２の外径よりも長い部材であり、ローラーキャップ６２の壁体３０側の端部に形成された一対の切り込み部６２ａ，６２ｂを貫通している。切り込み部６２ａ，６２ｂは、ローラーキャップ６２の壁体３０側の端面から軸方向に沿ってローラーキャップ６２の筒状部分を切り欠いて形成された、軸方向に沿った溝（深さ方向が軸方向である溝）である。そのため、連結シャフト６３と差込ピン６７ａとを止めネジ６８ａで固定した状態で、連結シャフト６３をローラーキャップ６２の内部に挿入すると共に、ローラーキャップ６２の壁体３０側の端面から切り込み部６２ａ，６２ｂ内に差込ピン６７ａを挿入可能になっている。また、差込ピン６７ａよりもローラーキャップ６２の左端部側（切り込み部６２ａ，６２ｂの開口側）にはＣ型止め輪６９ａが取り付けられており、これにより挿入後の差込ピン６７ａが切り込み部６２ａ，６２ｂから軸方向に抜けるのを防止している。このように、差込ピン６７ａ，切り込み部６２ａ，６２ｂ，Ｃ型止め輪６９ａによってローラーキャップ６２と連結シャフト６３とが接続されている。連結シャフト６３の壁体３０側の端部は、炉体１１側の端部と同様に差込ピン６７ｂに貫通されて止めネジ６８ｂにより差込ピン６７ｂが固定されている。これにより、上述したローラーキャップ６２と連結シャフト６３との接続と同様に、ホルダー６４の炉体１１側の切り込み部６４ａ，６４ｂと、差込ピン６７ｂと、Ｃ型止め輪６９ｂとによって、円筒状のホルダー６４内に連結シャフト６３が挿入されつつ両者が接続されている。   The connecting shaft 63 has an outer diameter smaller than the opening diameters at both ends of the roller cap 62 (for example, a half), and a cylindrical member having an outer diameter smaller than the opening diameters at both ends of the holder 64. It is. The holder 64 is a hollow pipe-shaped member that is open at both ends in the axial direction. The end of the connecting shaft 63 on the furnace body 11 side is inserted into the opening of the end of the roller cap 62 on the wall body 30 side. Further, in the vicinity of the end of the connecting shaft 63 on the furnace body 11 side, the insertion pin 67 a passes through the connecting shaft 63 perpendicular to the central axis of the connecting shaft 63. The connection shaft 63 and the insertion pin 67a are fixed by a set screw 68a penetrating the connection shaft 63 perpendicularly to the insertion pin 67a. The insertion pin 67 a is a member longer than the outer diameter of the roller cap 62 and penetrates a pair of cut portions 62 a and 62 b formed at the end of the roller cap 62 on the wall body 30 side. The notches 62a and 62b are grooves along the axial direction formed by cutting out the cylindrical portion of the roller cap 62 along the axial direction from the end surface of the roller cap 62 on the wall body 30 side (the depth direction is the axis). Groove). Therefore, in a state in which the connecting shaft 63 and the insertion pin 67a are fixed with the set screw 68a, the connecting shaft 63 is inserted into the roller cap 62, and the notch 62a, An insertion pin 67a can be inserted into 62b. Further, a C-type retaining ring 69a is attached to the left end side of the roller cap 62 from the insertion pin 67a (opening side of the cut portions 62a and 62b), whereby the insertion pin 67a after insertion is cut. It is prevented from coming off axially from 62a and 62b. In this way, the roller cap 62 and the connecting shaft 63 are connected by the insertion pin 67a, the notches 62a and 62b, and the C-type retaining ring 69a. The end of the connecting shaft 63 on the wall 30 side is penetrated by the insertion pin 67b in the same manner as the end on the furnace body 11 side, and the insertion pin 67b is fixed by a set screw 68b. Accordingly, similarly to the connection between the roller cap 62 and the connecting shaft 63 described above, the cut-out portions 64a and 64b on the furnace body 11 side of the holder 64, the insertion pin 67b, and the C-shaped retaining ring 69b are cylindrical. The connecting shaft 63 is inserted into the holder 64 and both are connected.

駆動軸６５は、ホルダー６４の両端の開口径よりも小さい外径（例えば、連結シャフト６３と同じ外径）を有する円柱状の部材である。駆動軸６５の炉体１１側の端部は、連結シャフト６３と同様に差込ピン６７ｃに貫通されて止めネジ６８ｃにより差込ピン６７ｃが固定されている。これにより、上述したホルダー６４と連結シャフト６３との接続と同様に、ホルダー６４の壁体３０側の切り込み部６４ｃ，６４ｄと、差込ピン６７ｃと、Ｃ型止め輪６９ｃとによって、円筒状のホルダー６４内に駆動軸６５が挿入されつつ両者が接続されている。   The drive shaft 65 is a cylindrical member having an outer diameter (for example, the same outer diameter as that of the connecting shaft 63) that is smaller than the opening diameters at both ends of the holder 64. The end of the drive shaft 65 on the furnace body 11 side is penetrated by the insertion pin 67c similarly to the connecting shaft 63, and the insertion pin 67c is fixed by a set screw 68c. Thereby, similarly to the connection between the holder 64 and the connecting shaft 63 described above, the cylindrical portion is formed by the notches 64c and 64d on the wall body 30 side of the holder 64, the insertion pin 67c, and the C-shaped retaining ring 69c. Both are connected while the drive shaft 65 is inserted into the holder 64.

なお、本実施形態では、ホルダー６４の内径と連結シャフト６３及び駆動軸６５の外径との差が比較的小さく（例えば１ｍｍ未満など）、ローラーキャップ６２の内径と連結シャフト６３の外径との差が比較的大きい（例えば十数ミリなど）ものとした。これにより、ホルダー６４の内径と連結シャフト６３及び駆動軸６５の外径とのクリアランスは比較的小さいが、ローラーキャップ６２の内径と連結シャフト６３の外径とのクリアランスは比較的大きい。そのため、ホルダー６４と連結シャフト６３及び駆動軸６５とがほぼ同軸に保たれて接続されているのに対し、連結シャフト６３とローラーキャップ６２とは、このクリアランスにより差込ピン６７ａの長手方向（図３の上下方向）に軸ずれ可能に接続されている。なお、差込ピン６７ａは、連結シャフト６３とローラーキャップ６２とが軸ずれしても切り込み部６２ａ，６２ｂから抜けることのないような十分な長さを有するものとした。このような、差込ピン６７ａ〜６７ｃを用いてローラーキャップ６２，連結シャフト６３，ホルダー６４，駆動軸６５を接続する構成は、例えば特開平９−２６２６４号公報（又は特許第３５５６７３９号公報）に記載されている。   In this embodiment, the difference between the inner diameter of the holder 64 and the outer diameter of the connection shaft 63 and the drive shaft 65 is relatively small (for example, less than 1 mm), and the inner diameter of the roller cap 62 and the outer diameter of the connection shaft 63 are smaller. The difference was assumed to be relatively large (for example, a few dozen millimeters). Thereby, the clearance between the inner diameter of the holder 64 and the outer diameter of the coupling shaft 63 and the drive shaft 65 is relatively small, but the clearance between the inner diameter of the roller cap 62 and the outer diameter of the coupling shaft 63 is relatively large. Therefore, the holder 64, the connecting shaft 63, and the drive shaft 65 are connected while being kept substantially coaxial, whereas the connecting shaft 63 and the roller cap 62 are connected in the longitudinal direction of the insertion pin 67a (see FIG. 3 in the vertical direction) so that the axis can be displaced. The insertion pin 67a has a sufficient length so that it does not come out of the notches 62a and 62b even if the connecting shaft 63 and the roller cap 62 are misaligned. Such a configuration in which the roller cap 62, the connecting shaft 63, the holder 64, and the drive shaft 65 are connected using the insertion pins 67a to 67c is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-26264 (or Japanese Patent No. 3556739). Have been described.

ガス供給装置７０は、図２に示すように、第１ガスを供給する第１ガス供給源７１と、第２ガスを供給する第２ガス供給源７２と、を備えている。また、ガス供給装置７０は、第２ガス供給源７２から接続部７６ａまでの第１ガスの流路となる共通配管７３と、接続部７６ａから接続部７６ｂを経由して第１空間供給口１８までのガスの流路となる第１配管７４と、接続部７６ａから第２空間供給口３３までのガスの流路となる第２配管７５と、を備えている。共通配管７３のガスの流路の途中には、第２ガス供給源７２から接続部７６ａに向かって、フィルター８０と、流量計８１と、第１減圧弁８２と、がこの順に取り付けられている。また、第１配管７４のガスの流路の途中には、接続部７６ｂよりも下流側（第１空間供給口１８側）に第１流量調整弁８４が取り付けられている。第２配管７５のガスの流路の途中には、接続部７６ａから第２空間供給口３３に向かって、第２減圧弁８３と、第２流量調整弁８５と、がこの順に取り付けられている。   As shown in FIG. 2, the gas supply device 70 includes a first gas supply source 71 that supplies a first gas, and a second gas supply source 72 that supplies a second gas. Further, the gas supply device 70 includes a common pipe 73 serving as a flow path for the first gas from the second gas supply source 72 to the connection portion 76a, and the first space supply port 18 via the connection portion 76a and the connection portion 76b. A first pipe 74 serving as a gas flow path up to and a second pipe 75 serving as a gas flow path from the connecting portion 76a to the second space supply port 33. In the middle of the gas flow path of the common pipe 73, a filter 80, a flow meter 81, and a first pressure reducing valve 82 are attached in this order from the second gas supply source 72 toward the connecting portion 76a. . A first flow rate adjusting valve 84 is attached to the downstream side (the first space supply port 18 side) of the connecting portion 76b in the middle of the gas flow path of the first pipe 74. In the middle of the gas flow path of the second pipe 75, the second pressure reducing valve 83 and the second flow rate adjusting valve 85 are attached in this order from the connecting portion 76 a toward the second space supply port 33. .

第１ガス供給源７１は、第１配管７４の接続部７６ｂに第１ガスを供給する装置である。この第１ガスは、接続部７６ｂから第１配管７４，第１空間供給口１８を介して、第１空間１１ａ内に到達する。第２ガス供給源７２は、共通配管７３に第２ガスを供給する装置である。この第２ガスは、共通配管７３から第１配管７４内を流通し、接続部７６ｂで第１ガスと混合された上で第１空間供給口１８から第１空間１１ａ内に到達する。また、第２ガスは、共通配管７３から第２配管７５内を流通し、第２空間供給口３３を介して第２空間３０ａ内に到達する。ここで、第２ガスは、被処理物９６の熱処理時における第１空間１１ａ内の雰囲気の成分の少なくとも一部を含むガスである。本実施形態では、熱処理時における第１空間１１ａ内の雰囲気は還元雰囲気とし、具体的には窒素に微量の水素を混合した雰囲気（例えば雰囲気中の水素濃度が数％など）とした。そして、第２ガスは窒素とした。また、第１ガスは、熱処理時における第１空間１１ａ内の雰囲気のうち第２ガスに含まれない成分を少なくとも含むものであり、本実施形態では水素とした。   The first gas supply source 71 is a device that supplies the first gas to the connection portion 76 b of the first pipe 74. The first gas reaches the first space 11a from the connecting portion 76b via the first pipe 74 and the first space supply port 18. The second gas supply source 72 is a device that supplies the second gas to the common pipe 73. The second gas flows from the common pipe 73 through the first pipe 74, is mixed with the first gas at the connecting portion 76b, and reaches the first space 11a from the first space supply port 18. Further, the second gas flows from the common pipe 73 through the second pipe 75 and reaches the second space 30 a through the second space supply port 33. Here, the second gas is a gas containing at least a part of the components of the atmosphere in the first space 11a during the heat treatment of the workpiece 96. In the present embodiment, the atmosphere in the first space 11a during the heat treatment is a reducing atmosphere, specifically, an atmosphere in which a small amount of hydrogen is mixed with nitrogen (for example, the hydrogen concentration in the atmosphere is several percent). The second gas was nitrogen. The first gas includes at least a component that is not included in the second gas in the atmosphere in the first space 11a during the heat treatment, and is hydrogen in this embodiment.

フィルター８０は、第２ガス供給源７２から供給された第２ガスから塵などの微粒子を除去する装置である。流量計８１は、共通配管７３を流れる第２ガスの流量を測定する装置である。第１減圧弁８２は、第１流量調整弁８４よりもガスの上流側に設けられており、自身の上流側に第２ガス供給源７２から供給されたガスの圧力を、所定の第１圧力まで減圧して、自身の下流側に流す。この第１圧力は、被処理物９６の熱処理時における第１空間１１ａの雰囲気よりも高圧の圧力（例えば第１空間１１ａの雰囲気の十数倍の圧力）として予め定められている。特に限定するものではないが、第１圧力は、第２ガス供給源７２が供給する第２ガスの圧力の半分以下としてもよい。第２減圧弁８３は、第２流量調整弁８５よりもガスの上流側に設けられており、自身の上流側に供給されたガスの圧力を、所定の第２圧力まで減圧して、自身の下流側に流す。なお、図２からもわかるように、第１減圧弁８２は第２減圧弁８３の上流側に設けられているため、第２減圧弁８３の上流側には第１圧力でガスが供給される。すなわち、第２減圧弁８３は第１圧力のガスを第２圧力まで減圧して下流側に流すことになる。この第２圧力は、被処理物９６の熱処理時における第１空間１１ａの雰囲気よりも高圧の圧力（例えば第１空間１１ａの雰囲気の数倍の圧力）として予め定められている。特に限定するものではないが、第２圧力は、第１圧力の１００分の１以下としてもよい。第１流量調整弁８４は、自身を通過するガス（第１ガスと第２ガスとが混合されたガス）の流量が所定の第１流量となるように（第１流量を超えないように）調整する装置である。第２流量調整弁８５は、自身を通過する第２ガスの流量が所定の第２流量となるように（第２流量を超えないように）調整する装置である。   The filter 80 is a device that removes particulates such as dust from the second gas supplied from the second gas supply source 72. The flow meter 81 is a device that measures the flow rate of the second gas flowing through the common pipe 73. The first pressure reducing valve 82 is provided on the upstream side of the gas with respect to the first flow rate adjusting valve 84, and the pressure of the gas supplied from the second gas supply source 72 on the upstream side thereof is set to a predetermined first pressure. The pressure is reduced until it flows to the downstream side of itself. This first pressure is determined in advance as a pressure higher than the atmosphere of the first space 11a during the heat treatment of the workpiece 96 (for example, a pressure that is ten times the atmosphere of the first space 11a). Although not particularly limited, the first pressure may be equal to or less than half the pressure of the second gas supplied from the second gas supply source 72. The second pressure reducing valve 83 is provided on the upstream side of the gas with respect to the second flow rate adjusting valve 85, and reduces the pressure of the gas supplied to the upstream side of the second pressure reducing valve 83 to a predetermined second pressure. Flow downstream. As can be seen from FIG. 2, since the first pressure reducing valve 82 is provided on the upstream side of the second pressure reducing valve 83, gas is supplied to the upstream side of the second pressure reducing valve 83 at the first pressure. . That is, the second pressure reducing valve 83 reduces the first pressure gas to the second pressure and flows it downstream. This second pressure is determined in advance as a pressure higher than the atmosphere of the first space 11a during the heat treatment of the workpiece 96 (for example, several times the pressure of the atmosphere of the first space 11a). Although not particularly limited, the second pressure may be 1/100 or less of the first pressure. The first flow rate adjusting valve 84 is configured so that the flow rate of the gas passing through itself (a gas in which the first gas and the second gas are mixed) becomes a predetermined first flow rate (so as not to exceed the first flow rate). It is a device to adjust. The second flow rate adjustment valve 85 is a device that adjusts the flow rate of the second gas passing through the second flow rate adjustment valve 85 so as to be a predetermined second flow rate (so as not to exceed the second flow rate).

排気装置８６は、排気口１９に接続されて第１空間１１ａ内の雰囲気を吸引して排気する装置である。この排気装置８６は、排気弁８７と、吸気弁８８と、排気ファン８９とを有している。排気弁８７は、弁の開度を調整することにより、第１空間１１ａから排気口１９を介して流れる雰囲気ガスの流量を調整する装置である。吸気弁８８は、例えば周囲の大気などを吸気することにより、第１空間１１ａから流れてきた雰囲気ガスを冷却する装置である。排気ファン８９は、排気口１９，排気弁８７，吸気弁８８を介して第１空間１１ａ内の雰囲気を吸引し、これを排気する。排気ファン８９は単位時間あたりの排気量を調整可能であってもよい。   The exhaust device 86 is connected to the exhaust port 19 and exhausts the atmosphere in the first space 11a by suction. The exhaust device 86 includes an exhaust valve 87, an intake valve 88, and an exhaust fan 89. The exhaust valve 87 is a device that adjusts the flow rate of the atmospheric gas flowing from the first space 11a through the exhaust port 19 by adjusting the opening of the valve. The intake valve 88 is a device that cools the atmospheric gas flowing from the first space 11a by, for example, sucking ambient air or the like. The exhaust fan 89 sucks the atmosphere in the first space 11a through the exhaust port 19, the exhaust valve 87, and the intake valve 88 and exhausts it. The exhaust fan 89 may be capable of adjusting the exhaust amount per unit time.

被処理物９６は、炉体１１内を通過する際にヒーター２０からの熱により例えば焼成などの熱処理を行うものである。特に限定するものではないが、本実施形態では、被処理物９６は、セラミックス製の誘電体と電極とを積層した積層体（寸法は例えば縦横が１ｍｍ以内）であり、焼成後にセラミックスコンデンサのチップとなるものとした。   The object to be processed 96 is to be subjected to heat treatment such as firing by heat from the heater 20 when passing through the furnace body 11. Although not particularly limited, in the present embodiment, the object to be processed 96 is a laminate in which a ceramic dielectric and an electrode are laminated (dimensions are within 1 mm in length and width, for example), and after firing, a ceramic capacitor chip It was supposed to be.

