KR200483965Y1 - Heat treatment apparatus - Google Patents
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Abstract
본 고안은 노체의 내부에서 외부 공간으로 분위기가 유출되는 것을 보다 억제하는 것을 과제로 한다.
본 고안에 따른 열처리 장치에 상당하는 롤러 하스 킬른은, 제1 공간(11a)을 형성하는 노체(11)와, 제1 공간(11a)에 연통되는 제2 공간(30a)을 내부에 형성하며, 제1 벽부(31)와, 제2 벽부(32)를 갖는 벽체(30)를 구비하고 있다. 또한, 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 반송할 수 있는 회전체(60)가 제1 공간(11a) 측으로부터 외부 공간을 향하여 제1 벽부(31), 제2 공간(30a), 제2 벽부(32)를 이 순서로 관통하여 일단이 제2 벽부(32)로부터 돌출되어 있다. 제1 벽부(31)에는, 회전체(60)를 회전 가능하게 지지하면서 회전체(60)의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극(44a, 45a)을 갖는 제1 베어링(40)이 설치되어 있다. 또한 제2 벽부(32)에는 회전체(60)를 회전 가능하게 지지하면서 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 제2 베어링(50)이 설치되어 있다.The present invention aims to further suppress the outflow of the atmosphere from the inside of the furnace body to the outside space.
The roller hearth kiln corresponding to the heat treatment apparatus according to the present invention has a furnace body 11 forming a first space 11a and a second space 30a communicating with the first space 11a, And a wall 30 having a first wall portion 31 and a second wall portion 32. The rotating body 60 capable of transporting the article 96 in the first space 11a is provided with the first wall 31 and the second space 31 toward the outer space from the first space 11a side, 30a and the second wall portion 32 in this order so that one end thereof protrudes from the second wall portion 32. [ The first wall portion 31 is provided with a first bearing 40 having gaps 44a and 45a through which the gas can flow in the direction of penetration of the rotating body 60 while rotatably supporting the rotating body 60 . The second wall portion 32 is provided with a second bearing 50 having a higher sealability than the first bearing 40 while rotatably supporting the rotating body 60.
Description
본 고안은 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus.
종래, 세라믹스 제품 등의 피처리물을 롤러에 의해 반송하면서 피처리물을 열처리하는 열처리 장치가 알려져 있다. 예컨대, 특허문헌 1에는, 터널형의 노체(爐體)와, 노체의 내부 공간에 설치된 다수의 롤러와, 피처리물을 소성하기 위한 가스 버너를 구비한 롤러 하스 킬른(roller hearth kiln)(롤러 하스 연속로)이 기재되어 있다.BACKGROUND ART [0002] Conventionally, there is known a heat treatment apparatus for heat-treating a material to be treated while conveying a material to be treated such as a ceramic product by a roller. For example, Patent Document 1 discloses a roller hearth kiln (roller hearth kiln) having a tunnel-shaped furnace body, a plurality of rollers provided in the inner space of the furnace body, and a gas burner for burning the object to be processed Haas continuous line) is described.
그런데, 통상 이러한 열처리 장치에 있어서, 롤러 등을 포함하는 회전체는 노체를 관통하고 있어, 노체 외부에 배치된 모터의 구동축과 접속되어 있다. 모터를 노체 외부에 배치하는 이유는, 노체의 내부가 예컨대 고온으로 되는 경우가 있는 등, 노체 내부의 환경이 모터를 배치하기에 알맞지 않기 때문이다. 이 때문에, 노체에는 회전체가 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 그리고, 이러한 관통 구멍이 존재함으로써, 회전체의 축 방향을 따라서 노체 내부의 분위기가 노 밖으로 유출되어 버리는 경우가 있었다.However, in such a heat treatment apparatus, the rotating body including the roller passes through the furnace body, and is connected to the drive shaft of the motor disposed outside the furnace body. The reason for disposing the motor outside the furnace body is that the inside of the furnace body is, for example, heated to a high temperature, and the environment inside the furnace body is not suitable for disposing the motor. For this reason, a through hole through which the rotating body passes is formed in the furnace body. The presence of such through holes sometimes caused the atmosphere inside the furnace body to flow out of the furnace along the axial direction of the rotating body.