以上、図１〜３を用いてローラーハースキルン１０の構成を説明したが、図２，３では、１つの回転体６０と、その回転体６０が貫通する１つの駆動側カバー２６及び１つの壁体３０などを図示した。本実施形態では、第１空間１１ａ内に配置された複数の回転体６０のいずれもが、図２，３と同様の構成を有するものとした。すなわち、ローラーハースキルン１０は、第１空間１１ａ内に配置された回転体６０の本数と同じ数だけ、駆動側カバー２６，壁体３０，モーター９０，従動側カバー２２などを有する。また、第２配管７５は、第２流量調整弁８５の下流で壁体３０と同じ数だけ分岐しているものとし、分岐先が複数の第２空間供給口３３のそれぞれに接続されているものとした。   The configuration of the roller hearth kiln 10 has been described above with reference to FIGS. 1 to 3, but in FIGS. 2 and 3, one rotating body 60, one drive-side cover 26 and one wall through which the rotating body 60 penetrates. A body 30 and the like are illustrated. In the present embodiment, all of the plurality of rotating bodies 60 arranged in the first space 11a have the same configuration as that shown in FIGS. That is, the roller hearth kiln 10 includes the drive side cover 26, the wall body 30, the motor 90, the driven side cover 22, and the like as many as the number of the rotating bodies 60 arranged in the first space 11a. In addition, the second pipe 75 is branched by the same number as the wall body 30 downstream of the second flow rate adjustment valve 85, and the branch destination is connected to each of the plurality of second space supply ports 33. It was.

次に、こうして構成されたローラーハースキルン１０を用いて被処理物９６の熱処理を行う様子について説明する。まず、モーター９０を動作させて複数の回転体６０を回転駆動させると共に、ヒーター２０に通電してヒーター２０を発熱させる。回転体６０から回転体６０への駆動力は、本実施形態では熱処理に要する時間に基づいて予め定められているものとした。ヒーター２０の出力は、第１空間１１ａ内での被処理物９６の熱処理時の温度（例えば１０００℃前後など）に基づいて予め定められているものとした。続いて、複数の被処理物９６を載置したトレイ９５を複数用意し、開口１４側の端部の回転体６０（搬送ローラー６１）の上に順次載置していく。トレイ９５は、搬送方向と垂直な方向（図２の左右方向）に複数列載置してもよい。搬送ローラー６１に載置されたトレイ９５は、複数の搬送ローラー６１の回転により炉体１１内に搬入されて搬送方向に順次搬送されていく。そして、トレイ９５は、第１空間１１ａを通過して開口１５側から搬出される。このように、ローラーハースキルン１０では、モーター９０が回転体６０を回転駆動させることで第１空間１１ａ内で被処理物９６を順次搬送しながら、ヒーター２０により熱処理を行う。   Next, how to heat-treat the workpiece 96 using the roller hearth kiln 10 thus configured will be described. First, the motor 90 is operated to rotationally drive the plurality of rotating bodies 60 and energize the heater 20 to cause the heater 20 to generate heat. In this embodiment, the driving force from the rotating body 60 to the rotating body 60 is determined in advance based on the time required for the heat treatment. The output of the heater 20 is determined in advance based on the temperature (for example, around 1000 ° C.) during the heat treatment of the workpiece 96 in the first space 11a. Subsequently, a plurality of trays 95 on which a plurality of objects to be processed 96 are placed are prepared and sequentially placed on the rotating body 60 (conveying roller 61) at the end on the opening 14 side. The trays 95 may be placed in a plurality of rows in a direction perpendicular to the transport direction (the left-right direction in FIG. 2). The tray 95 placed on the transport roller 61 is carried into the furnace body 11 by the rotation of the plurality of transport rollers 61 and is sequentially transported in the transport direction. Then, the tray 95 passes through the first space 11a and is carried out from the opening 15 side. In this manner, in the roller hearth kiln 10, the motor 90 performs heat treatment by the heater 20 while sequentially transporting the workpiece 96 in the first space 11a by driving the rotating body 60 to rotate.

そして、被処理物９６を搬送している間、すなわち熱処理を行っている間は、第１ガス供給源７１及び第２ガス供給源７２から第１ガス及び第２ガスをそれぞれ供給すると共に、排気ファン８９により第１空間１１ａ内の雰囲気を吸引して排気する。以下、ガスの流れについて説明する。   And while conveying the to-be-processed object 96, ie, performing heat processing, while supplying 1st gas and 2nd gas from the 1st gas supply source 71 and the 2nd gas supply source 72, respectively, it is exhausted. The fan 89 sucks and exhausts the atmosphere in the first space 11a. Hereinafter, the gas flow will be described.

第２ガス供給源７２は、第１圧力及び第２圧力を超える圧力の第２ガスを共通配管７３に供給する。共通配管７３に供給された第２ガスは、フィルター８０，流量計８１を通過し、第１減圧弁８２で第１圧力まで減圧される。第１減圧弁８２で減圧された第２ガスは、接続部７６ａで第１配管７４と第２配管７５とに分岐して流れる。第１配管７４を流れる第２ガスは、接続部７６ｂで第１ガス供給源７１が供給する第１ガスと混合される。なお、第１ガス供給源７１は、例えば第１圧力と同じか少し高い圧力で第１ガスを接続部７６ｂに供給する。第１ガスと第２ガスとが混合されたガスは、接続部７６ｂの下流の第１流量調整弁８４で流量が第１流量となるように調整され、この第１流量で第１空間供給口１８から第１空間１１ａ内に流入する。   The second gas supply source 72 supplies the second gas having a pressure exceeding the first pressure and the second pressure to the common pipe 73. The second gas supplied to the common pipe 73 passes through the filter 80 and the flow meter 81 and is depressurized to the first pressure by the first pressure reducing valve 82. The second gas decompressed by the first pressure reducing valve 82 branches and flows into the first piping 74 and the second piping 75 at the connecting portion 76a. The second gas flowing through the first pipe 74 is mixed with the first gas supplied from the first gas supply source 71 at the connection portion 76b. The first gas supply source 71 supplies the first gas to the connecting portion 76b at a pressure that is the same as or slightly higher than the first pressure, for example. The gas in which the first gas and the second gas are mixed is adjusted so that the flow rate becomes the first flow rate by the first flow rate adjustment valve 84 downstream of the connecting portion 76b, and the first space supply port is adjusted at the first flow rate. 18 flows into the first space 11a.

一方、接続部７６ａで第２配管７５に分岐した第２ガスは、第２減圧弁８３で第２圧力まで減圧され、第２流量調整弁８５で流量が第２流量となるように調整されて、この第２流量で第２空間供給口３３から第２空間３０ａ内に流入する。ここで、第２圧力は、熱処理時の第１空間１１ａの雰囲気の圧力より高い値としており、第２空間３０ａ内に供給される第２ガスの圧力が第１空間１１ａ（及びそれに連通する第３空間２６ａ）の雰囲気の圧力より高い値となるように調整されている。また、壁体３０は、第２空間３０ａが第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａを介して第３空間２６ａと連通しているが、それ以外は気密に保たれている。これらにより、第２空間３０ａに供給された第２ガスは、第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａから第１空間１１ａ側に向かおうとする。そのため、第２空間３０ａ内の第２ガスは隙間４４ａ，４５ａから第３空間２６ａ内を経由して第１空間１１ａ内に流入する。   On the other hand, the second gas branched into the second pipe 75 at the connecting portion 76a is depressurized to the second pressure by the second pressure reducing valve 83, and adjusted so that the flow rate becomes the second flow rate by the second flow rate adjusting valve 85. The second flow rate flows into the second space 30a from the second space supply port 33. Here, the second pressure is set to a value higher than the pressure of the atmosphere in the first space 11a during the heat treatment, and the pressure of the second gas supplied into the second space 30a is the first space 11a (and the first gas communicating with the first space 11a). The pressure is adjusted to be higher than the pressure of the atmosphere in the three spaces 26a). In addition, the wall 30 is communicated with the third space 26a through the gaps 44a and 45a of the first bearing 40 in the second space 30a, but is otherwise kept airtight. Thus, the second gas supplied to the second space 30a tends to go to the first space 11a side from the gaps 44a and 45a of the first bearing 40. Therefore, the second gas in the second space 30a flows into the first space 11a from the gaps 44a and 45a through the third space 26a.

このように、第１空間供給口１８を経由して第１ガス及び第２ガスが第１空間１１ａに供給されると共に、第２空間供給口３３を経由して第２ガスが第１空間１１ａに供給されて、これらのガスが混合したものが第１空間１１ａ内の雰囲気ガスとなる。本実施形態では、熱処理時における第１空間１１ａ内の雰囲気が所望の組成（例えば水素濃度が数％の窒素雰囲気）となるように、第１ガス供給源７１からの第１ガスの供給量及び第２ガス供給源７２からの第２ガスの供給量を予め実験により定めておくものとした。また、排気ファン８９により、第１空間１１ａの雰囲気は排気される。そのため、第１ガス供給源７１及び第２ガス供給源７２からのガスの供給と、排気ファン８９からのガスの排気とのバランスにより、第１空間１１ａ内の圧力を調整することができる。本実施形態では、熱処理時における第１空間１１ａ内の雰囲気が所望の圧力（例えば、数百ＰａＧ程度の加圧雰囲気）に保たれるように、第１圧力，第２圧力，第１流量，第２流量，排気弁８７の開度，排気ファン８９の排気量などを予め実験により定めておくものとした。なお、例えば第１空間１１ａ，第２空間３０ａに圧力計を配置し、コンピューターに圧力計が検出した値を入力して、圧力が所望の圧力に近づくようにコンピューターが第１圧力，第２圧力，第１流量，第２流量，排気弁８７の開度，排気ファン８９の排気量を制御するものとしてもよい。   As described above, the first gas and the second gas are supplied to the first space 11a via the first space supply port 18, and the second gas is supplied to the first space 11a via the second space supply port 33. The mixture of these gases is the atmospheric gas in the first space 11a. In the present embodiment, the supply amount of the first gas from the first gas supply source 71 and the atmosphere in the first space 11a during the heat treatment have a desired composition (for example, a nitrogen atmosphere with a hydrogen concentration of several percent) and The supply amount of the second gas from the second gas supply source 72 was determined in advance by experiments. Further, the atmosphere of the first space 11a is exhausted by the exhaust fan 89. Therefore, the pressure in the first space 11 a can be adjusted by the balance between the gas supply from the first gas supply source 71 and the second gas supply source 72 and the exhaust of the gas from the exhaust fan 89. In the present embodiment, the first pressure, the second pressure, the first flow rate, and the like so that the atmosphere in the first space 11a during the heat treatment is maintained at a desired pressure (for example, a pressurized atmosphere of about several hundred PaG). The second flow rate, the opening degree of the exhaust valve 87, the exhaust amount of the exhaust fan 89, and the like are determined in advance by experiments. For example, a pressure gauge is arranged in the first space 11a and the second space 30a, and a value detected by the pressure gauge is input to the computer, so that the computer approaches the first pressure and the second pressure so that the pressure approaches a desired pressure. The first flow rate, the second flow rate, the opening degree of the exhaust valve 87, and the exhaust amount of the exhaust fan 89 may be controlled.

なお、熱処理の開始時において第１空間１１ａの雰囲気が大気雰囲気となっているなどの場合には、第１ガス供給源７１及び第２ガス供給源７２からのガスの供給と排気ファン８９による排気とを最初に開始し、第１空間１１ａの雰囲気が熱処理時の所望の雰囲気になった後で被処理物９６の搬送を開始してもよい。   When the atmosphere of the first space 11a is an air atmosphere at the start of the heat treatment, the gas supply from the first gas supply source 71 and the second gas supply source 72 and the exhaust by the exhaust fan 89 are performed. May be started first, and the conveyance of the workpiece 96 may be started after the atmosphere of the first space 11a becomes a desired atmosphere during the heat treatment.

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態のローラーハースキルン１０が本発明の熱処理装置に相当し、炉体１１が炉体に相当し、第１壁部３１が第１壁部に相当し、第２壁部３２が第２壁部に相当し、壁体３０が壁体に相当し、回転体６０が回転体に相当し、モーター９０が駆動手段に相当し、第１軸受４０が第１軸受に相当し、第２軸受５０が第２軸受に相当し、第２空間供給口３３が第２空間供給口に相当する。また、球体４３，５３が転動体に相当し、駆動側カバー２６が第３空間形成部材に相当し、駆動側支持ローラー２８が支持手段に相当し、第２ガス供給源７２がガス供給手段に相当し、排気ファン８９が排気手段に相当する。なお、本実施形態では、ローラーハースキルン１０の動作を説明することにより、本発明の熱処理方法の一例も明らかにしている。   Here, the correspondence between the components of the present embodiment and the components of the present invention will be clarified. The roller hearth kiln 10 of the present embodiment corresponds to the heat treatment apparatus of the present invention, the furnace body 11 corresponds to the furnace body, the first wall portion 31 corresponds to the first wall portion, and the second wall portion 32 corresponds to the second. Corresponding to the wall portion, the wall body 30 corresponds to the wall body, the rotating body 60 corresponds to the rotating body, the motor 90 corresponds to the driving means, the first bearing 40 corresponds to the first bearing, and the second bearing. 50 corresponds to the second bearing, and the second space supply port 33 corresponds to the second space supply port. Further, the spheres 43 and 53 correspond to rolling elements, the drive side cover 26 corresponds to a third space forming member, the drive side support roller 28 corresponds to support means, and the second gas supply source 72 serves as gas supply means. The exhaust fan 89 corresponds to the exhaust means. In this embodiment, an example of the heat treatment method of the present invention is also clarified by explaining the operation of the roller hearth kiln 10.

以上説明した本実施形態のローラーハースキルン１０は、処理空間としての第１空間１１ａを形成する炉体１１と、第１空間１１ａに連通する第２空間３０ａを内部に形成し、第１壁部３１と、第２壁部３２と、第２空間３０ａ内に外部からガスを供給可能な第２空間供給口３３と、を有する壁体３０と、を備えている。また、第１空間１１ａ内で被処理物９６を搬送可能な回転体６０が、第１空間１１ａ側から外部空間に向かって第１壁部３１，第２空間３０ａ，第２壁部３２をこの順に貫通して一端が第２壁部３２から突出している。そして、この回転体６０の一端側と接続されたモーター９０が回転体６０を回転駆動させることで、第１空間１１ａ内で回転体６０により被処理物９６を搬送しながら第１空間１１ａ内で被処理物９６の熱処理を行う。このとき、回転体６０が第１壁部３１を貫通する部分には、回転体６０を回転可能に支持し且つ回転体６０の貫通方向にガスが流通可能な隙間４４ａ，４５ａを有する転がり軸受である第１軸受４０が設けられている。また、回転体６０が第２壁部３２を貫通する部分には、回転体６０を回転可能に支持し且つ第１軸受４０と比べてシール性の高い転がり軸受である第２軸受５０が設けられている。そして、熱処理中において、第１空間１１ａの雰囲気と比べて高圧のガスを第２空間供給口３３を介して第２空間３０ａ内に供給する。これにより、第２空間３０ａに供給されたガスは第２軸受５０よりもシール性の低い第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａから第１空間１１ａ側に向かおうとする。そのため、第１空間１１ａから貫通孔１６，第３空間２６ａ，第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａを通って雰囲気ガスが流出するのを、第２空間３０ａから第１空間１１ａへ向かおうとするガスが押さえ込むことになる。したがって、炉体１１の内部から外部空間への雰囲気の流出をより抑制することができる。なお、回転体６０は炉体１１，駆動側カバー２６，壁体３０を貫通して外部空間に突出しており、回転体６０が回転する以上、例えばブッシュ（ブッシング）などを用いたとしても回転体６０の周囲の間の隙間を完全に封止することは難しい。本実施形態のローラーハースキルン１０では、壁体３０が第１空間１１ａからの雰囲気の流出口となる駆動側カバー２６の開口２７を塞ぐと共に回転体６０の周囲にあえて隙間４４ａ，４５ａを形成している。これにより、回転体６０の貫通部分を経由して第１空間１１ａ内にガスを積極的に流入させるようにして、隙間を封止するのではなくガスの流れによって第１空間１１ａの雰囲気の流出を抑制している。なお、ローラーハースキルン１０では、熱処理時の第１空間１１ａの雰囲気に水素が含まれるため、この雰囲気の外部空間への流出を抑制する意義が高い。   The roller hearth kiln 10 of the present embodiment described above includes a furnace body 11 that forms a first space 11a as a processing space, and a second space 30a that communicates with the first space 11a. 31, the wall 30 which has the 2nd wall part 32 and the 2nd space supply port 33 which can supply gas from the outside in the 2nd space 30a. In addition, the rotating body 60 capable of transporting the workpiece 96 in the first space 11a moves the first wall portion 31, the second space 30a, and the second wall portion 32 from the first space 11a side toward the external space. One end protrudes from the second wall portion 32 in order. Then, the motor 90 connected to one end side of the rotating body 60 drives the rotating body 60 to rotate so that the workpiece 96 is conveyed by the rotating body 60 in the first space 11a while being transported in the first space 11a. A heat treatment of the workpiece 96 is performed. At this time, the portion where the rotating body 60 penetrates the first wall portion 31 is a rolling bearing having gaps 44 a and 45 a that support the rotating body 60 in a rotatable manner and allow gas to flow in the through direction of the rotating body 60. A first bearing 40 is provided. Further, a portion where the rotating body 60 penetrates the second wall portion 32 is provided with a second bearing 50 that supports the rotating body 60 in a rotatable manner and is a rolling bearing having a higher sealing performance than the first bearing 40. ing. During the heat treatment, a gas having a pressure higher than that of the atmosphere in the first space 11 a is supplied into the second space 30 a through the second space supply port 33. As a result, the gas supplied to the second space 30a tends to move toward the first space 11a from the gaps 44a and 45a of the first bearing 40 having a sealing property lower than that of the second bearing 50. Therefore, the atmospheric gas flows out from the first space 11a through the through hole 16, the third space 26a, and the gaps 44a and 45a of the first bearing 40 toward the first space 11a from the second space 30a. Gas will be depressed. Therefore, the outflow of the atmosphere from the inside of the furnace body 11 to the external space can be further suppressed. Note that the rotating body 60 penetrates the furnace body 11, the drive side cover 26, and the wall body 30 and protrudes into the external space. As long as the rotating body 60 rotates, for example, even if a bush (bushing) or the like is used, the rotating body 60 It is difficult to completely seal the gap between the 60 perimeters. In the roller hearth kiln 10 of the present embodiment, the wall body 30 closes the opening 27 of the drive side cover 26 serving as an outlet for the atmosphere from the first space 11a and also forms gaps 44a and 45a around the rotating body 60. ing. As a result, the gas is positively flowed into the first space 11a via the penetrating portion of the rotating body 60, so that the atmosphere of the first space 11a flows out by the flow of the gas instead of sealing the gap. Is suppressed. In the roller hearth kiln 10, since hydrogen is contained in the atmosphere of the first space 11a during the heat treatment, it is highly significant to suppress the outflow of this atmosphere to the external space.

また、第２軸受５０は、内輪５１と、外輪５２と、内輪５１及び外輪５２の間に収納された複数の球体５３と、内輪５１の軸方向に複数の球体５３からずれた位置で内輪５１と外輪５２との間に配置された遮蔽部材５４，５５と、を有している。そして、第２軸受５０の遮蔽部材５４，５５は、内輪５１と外輪５２との間を封止している。これにより、第２軸受５０における回転体６０の貫通方向にガスが流通可能な隙間を、遮蔽部材５４，５５を用いて封止することができる。そのため、第２空間３０ａの雰囲気（例えば第２空間供給口３３から供給された第２ガス）が第２軸受５０の隙間を通って外部空間に流出することをより抑制することができる。   The second bearing 50 includes an inner ring 51, an outer ring 52, a plurality of spheres 53 accommodated between the inner ring 51 and the outer ring 52, and a position shifted from the plurality of spheres 53 in the axial direction of the inner ring 51. And shielding members 54, 55 disposed between the outer ring 52 and the outer ring 52. The shielding members 54 and 55 of the second bearing 50 seal between the inner ring 51 and the outer ring 52. Thereby, the clearance gap through which the gas can distribute | circulate in the penetration direction of the rotary body 60 in the 2nd bearing 50 can be sealed using the shielding members 54 and 55. FIG. Therefore, the atmosphere of the second space 30a (for example, the second gas supplied from the second space supply port 33) can be further suppressed from flowing out to the external space through the gap of the second bearing 50.

さらに、第１軸受４０は、内輪４１と、外輪４２と、内輪４１及び外輪４２の間に収納された複数の球体４３と、内輪４１の軸方向に該複数の球体４３からずれた位置で内輪４１と外輪４２との間に配置された遮蔽部材４４，４５と、を有している。そして、第１軸受４０の遮蔽部材４４，４５は、内輪４１と外輪４２との間に隙間４４ａ，４５ａを形成している。これにより、第１軸受４０における回転体６０の貫通方向にガスが流通可能な隙間４４ａ，４５ａを、遮蔽部材４４，４５を用いて容易に小さくすることができる。これにより、ガスが第２空間３０ａから第１空間１１ａへ向かおうとするようにしつつ、第１軸受４０の隙間を介して第２空間３０ａから第１空間１１ａへ塵などの微粒子が侵入することを抑制しやすい。   Furthermore, the first bearing 40 includes an inner ring 41, an outer ring 42, a plurality of spheres 43 accommodated between the inner ring 41 and the outer ring 42, and an inner ring at a position shifted from the plurality of spheres 43 in the axial direction of the inner ring 41. And shielding members 44, 45 disposed between the outer ring 42 and the outer ring 42. The shielding members 44 and 45 of the first bearing 40 form gaps 44 a and 45 a between the inner ring 41 and the outer ring 42. Thereby, the clearances 44 a and 45 a through which the gas can flow in the first bearing 40 in the penetrating direction of the rotating body 60 can be easily reduced using the shielding members 44 and 45. Thereby, fine particles such as dust enter the first space 11a from the second space 30a through the gap of the first bearing 40 while trying to move the gas from the second space 30a to the first space 11a. It is easy to suppress.

さらにまた、ローラーハースキルン１０は、被処理物９６の加熱処理を含む熱処理を行う。ここで、第１空間１１ａにおいて加熱処理を含む処理が行われる場合、炉体１１内で回転体６０が加熱されることなどにより第１軸受４０が加熱されることがある。このような場合に、第２空間供給口３３から第２空間３０ａにガスを供給し、第２空間３０ａから第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａを介して第１空間１１ａに向かう流れを生じさせることで、このガスの流れにより第１軸受４０を冷却して加熱を抑制することができる。   Furthermore, the roller hearth kiln 10 performs heat treatment including heat treatment of the workpiece 96. Here, when the process including the heat treatment is performed in the first space 11a, the first bearing 40 may be heated by heating the rotating body 60 in the furnace body 11, or the like. In such a case, gas is supplied from the second space supply port 33 to the second space 30a, and a flow from the second space 30a to the first space 11a through the gaps 44a and 45a of the first bearing 40 is generated. Thus, the first bearing 40 can be cooled by this gas flow to suppress heating.

そしてまた、炉体１１は、第１空間１１ａ内の雰囲気を排気可能な排気口１９を有している。そして、熱処理時において、第１空間１１ａの雰囲気が所定の圧力に保たれるように、排気口１９から第１空間１１ａの雰囲気を排気すると共に第２空間３０ａにガスを供給する。そのため、第２空間供給口３３，第２空間３０ａ及び第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａを介して第１空間１１ａ内にガスを供給する場合に、排気口１９から雰囲気を排気することで第１空間１１ａ内の雰囲気の圧力を所定の圧力に調整することができる。また、炉体１１は、第１空間１１ａ内にガスを供給可能な第１空間供給口１８を有している。そして、熱処理時において、第１空間１１ａの雰囲気が所定の圧力に保たれるように、排気口１９から第１空間１１ａの雰囲気を排気すると共に第１空間１１ａ及び第２空間３０ａにガスを供給する。これにより、第２空間３０ａ及び第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａを介さない経路で第１空間１１ａにガスを供給するため、第１空間１１ａ内の雰囲気を調整しやすい。   The furnace body 11 also has an exhaust port 19 through which the atmosphere in the first space 11a can be exhausted. During the heat treatment, the atmosphere in the first space 11a is exhausted from the exhaust port 19 and the gas is supplied to the second space 30a so that the atmosphere in the first space 11a is maintained at a predetermined pressure. Therefore, when the gas is supplied into the first space 11a through the second space supply port 33, the second space 30a, and the gaps 44a and 45a of the first bearing 40, the atmosphere is exhausted from the exhaust port 19 by exhausting the atmosphere. The pressure of the atmosphere in the 1 space 11a can be adjusted to a predetermined pressure. Moreover, the furnace body 11 has the 1st space supply port 18 which can supply gas in the 1st space 11a. During the heat treatment, the atmosphere in the first space 11a is exhausted from the exhaust port 19 and gas is supplied to the first space 11a and the second space 30a so that the atmosphere in the first space 11a is maintained at a predetermined pressure. To do. Thereby, since the gas is supplied to the first space 11a through a path not passing through the gaps 44a and 45a between the second space 30a and the first bearing 40, it is easy to adjust the atmosphere in the first space 11a.

そしてまた、ローラーハースキルン１０は、第１空間供給口１８に接続された第１配管７４と、第２空間供給口３３に接続された第２配管７５と、第１配管７４及び第２配管７５に接続された共通配管７３と、を備えている。そして、熱処理時において、共通配管７３にガスを供給することで、共通配管７３及び第２配管７５を介して第１空間１１ａの雰囲気と比べて高圧のガスを第２空間内３０ａに供給し、共通配管７３及び第１配管７４を介してガスを第１空間１１ａ内に供給する。これにより、第１空間供給口１８を介した第１空間１１ａへのガスの供給と、第２空間供給口３３を介した第２空間３０ａへのガスの供給との両方を、共通配管７４にガスを供給することでまとめて行うことができる。また、熱処理時において、第１配管７４に、共通配管以外の経路から第１ガス供給源７１により第１ガスを供給する。そのため、共通配管７３にガスを供給することで第１空間１１ａと第２空間３０ａとの両方にガスを供給にしつつ、第１配管７４に他の経路からのガスも流通させる（共通配管７３からのガスと混合させる）ことで、第１空間供給口１８を介して供給するガスと第２空間供給口３３を介して供給するガスとの組成を異ならせることができる。   The roller hearth kiln 10 includes a first pipe 74 connected to the first space supply port 18, a second pipe 75 connected to the second space supply port 33, a first pipe 74 and a second pipe 75. And a common pipe 73 connected to each other. Then, during the heat treatment, by supplying gas to the common pipe 73, a gas having a pressure higher than that of the atmosphere of the first space 11a is supplied to the second space 30a through the common pipe 73 and the second pipe 75. Gas is supplied into the first space 11a through the common pipe 73 and the first pipe 74. As a result, both the supply of gas to the first space 11 a via the first space supply port 18 and the supply of gas to the second space 30 a via the second space supply port 33 are made to the common pipe 74. It can carry out collectively by supplying gas. Further, during the heat treatment, the first gas is supplied to the first pipe 74 from the path other than the common pipe by the first gas supply source 71. For this reason, by supplying gas to the common pipe 73, gas from other paths is also circulated through the first pipe 74 (from the common pipe 73) while supplying gas to both the first space 11a and the second space 30a. The composition of the gas supplied via the first space supply port 18 and the gas supplied via the second space supply port 33 can be made different.

そしてまた、ローラーハースキルン１０は、第１配管７４に接続され第１配管７４の流量を調整する第１流量調整弁８４と、第２配管７５に接続され第２配管７５の流量を調整する第２流量調整弁８５と、を備えている。そして、熱処理時において、共通配管７３にガスを供給することで、共通配管７３及び第１配管７４を介して第１流量調整弁８４で流量が調整されたガスを第１空間１１ａに供給すると共に、共通配管７３及び第２配管７５を介して第２流量調整弁８５で流量が調整されたガスを第２空間３０ａに供給する。このように、第１空間１１ａ及び第２空間３０ａに流入するガスの流量を調整することができる。   In addition, the roller hearth kiln 10 is connected to the first pipe 74 and adjusts the flow rate of the first pipe 74 and the first flow rate adjusting valve 84 that is connected to the second pipe 75 and adjusts the flow rate of the second pipe 75. 2 flow rate adjusting valve 85. And at the time of heat processing, while supplying gas to the common piping 73, while supplying the gas by which the flow volume was adjusted with the 1st flow regulating valve 84 to the 1st space 11a via the common piping 73 and the 1st piping 74, The gas whose flow rate is adjusted by the second flow rate adjusting valve 85 is supplied to the second space 30a through the common pipe 73 and the second pipe 75. Thus, the flow rate of the gas flowing into the first space 11a and the second space 30a can be adjusted.

そしてまた、ローラーハースキルン１０は、共通配管７３に設けられ、且つ第１流量調整弁８４よりも上流側に設けられた第１減圧弁８２と、第２配管７５のうち第２流量調整弁８５よりも上流側に設けられた第２減圧弁８３と、を備え、第１減圧弁８２は、下流側のガスの圧力を第１空間１１ａの雰囲気よりも高圧の第１圧力まで減圧し、第２減圧弁８３は、下流側のガスの圧力を第１空間１１ａの雰囲気よりも高圧の第２圧力まで減圧する。そして、熱処理時において、第１圧力及び第２圧力を超える圧力のガスを共通配管７３に供給する。これにより、減圧後の圧力（第１圧力及び第２圧力）よりも高圧のガスを共通配管から供給するため、第１減圧弁より上流側や第２減圧弁より上流側の配管を細くしても必要なガスの流量を確保することができる。配管を細くできることで、例えばローラーハースキルン１０の設置面積を減らすなど構成をコンパクトにしたり、製造コストを下げたりすることができる。   In addition, the roller hearth kiln 10 is provided in the common pipe 73 and is provided upstream of the first flow rate adjustment valve 84 and the second flow rate adjustment valve 85 in the second pipe 75. A first pressure reducing valve 82 for reducing the pressure of the gas on the downstream side to a first pressure higher than the atmosphere of the first space 11a, The 2 pressure reducing valve 83 reduces the pressure of the gas on the downstream side to a second pressure higher than the atmosphere in the first space 11a. During the heat treatment, a gas having a pressure exceeding the first pressure and the second pressure is supplied to the common pipe 73. Thereby, in order to supply a gas higher in pressure than the pressure after the pressure reduction (the first pressure and the second pressure) from the common pipe, the pipe upstream from the first pressure reducing valve or the pipe upstream from the second pressure reducing valve is narrowed. The necessary gas flow rate can also be secured. Since the piping can be made thinner, the configuration can be made compact, for example, the installation area of the roller hearth kiln 10 can be reduced, or the manufacturing cost can be reduced.

そしてまた、ローラーハースキルン１０は、第１空間１１ａと第２空間３０ａとの間に第１空間１１ａ及び第２空間３０ａと連通する第３空間２６ａを形成し、回転体６０に貫通されている駆動側カバー２６、を備えている。これにより、第１空間１１ａと第２空間３０ａとの間に第３空間２６ａが存在することで、例えば炉体１１からの熱伝導により壁体３０の第１軸受４０，第２軸受５０の温度が変化するなどの、炉体１１から壁体３０への影響をより抑制することができる。   In addition, the roller hearth kiln 10 forms a third space 26a communicating with the first space 11a and the second space 30a between the first space 11a and the second space 30a, and is penetrated by the rotating body 60. A drive-side cover 26 is provided. As a result, the third space 26a exists between the first space 11a and the second space 30a, so that the temperature of the first bearing 40 and the second bearing 50 of the wall body 30 due to heat conduction from the furnace body 11, for example. The influence on the wall body 30 from the furnace body 11 such as change can be further suppressed.

そしてまた、回転体６０は、第１空間１１ａ内で被処理物９６を搬送可能な搬送ローラー６１と、モーター９０に回転駆動され壁体３０を貫通する駆動軸６５と、駆動軸６５のうち搬送ローラー６１側の端部が挿入されてその端部と接続された中空パイプ状のホルダー６４と、搬送ローラー６１のうち駆動軸６５側に固定されたローラーキャップ６２と、ホルダー６４とローラーキャップ６２とに挿入されてホルダー６４及びローラーキャップ６２に接続された連結シャフト６３と、を備えている。そして、ホルダー６４，ローラーキャップ６２，及び連結シャフト６３は、第３空間２６ａ内に配置されており、ローラーキャップ６２の内周面と連結シャフト６３との間にはクリアランスがあり、連結シャフト６３はローラーキャップ６２に対してクリアランスにより軸ずれ可能に接続されている。これにより、連結シャフト６３がローラーキャップ６２に対して軸ずれ可能に接続されていることで、搬送ローラー６１と駆動軸６５とに偏心（軸ずれ）が生じても、駆動軸６５を介して搬送ローラー６１にモーター９０からの回転駆動力を伝達することができる。なお、ローラーキャップ６２と連結シャフト６３とが軸ずれ可能でない場合に、搬送ローラー６１と駆動軸６５とに軸ずれが生じると、回転体６０のいずれかの部分に無理な力がかかり、回転体６０が破損する場合がある。連結シャフト６３がローラーキャップ６２に対して軸ずれ可能に接続されていることで、そのような回転体６０の破損をより抑制できる。なお、ローラーハースキルン１０は被処理物９６の熱処理を行うものであり、第１空間１１ａ内と外部空間との温度差によって搬送ローラー６１と駆動軸６５との軸ずれが生じやすいため、本発明を適用する意義が高い。   The rotating body 60 includes a transport roller 61 capable of transporting the workpiece 96 in the first space 11 a, a drive shaft 65 that is driven to rotate by the motor 90 and penetrates the wall body 30, and transports among the drive shafts 65. A hollow pipe-shaped holder 64 in which an end portion on the roller 61 side is inserted and connected to the end portion, a roller cap 62 fixed to the drive shaft 65 side of the transport roller 61, a holder 64 and a roller cap 62, And a connecting shaft 63 that is inserted into the holder 64 and connected to the roller cap 62. The holder 64, the roller cap 62, and the connecting shaft 63 are disposed in the third space 26a, and there is a clearance between the inner peripheral surface of the roller cap 62 and the connecting shaft 63. The roller cap 62 is connected to the roller cap 62 so as to be off-axis by a clearance. As a result, the connecting shaft 63 is connected to the roller cap 62 so as to be capable of axial deviation, so that even if an eccentricity (axial deviation) occurs between the conveying roller 61 and the driving shaft 65, the conveying shaft 61 is conveyed via the driving shaft 65. The rotational driving force from the motor 90 can be transmitted to the roller 61. If the roller cap 62 and the connecting shaft 63 are not axially misaligned, if an axial misalignment occurs between the transport roller 61 and the drive shaft 65, an excessive force is applied to any part of the rotating body 60, and the rotating body 60 may be damaged. Since the connecting shaft 63 is connected to the roller cap 62 so as to be axially misaligned, such damage to the rotating body 60 can be further suppressed. The roller hearth kiln 10 heat-treats the workpiece 96, and the axis difference between the transport roller 61 and the drive shaft 65 is likely to occur due to the temperature difference between the first space 11a and the external space. The significance of applying is high.

そしてまた、ローラーハースキルン１０は、第１空間１１ａの雰囲気と比べて高圧のガスを第２空間３０ａ内に供給するガス供給装置７０を備えているため、第２空間３０ａから第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａを通って第１空間１１ａへ向かうガスの流れを生じさせることができる。   In addition, the roller hearth kiln 10 includes the gas supply device 70 that supplies high-pressure gas into the second space 30a as compared with the atmosphere of the first space 11a. A gas flow toward the first space 11a through the gaps 44a and 45a can be generated.

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。   It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that the present invention can be implemented in various modes as long as it belongs to the technical scope of the present invention.