본 고안은 이러한 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 노체의 내부에서 외부 공간으로 분위기가 유출되는 것을 보다 억제하는 것을 주된 목적으로 한다.The present invention has been made in order to solve such a problem, and its main purpose is to further suppress the outflow of the atmosphere from the inside of the furnace body to the outside space.
본 고안의 열처리 장치는,In the heat treatment apparatus of the present invention,
처리 공간 내에서 피처리물에 대한 열처리를 행하는 열처리 장치로서, A heat treatment apparatus for performing a heat treatment on an object to be processed in a processing space,
상기 처리 공간으로서의 제1 공간을 형성하는 노체와,A furnace body forming a first space as the processing space,
상기 제1 공간에 연통되는 제2 공간을 내부에 형성하며, 제1 벽부와, 제2 벽부와, 상기 제2 공간 내에 외부로부터 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구를 갖는 벽체와,A wall having a first space communicating with the first space and having a first wall portion, a second wall portion, and a second space supply port capable of supplying gas from the outside in the second space,
상기 제1 공간 내에서 상기 피처리물을 반송할 수 있으며, 상기 제1 공간 측으로부터 외부 공간을 향하여 상기 제1 벽부, 상기 제2 공간, 상기 제2 벽부를 이 순서로 관통하여 일단이 상기 제2 벽부로부터 돌출되어 있는 회전체와,The first space, the second space, and the second wall in this order from the first space side toward the outer space, so that one end of the first space can pass through the first space, A rotating body protruding from the two wall portions,
상기 회전체의 상기 일단측과 접속되어 상기 회전체를 회전 구동할 수 있는 구동 수단과,Driving means connected to the one end side of the rotating body for rotationally driving the rotating body,
상기 제1 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 회전체를 회전 가능하게 지지하면서 상기 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 갖는 구름 베어링인 제1 베어링과,A first bearing which is a rolling bearing provided at a portion through which the rotating body passes the first wall portion and which has a gap through which gas can flow in the direction of passage of the rotating body while rotatably supporting the rotating body;
상기 제2 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 제1 베어링과 비교하여 시일성이 높은 시일 부재를 포함하는 것이다.And a seal member which is provided at the portion through which the second wall portion penetrates the rotating body and has a higher sealing property than the first bearing.
이 본 고안의 열처리 장치는, 처리 공간으로서의 제1 공간을 형성하는 노체와, 상기 제1 공간에 연통하는 제2 공간을 내부에 형성하며, 제1 벽부와, 제2 벽부와, 상기 제2 공간 내에 외부로부터 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구를 갖는 벽체를 포함하고 있다. 또한, 제1 공간 내에서 피처리물을 반송할 수 있는 회전체가, 제1 공간 측으로부터 외부 공간을 향하여 제1 벽부, 제2 공간, 제2 벽부를 이 순서로 관통하여 일단이 제2 벽부로부터 돌출되어 있다. 그리고, 이 회전체의 일단측과 접속된 구동 수단이 회전체를 회전 구동시킴으로써, 제1 공간 내에서 회전체에 의해 피처리물을 반송하면서 제1 공간 내에서 피처리물의 열처리를 행할 수 있다. 이때, 회전체가 제1 벽부를 관통하는 부분에는, 회전체를 회전 가능하게 지지하면서 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 갖는 구름 베어링인 제1 베어링이 마련되어 있다. 또한, 회전체가 제2 벽부를 관통하는 부분에는, 제1 베어링과 비교하여 시일성이 높은 시일 부재가 마련되어 있다. 이 때문에, 예컨대 열처리 중에 있어서, 제1 공간의 분위기와 비교하여 고압의 가스를 제2 공간 공급구를 통해 상기 제2 공간 내에 공급함으로써, 제2 공간에 공급된 가스는 시일 부재보다도 시일성이 낮은 제1 베어링의 간극으로부터 제1 공간 측을 향하려고 한다. 이 때문에, 제1 공간으로부터 제1 베어링의 간극을 지나 분위기 가스가 유출되는 것을, 제2 공간으로부터 제1 공간을 향하려고 하는 가스가 억누르게 된다. 따라서, 노체의 내부에서 외부 공간으로 분위기가 유출되는 것을 보다 억제할 수 있다.The heat treatment apparatus of the present invention includes a furnace body defining a first space as a processing space and a second space communicating with the first space, the first furnace body including a first wall portion, a second wall portion, And a second space supply port through which gas can be supplied from the outside. The rotating body capable of transporting the object to be processed in the first space passes through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side toward the outer space, As shown in Fig. Then, the driving means connected to one end side of the rotating body rotationally drives the rotating