例えば、上述した実施形態では、第２軸受５０の遮蔽部材５４，５５は内輪５１と外輪５２との間を封止しているものとしたが、これに限らず、第１軸受４０と比べて第２軸受５０のシール性が高ければよい。例えば、第２軸受５０の遮蔽部材５４，５５が第１軸受４０の遮蔽部材４４，４５と同様に内輪５１との間に隙間を形成しているものとしてもよい。この場合、第２軸受５０の隙間が第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａよりも小さいなど、第１軸受４０と比べて第２軸受５０のシール性が高い（ガスが第２軸受５０よりも第１軸受４０を通過しやすい）ものとすればよい。あるいは、第１軸受４０が遮蔽部材４４，４５の少なくとも一方を備えないものとしてもよいし、第２軸受５０が遮蔽部材５４，５５の少なくとも一方を備えないものとしてもよい。第１軸受４０，第２軸受５０が共に遮蔽部材を備えなくてもよい。この場合、第１軸受４０における内輪４１の外径と外輪４２の内径との差が第２軸受５０における内輪５１の外径と外輪５２の内径との差より大きくなるようにして、第２軸受５０のシール性を第１軸受４０よりも高くしてもよい。あるいは、球体４３や球体５３の数や球径を調整して、第２軸受５０のシール性を第１軸受４０よりも高くしてもよい。また、第１軸受４０の遮蔽部材４４，４５が遮蔽部材５４，５５と同様に内輪５１の外周面との隙間を形成しないものとし、代わりに遮蔽部材４４，４５に別の孔を形成することでガスの流路となる隙間を形成してもよい。なお、第２軸受５０の遮蔽部材５４，５５が内輪５１と外輪５２との間に隙間を形成している場合など、第２軸受５０の内輪５１と外輪５２との間に隙間がある場合には、第２空間供給口３３から第２空間３０ａに供給されたガスが外部空間に流出する場合がある。しかし、本実施形態では第２空間３０ａに供給される第２ガスは窒素としたため、外部空間に流出しても問題はない。なお、第２空間供給口３３から第２空間３０ａに供給するガスは、窒素に限らず、不活性ガスなどの流出しても問題のないガスとすることが好ましい。   For example, in the above-described embodiment, the shielding members 54 and 55 of the second bearing 50 seal between the inner ring 51 and the outer ring 52, but not limited thereto, as compared with the first bearing 40. It is sufficient if the sealing performance of the second bearing 50 is high. For example, the shielding members 54 and 55 of the second bearing 50 may form a gap between the inner ring 51 and the shielding members 44 and 45 of the first bearing 40. In this case, the sealing performance of the second bearing 50 is higher than that of the first bearing 40 such that the clearance of the second bearing 50 is smaller than the clearances 44 a and 45 a of the first bearing 40 (gas is higher than that of the second bearing 50. 1 bearing 40 is easy to pass). Alternatively, the first bearing 40 may not include at least one of the shielding members 44 and 45, and the second bearing 50 may not include at least one of the shielding members 54 and 55. Both the first bearing 40 and the second bearing 50 may not include a shielding member. In this case, the difference between the outer diameter of the inner ring 41 and the inner diameter of the outer ring 42 in the first bearing 40 is larger than the difference between the outer diameter of the inner ring 51 and the inner diameter of the outer ring 52 in the second bearing 50. The sealing performance of 50 may be higher than that of the first bearing 40. Alternatively, the number of the spheres 43 and the spheres 53 and the sphere diameter may be adjusted so that the sealing performance of the second bearing 50 is higher than that of the first bearing 40. Further, the shielding members 44 and 45 of the first bearing 40 do not form a gap with the outer peripheral surface of the inner ring 51 like the shielding members 54 and 55, and instead form another hole in the shielding members 44 and 45. Thus, a gap serving as a gas flow path may be formed. In addition, when there is a gap between the inner ring 51 and the outer ring 52 of the second bearing 50, such as when the shielding members 54 and 55 of the second bearing 50 form a gap between the inner ring 51 and the outer ring 52. The gas supplied from the second space supply port 33 to the second space 30a may flow out to the external space. However, since the second gas supplied to the second space 30a is nitrogen in this embodiment, there is no problem even if it flows out to the external space. The gas supplied from the second space supply port 33 to the second space 30a is not limited to nitrogen, and is preferably a gas that does not cause a problem even if an inert gas or the like flows out.

上述した実施形態では、第１空間１１ａ内に配置された回転体６０の本数と同じ数だけ、駆動側カバー２６や壁体３０を有するものとしたが、これに限らず、複数の回転体６０で駆動側カバー２６や壁体３０を共用としてもよい。ただし、１つの壁体３０を１つの回転体６０が貫通する構成とすることで、第２空間３０ａをなるべく容積の小さい空間として第２空間供給口３３に供給するガスの流量を少なくすることができる。   In the embodiment described above, the drive-side cover 26 and the wall bodies 30 are provided in the same number as the number of the rotary bodies 60 arranged in the first space 11a. The drive side cover 26 and the wall body 30 may be shared. However, it is possible to reduce the flow rate of the gas supplied to the second space supply port 33 by setting the second space 30a as small as possible by making the single rotating body 60 pass through one wall body 30. it can.

上述した実施形態では、炉体１１，駆動側カバー２６，壁体３０を回転体６０が一直線に貫通しているものとしたが、これに限られない。例えば、駆動軸６５が、図３の左右方向の軸を有し第１壁部３１を貫通する第１部材と、図３の上下方向の軸を有し第１部材と傘歯車を介して第２空間３０ａ内で接続されていると共に壁体３０を下方向に貫通する第２部材と、を有する場合など、回転体６０の軸が一直線でなくともよい。この場合、第２部材が壁体３０を下方向に貫通する部分に第２軸受５０を配置すればよい。このような構成でも、上述した実施形態と同様に、回転体６０の軸方向に沿って第１空間１１ａの雰囲気が外部空間へ流出するのを抑制することができる。   In the above-described embodiment, the rotating body 60 passes through the furnace body 11, the drive side cover 26, and the wall body 30 in a straight line, but the present invention is not limited thereto. For example, the drive shaft 65 has a left and right axis in FIG. 3 and passes through the first wall portion 31, and a drive shaft 65 has a vertical axis in FIG. The axis of the rotating body 60 may not be a straight line, for example, when the second member is connected in the two spaces 30a and penetrates the wall body 30 downward. In this case, what is necessary is just to arrange | position the 2nd bearing 50 in the part through which the 2nd member penetrates the wall body 30 below. Even in such a configuration, it is possible to suppress the atmosphere of the first space 11a from flowing out to the external space along the axial direction of the rotating body 60, as in the above-described embodiment.

上述した実施形態では、第１空間１１ａと第２空間３０ａとの間に第３空間２６ａが形成されているものとしたが、第１空間１１ａと第２空間３０ａとが連通していればよい。例えば、ローラーハースキルン１０が駆動側カバー２６を備えず、第３空間２６ａが形成されていなくともよい。この場合、壁体３０の第１壁部３１と炉体１１とが接触しているなどにより、第１空間１１ａと第２空間３０ａとが貫通孔１６及び隙間４４ａ，４５ａを介して連通しているものとしてもよい。この場合、ローラーキャップ６２，連結シャフト６３，ホルダー６４などは第２空間３０ａ内に配置してもよい。   In the above-described embodiment, the third space 26a is formed between the first space 11a and the second space 30a. However, it is only necessary that the first space 11a and the second space 30a communicate with each other. . For example, the roller hearth kiln 10 does not include the drive side cover 26, and the third space 26a may not be formed. In this case, the first space 11a and the second space 30a communicate with each other through the through hole 16 and the gaps 44a and 45a because the first wall portion 31 of the wall body 30 and the furnace body 11 are in contact with each other. It is good as it is. In this case, the roller cap 62, the connecting shaft 63, the holder 64, and the like may be arranged in the second space 30a.

上述した実施形態では、駆動軸６５と搬送ローラー６１とはローラーキャップ６２，連結シャフト６３，ホルダー６４を介して接続されているものとしたが、これらの構成の１以上を省略してもよい。また、ローラーキャップ６２，連結シャフト６３，ホルダー６４，駆動軸６５間の接続は、差込ピン６７ａ〜６７ｃを用いるものに限られない。   In the above-described embodiment, the drive shaft 65 and the transport roller 61 are connected via the roller cap 62, the connecting shaft 63, and the holder 64, but one or more of these configurations may be omitted. Further, the connection among the roller cap 62, the connecting shaft 63, the holder 64, and the drive shaft 65 is not limited to using the insertion pins 67a to 67c.

上述した実施形態では、第１軸受４０、第２軸受５０はボールベアリングであるものとしたが、内輪と、外輪と、内輪及び外輪の間に収納された複数の転動体と、を備えた転がり軸受けであればよい。例えば第１軸受４０及び第２軸受５０の少なくとも一方が、転動体として球体４３，５３に代えて円柱状の部材を有する構成としてもよい。   In the above-described embodiment, the first bearing 40 and the second bearing 50 are ball bearings. However, the rolling is provided with an inner ring, an outer ring, and a plurality of rolling elements housed between the inner ring and the outer ring. What is necessary is just a bearing. For example, at least one of the 1st bearing 40 and the 2nd bearing 50 is good also as a structure which replaces with the spherical bodies 43 and 53 as a rolling element, and has a cylindrical member.

上述した実施形態では、被処理物９６に対してヒーター２０による加熱処理を行うものとしたが、熱処理を行うものであればよい。例えば冷却処理を行うものとしてもよいし、加熱処理と冷却処理とを所定の順序で行うものとしてもよい。   In the above-described embodiment, the heat treatment by the heater 20 is performed on the workpiece 96. However, any heat treatment may be used. For example, a cooling process may be performed, or a heating process and a cooling process may be performed in a predetermined order.

上述した実施形態では、第１減圧弁８２を共通配管７３に設けるものとしたが、第１配管７４に設けてもよい。例えば第１減圧弁８２を接続部７６ｂと第１流量調整弁８４との間に設けるなど、第１減圧弁８２を第１流量調整弁８４より上流の第１配管７４に設けてもよい。また、第１減圧弁８２，第２減圧弁８３のいずれか１以上を備えないものとしてもよい。   In the embodiment described above, the first pressure reducing valve 82 is provided in the common pipe 73, but may be provided in the first pipe 74. For example, the first pressure reducing valve 82 may be provided in the first pipe 74 upstream of the first flow rate adjusting valve 84, such as providing the first pressure reducing valve 82 between the connecting portion 76 b and the first flow rate adjusting valve 84. Further, one or more of the first pressure reducing valve 82 and the second pressure reducing valve 83 may not be provided.

上述した実施形態では、ガス供給装置７０は第１流量調整弁８４及び第２流量調整弁８５を備えるものとしたが、第１流量調整弁８４及び第２流量調整弁８５のいずれか１以上を備えないものとしてもよい。   In the above-described embodiment, the gas supply device 70 includes the first flow rate adjustment valve 84 and the second flow rate adjustment valve 85. However, any one or more of the first flow rate adjustment valve 84 and the second flow rate adjustment valve 85 is provided. It is good even if it does not have.

上述した実施形態では、第１配管７４と第２配管７５とが共通配管７３に接続されているものとしたが、これに限られない。例えば、共通配管７３を備えないものとし、第１ガス供給源７１が第１配管７４及び第１空間供給口１８を介して第１空間１１ａに第１ガスを供給し、第２ガス供給源７２が第２配管７５及び第２空間供給口３３を介して第２空間３０ａに第２ガスを供給してもよい。この場合、例えば第１ガスを窒素と水素との混合気体とし、第２ガスを窒素としてもよい。あるいは、第１空間供給口１８を備えないものとして、ガス供給装置７０は第２配管７５から第２空間供給口３３を介して第２空間３０ａにガスを供給し、第２空間３０ａを介して第１空間１１ａにガスを供給するものとしてもよい。   In the embodiment described above, the first pipe 74 and the second pipe 75 are connected to the common pipe 73, but the present invention is not limited to this. For example, it is assumed that the common pipe 73 is not provided, the first gas supply source 71 supplies the first gas to the first space 11 a via the first pipe 74 and the first space supply port 18, and the second gas supply source 72. However, the second gas may be supplied to the second space 30 a via the second pipe 75 and the second space supply port 33. In this case, for example, the first gas may be a mixed gas of nitrogen and hydrogen, and the second gas may be nitrogen. Alternatively, assuming that the first space supply port 18 is not provided, the gas supply device 70 supplies gas to the second space 30a from the second pipe 75 via the second space supply port 33, and via the second space 30a. Gas may be supplied to the first space 11a.

上述した実施形態では、排気装置８６の排気ファン８９が排気口１９を介して第１空間１１ａの雰囲気を排気するものとしたが、これに限られない。例えば、排気ファン８９を備えず第１空間１１ａの雰囲気の吸引を行わないものとしてもよい。あるいは、排気口１９を備えないものとしてもよい。   In the above-described embodiment, the exhaust fan 89 of the exhaust device 86 exhausts the atmosphere of the first space 11a through the exhaust port 19, but the present invention is not limited to this. For example, the exhaust fan 89 may not be provided and the atmosphere in the first space 11a may not be sucked. Alternatively, the exhaust port 19 may not be provided.

上述した実施形態では、熱処理時の第１空間１１ａの雰囲気は窒素と水素とを含む還元雰囲気としたが、これに限らずどのような雰囲気としてもよい。熱処理を行う被処理物に応じて、熱処理時の雰囲気の組成，温度，圧力等を適宜決定すればよい。   In the embodiment described above, the atmosphere of the first space 11a during the heat treatment is a reducing atmosphere containing nitrogen and hydrogen, but is not limited to this and may be any atmosphere. What is necessary is just to determine suitably the composition of the atmosphere at the time of heat processing, temperature, a pressure, etc. according to the to-be-processed object which heat-processes.

上述した実施形態では、壁体３０は、第１壁部３１及び第２壁部３２を含む複数の板状部材を組み合わせた構造体としたが、これに限られない。第１壁部３１及び第２壁部３２は、壁体３０の一部であればよく、独立した部材でなくともよい。例えば、壁体３０が一体形成された構造体であってもよい。   In the embodiment described above, the wall body 30 is a structure in which a plurality of plate-like members including the first wall portion 31 and the second wall portion 32 are combined, but is not limited thereto. The 1st wall part 31 and the 2nd wall part 32 should just be a part of wall body 30, and do not need to be an independent member. For example, a structure in which the wall body 30 is integrally formed may be used.

上述した実施形態では、回転体６０が第２壁部３２を貫通する部分には、第１軸受４０と比べてシール性の高い第２軸受５０が設けられているものとしたが、これに限られない。回転体６０が第２壁部３２を貫通する部分には、第２軸受５０に限らず、第１軸受４０と比べてシール性の高いシール部材が設けられていればよい。図４は、この場合の変形例のローラーハースキルンにおける壁体３０周辺の拡大断面図である。なお、図４では、上述したローラーハースキルン１０と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図４では、壁体３０の第２壁部１３２は駆動軸６５によって貫通されており、この貫通部分には一端側軸受１５０と軸シール１５６とが取り付けられている。一端側軸受１５０は、回転体６０（駆動軸６５）を回転可能に支持するボールベアリングであり、第１軸受４０及び軸シール１５６よりも駆動軸６５の一端側（図４の左側）に配置されている。この一端側軸受１５０は、遮蔽部材５４，５５を備えない点以外は、上述した第２軸受５０と同じ構成をしている。軸シール１５６は、リング状の部材であり、中心を駆動軸６５が貫通している。軸シール１５６は、オイルシールであり、第１軸受４０と比べてシール性の高いシール部材として構成されている。この軸シール１５６は、本体部１５７と、金属環１５８と、バネ１５９と、を備えている。本体部１５７は、ゴムなどの弾性体からなるリング状の部材であり、外周面及び第２空間３０ａ側（図４の右側）の面が第２壁部１３２に接触して固定されている。本体部１５７には、自身の内周面側にシールリップ部１５７ａ，ダストリップ部１５７ｂが形成されている。シールリップ部１５７ａは、駆動軸６５の軸方向の断面で見たときに、駆動軸６５に向けて先端が細くなる形状をしており、この先端で駆動軸６５と接触している。ダストリップ部１５７ｂは、駆動軸６５に向けて突出しており、先端が駆動軸６５の外周面と接触している。ダストリップ部１５７ｂは、外部空間からのダストなどの侵入を防ぐ役割を果たす。金属環１５８は、駆動軸６５の周囲を囲むように配置されたリング状の部材であり、本体部１５７を第２壁部１３２に押しつけている。このため、本体部１５７と第２壁部１３２との間には隙間がなく、軸シール１５６と第２壁部１３２との間は封止されている。バネ１５９は、シールリップ部１５７ａの周囲を囲むように設けられたリング状の弾性体である。バネ１５９の弾性力により、シールリップ部１５７ａの先端は駆動軸６５の外周面に押しつけられている。このため、駆動軸６５と本体部１５７との間には隙間がなく、駆動軸６５と軸シール１５６との間は封止されている。こうして構成された変形例のローラーハースキルンでは、回転体６０が第２壁部１３２を貫通する部分に、第１軸受４０と比べてシール性が高い軸シール１５６が設けられている。そのため、上述した実施形態と同様に、第２空間３０ａに供給されたガスが第１空間１１ａ側に向かおうとすることになり、第１空間１１ａから第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａを通って雰囲気ガスが流出するのを押さえ込むことができる。なお、図４に示した変形例のローラーハースキルンでは、駆動軸６５を支持する役割を一端側軸受１５０が担っており、第１軸受４０と比べて高いシール性を発揮する役割を軸シール１５６が担っている。これに対し、上述した実施形態の第２軸受５０は、一端側軸受１５０の役割と軸シール１５６の役割とを兼ねている。なお、図４に示した変形例のローラーハースキルンにおいて、軸シール１５６と第２壁部１３２との間や、軸シール１５６と駆動軸６５との間には隙間がなく封止されているものとしたが、第１軸受４０と比べて軸シール１５６のシール性が高ければ、隙間が形成されていてもよい。また、軸シール１５６はオイルシールとしたが、第１軸受４０と比べてシール性が高ければ、どのような軸シールを用いてもよい。また、図４に示すように、一端側軸受１５０は軸シール１５６よりも駆動軸６５の一端側（図４の左側）に配置されているものとしたが、一端側軸受１５０を軸シール１５６よりも駆動軸６５の他端側（図４の右側）に配置してもよい。例えば図４における一端側軸受１５０と軸シール１５６との配置を逆にしてもよい。また、図４では、一端側軸受１５０は遮蔽部材５４，５５を備えておらず、一端側軸受１５０は第１軸受４０よりもシール性が低いものとしたが、第１軸受４０よりもシール性が高いものとしてもよい。また、図４の一端側軸受１５０はボールベアリングとしたが、これに限らず、内輪と、外輪と、内輪及び外輪の間に収納された複数の転動体と、を備えた転がり軸受であればよい。   In the above-described embodiment, the portion where the rotating body 60 penetrates the second wall portion 32 is provided with the second bearing 50 having a higher sealing performance than the first bearing 40. I can't. The portion through which the rotating body 60 penetrates the second wall portion 32 is not limited to the second bearing 50, and a sealing member having a higher sealing property than the first bearing 40 may be provided. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view around the wall body 30 in the roller hearth kiln according to the modification in this case. In FIG. 4, the same components as those of the roller hearth kiln 10 described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. In FIG. 4, the second wall portion 132 of the wall body 30 is penetrated by the drive shaft 65, and one end side bearing 150 and a shaft seal 156 are attached to this penetration portion. The one end side bearing 150 is a ball bearing that rotatably supports the rotating body 60 (drive shaft 65), and is disposed on one end side (left side in FIG. 4) of the drive shaft 65 with respect to the first bearing 40 and the shaft seal 156. ing. The one end side bearing 150 has the same configuration as the second bearing 50 described above except that the shielding members 54 and 55 are not provided. The shaft seal 156 is a ring-shaped member, and the drive shaft 65 passes through the center. The shaft seal 156 is an oil seal, and is configured as a seal member having a higher sealing performance than the first bearing 40. The shaft seal 156 includes a main body 157, a metal ring 158, and a spring 159. The main body 157 is a ring-shaped member made of an elastic body such as rubber, and the outer peripheral surface and the surface on the second space 30a side (the right side in FIG. 4) are in contact with and fixed to the second wall portion 132. The main body portion 157 is formed with a seal lip portion 157a and a dust lip portion 157b on its inner peripheral surface side. The seal lip portion 157 a has a shape in which the tip is narrowed toward the drive shaft 65 when viewed in the axial section of the drive shaft 65, and is in contact with the drive shaft 65 at the tip. The dust lip 157 b protrudes toward the drive shaft 65, and the tip is in contact with the outer peripheral surface of the drive shaft 65. The dust lip 157b plays a role of preventing entry of dust and the like from the external space. The metal ring 158 is a ring-shaped member disposed so as to surround the periphery of the drive shaft 65, and presses the main body portion 157 against the second wall portion 132. For this reason, there is no gap between the main body 157 and the second wall 132, and the shaft seal 156 and the second wall 132 are sealed. The spring 159 is a ring-shaped elastic body provided so as to surround the periphery of the seal lip portion 157a. The tip of the seal lip 157 a is pressed against the outer peripheral surface of the drive shaft 65 by the elastic force of the spring 159. For this reason, there is no gap between the drive shaft 65 and the main body 157, and the drive shaft 65 and the shaft seal 156 are sealed. In the roller hearth kiln of the modified example configured as described above, a shaft seal 156 having a higher sealing performance than the first bearing 40 is provided at a portion where the rotating body 60 penetrates the second wall portion 132. Therefore, similarly to the above-described embodiment, the gas supplied to the second space 30a tends to go to the first space 11a side, and passes through the gaps 44a and 45a of the first bearing 40 from the first space 11a. Can suppress the outflow of atmospheric gas. In the modified roller hearth kiln shown in FIG. 4, the one end side bearing 150 plays a role of supporting the drive shaft 65, and the shaft seal 156 plays a role of exhibiting higher sealing performance than the first bearing 40. Is responsible. On the other hand, the 2nd bearing 50 of embodiment mentioned above serves as the role of the one end side bearing 150, and the role of the shaft seal 156. FIG. In the modified roller hearth kiln shown in FIG. 4, the shaft seal 156 and the second wall portion 132 are sealed with no gap between the shaft seal 156 and the drive shaft 65. However, if the sealing performance of the shaft seal 156 is higher than that of the first bearing 40, a gap may be formed. Further, although the shaft seal 156 is an oil seal, any shaft seal may be used as long as the sealing performance is higher than that of the first bearing 40. Further, as shown in FIG. 4, the one end side bearing 150 is disposed on one end side (left side in FIG. 4) of the drive shaft 65 with respect to the shaft seal 156, but the one end side bearing 150 is disposed on the shaft seal 156. Alternatively, it may be arranged on the other end side of the drive shaft 65 (right side in FIG. 4). For example, the arrangement of the one end side bearing 150 and the shaft seal 156 in FIG. 4 may be reversed. In FIG. 4, the one-end bearing 150 is not provided with the shielding members 54 and 55, and the one-end bearing 150 is lower in sealing performance than the first bearing 40, but is more sealing than the first bearing 40. May be high. 4 is a ball bearing. However, the present invention is not limited to this, and any rolling bearing provided with an inner ring, an outer ring, and a plurality of rolling elements housed between the inner ring and the outer ring may be used. Good.

図４に示した変形例のローラーハースキルンでは、回転体６０が第２壁部１３２を貫通する部分に一端側軸受１５０が設けられているものとしたが、これに限られない。例えば、一端側軸受１５０が外部空間で回転体６０を支持していてもよい。図５は、この場合の変形例のローラーハースキルンにおける壁体３０周辺の拡大断面図である。なお、図５では、上述したローラーハースキルン１０や図４のローラーハースキルンと同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図５では、壁体３０の第２壁部２３２は駆動軸６５によって貫通されている。この貫通部分には、軸シール１５６が取り付けられている。また、回転体６０（駆動軸６５）の一端側（図５の左側）は、外部空間で支持部２９４を貫通している。駆動軸６５が支持部２９４を貫通する部分には、一端側軸受２５０が設けられている。一端側軸受２５０は、外部空間で回転体６０（駆動軸６５）を回転可能に支持するボールベアリングであり、図４の一端側軸受１５０と同じ構成をしている。また、壁体３０と支持部２９４との間には、カムクラッチ２９３ａ，２９３ｂが設けられている。カムクラッチ２９３ａは、カムクラッチ２９３ｂと壁体３０との間に配置されている。カムクラッチ２９３ａ，２９３ｂは、リング状の部材であり、中心を駆動軸６５が貫通している。カムクラッチ２９３ａ，２９３ｂは、図示は省略するが、内輪と外輪とを有しており、外輪からの駆動力を内輪に伝達する一方、内輪からの駆動力は外輪には伝達されない（外輪に対して内輪が空転する）ように構成された機械式クラッチである。カムクラッチ２９３ａ，２９３ｂの内輪は、それぞれ駆動軸６５の外周面に接続されている。カムクラッチ２９３ａ，２９３ｂの外輪は、それぞれスプロケット２６６ａ，２６６ｂに同軸に接続されている。スプロケット２６６ａ，２６６ｂには、それぞれローラーチェーン２９２ａ，２９２ｂが掛けられている。ローラーチェーン２９２ａは、スプロケット２６６ａと、外部空間に配置された図示しない低速モーターの駆動軸とを掛け渡すように配置されている。ローラーチェーン２９２ｂは、スプロケット２６６ｂと、外部空間に配置された図示しない高速モーターの駆動軸とを掛け渡すように配置されている。低速モーターから出力された回転駆動力は、カムクラッチ２９３ａを介して駆動軸６５に伝達されて回転体６０全体を低速で回転させる。また、低速モーターにより駆動軸６５が回転しても、カムクラッチ２９３ｂの内輪は空転するため高速モーターには回転駆動力は伝達されない。同様に、高速モーターから出力された回転駆動力は、カムクラッチ２９３ｂを介して駆動軸６５に伝達されて回転体６０全体を高速で回転させる。また、高速モーターにより駆動軸６５が回転しても、カムクラッチ２９３ａの内輪は空転するため低速モーターには回転駆動力は伝達されない。このように、図５の回転体６０は、低速モーター及び高速モーターにより異なる速度で回転可能である。そのため、回転体６０による被処理物９６の搬送速度の切り換えが可能になっている。こうして構成された変形例のローラーハースキルンでは、回転体６０が第２壁部２３２を貫通する部分に、第１軸受４０と比べてシール性が高い軸シール１５６が設けられている。そのため、上述した実施形態や図４のローラーハースキルンと同様に、第２空間３０ａに供給されたガスが第１空間１１ａ側に向かおうとすることになり、第１空間１１ａから第１軸受４０の隙間４４ａ，４５ａを通って雰囲気ガスが流出するのを押さえ込むことができる。なお、図５の一端側軸受２５０はボールベアリングとしたが、これに限らずどのような軸受を用いてもよい。例えばボールベアリング以外の転がり軸受としてもよい。例えば、上述した実施形態の従動側支持ローラー２４や駆動側支持ローラー２８のように駆動軸６５を下側から回転可能に支持する転がり軸受としてもよい。あるいは、一端側軸受２５０は滑り軸受としてもよい。   In the roller hearth kiln of the modified example shown in FIG. 4, the one end side bearing 150 is provided in a portion where the rotating body 60 penetrates the second wall portion 132, but the present invention is not limited to this. For example, the one end side bearing 150 may support the rotating body 60 in the external space. FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view around the wall body 30 in the roller hearth kiln according to the modification in this case. In FIG. 5, the same components as those of the roller hearth kiln 10 and the roller hearth kiln shown in FIG. In FIG. 5, the second wall portion 232 of the wall body 30 is penetrated by the drive shaft 65. A shaft seal 156 is attached to the penetrating portion. Further, one end side (left side in FIG. 5) of the rotating body 60 (drive shaft 65) penetrates the support portion 294 in the external space. One end side bearing 250 is provided at a portion where drive shaft 65 penetrates support portion 294. The one end side bearing 250 is a ball bearing that rotatably supports the rotating body 60 (drive shaft 65) in the external space, and has the same configuration as the one end side bearing 150 of FIG. Cam clutches 293a and 293b are provided between the wall body 30 and the support portion 294. The cam clutch 293 a is disposed between the cam clutch 293 b and the wall body 30. The cam clutches 293a and 293b are ring-shaped members, and the drive shaft 65 passes through the center. Although not shown, the cam clutches 293a and 293b have an inner ring and an outer ring, and transmit driving force from the outer ring to the inner ring, while driving force from the inner ring is not transmitted to the outer ring (with respect to the outer ring). This is a mechanical clutch configured so that the inner ring rotates idly). The inner rings of the cam clutches 293a and 293b are connected to the outer peripheral surface of the drive shaft 65, respectively. The outer rings of the cam clutches 293a and 293b are coaxially connected to the sprockets 266a and 266b, respectively. Roller chains 292a and 292b are hung on the sprockets 266a and 266b, respectively. The roller chain 292a is arranged so as to span the sprocket 266a and a drive shaft of a low-speed motor (not shown) arranged in the external space. The roller chain 292b is arranged so as to span the sprocket 266b and a drive shaft of a high-speed motor (not shown) arranged in the external space. The rotational driving force output from the low speed motor is transmitted to the drive shaft 65 via the cam clutch 293a to rotate the entire rotating body 60 at a low speed. Further, even if the drive shaft 65 is rotated by the low speed motor, the inner ring of the cam clutch 293b rotates idly, so that no rotational driving force is transmitted to the high speed motor. Similarly, the rotational driving force output from the high-speed motor is transmitted to the drive shaft 65 via the cam clutch 293b to rotate the entire rotating body 60 at high speed. Further, even if the drive shaft 65 is rotated by the high speed motor, the inner ring of the cam clutch 293a rotates idly, so the rotational driving force is not transmitted to the low speed motor. 5 can be rotated at different speeds by the low-speed motor and the high-speed motor. Therefore, the conveyance speed of the workpiece 96 can be switched by the rotating body 60. In the roller hearth kiln of the modified example configured as described above, a shaft seal 156 having a higher sealing performance than the first bearing 40 is provided in a portion where the rotating body 60 penetrates the second wall portion 232. Therefore, similarly to the embodiment described above and the roller hearth kiln in FIG. 4, the gas supplied to the second space 30a tends to go to the first space 11a side, and the first bearing 40 from the first space 11a. It is possible to suppress the atmospheric gas from flowing out through the gaps 44a and 45a. In addition, although the one end side bearing 250 of FIG. 5 was a ball bearing, not only this but what kind of bearing may be used. For example, a rolling bearing other than a ball bearing may be used. For example, it is good also as a rolling bearing which supports the drive shaft 65 rotatably from the lower side like the driven side support roller 24 and the drive side support roller 28 of embodiment mentioned above. Alternatively, the one end side bearing 250 may be a sliding bearing.

なお、図４において一端側軸受１５０を省略してもよいし、図５において一端側軸受２５０を省略してもよい。この場合でも、第１軸受４０と１以上の軸受（例えば従動側支持ローラー２４，駆動側支持ローラー２８など）とがあれば、駆動軸６５を回転可能に支持することはできる。   In addition, the one end side bearing 150 may be omitted in FIG. 4, and the one end side bearing 250 may be omitted in FIG. Even in this case, if there is the first bearing 40 and one or more bearings (for example, the driven side support roller 24, the drive side support roller 28, etc.), the drive shaft 65 can be rotatably supported.

［第２実施形態］
図６は第２実施形態のローラーハースキルン３１０の縦断面図である。ローラーハースキルン３１０は、第１実施形態のローラーハースキルン１０に、さらに搬送路３２９，４２９などを備えたものである。そのため、ローラーハースキルン１０と同じ構成要素については同じ符号を付して説明や図示を省略し、ローラーハースキルン３１０のうち主に搬送路３２９，４２９などの異なる構成要素について説明する。 [Second Embodiment]
FIG. 6 is a longitudinal sectional view of the roller hearth kiln 310 of the second embodiment. The roller hearth kiln 310 is a roller hearth kiln 10 according to the first embodiment further provided with transport paths 329, 429 and the like. Therefore, the same components as those of the roller hearth kiln 10 are denoted by the same reference numerals and description and illustration thereof are omitted, and different components of the roller hearth kiln 310 such as the conveyance paths 329 and 429 will be mainly described.

まず、搬送路３２９について説明する。搬送路３２９は、外部から炉体１１の開口１４までの被処理物９６の搬入路となるものである。搬送路３２９内には複数（本実施形態では１０個）の搬送ローラー３３５が搬送方向（図１の前後方向）に沿って搬送口５２から開口１４に亘って配置されている。搬送ローラー３３５は、図示しないモーターなどにより回転駆動され、トレイ９５及び被処理物９６を搬送する。搬送路３２９は、外部から炉体１１に向かって（前方から後方に向かって）、第３搬送路３５０，第１搬送路３３０，第２搬送路３４０の順に並んでいる。以下、この順に説明する。   First, the conveyance path 329 will be described. The conveyance path 329 serves as a carry-in path for the workpiece 96 from the outside to the opening 14 of the furnace body 11. A plurality (ten in this embodiment) of transport rollers 335 are arranged in the transport path 329 from the transport port 52 to the opening 14 along the transport direction (the front-rear direction in FIG. 1). The transport roller 335 is rotationally driven by a motor (not shown) or the like, and transports the tray 95 and the workpiece 96. The conveyance path 329 is arranged in the order of the third conveyance path 350, the first conveyance path 330, and the second conveyance path 340 from the outside toward the furnace body 11 (from the front to the rear). Hereinafter, it demonstrates in this order.

第３搬送路３５０は、トレイ９５及び被処理物９６を外部から第１搬送路３３０まで搬送するための搬入路であり、管路として構成されている。この第３搬送路３５０は、外部からの搬入口となる搬送口３５２を有している。第３搬送路３５０の内部には、上述した複数の搬送ローラー３３５のうち４個が配置されている。   The third conveyance path 350 is a carry-in path for conveying the tray 95 and the workpiece 96 from the outside to the first conveyance path 330, and is configured as a pipe line. The third transport path 350 has a transport port 352 serving as a carry-in port from the outside. Four of the plurality of transport rollers 335 described above are arranged in the third transport path 350.

第１搬送路３３０は、トレイ９５及び被処理物９６を第３搬送路３５０から第２搬送路３４０まで搬送するための搬入路であり、管路として構成されている。この第１搬送路３３０の内部には、上述した複数の搬送ローラー３３５のうち３個が配置されている。   The first transport path 330 is a carry-in path for transporting the tray 95 and the workpiece 96 from the third transport path 350 to the second transport path 340, and is configured as a pipe line. Three of the plurality of transport rollers 335 described above are arranged in the first transport path 330.