body, so that the object to be processed can be heat-treated in the first space while the object to be processed is carried by the rotating body in the first space. At this time, a first bearing, which is a rolling bearing having a gap through which the gas can flow in the direction of penetration of the rotating body, is provided at a portion of the rotating body that passes through the first wall portion while rotatably supporting the rotating body. Further, at a portion of the rotating body through which the second wall portion passes, there is provided a seal member having a higher sealability than the first bearing. Therefore, for example, during the heat treatment, by supplying the high-pressure gas into the second space through the second space supply port as compared with the atmosphere in the first space, the gas supplied to the second space has a lower sealability From the gap of the first bearing to the first space side. As a result, gas flowing from the first space to the first space through the clearance of the first bearing is suppressed from flowing from the second space to the first space. Therefore, the outflow of the atmosphere from the inside of the furnace body to the outside space can be further suppressed.
여기서, 시일 부재가 「제1 베어링과 비교하여 시일성이 높다」란, 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극이, 제1 베어링과 비교하여 시일 부재 쪽이 작은 것을 의미한다. 또한, 시일 부재가 「제1 베어링과 비교하여 시일성이 높다」란, 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 시일 부재가 갖지 않는 (밀봉되어 있는) 경우도 포함한다. 「제1 공간에 연통되는 제2 공간」은 제1 공간과 제2 공간이 바로 연통되어 있는 경우나, 제1 공간과 제2 공간이 다른 공간(단, 외부 공간 이외의 공간)을 통해 연통되어 있는 경우를 포함한다.Here, "the seal member has a higher sealability than the first bearing" means that the gap through which the gas can flow in the penetrating direction of the rotating member is smaller than the seal member, as compared with the first bearing. Further, the seal member has a "higher sealability compared to the first bearing" includes a case in which the seal member does not have a gap through which the gas can flow in the passage direction of the rotating body (sealed). The " second space communicating with the first space " includes a case where the first space and the second space are directly communicated with each other, or the first space and the second space are communicated with each other through a space (other than the space outside) .
본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 제1 베어링보다도 상기 회전체의 상기 일단측을 회전 가능하게 지지하는 일단측 베어링을 구비하고, 상기 시일 부재는, 축 시일일 수 있다. 이 경우에, 상기 일단측 베어링은, 상기 제2 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련될 수 있다. 또한, 상기 일단측 베어링은, 외부 공간에서 상기 회전체를 지지할 수 있다.In the heat treatment apparatus of the present invention, there is provided a one-end bearing which rotatably supports the one end side of the rotating body relative to the first bearing, and the seal member may be a shaft seal. In this case, the one-end bearing may be provided at a portion through which the rotating body passes the second wall portion. Further, the one-end bearing can support the rotating body in an outer space.
본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 시일 부재는, 상기 제2 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 회전체를 회전 가능하게 지지하면서 상기 제1 베어링과 비교하여 시일성이 높은 구름 베어링인 제2 베어링일 수 있다. 이와 같이 함으로써, 전술한 축 시일의 역할과 일단측 베어링의 역할을 제2 베어링이 겸할 수 있다.In the heat treatment apparatus of the present invention, the seal member is provided on a portion of the rotating body through which the second wall portion penetrates, and while the rotatable member is rotatably supported, the seal member Or a second bearing that is a bearing. By doing so, the role of the above-described shaft seal and the role of the one-side bearing can be combined by the second bearing.