この第１搬送路３３０の鉛直上側には、上方空間形成部３６０が設けられている。この上方空間形成部３６０は、下方向が開口した箱状の外壁３６２を有しており、この外壁３６２の内部の空間として、鉛直下側に開口し第１搬送路３３０内に連通する上方空間３６３が形成されている。外壁３６２は下方向の開口以外は気密な構造をしており、第１搬送路３３０を介さない外部との気体の流出入がほとんど生じないようになっている。なお、外壁３６２は、前方（図１の左方）の壁部及び後方（図１の右方）の壁部が、炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜している。これにより、上方空間３６３は炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した形状の空間となっている。また、上方空間形成部３６０は、外壁３６２の内部に、炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した区画部材３６４ａ，３６４ｂを備えている。この区画部材３６４ａ，３６４ｂは、前方から後方に向けてこの順に配置された平板状の部材であり、図示は省略するが左右方向の両端が外壁３６２の左右の壁部に例えば溶接などにより取り付けられている。区画部材３６４ａ，３６４ｂ，外壁３６２の前方の壁部及び後方の壁部は、いずれも前方から上方に向けて同じ角度θ１だけ傾斜している。傾斜の角度θ１は０°超過〜９０°未満であればよい。特に限定するものではないが、例えば角度θ１を３０〜６０°としてもよい。本実施形態では、角度θ１は４５°とした。この区画部材３６４ａ，３６４ｂにより、上方空間３６３の一部が区画空間３６５ａ〜３６５ｃに区画されている。区画空間３６５ａは、外壁３６２の前方の壁部と区画部材３６４ａとで区画された空間である。区画空間３６５ｂは、区画部材３６４ａと区画部材３６４ｂとで区画された空間である。区画空間３６５ｃは、区画部材３６４ｂと外壁３６２の後方の壁部とで区画された空間である。これらの区画空間３６５ａ〜３６５ｃは、いずれも下方が第１搬送路３３０内に開口している。また、区画部材３６４ａ，３６４ｂは、いずれも外壁３６２の天井には接していない。そのため、区画空間３６５ａ〜３６５ｃは、上方空間３６３のうち上方（外壁３６２の天井付近）で互いに連通している。なお、外壁３６２の上部には、吸引装置３６７と接続され上方空間３６３を吸引するための吸引口３６６が形成されている。吸引装置３６７は、吸引口３６６を介して上方空間３６３内のガスを吸引して排気する。   An upper space forming unit 360 is provided on the vertical upper side of the first transport path 330. The upper space forming portion 360 has a box-shaped outer wall 362 opened in the lower direction, and an upper space that opens to the vertical lower side and communicates with the first conveyance path 330 as a space inside the outer wall 362. 363 is formed. The outer wall 362 has an airtight structure except for the opening in the downward direction, so that almost no gas flows into and out of the outside without passing through the first conveyance path 330. Note that the outer wall 362 is inclined such that the front (left side in FIG. 1) and rear (right side in FIG. 1) wall portions are away from the furnace body 11. As a result, the upper space 363 is a space having a shape inclined in a direction in which the upper part moves away from the furnace body 11. Further, the upper space forming portion 360 includes partition members 364 a and 364 b that are inclined in a direction in which the upper portion is away from the furnace body 11 inside the outer wall 362. The partition members 364a and 364b are plate-like members arranged in this order from the front to the rear. Although not shown, both ends in the left-right direction are attached to the left and right wall portions of the outer wall 362 by, for example, welding. ing. The partition members 364a and 364b and the front wall portion and the rear wall portion of the outer wall 362 are all inclined by the same angle θ1 from the front to the top. The inclination angle θ1 may be more than 0 ° and less than 90 °. Although not particularly limited, for example, the angle θ1 may be 30 to 60 °. In this embodiment, the angle θ1 is 45 °. A part of the upper space 363 is partitioned into partition spaces 365a to 365c by the partition members 364a and 364b. The partitioned space 365a is a space partitioned by a wall portion in front of the outer wall 362 and the partition member 364a. The partition space 365b is a space partitioned by the partition member 364a and the partition member 364b. The partitioned space 365c is a space partitioned by the partition member 364b and a wall portion behind the outer wall 362. These partition spaces 365 a to 365 c are all open downward into the first conveyance path 330. Further, the partition members 364a and 364b are not in contact with the ceiling of the outer wall 362. Therefore, the partitioned spaces 365a to 365c communicate with each other above the upper space 363 (near the ceiling of the outer wall 362). A suction port 366 that is connected to the suction device 367 and sucks the upper space 363 is formed in the upper part of the outer wall 362. The suction device 367 sucks and exhausts the gas in the upper space 363 through the suction port 366.

また、第１搬送路３３０の鉛直下側には、下方空間形成部３７０が設けられている。この下方空間形成部３７０は、上方向が開口した箱状の外壁３７２を有しており、この外壁３７２の内部の空間として、鉛直上側に開口し第１搬送路３３０内に連通する下方空間３７３が形成されている。外壁３７２は上方向の開口以外は気密な構造をしており、第１搬送路３３０を介さない外部との気体の流出入がほとんど生じないようになっている。なお、外壁３７２は、前方（図１の左方）の壁部及び後方（図１の右方）の壁部が、炉体１１に対して下部が近づく（上部が遠ざかる）方向に傾斜している。これにより、下方空間３７３は炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜した形状の空間となっている。また、下方空間形成部３７０は、外壁３７２の内部に、炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜した区画部材３７４ａ，３７４ｂを備えている。この区画部材３７４ａ，３７４ｂは、後方から前方に向けてこの順に配置された平板状の部材であり、図示は省略するが左右方向の両端が外壁３７２の左右の壁部に例えば溶接などにより取り付けられている。区画部材３７４ａ，３７４ｂ，外壁３７２の前方の壁部及び後方の壁部は、いずれも後方から下方に同じ角度θ２だけ傾斜している。傾斜の角度θ２は０°超過〜９０°未満であればよい。特に限定するものではないが、例えば角度θ２を３０〜６０°としてもよい。角度θ２は角度θ１と同じ値としてもよく、本実施形態では、角度θ２は４５°とした。この区画部材３７４ａ，３７４ｂにより、下方空間３７３の一部が区画空間３７５ａ〜３７５ｃに区画されている。区画空間３７５ａは、外壁３７２の後方の壁部と区画部材３７４ａとで区画された空間である。区画空間３７５ｂは、区画部材３７４ａと区画部材３７４ｂとで区画された空間である。区画空間３７５ｃは、区画部材３７４ｂと外壁３７２の前方の壁部とで区画された空間である。これらの区画空間３７５ａ〜３７５ｃは、いずれも上方が第１搬送路３３０内に開口している。また、区画部材３７４ａ，３７４ｂは、いずれも外壁３７２の底部には接していない。そのため、区画空間３７５ａ〜３７５ｃは、下方空間３７３のうち下方（外壁３７２の底部付近）で互いに連通している。なお、上述した第１搬送路３３０内の３個の搬送ローラー３３５は、区画空間３７５ａ〜３７５ｃの上方の開口部分に１つずつ配置されている。また、外壁３７２の底部には、吸引装置３７７と接続され下方空間３７３を吸引するための吸引口３７６が形成されている。吸引装置３７７は、吸引口３７６を介して下方空間３７３内のガスを吸引して排気する。   In addition, a lower space forming unit 370 is provided vertically below the first transport path 330. The lower space forming portion 370 has a box-shaped outer wall 372 that opens upward, and a lower space 373 that opens vertically upward and communicates with the first conveyance path 330 as a space inside the outer wall 372. Is formed. The outer wall 372 has an airtight structure except for the opening in the upward direction, so that almost no gas flows in and out from the outside without passing through the first conveyance path 330. In addition, the outer wall 372 is inclined in a direction in which the lower (closer to the upper part) is closer to the furnace body 11 at the front (leftward in FIG. 1) and the rear (rightward in FIG. 1) wall. Yes. Accordingly, the lower space 373 is a space that is inclined in a direction in which the lower portion approaches the furnace body 11. Further, the lower space forming portion 370 includes partition members 374 a and 374 b that are inclined in the direction in which the lower portion approaches the furnace body 11 inside the outer wall 372. The partition members 374a and 374b are flat members arranged in this order from the rear to the front. Although not shown, both ends in the left-right direction are attached to the left and right wall portions of the outer wall 372 by, for example, welding. ing. The partition members 374a and 374b and the front wall portion and the rear wall portion of the outer wall 372 are all inclined at the same angle θ2 from the rear to the bottom. The angle θ2 of inclination may be more than 0 ° and less than 90 °. Although not particularly limited, for example, the angle θ2 may be 30 to 60 °. The angle θ2 may be the same value as the angle θ1, and in this embodiment, the angle θ2 is 45 °. A part of the lower space 373 is partitioned into partition spaces 375a to 375c by the partition members 374a and 374b. The partition space 375a is a space partitioned by a wall portion behind the outer wall 372 and the partition member 374a. The partition space 375b is a space partitioned by the partition member 374a and the partition member 374b. The partition space 375c is a space partitioned by a partition member 374b and a wall portion in front of the outer wall 372. Each of the partition spaces 375a to 375c is open in the first transport path 330 on the upper side. Further, the partition members 374a and 374b are not in contact with the bottom of the outer wall 372. Therefore, the partition spaces 375a to 375c communicate with each other in the lower part of the lower space 373 (near the bottom of the outer wall 372). Note that the three transport rollers 335 in the first transport path 330 described above are arranged one by one in the opening portions above the partition spaces 375a to 375c. In addition, a suction port 376 that is connected to a suction device 377 and sucks the lower space 373 is formed at the bottom of the outer wall 372. The suction device 377 sucks and exhausts the gas in the lower space 373 through the suction port 376.

第２搬送路３４０は、トレイ９５及び被処理物９６を第１搬送路３３０から炉体１１の開口１４まで搬送するための搬入路であり、管路として構成されている。この第２搬送路３４０の内部には、上述した複数の搬送ローラー３３５のうち３個が配置されている。   The second conveyance path 340 is a carry-in path for conveying the tray 95 and the workpiece 96 from the first conveyance path 330 to the opening 14 of the furnace body 11 and is configured as a pipe line. Three of the plurality of transport rollers 335 described above are disposed inside the second transport path 340.

なお、第１搬送路３３０と第３搬送路３５０とは、連続した管路として構成されている。本実施形態では、上方空間形成部３６０の開口の前端部と下方空間形成部３７０の開口の前端部とを結んだ線分Ｄ１を、第１搬送路３３０と第３搬送路３５０との境界とした。同様に、第１搬送路３３０と第２搬送路３４０とは、連続した管路として構成されている。本実施形態では、上方空間形成部３６０の開口の後端部と下方空間形成部３７０の開口の後端部とを結んだ線分Ｄ２を、第１搬送路３３０と第２搬送路３４０との境界とした。なお、線分Ｄ１，Ｄ２はそれぞれ角度θ１，角度θ２だけ傾斜していることが好ましい。換言すると、図６のように縦断面視した状態で、外壁３６２の前方の壁部と外壁３７２の前方の壁部とが一直線上に位置していることが好ましく、外壁３６２の後方の壁部と外壁３７２の後方の壁部とが一直線上に位置していることが好ましい。同様に、区画部材３６４ａと区画部材３７４ｂとが一直線上に位置していることが好ましく、区画部材３６４ｂと区画部材３７４ａとが一直線上に位置していることが好ましい。また、上述した複数の搬送ローラー３３５の上端は、いずれも搬送口３５２の下端と略同じ高さに位置している。なお、図６では上方空間形成部３６０及び下方空間形成部３７０の図示の都合上、複数の搬送ローラー３３５の前後方向の間隔が第１搬送路３３０内とそれ以外とで異なっているが、実際には複数の搬送ローラー３３５は搬送方向に沿って等間隔に配置されている。   In addition, the 1st conveyance path 330 and the 3rd conveyance path 350 are comprised as a continuous pipe line. In the present embodiment, a line segment D1 connecting the front end portion of the opening of the upper space forming portion 360 and the front end portion of the opening of the lower space forming portion 370 is defined as the boundary between the first transport path 330 and the third transport path 350. did. Similarly, the 1st conveyance path 330 and the 2nd conveyance path 340 are comprised as a continuous pipe line. In the present embodiment, a line segment D2 connecting the rear end portion of the opening of the upper space forming portion 360 and the rear end portion of the opening of the lower space forming portion 370 is represented by the first transport path 330 and the second transport path 340. Boundary. The line segments D1 and D2 are preferably inclined by an angle θ1 and an angle θ2, respectively. In other words, it is preferable that the front wall portion of the outer wall 362 and the front wall portion of the outer wall 372 are positioned in a straight line when viewed in a longitudinal section as shown in FIG. It is preferable that the rear wall portion of the outer wall 372 and the outer wall 372 are positioned on a straight line. Similarly, the partition member 364a and the partition member 374b are preferably positioned on a straight line, and the partition member 364b and the partition member 374a are preferably positioned on a straight line. In addition, the upper ends of the plurality of transport rollers 335 described above are all located at substantially the same height as the lower end of the transport port 352. In FIG. 6, for the convenience of illustration of the upper space forming portion 360 and the lower space forming portion 370, the intervals in the front-rear direction of the plurality of transport rollers 335 are different between the inside of the first transport path 330 and the others. The plurality of transport rollers 335 are arranged at equal intervals along the transport direction.

次に、搬送路４２９について説明する。搬送路４２９は、炉体１１の開口１５から外部への被処理物９６の搬出路となるものである。搬送路４２９の第１搬送路４３０の鉛直上側には上方空間形成部４６０が設けられている。搬送路４２９の第１搬送路４３０の鉛直下側には、下方空間形成部４７０が設けられている。上方空間形成部４６０の外壁４６２の上部には、吸引装置４６７が接続されている。下方空間形成部４７０の外壁４７２の底部には、吸引装置４７７が接続されている。搬送路４２９の第３搬送路４５０は、外部への搬出口となる搬送口４５２を有している。搬送路４２９内には複数（本実施形態では１０個）の搬送ローラー４３５が搬送方向（図１の前後方向）に沿って開口１５から搬送口４５２に亘って配置されている。なお、搬送路４２９，上方空間形成部４６０，下方空間形成部４７０，吸引装置４６７，４７７は、それぞれ搬送路３２９，上方空間形成部３６０，下方空間形成部３７０，吸引装置３６７，３７７と前後方向に対称な構造をしている。そのため、搬送路４２９，上方空間形成部４６０，下方空間形成部４７０，吸引装置４６７，４７７の構成要素については搬送路３２９，上方空間形成部３６０，下方空間形成部３７０，吸引装置３６７，３７７に値１００を加えた符号を付して、詳細な説明を省略する。なお、線分Ｄ３は上方空間形成部４６０の開口の後端部と下方空間形成部４７０の開口の後端部とを結んだ線分であり、搬送路３２９における線分Ｄ１に相当する。線分Ｄ４は上方空間形成部４６０の開口の前端部と下方空間形成部４７０の開口の前端部とを結んだ線分であり、搬送路３２９の線分Ｄ２に相当する。角度θ３は、区画部材４６４ａ，４６４ｂ，外壁４６２の前方の壁部及び後方の壁部の傾斜の角度であり、上方空間形成部３６０における角度θ１に相当する。角度θ４は、区画部材４７４ａ，４７４ｂ，外壁４７２の前方の壁部及び後方の壁部の傾斜の角度であり、下方空間形成部３７０における角度θ２に相当する。本実施形態では、角度θ１＝角度θ３、角度θ２＝角度θ４とした。   Next, the conveyance path 429 will be described. The conveyance path 429 is a path for carrying out the workpiece 96 from the opening 15 of the furnace body 11 to the outside. An upper space forming part 460 is provided on the vertical upper side of the first conveyance path 430 of the conveyance path 429. A lower space forming portion 470 is provided on the vertical lower side of the first conveyance path 430 of the conveyance path 429. A suction device 467 is connected to the upper part of the outer wall 462 of the upper space forming part 460. A suction device 477 is connected to the bottom of the outer wall 472 of the lower space forming portion 470. The 3rd conveyance path 450 of the conveyance path 429 has the conveyance port 452 used as the exit to the exterior. A plurality (10 in this embodiment) of transport rollers 435 are arranged in the transport path 429 from the opening 15 to the transport port 452 along the transport direction (the front-rear direction in FIG. 1). The transport path 429, the upper space forming portion 460, the lower space forming portion 470, and the suction devices 467 and 477 are respectively in the front-rear direction with the transport path 329, the upper space forming portion 360, the lower space forming portion 370, and the suction devices 367 and 377. Has a symmetrical structure. Therefore, the components of the transport path 429, the upper space forming portion 460, the lower space forming portion 470, and the suction devices 467 and 477 are transferred to the transport path 329, the upper space forming portion 360, the lower space forming portion 370, and the suction devices 367 and 377. A reference numeral added with a value of 100 is attached and detailed description is omitted. The line segment D3 is a line segment connecting the rear end portion of the opening of the upper space forming portion 460 and the rear end portion of the opening of the lower space forming portion 470, and corresponds to the line segment D1 in the transport path 329. A line segment D4 is a line segment connecting the front end portion of the opening of the upper space forming portion 460 and the front end portion of the opening of the lower space forming portion 470, and corresponds to the line segment D2 of the transport path 329. The angle θ3 is an inclination angle of the front wall portion and the rear wall portion of the partition members 464a and 464b and the outer wall 462, and corresponds to the angle θ1 in the upper space forming portion 360. The angle θ4 is an inclination angle of the front wall portion and the rear wall portion of the partition members 474a and 474b and the outer wall 472, and corresponds to the angle θ2 in the lower space forming portion 370. In this embodiment, angle θ1 = angle θ3 and angle θ2 = angle θ4.

こうして構成されたローラーハースキルン３１０では、被処理物９６の熱処理を行う際に、ローラーハースキルン１０と同様の動作に加えて、搬送ローラー３３５，４３５を回転させる。また、吸引装置３６７，４６７によりそれぞれ上方空間３６３，４６３内の雰囲気を吸引して排気し、吸引装置３７７，４７７によりそれぞれ下方空間３７３，４７３内の雰囲気を吸引して排気する。そして、複数の被処理物９６を載置したトレイ９５を搬送路３２９の搬送口３５２から順次搬入していく。搬送口３５２から搬入されたトレイ９５は、複数の搬送ローラー３３５の回転により第３搬送路３５０，第１搬送路３３０，第２搬送路３４０をこの順に通過していき、開口１４から炉体１１内に搬入される。続いて、トレイ９５が第１空間１１ａを通過して開口１５側から搬出されるまでの間に、ヒーター２０により被処理物９６の熱処理を行う。そして、開口１５から搬出されたトレイ９５は、複数の搬送ローラー４３５の回転により第２搬送路４４０，第１搬送路４３０，第３搬送路４５０をこの順に通過していき、搬送口４５２から外部に搬出される。   In the roller hearth kiln 310 configured as described above, in addition to the same operation as the roller hearth kiln 10, the transport rollers 335 and 435 are rotated when the workpiece 96 is heat-treated. Further, the atmospheres in the upper spaces 363 and 463 are sucked and exhausted by the suction devices 367 and 467, respectively, and the atmospheres in the lower spaces 373 and 473 are sucked and exhausted by the suction devices 377 and 477, respectively. Then, the tray 95 on which a plurality of objects to be processed 96 are placed is sequentially carried from the conveyance port 352 of the conveyance path 329. The tray 95 carried in from the conveyance port 352 passes through the third conveyance path 350, the first conveyance path 330, and the second conveyance path 340 in this order by the rotation of the plurality of conveyance rollers 335, and from the opening 14 to the furnace body 11. It is carried in. Subsequently, the workpiece 96 is heat-treated by the heater 20 until the tray 95 passes through the first space 11a and is carried out from the opening 15 side. Then, the tray 95 carried out from the opening 15 passes through the second conveyance path 440, the first conveyance path 430, and the third conveyance path 450 in this order by the rotation of the plurality of conveyance rollers 435, and from the conveyance port 452 to the outside. It is carried out to.

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。なお、第１実施形態と同じ構成要素については、対応関係の説明を省略する。本実施形態の搬送路３２９，４２９（第１搬送路３３０，４３０）が本発明の搬送路に相当し、上方空間形成部３６０，４６０が上方空間形成部に相当し、下方空間形成部３７０，４７０が下方空間形成部に相当し、ヒーター２０が加熱手段に相当し、吸引装置３６７，３７７，４６７，４７７が吸引手段に相当する。   Here, the correspondence between the components of the present embodiment and the components of the present invention will be clarified. Note that the description of the correspondence relationship is omitted for the same components as in the first embodiment. The transport paths 329 and 429 (first transport paths 330 and 430) of the present embodiment correspond to the transport path of the present invention, the upper space forming portions 360 and 460 correspond to the upper space forming portions, and the lower space forming portions 370 and 370, Reference numeral 470 corresponds to the lower space forming portion, the heater 20 corresponds to the heating means, and the suction devices 367, 377, 467, and 477 correspond to the suction means.

以上説明した本実施形態のローラーハースキルン３１０では、熱処理時にヒーター２０により第１空間１１ａの雰囲気ガスが外気より高い温度に加熱されているため、第１空間１１ａから搬送路３２９，４２９に流出する雰囲気ガスは上方空間３６３，４６３に向かいやすく、外気は下方空間３７３，４７３に向かいやすい。また、この状態で上方空間３６３，４６３及び下方空間３７３，４７３を吸引装置３６７，４６７，３７７，４７７が吸引することで、搬送路３２９，４２９から上方空間３６３，４６３に向かう上方向のガスの流れと搬送路３２９，４２９から下方空間３７３，４７３に向かう下方向のガスの流れが生じる。これらにより、第１空間１１ａの雰囲気や外気は搬送路３２９，４２９内で上下方向に流れやすくなるため、外部空間及び第１空間１１ａの一方の雰囲気が搬送路３２９，４２９を通過して他方に流れる（前後方向にガスが流れる）のをより抑制できる。すなわち、炉体１１の内外での搬送路３２９，４２９を介した雰囲気の流出入をより抑制することができる。また、炉体１１が搬送路３２９，４２９を介して外部空間に常に開口した状態でも、上記のように炉体１１の内外での流出入をより抑制できる。   In the roller hearth kiln 310 of the present embodiment described above, the atmospheric gas in the first space 11a is heated to a temperature higher than the outside air by the heater 20 during the heat treatment, and therefore flows out from the first space 11a to the transport paths 329 and 429. The atmospheric gas tends to go to the upper spaces 363 and 463, and the outside air tends to go to the lower spaces 373 and 473. In this state, the suction devices 367, 467, 377, and 477 suction the upper spaces 363 and 463 and the lower spaces 373 and 473, so that the upward gas flowing from the transport paths 329 and 429 toward the upper spaces 363 and 463 is absorbed. A downward gas flow from the flow and the conveyance paths 329 and 429 toward the lower spaces 373 and 473 is generated. As a result, the atmosphere in the first space 11a and the outside air easily flow in the vertical direction in the transport paths 329 and 429. It is possible to further suppress flow (gas flows in the front-rear direction). That is, the inflow and outflow of the atmosphere through the conveyance paths 329 and 429 inside and outside the furnace body 11 can be further suppressed. Further, even when the furnace body 11 is always opened to the external space via the conveyance paths 329 and 429, the inflow and outflow inside and outside the furnace body 11 can be further suppressed as described above.

また、上方空間形成部３６０，４６０は、炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した上方空間３６３，４６３を形成している。外気より高い温度の雰囲気ガスが炉体１１から流出したときには、この雰囲気ガスの流れる向きは炉体１１に対して遠ざかるほど上昇する向きとなる。そのため、上方空間３６３，４６３が炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜していることで、炉体１１からの雰囲気ガスが上方空間３６３，４６３に導かれやすくなり、外部への流出をより抑制できる。また、上方空間形成部３６０，４６０は、炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した部材であり上方空間３６３，４６３を被処理物９６の搬送方向に沿って複数の区画空間３６５ａ〜３６５ｃ，４６５ａ〜４６５ｃに区画する区画部材３６４ａ，３６４ｂ，４６４ａ，４６４ｂを有している。そのため、複数の区画部材３６４ａ，３６４ｂ，４６４ａ，４６４ｂが炉体１１に対して上部が遠ざかる方向に傾斜していることで、炉体１１からの雰囲気ガスが上方空間３６３，４６３に導かれやすくなる。   Further, the upper space forming portions 360 and 460 form upper spaces 363 and 463 that are inclined in a direction in which the upper portion is away from the furnace body 11. When the atmospheric gas having a temperature higher than the outside air flows out of the furnace body 11, the direction in which the atmospheric gas flows is higher as the distance from the furnace body 11 increases. For this reason, the upper spaces 363 and 463 are inclined in the direction in which the upper part is away from the furnace body 11, whereby the atmospheric gas from the furnace body 11 is easily guided to the upper spaces 363 and 463, and flows out to the outside. It can be suppressed more. Further, the upper space forming portions 360 and 460 are members that are inclined in a direction in which the upper portion is away from the furnace body 11, and the upper spaces 363 and 463 are divided into a plurality of partition spaces 365 a to 365 c along the conveying direction of the workpiece 96. , 465a to 465c, partition members 364a, 364b, 464a, 464b are provided. For this reason, the plurality of partition members 364a, 364b, 464a, 464b are inclined in a direction in which the upper part is away from the furnace body 11, so that the atmospheric gas from the furnace body 11 is easily guided to the upper spaces 363, 463. .

さらに、下方空間形成部３７０，４７０は、炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜した下方空間３７３，４７３を形成していてもよい。外気が搬送路３２９，４２９に流れたとき、炉体１１の雰囲気ガスの方が温度が高いため、この外気の流れる向きは炉体１１に対して近づくほど下降する向きとなる。そのため、下方空間３７３，４７３が炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜していることで、搬送路３２９，４２９に流れた外気が下方空間３７３，４７３に導かれやすくなり、炉体１１への流入をより抑制できる。また、下方空間形成部３７０，４７０は、炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜した部材であり下方空間３７３，４７４を被処理物９６の搬送方向に沿って複数の区画空間３７５ａ〜３７５ｃ，４７５ａ〜４７５ｃに区画する区画部材３７４ａ，３７４ｂ，４７４ａ，４７４ｂを有している。そのため、複数の区画部材３７４ａ，３７４ｂ，４７４ａ，４７４ｂが炉体１１に対して下部が近づく方向に傾斜していることで、搬送路３２９，４２９に流れた外気が下方空間３７３，４７４に導かれやすくなる。   Furthermore, the lower space forming portions 370 and 470 may form lower spaces 373 and 473 that are inclined with respect to the furnace body 11 in the direction in which the lower portion approaches. When the outside air flows into the transport paths 329 and 429, the temperature of the atmosphere gas in the furnace body 11 is higher, so the direction in which the outside air flows becomes a direction that descends as it approaches the furnace body 11. Therefore, since the lower spaces 373 and 473 are inclined in the direction in which the lower part approaches the furnace body 11, the outside air that has flowed through the transport paths 329 and 429 is easily guided to the lower spaces 373 and 473. Inflow can be further suppressed. The lower space forming portions 370 and 470 are members inclined in the direction in which the lower portion approaches the furnace body 11, and the lower spaces 373 and 474 are divided into a plurality of partition spaces 375 a to 375 c along the conveyance direction of the workpiece 96. , 475a to 475c, partition members 374a, 374b, 474a, 474b are provided. Therefore, the plurality of partition members 374a, 374b, 474a, 474b are inclined in the direction in which the lower part approaches the furnace body 11, so that the outside air that has flowed into the transport paths 329, 429 is guided to the lower spaces 373, 474. It becomes easy.

なお、上述した第２実施形態において、上述した第１実施形態の種々の変形例を採用しても良い。   In the second embodiment described above, various modifications of the first embodiment described above may be employed.

上述した実施形態において、吸引装置３６７，３７７のいずれか一方を省略してもよいし、吸引装置４６７，４７７のいずれか一方を省略してもよい。また、上方空間形成部３６０は２つの区画部材３６４ａ，３６４ｂを備えるものとしたが、１つ又は３つ以上備えるものとしてもよいし、区画部材を１つも備えなくてもよい。上方空間形成部４６０，下方空間形成部３７０，４７０についても同様である。また、搬送路３２９，４２９のいずれか一方を省略してもよい。   In the embodiment described above, either one of the suction devices 367 and 377 may be omitted, or one of the suction devices 467 and 477 may be omitted. Moreover, although the upper space formation part 360 shall be provided with the two division members 364a and 364b, it is good also as what is provided with 1 or 3 or more, and does not need to be provided with one division member. The same applies to the upper space forming portion 460 and the lower space forming portions 370 and 470. Further, either one of the transport paths 329 and 429 may be omitted.

上述した実施形態では、搬送路３２９等と搬送路４２９等とは前後方向に対称な構成としたが、これに限られない。例えば、角度θ１と角度θ３とが異なっていてもよいし、角度θ２と角度θ４とが異なっていてもよい。また、上述した区画部材の数や吸引装置の有無などについても、前後方向に対称でなくともよい。   In the above-described embodiment, the conveyance path 329 and the conveyance path 429 and the like are symmetric in the front-rear direction, but are not limited thereto. For example, the angle θ1 and the angle θ3 may be different, and the angle θ2 and the angle θ4 may be different. Further, the number of partition members and the presence or absence of the suction device described above may not be symmetrical in the front-rear direction.

［実施例１］
図１〜３に示した第１実施形態のローラーハースキルン１０を作製し、実施例１とした。なお、壁体３０の第２空間３０ａは、上下高さが１２５ｍｍ，左右方向長さが５３ｍｍ，前後方向長さが１１００ｍｍとした。第１軸受４０としては、隙間４４ａ及び隙間４５ａを有するシールド型のボールベアリングを用いた。第２軸受５０としては、遮蔽部材５４，５５が内輪５１と外輪５２との間を封止しているシール型のボールベアリングを用いた。また、炉体１１の開口１４，１５と外部との間には、それぞれ２重シャッター式の置換室を配置した。 [Example 1]
A roller hearth kiln 10 of the first embodiment shown in FIGS. Note that the second space 30a of the wall 30 has a vertical height of 125 mm, a horizontal length of 53 mm, and a longitudinal length of 1100 mm. As the first bearing 40, a shield type ball bearing having a gap 44a and a gap 45a was used. As the second bearing 50, a seal-type ball bearing in which the shielding members 54 and 55 seal between the inner ring 51 and the outer ring 52 was used. In addition, a double shutter type replacement chamber was disposed between the openings 14 and 15 of the furnace body 11 and the outside.

［実施例２］
図６に示した第２実施形態のローラーハースキルン３１０を作製し、実施例２とした。なお、実施例２の構成要素のうちローラーハースキルン１０と同じ構成要素については、実施例１と同じものを用いた。 [Example 2]
A roller hearth kiln 310 according to the second embodiment shown in FIG. In addition, about the same component as the roller hearth kiln 10 among the components of Example 2, the same thing as Example 1 was used.

［評価試験１］
実施例１において、被処理物９６を載置した複数のトレイ９５を順次置換室を介して炉体１１に搬入する状態で、第１空間１１ａの雰囲気を水素濃度１％，１２５０℃，１５０ＰａＧの窒素雰囲気に保つようにヒーター２０の出力，第１ガス供給源７１及び第２ガス供給源７２からの第１ガス及び第２ガスの供給量，第１圧力，第１流量，排気弁８７の開度，排気ファン８９の排気量などを調整した。また、壁体３０の第２空間３０ａに対して、第２圧力を２００ＰａＧ（第１空間１１ａの雰囲気の圧力＋５０Ｐａ），第２流量を１．２Ｌ／分とした第２ガス（窒素）を供給した。この状態では、壁体３０の第２軸受５０から外部に流出する水素は検知されなかった。なお、第２圧力及び第２流量の調整や流出する水素の測定は、１つの壁体３０について行った。 [Evaluation Test 1]
In Example 1, the plurality of trays 95 on which the object to be processed 96 is placed are sequentially carried into the furnace body 11 through the replacement chamber, and the atmosphere of the first space 11a is set to a hydrogen concentration of 1%, 1250 ° C., 150 PaG. The output of the heater 20, the supply amounts of the first gas and the second gas from the first gas supply source 71 and the second gas supply source 72, the first pressure, the first flow rate, and the opening of the exhaust valve 87 so as to keep the nitrogen atmosphere. The exhaust amount of the exhaust fan 89 was adjusted. Further, a second gas (nitrogen) is supplied to the second space 30a of the wall body 30 with a second pressure of 200 PaG (atmospheric pressure of the first space 11a + 50 Pa) and a second flow rate of 1.2 L / min. did. In this state, hydrogen flowing out from the second bearing 50 of the wall body 30 was not detected. The adjustment of the second pressure and the second flow rate and the measurement of the outflowing hydrogen were performed for one wall body 30.

実施例２においても、搬送路３２９，４２９を介してトレイ９５を炉体１１に搬出入する点、吸引装置３６７，４６７，３７７，４７７による吸引を行う点、第１空間１１ａの雰囲気を水素濃度１％，１２５０℃，２ＰａＧの窒素雰囲気に保つようにした点、壁体３０の第２空間３０ａに対して第２圧力を５ＰａＧ（第１空間１１ａの雰囲気の圧力＋３Ｐａ），第２流量を０．１Ｌ／分以下（測定目盛りの最小値以下）とした第２ガス（窒素）を供給した点以外は、実施例１と同様に測定を行った。この状態では、壁体３０の第２軸受５０から外部に流出する水素は検知されなかった。   Also in the second embodiment, the point where the tray 95 is carried into and out of the furnace body 11 through the conveyance paths 329 and 429, the point where suction is performed by the suction devices 367, 467, 377 and 477, and the atmosphere of the first space 11a is the hydrogen concentration. A nitrogen atmosphere of 1%, 1250 ° C., and 2 PaG is maintained. The second pressure is 5 PaG (the pressure of the atmosphere in the first space 11 a +3 Pa) and the second flow rate is 0 with respect to the second space 30 a of the wall body 30. Measurement was performed in the same manner as in Example 1 except that the second gas (nitrogen) was supplied at 1 L / min or less (less than the minimum value of the measurement scale). In this state, hydrogen flowing out from the second bearing 50 of the wall body 30 was not detected.

以上のことから、実施例１，２のいずれにおいても、第１空間１１ａの雰囲気と比べて高圧のガスを第２空間供給口３３を介して第２空間３０ａ内に供給することで、炉体１１の内部から外部空間への壁体３０を介した雰囲気の流出を抑制できることが確認できた。   From the above, in both the first and second embodiments, the furnace body is supplied with the high-pressure gas in the second space 30a through the second space supply port 33 as compared with the atmosphere in the first space 11a. It was confirmed that the outflow of the atmosphere through the wall 30 from the interior of 11 to the external space could be suppressed.

本発明は、被処理物を搬送しながら焼成などの熱処理を行う必要のある産業、例えばセラミックスコンデンサーなどのセラミックス製品の製造産業などに利用可能である。    INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used in industries that require heat treatment such as firing while conveying an object to be processed, such as manufacturing industries for ceramic products such as ceramic capacitors.