본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 제2 베어링은, 내륜과, 외륜과, 상기 내륜 및 상기 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체(轉動體)와, 상기 내륜의 축 방향으로 상기 복수의 전동체로부터 어긋난 위치에서 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 배치된 차폐 부재를 갖고 있고, 상기 제2 베어링의 차폐 부재는, 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 상기 제1 베어링의 상기 간극과 비교하여 작은 간극을 형성하고 있거나, 또는 상기 내륜과 상기 외륜의 사이를 밀봉하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제2 베어링에 있어서 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을, 차폐 부재를 이용하여 용이하게 작게 하거나 또는 밀봉할 수 있다. 이 때문에, 제2 공간의 분위기(예컨대 제2 공간 공급구로부터 공급된 가스)가 제2 베어링의 간극을 지나 외부 공간으로 유출되는 것을 보다 억제할 수 있다. 한편, 제2 베어링의 차폐 부재는 제2 베어링의 내륜과 외륜의 사이를 밀봉하고 있는 것이 바람직하다.In the heat treatment apparatus of the present invention, the second bearing includes an inner ring, an outer ring, a plurality of rolling bodies accommodated between the inner ring and the outer ring, and a plurality of rolling elements And a shielding member disposed between the inner ring and the outer ring at a position displaced from the sieve, wherein the shielding member of the second bearing is disposed between the inner ring and the outer ring in comparison with the gap of the first bearing A small clearance may be formed, or the space between the inner ring and the outer ring may be sealed. By doing so, the gap through which the gas can flow in the direction of penetration of the rotating body in the second bearing can be easily reduced or sealed by using the shielding member. Therefore, the atmosphere in the second space (for example, the gas supplied from the second space supply port) can be further prevented from flowing out to the outer space through the gap of the second bearing. On the other hand, it is preferable that the shielding member of the second bearing seals between the inner ring and the outer ring of the second bearing.
제2 베어링이 차폐 부재를 갖는 양태의 본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 제1 베어링은, 내륜과, 외륜과, 상기 내륜 및 상기 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체와, 상기 내륜의 축 방향으로 상기 복수의 전동체로부터 어긋난 위치에서 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 배치된 차폐 부재를 갖고 있고, 상기 제1 베어링의 차폐 부재는, 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 상기 간극을 형성하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제1 베어링에 있어서 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을, 차폐 부재를 이용하여 용이하게 작게 할 수 있다. 이에 따라, 가스가 제2 공간으로부터 제1 공간을 향하게 하도록 하면서, 제1 베어링의 간극을 통해 제2 공간으로부터 제1 공간으로 먼지 등의 미립자가 침입하는 것을 억제하기 쉽다.In the heat treatment apparatus of the present invention in which the second bearing has the shielding member, the first bearing includes an inner ring, an outer ring, a plurality of rolling elements housed between the inner ring and the outer ring, And a shielding member disposed between the inner ring and the outer ring at a position displaced from the plurality of rolling elements in the direction of the outer ring, wherein the shielding member of the first bearing forms the gap between the inner ring and the outer ring It is good. By doing so, the gap through which the gas can flow in the direction of penetration of the rotating body in the first bearing can be easily reduced by using the shielding member. Thus, it is easy to inhibit the inflow of fine particles such as dust from the second space to the first space through the gap of the first bearing while allowing the gas to direct from the second space to the first space.
본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 제1 베어링 및 상기 제2 베어링은, 볼 베어링으로 하여도 좋다. 즉, 상기 제1 베어링 및 상기 제2 베어링의 각각은, 내륜과, 외륜과, 상기 내륜 및 상기 외륜의 사이에 수납된 복수의 구형의 전동체를 갖는 것으로 하더라도 좋다. 한편, 제1 베어링 및 상기 제2 베어링은 볼 베어링에 한정되지 않고, 예컨대 전동체가 원기둥형인 것으로 하여도 좋다. 전동체는, 자신이 회전함으로써 내륜이 회전하는 등, 외륜과 내륜과의 상대적인 위치 어긋남을 가능하게 하는 부재이면 된다.In the heat treatment apparatus of the present invention, the first bearing and the second bearing may be ball bearings. That is, each of the first bearing and the second bearing may have an inner ring, an outer ring, and a plurality of spherical rolling members accommodated between the inner ring and the outer ring. On the other hand, the first bearing and the second bearing are not limited to the ball bearings, and for example, the rolling bodies may be cylindrical. The rolling member may be a member capable of relative displacement between the outer ring and the inner ring, such as rotation of the inner ring by rotation of the rolling member.
본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 열처리는, 상기 피처리물의 가열 처리를 포함하고 있더라도 좋다. 여기서, 제1 공간에 있어서 가열 처리를 포함하는 처리가 행해지는 경우, 노체 내에서 회전체가 가열되는 등에 의해 제1 베어링이 가열되는 경우가 있다. 이러한 경우에, 제2 공간 공급구로부터 제2 공간에 가스를 공급하고, 제2 공간으로부터 제1 베어링의 간극을 통해 제1 공간을 향하는 흐름을 생기게 함으로써, 이 가스의 흐름에 의해 제1 베어링을 냉각하여 가열을 억제할 수 있다.In the heat treatment apparatus of the present invention, the heat treatment may include a heat treatment of the object to be treated. Here, when the treatment including the heat treatment is performed in the first space, the first bearing may be heated by, for example, heating the rotating body in the furnace body. In this case, a gas is supplied to the second space from the second space supply port, and a flow from the second space to the first space through the gap of the first bearing is generated, whereby the first bearing The heating can be suppressed by cooling.
본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 노체는, 상기 제1 공간 내의 분위기를 배기할 수 있는 배기구를 갖고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제2 공간 공급구, 제2 공간 및 제1 베어링의 간극을 통해 제1 공간 내에 가스를 공급하는 경우에, 배기구로부터 분위기를 배기함으로써 제1 공간 내의 분위기의 압력을 조정하기 쉽다. 이 경우에 있어서, 상기 배기구는 상기 노체의 외부에서 배기 밸브에 접속되어 있더라도 좋다. 또한, 본 고안의 열처리 장치는, 배기구에 접속되어 제1 공간 내의 분위기를 흡인하는 배기 수단을 구비하고 있더라도 좋다.In the heat treatment apparatus of the present invention, the furnace body may have an exhaust port capable of exhausting the atmosphere in the first space. In this way, when the gas is supplied into the first space through the gap between the second space supply port, the second space, and the first bearing, it is easy to adjust the pressure of the atmosphere in the first space by exhausting the atmosphere from the exhaust port. In this case, the exhaust port may be connected to the exhaust valve from the outside of the furnace body. Further, the heat treatment apparatus of the present invention may include an exhaust means connected to the exhaust port and sucking the atmosphere in the first space.
본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 노체는, 상기 제1 공간 내에 가스를 공급할 수 있는 제1 공간 공급구를 갖고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제2 공간 및 제1 베어링의 간극을 통하지 않고서 제1 공간에 가스를 공급할 수 있기 때문에, 제1 공간 내의 분위기(분위기 가스의 조성이나 기압 등)를 조정하기 쉽다. 한편, 제1 공간 공급구로부터 제1 공간에 공급하는 가스와, 제2 공간 공급구로부터 제2 공간에 공급하는 가스는, 조성 및 압력이 같더라도 좋고, 조성 및 압력 중 적어도 한쪽이 다르더라도 좋다.In the heat treatment apparatus of the present invention, the furnace body may have a first space supply port capable of supplying gas into the first space. In this case, since the gas can be supplied to the first space without passing through the gap between the second space and the first bearing, it is easy to adjust the atmosphere (composition of atmosphere gas, air pressure, etc.) in the first space. On the other hand, the gas supplied to the first space from the first space supply port and the gas supplied to the second space from the second space supply port may be the same in composition and pressure, and at least one of composition and pressure may be different .