１０ ローラーハースキルン、１１ 炉体、１１ａ 第１空間、１２ 前端面、１３ 後端面、１４，１５ 開口、１６，１７ 貫通孔、１８ 第１空間供給口、１９ 排気口、２０ ヒーター、２２ 従動側カバー、２４ 従動側支持ローラー、２６ 駆動側カバー、２６ａ 第３空間、２７ 開口、２８ 駆動側支持ローラー、３０ 壁体、３０ａ 第２空間、３１ 第１壁部、３２ 第２壁部、３３ 第２空間供給口、４０ 第１軸受、４１ 内輪、４２ 外輪、４３ 球体、４４，４５ 遮蔽部材、４４ａ，４５ａ 隙間、５０ 第２軸受、５１ 内輪、５２ 外輪、５３ 球体、５４，５５ 遮蔽部材、６０ 回転体、６１ 搬送ローラー、６１ａ 突出部、６２ ローラーキャップ、６２ａ，６２ｂ 切り込み部、６３ 連結シャフト、６４ ホルダー、６４ａ〜６４ｄ 切り込み部、６５ 駆動軸、６６ スプロケット、６７ａ〜６７ｃ 差込ピン、６８ａ〜６８ｃ 止めネジ、６９ａ〜６９ｃ Ｃ型止め輪、７０ ガス供給装置、７１ 第１ガス供給源、７２ 第２ガス供給源、７３ 共通配管、７４ 第１配管、７５ 第２配管、７６ａ，７６ｂ 接続部、８０ フィルター、８１ 流量計、８２ 第１減圧弁、８３ 第２減圧弁、８４ 第１流量調整弁、８５ 第２流量調整弁、８６ 排気装置、８７ 排気弁、８８ 吸気弁、８９ 排気ファン、９０ モーター、９１ 駆動軸、９２ ローラーチェーン、９５ トレイ、９６ 被処理物、１５０，２５０ 一端側軸受、１５６ 軸シール、１５７ 本体部、１５７ａ シールリップ部、１５７ｂ ダストリップ部、１５８ 金属環、２５９ バネ，２６６ａ，２６６ｂ スプロケット、２９２ａ，２９２ｂ ローラーチェーン、２９３ａ，２９３ｂ カムクラッチ、２９４ 支持部、３１０ ローラーハースキルン、３２９，４２９ 搬送路、３３０，４３０ 第１搬送路、３３５，４３５ 搬送ローラー、３４０，４４０ 第２搬送路、３５０，４５０ 第３搬送路、３５２，４５２ 搬送口、３６０，４６０ 上方空間形成部、３６２，４６２ 外壁、３６３，４６３ 上方空間、３６４ａ，３６４ｂ，４６４ａ，４６４ｂ 区画部材、３６５ａ〜３６５ｃ，４６５ａ〜４６５ｃ 区画空間、３６６，４６６ 吸引口、３６７，４６７ 吸引装置、３７０，４７０ 下方空間形成部、３７２，４７２ 外壁、３７３，４７３ 下方空間、３７４ａ，３７４ｂ，４７４ａ，４７４ｂ 区画部材、３７５ａ〜３７５ｃ，４７５ａ〜４７５ｃ 区画空間、３７６，４７６ 吸引口、３７７，４７７ 吸引装置、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４ 線分。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Roller hearth kiln, 11 Furnace body, 11a 1st space, 12 Front end surface, 13 Rear end surface, 14, 15 Opening, 16, 17 Through-hole, 18 1st space supply port, 19 Exhaust port, 20 Heater, 22 Driven side Cover, 24 Drive side support roller, 26 Drive side cover, 26a 3rd space, 27 opening, 28 Drive side support roller, 30 Wall body, 30a 2nd space, 31 1st wall part, 32 2nd wall part, 33rd 2 space supply port, 40 first bearing, 41 inner ring, 42 outer ring, 43 sphere, 44, 45 shielding member, 44a, 45a clearance, 50 second bearing, 51 inner ring, 52 outer ring, 53 sphere, 54, 55 shielding member, 60 Rotating body, 61 Conveying roller, 61a Protruding part, 62 Roller cap, 62a, 62b Notch part, 63 Connecting shaft, 64 Holder, 6 a to 64d cut portion, 65 drive shaft, 66 sprocket, 67a to 67c insertion pin, 68a to 68c set screw, 69a to 69c C-type retaining ring, 70 gas supply device, 71 first gas supply source, 72 second gas Supply source, 73 Common piping, 74 First piping, 75 Second piping, 76a, 76b Connection portion, 80 Filter, 81 Flow meter, 82 First pressure reducing valve, 83 Second pressure reducing valve, 84 First flow rate adjusting valve, 85 Second flow rate adjusting valve, 86 exhaust device, 87 exhaust valve, 88 intake valve, 89 exhaust fan, 90 motor, 91 drive shaft, 92 roller chain, 95 tray, 96 workpiece, 150, 250 one end side bearing, 156 shaft Seal, 157 Body, 157a Seal lip, 157b Dustrip, 158 Metal ring, 259 Spring, 266a, 2 6b Sprocket, 292a, 292b Roller chain, 293a, 293b Cam clutch, 294 Supporting part, 310 Roller heart kiln, 329, 429 Transport path, 330, 430 First transport path, 335, 435 Transport roller, 340, 440 Second transport Road, 350, 450 Third transport path, 352, 452 Transport port, 360, 460 Upper space forming part, 362, 462 Outer wall, 363, 463 Upper space, 364a, 364b, 464a, 464b Partition member, 365a-365c, 465a ~ 465c Partition space, 366, 466 Suction port, 367, 467 Suction device, 370, 470 Lower space forming part, 372, 472 Outer wall, 373, 473 Lower space, 374a, 374b, 474a, 474b Partition member, 375a-375c, 475a-475c Compartment space, 376,476 suction port, 377,477 suction device, D1, D2, D3, D4 line segment.

Claims (13)

処理空間としての第１空間を形成する炉体と、
前記第１空間に連通する第２空間を内部に形成し、第１壁部と、第２壁部と、該第２空間内に外部からガスを供給可能な第２空間供給口と、を有する壁体と、
前記第１空間内で被処理物を搬送可能であり、該第１空間側から外部空間に向かって前記第１壁部，前記第２空間，前記第２壁部をこの順に貫通して一端が該第２壁部から突出している回転体と、
前記回転体の前記一端側と接続されて該回転体を回転駆動可能な駆動手段と、
前記第１壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、該回転体を回転可能に支持し且つ前記回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間を有する転がり軸受である第１軸受と、
前記第２壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、前記第１軸受と比べてシール性の高いシール部材と、
前記炉体と前記第１壁部との間に前記第１空間及び前記第２空間と連通する第３空間を形成し、前記回転体に貫通されている第３空間形成部材と、
を備えた熱処理装置を用いた熱処理方法であって、
前記駆動手段が前記回転体を回転駆動させることで前記処理空間内で前記被処理物を搬送しながら熱処理を行う工程、
を含み、
前記工程では、前記第１空間の雰囲気と比べて高圧のガスを前記第２空間供給口を介して前記第２空間内に供給する、
熱処理方法。 A furnace body forming a first space as a processing space;
A second space communicating with the first space is formed inside, and has a first wall portion, a second wall portion, and a second space supply port through which gas can be supplied from the outside into the second space. A wall,
The object to be processed can be transported in the first space, and passes through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side to the external space, and has one end thereof. A rotating body protruding from the second wall,
Drive means connected to the one end side of the rotating body and capable of rotating the rotating body;
A first bearing that is a rolling bearing that is provided in a portion through which the rotating body passes through the first wall, supports the rotating body rotatably, and has a gap through which gas can flow in the penetrating direction of the rotating body; ,
A seal member that is provided in a portion through which the rotating body passes through the second wall portion, and has a higher sealing performance than the first bearing;
Forming a third space communicating with the first space and the second space between the furnace body and the first wall, and a third space forming member penetrating the rotating body;
A heat treatment method using a heat treatment apparatus comprising:
A step of performing a heat treatment while conveying the object to be processed in the processing space by the driving means rotating the rotating body;
Including
In the step, a gas having a pressure higher than that of the atmosphere in the first space is supplied into the second space through the second space supply port.
Heat treatment method. 前記炉体は、前記第１空間内の雰囲気を排気可能な排気口を有し、
前記工程では、前記第１空間の雰囲気が所定の圧力に保たれるように、前記排気口から前記第１空間の雰囲気を排気すると共に前記第２空間にガスを供給する、
請求項１に記載の熱処理方法。 The furnace body has an exhaust port capable of exhausting the atmosphere in the first space,
In the step, the atmosphere of the first space is exhausted from the exhaust port and gas is supplied to the second space so that the atmosphere of the first space is maintained at a predetermined pressure.
The heat treatment method according to claim 1. 前記炉体は、前記第１空間内にガスを供給可能な第１空間供給口を有し、
前記工程では、前記第１空間の雰囲気が所定の圧力に保たれるように、前記排気口から前記第１空間の雰囲気を排気すると共に前記第１空間及び前記第２空間にガスを供給する、
請求項２に記載の熱処理方法。 The furnace body has a first space supply port capable of supplying gas into the first space,
In the step, the atmosphere of the first space is exhausted from the exhaust port and gas is supplied to the first space and the second space so that the atmosphere of the first space is maintained at a predetermined pressure.
The heat treatment method according to claim 2. 請求項３に記載の熱処理方法であって、
前記熱処理装置は、
前記第１空間供給口に接続された第１配管と、
前記第２空間供給口に接続された第２配管と、
前記第１配管及び前記第２配管に接続された共通配管と、
を備え、
前記工程では、前記共通配管にガスを供給することで、該共通配管及び第２配管を介して前記第１空間の雰囲気と比べて高圧のガスを前記第２空間内に供給し、前記共通配管及び前記第１配管を介してガスを第１空間内に供給する、
熱処理方法。 The heat treatment method according to claim 3,
The heat treatment apparatus comprises:
A first pipe connected to the first space supply port;
A second pipe connected to the second space supply port;
A common pipe connected to the first pipe and the second pipe;
With
In the step, by supplying a gas to the common pipe, a high-pressure gas is supplied to the second space through the common pipe and the second pipe, compared to the atmosphere in the first space, and the common pipe is provided. And supplying gas into the first space via the first pipe,
Heat treatment method. 請求項４に記載の熱処理方法であって、
前記熱処理装置は、
前記第１配管に接続され該第１配管の流量を調整する第１流量調整弁と、
前記第２配管に接続され該第２配管の流量を調整する第２流量調整弁と、
を備えており、
前記工程では、前記共通配管にガスを供給することで、該共通配管及び前記第１配管を介して前記第１流量調整弁で流量が調整されたガスを前記第１空間に供給すると共に、該
共通配管及び前記第２配管を介して前記第２流量調整弁で流量が調整されたガスを前記第２空間に供給する、
熱処理方法。 The heat treatment method according to claim 4,
The heat treatment apparatus comprises:
A first flow rate adjustment valve connected to the first pipe for adjusting the flow rate of the first pipe;
A second flow rate adjusting valve connected to the second pipe for adjusting the flow rate of the second pipe;
With
In the step, by supplying gas to the common pipe, the gas whose flow rate is adjusted by the first flow rate adjustment valve is supplied to the first space via the common pipe and the first pipe, and Supplying the gas whose flow rate is adjusted by the second flow rate adjusting valve to the second space via a common pipe and the second pipe;
Heat treatment method. 請求項５に記載の熱処理方法であって、
前記熱処理装置は、
前記共通配管と前記第１配管との少なくとも一方に設けられ、且つ前記第１流量調整弁よりも上流側に設けられた第１減圧弁と、
前記第２配管のうち前記第２流量調整弁よりも上流側に設けられた第２減圧弁と、
を備え、
前記第１減圧弁は、下流側のガスの圧力を前記第１空間の雰囲気よりも高圧の第１圧力まで減圧し、
前記第２減圧弁は、下流側のガスの圧力を前記第１空間の雰囲気よりも高圧の第２圧力まで減圧し、
前記工程では、前記第１圧力及び前記第２圧力を超える圧力のガスを前記共通配管に供給する、
熱処理方法。 The heat treatment method according to claim 5,
The heat treatment apparatus comprises:
A first pressure reducing valve provided on at least one of the common pipe and the first pipe, and provided upstream of the first flow rate adjusting valve;
A second pressure reducing valve provided upstream of the second flow rate adjustment valve in the second pipe;
With
The first pressure reducing valve reduces the pressure of the gas on the downstream side to a first pressure higher than the atmosphere of the first space,
The second pressure reducing valve reduces the pressure of the gas on the downstream side to a second pressure higher than the atmosphere of the first space,
In the step, a gas having a pressure exceeding the first pressure and the second pressure is supplied to the common pipe.
Heat treatment method. 処理空間としての第１空間を形成する炉体と、
前記第１空間に連通する第２空間を内部に形成し、第１壁部と、第２壁部と、該第２空間内に外部からガスを供給可能な第２空間供給口と、を有する壁体と、
前記第１空間内で被処理物を搬送可能であり、該第１空間側から外部空間に向かって前記第１壁部，前記第２空間，前記第２壁部をこの順に貫通して一端が該第２壁部から突出している回転体と、
前記回転体の前記一端側と接続されて該回転体を回転駆動可能な駆動手段と、
前記第１壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、該回転体を回転可能に支持し且つ前記回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間を有する転がり軸受である第１軸受と、
前記第２壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、前記第１軸受と比べてシール性の高いシール部材と、
前記被処理物を前記外部空間と前記第１空間との間で搬送する搬送路と、
前記搬送路の鉛直上側に設けられ、鉛直下側に開口して該搬送路内に連通する上方空間を形成する上方空間形成部と、
前記搬送路の鉛直下側に設けられ、鉛直上側に開口して該搬送路内に連通する下方空間を形成する下方空間形成部と、
を備えた熱処理装置を用いた熱処理方法であって、
前記駆動手段が前記回転体を回転駆動させることで前記処理空間内で前記被処理物を搬送しながら熱処理を行う工程、
を含み、
前記工程では、前記第１空間の雰囲気と比べて高圧のガスを前記第２空間供給口を介して前記第２空間内に供給し、
前記工程では、前記第１空間の雰囲気を外気より高い温度に加熱し、前記上方空間と前記下方空間との少なくとも一方を吸引する、
熱処理方法。 A furnace body forming a first space as a processing space;
A second space communicating with the first space is formed inside, and has a first wall portion, a second wall portion, and a second space supply port through which gas can be supplied from the outside into the second space. A wall,
The object to be processed can be transported in the first space, and passes through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side to the external space, and has one end thereof. A rotating body protruding from the second wall,
Drive means connected to the one end side of the rotating body and capable of rotating the rotating body;
A first bearing that is a rolling bearing that is provided in a portion through which the rotating body passes through the first wall, supports the rotating body rotatably, and has a gap through which gas can flow in the penetrating direction of the rotating body; ,
A seal member that is provided in a portion through which the rotating body passes through the second wall portion, and has a higher sealing performance than the first bearing;
A transport path for transporting the object to be processed between the external space and the first space;
An upper space forming portion that is provided on the vertical upper side of the conveyance path and that forms an upper space that opens to the vertical lower side and communicates with the conveyance path;
A lower space forming portion that is provided on the vertically lower side of the conveying path, and that forms a lower space that opens to the upper vertical side and communicates with the conveying path;
A heat treatment method using a heat treatment apparatus comprising :
A step of performing a heat treatment while conveying the object to be processed in the processing space by the driving means rotating the rotating body;
Including
In the step, a gas having a pressure higher than that of the atmosphere in the first space is supplied into the second space through the second space supply port,
In the step, the atmosphere of the first space is heated to a temperature higher than the outside air, and at least one of the upper space and the lower space is sucked.
Heat treatment method. 処理空間内で被処理物に対する熱処理を行う熱処理装置であって、
前記処理空間としての第１空間を形成する炉体と、
前記第１空間に連通する第２空間を内部に形成し、第１壁部と、第２壁部と、該第２空間内に外部からガスを供給可能な第２空間供給口と、を有する壁体と、
前記第１空間内で前記被処理物を搬送可能であり、該第１空間側から外部空間に向かって前記第１壁部，前記第２空間，前記第２壁部をこの順に貫通して一端が該第２壁部から突出している回転体と、
前記回転体の前記一端側と接続されて該回転体を回転駆動可能な駆動手段と、
前記第１壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、該回転体を回転可能に支持し且つ前記回転体の貫通方向にガスが流通可能な隙間を有する転がり軸受である第１軸受と、
前記第２壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、前記第１軸受と比べてシール性の高いシール部材と、
前記炉体と前記第１壁部との間に前記第１空間及び前記第２空間と連通する第３空間を形成し、前記回転体に貫通されている第３空間形成部材と、
を備えた熱処理装置。 A heat treatment apparatus for performing heat treatment on an object to be processed in a processing space,
A furnace body forming a first space as the processing space;
A second space communicating with the first space is formed inside, and has a first wall portion, a second wall portion, and a second space supply port through which gas can be supplied from the outside into the second space. A wall,
The object to be processed can be transported in the first space, and passes through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side to the external space, and ends at one end. A rotating body protruding from the second wall,
Drive means connected to the one end side of the rotating body and capable of rotating the rotating body;
A first bearing that is a rolling bearing that is provided in a portion through which the rotating body passes through the first wall, supports the rotating body rotatably, and has a gap through which gas can flow in the penetrating direction of the rotating body; ,
A seal member that is provided in a portion through which the rotating body passes through the second wall portion, and has a higher sealing performance than the first bearing;
Forming a third space communicating with the first space and the second space between the furnace body and the first wall, and a third space forming member penetrating the rotating body;
The heat processing apparatus provided with. 請求項８に記載の熱処理装置であって、
前記第１軸受よりも前記回転体の前記一端側を回転可能に支持する一端側軸受、
を備え、
前記シール部材は、軸シールである、
熱処理装置。 The heat treatment apparatus according to claim 8,
One end side bearing that rotatably supports the one end side of the rotating body from the first bearing;
With
The seal member is a shaft seal;
Heat treatment equipment. 前記シール部材は、前記第２壁部を前記回転体が貫通する部分に設けられ、該回転体を回転可能に支持し且つ前記第１軸受と比べてシール性の高い転がり軸受である第２軸受である、
請求項８に記載の熱処理装置。 The seal member is a rolling bearing that is provided in a portion where the rotating body passes through the second wall portion, supports the rotating body in a rotatable manner, and is a rolling bearing having a higher sealing performance than the first bearing. Is,
The heat treatment apparatus according to claim 8. 前記第２軸受は、内輪と、外輪と、該内輪及び該外輪の間に収納された複数の転動体と、該内輪の軸方向に該複数の転動体からずれた位置で該内輪と該外輪との間に配置された遮蔽部材と、を有しており、
前記第２軸受の遮蔽部材は、前記内輪と前記外輪との間に前記第１軸受の前記隙間と比べて小さい隙間を形成しているか、又は前記内輪と前記外輪との間を封止している、
請求項１０に記載の熱処理装置。 The second bearing includes an inner ring, an outer ring, a plurality of rolling elements housed between the inner ring and the outer ring, and the inner ring and the outer ring at positions shifted from the plurality of rolling elements in the axial direction of the inner ring. And a shielding member disposed between and
The shielding member of the second bearing forms a gap smaller than the gap of the first bearing between the inner ring and the outer ring, or seals between the inner ring and the outer ring. Yes,
The heat treatment apparatus according to claim 10. 前記第１軸受は、内輪と、外輪と、該内輪及び該外輪の間に収納された複数の転動体と、該内輪の軸方向に該複数の転動体からずれた位置で該内輪と該外輪との間に配置された遮蔽部材と、を有しており、
前記第１軸受の遮蔽部材は、前記内輪と前記外輪との間に前記隙間を形成している、
請求項１１に記載の熱処理装置。 The first bearing includes an inner ring, an outer ring, a plurality of rolling elements housed between the inner ring and the outer ring, and the inner ring and the outer ring at positions shifted from the plurality of rolling elements in the axial direction of the inner ring. And a shielding member disposed between and
The shielding member of the first bearing forms the gap between the inner ring and the outer ring.
The heat treatment apparatus according to claim 11. 前記第１軸受及び前記第２軸受は、ボールベアリングである、
請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の熱処理装置。 The first bearing and the second bearing are ball bearings,
The heat processing apparatus of any one of Claims 10-12.
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