본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 공간 공급구에 접속된 제1 배관과, 상기 제2 공간 공급구에 접속된 제2 배관과, 상기 제1 배관 및 상기 제2 배관에 접속된 공통 배관을 구비하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제1 공간 공급구를 통한 제1 공간으로의 가스 공급과, 제2 공간 공급구를 통한 제2 공간으로의 가스 공급 모두를, 공통 배관에 가스를 공급함으로써 함께 행할 수 있다. 한편, 제1 배관은, 공통 배관 이외의 경로로부터의 가스도 유통할 수 있는 것으로 하더라도 좋다. 이렇게 하면, 공통 배관에 가스를 공급함으로써 제1 공간과 제2 공간 모두에 가스를 공급할 수 있게 하면서, 제1 배관에 다른 경로로부터의 가스도 유통(공통 배관으로부터의 가스와 혼합)시킴으로써, 제1 공간 공급구를 통해 공급하는 가스와 제2 공간 공급구를 통해 공급하는 가스의 조성을 다르게 할 수 있다.The heat treatment apparatus of the present invention includes a first pipe connected to the first space supply port, a second pipe connected to the second space supply port, and a common pipe connected to the first pipe and the second pipe, It may be provided. By doing so, both gas supply to the first space through the first space supply port and gas supply to the second space through the second space supply port can be performed together by supplying gas to the common pipe. On the other hand, the first pipe may be configured so that gas from a path other than the common pipe can also flow. By doing so, it is possible to supply the gas to both the first space and the second space by supplying the gas to the common pipe, while also allowing the gas from the other path to flow into the first pipe (mixed with the gas from the common pipe) The composition of the gas supplied through the space supply port and the gas supplied through the second space supply port can be made different.
본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 배관에 접속되어 상기 제1 배관의 유량을 조정하는 제1 유량 조정 밸브와, 상기 제2 배관에 접속되어 상기 제2 배관의 유량을 조정하는 제2 유량 조정 밸브를 구비하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제1 공간 및 제2 공간으로 유입되는 가스의 유량을 조정할 수 있다.The heat treatment apparatus of the present invention includes a first flow rate adjusting valve connected to the first pipe to adjust a flow rate of the first pipe, a second flow rate adjusting valve connected to the second pipe, for adjusting a flow rate of the second pipe, A valve may be provided. By doing so, the flow rate of the gas flowing into the first space and the second space can be adjusted.
본 고안의 열처리 장치는, 상기 공통 배관과 상기 제1 배관 중 적어도 한쪽에 설치되고 상기 제1 유량 조정 밸브보다도 상류 측에 설치된 제1 감압 밸브와, 상기 제2 배관 중 상기 제2 유량 조정 밸브보다도 상류 측에 설치된 제2 감압 밸브를 구비하며, 상기 제1 감압 밸브는, 하류 측의 가스의 압력을 상기 제1 공간의 분위기보다도 고압인 제1 압력까지 감압하고, 상기 제2 감압 밸브는, 하류 측의 가스의 압력을 상기 제1 공간의 분위기보다도 고압인 제2 압력까지 감압하더라도 좋다. 이렇게 하면, 감압 후의 압력(제1 압력 및 제2 압력)보다도 고압의 가스를 공통 배관으로부터 공급할 수 있다. 이 때문에, 제1 감압 밸브보다 상류 측이나 제2 감압 밸브보다 상류 측의 배관을 가늘게 하더라도 필요한 가스의 유량을 확보할 수 있다.The heat treatment apparatus of the present invention further includes a first pressure reducing valve provided on at least one of the common pipe and the first pipe and disposed on the upstream side of the first flow control valve and a second pressure reducing valve disposed on the upstream side of the second flow control valve Wherein the first pressure reducing valve reduces the pressure of the gas on the downstream side to a first pressure higher than the atmosphere in the first space, The pressure of the gas on the side of the first space may be reduced to a second pressure higher than the atmosphere of the first space. By doing so, gas of higher pressure than the pressure after the depressurization (the first pressure and the second pressure) can be supplied from the common pipe. Therefore, even if the pipe on the upstream side of the first pressure reducing valve or on the upstream side of the second pressure reducing valve is thinned, the required flow rate of the gas can be ensured.
본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 공간과 상기 제2 공간과의 사이에 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간과 연통되는 제3 공간을 형성하고, 상기 회전체에 관통되어 있는 제3 공간 형성 부재를 구비하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제1 공간과 제2 공간 사이에 제3 공간이 존재함으로써, 예컨대 노체로부터의 열전도에 의해 벽체의 제1 베어링, 시일 부재의 온도가 변화되는 등의, 노체로부터 벽체로의 영향을 보다 억제할 수 있다. 또한, 이 경우에 있어서, 본 고안의 열처리 장치는, 상기 제3 공간 내에서 상기 회전체를 회전 가능하게 지지하는 지지 수단을 더 구비하고 있더라도 좋다.The heat treatment apparatus of the present invention is characterized in that a third space communicating with the first space and the second space is formed between the first space and the second space, and a third space Member may be provided. In this case, since the third space is present between the first space and the second space, the influence of the furnace body on the wall, for example, the temperature of the first bearing and the seal member of the wall is changed by the heat conduction from the furnace body . Further, in this case, the heat treatment apparatus of the present invention may further include a supporting means for rotatably supporting the rotating body in the third space.
제3 공간 형성 부재를 구비하는 양태의 본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 회전체는, 상기 제1 공간 내에서 상기 피처리물을 반송할 수 있는 반송 롤러와, 상기 구동 수단에 의해 회전 구동되고 상기 벽체를 관통하는 구동축과, 상기 구동축 중 상기 반송 롤러 측의 단부가 삽입되어 이 단부와 접속된 중공 파이프형의 홀더와, 상기 반송 롤러 중 상기 구동축 측에 고정된 롤러 캡과, 상기 홀더와 상기 롤러 캡에 삽입되어 상기 홀더 및 상기 롤러 캡에 접속된 연결 샤프트를 구비하며, 상기 홀더, 상기 롤러 캡 및 상기 연결 샤프트는 상기 제3 공간 내에 배치되어 있고, 상기 롤러 캡의 내주면과 상기 연결 샤프트와의 사이에는 클리어런스가 있으며, 상기 연결 샤프트는 상기 롤러 캡에 대하여 상기 클리어런스에 의해 축 오프셋 가능하게 접속되어 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 연결 샤프트가 롤러 캡에 대하여 축 오프셋 가능하게 접속되어 있음으로써, 반송 롤러와 구동축에 편심(축 오프셋)이 생기더라도, 구동축을 통해 반송 롤러에 구동 수단으로부터의 회전 구동력을 전달할 수 있다. 이 경우에 있어서, 본 고안의 열처리 장치는, 상기 제3 공간 내에서 상기 롤러 캡을 회전 가능하게 지지하는 지지 수단을 더 구비하고 있더라도 좋다.In the heat treatment apparatus of the present invention having the third space-defining member, the rotating body includes: a conveying roller capable of conveying the object to be processed in the first space; A roller cap fixed to the drive shaft side of the conveying rollers; and a roller cap fixed to the drive shaft side of the conveying roller, And a connection shaft inserted into the roller cap and connected to the holder and the roller cap, wherein the holder, the roller cap and the connection shaft are disposed in the third space, and the inner circumferential surface of the roller cap and the connection shaft There is a clearance between the roller cap and the roller cap, and the connection shaft is axially offsetably connected to the roller cap by the clearance It is also good. In this way, since the connecting shaft is axially offset with respect to the roller cap, even if the eccentricity (axial offset) occurs between the conveying roller and the driving shaft, the rotational driving force from the driving means can be transmitted to the conveying roller through the driving shaft. In this case, the heat treatment apparatus of the present invention may further include a support means for rotatably supporting the roller cap in the third space.
본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 공간의 분위기와 비교하여 고압의 가스를 상기 제2 공간 내에 공급하는 가스 공급 수단을 구비하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 가스 공급 수단으로부터의 가스에 의해, 제2 공간으로부터 제1 베어링의 간극을 지나 제1 공간을 향하는 가스의 흐름을 생기게 할 수 있다.The heat treatment apparatus of the present invention may include gas supply means for supplying a high-pressure gas into the second space as compared with the atmosphere of the first space. In this way, the gas from the gas supply means can cause a flow of gas from the second space to the first space through the gap of the first bearing.
본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 공간 내에 배치된 가열 수단을 구비하고 있더라도 좋다. 또한, 본 고안의 열처리 장치는, 제1 공간 내에서 상기 피처리물을 반송할 수 있는 복수의 회전체를 갖고 있더라도 좋다. 이 경우, 복수의 회전체 중 하나 이상이 「제1 공간 측으로부터 외부 공간을 향하여 제1 벽부, 제2 공간, 제2 벽부를 이 순서로 관통하여 일단이 제2 벽부로부터 돌출되어 있는」 것이면 된다. 또한, 벽체는 하나의 회전체가 관통하고 있는 것으로 하여, 본 고안의 열처리 장치가 복수의 벽체를 갖고 있더라도 좋다. 복수의 회전체에 관통되어 있는 벽체가 있더라도 좋다.The heat treatment apparatus of the present invention may include heating means disposed in the first space. The heat treatment apparatus of the present invention may have a plurality of rotating bodies capable of carrying the object to be processed in the first space. In this case, at least one of the plurality of rotating bodies may " have one end protruding from the second wall portion through the first wall portion, the second space, and the second wall portion in this order from the first space side toward the outer space " . It is also possible that the wall has one rotating body passing therethrough, and the heat treatment apparatus of the present invention may have a plurality of walls. There may be a wall penetrating a plurality of rotors.
도 1은 롤러 하스 킬른(10)의 종단면도이다.
도 2는 도 1의 A-A 단면도이다.
도 3은 도 2의 구동측 커버(26) 및 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다.
도 4는 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다.
도 5는 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다.1 is a longitudinal sectional view of the
2 is a sectional view taken along the line AA in Fig.
3 is an enlarged cross-sectional view of the periphery of the drive-
4 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
5 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
이어서, 본 고안의 실시형태에 관해서 도면을 이용하여 설명한다. 도 1은 본 고안의 열처리 장치의 일 실시형태인 롤러 하스 킬른(10)의 종단면도이다. 도 2는 도 1의 A-A 단면도이다. 도 3은 도 2의 구동측 커버(26) 및 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다. 롤러 하스 킬른(10)은, 노체(11)의 제1 공간(11a) 내에서 복수의 피처리물(96)을 배치한 트레이(95)를 반송하면서 피처리물(96)에 대한 열처리를 행하는 장치이다. 롤러 하스 킬른(10)은, 노체(11)와, 종동측 커버(22)와, 구동측 커버(26)와, 벽체(30)와, 반송 롤러(61)를 포함하는 복수의 회전체(60)와, 가스 공급 장치(70)와, 배기 장치(86)를 구비하고 있다(도 1, 도 2 참조).Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a longitudinal sectional view of a
노체(11)는 대략 직방체로 형성된 단열 구조체이며, 내부에서 피처리물(96)의 열처리를 행하는 처리 공간인 제1 공간(11a)과, 노체의 전단면(12)(도 1의 좌단면) 및 후단면(13)(도 1의 우단면)에 각각 형성되고 외부로부터 제1 공간(11a)으로의 출입구가 되는 개구(14, 15)를 갖고 있다(도 1). 이 노체(11)는, 전단면(12)에서부터 후단면(13)까지의 길이가 예컨대 2 m~15 m이다. 제1 공간(11a) 내에는, 복수의 반송 롤러(61)가 반송 방향(도 1의 전후 방향)을 따라서 개구(14)에서부터 개구(15)에 걸쳐 배치되어 있다. 이 반송 롤러(61)가 회전함으로써, 복수의 피처리물(96)이 놓인 트레이(95)는, 개구(14)에서부터 제1 공간(11a) 안을 통과하여 개구(15)까지 반송된다. 한편, 반송 롤러(61)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 반송 방향과 직교하는 방향(도 2의 좌우 방향)으로 노체(11)를 관통하고 있다. 노체(11)는 좌우 방향으로 관통 구멍(16), 관통 구멍(17)을 갖고 있고, 반송 롤러(61)의 일단(도 2의 좌단)이 노체(11)의 관통 구멍(16)을 관통하여 구동측 커버(26) 내까지 도달하며, 타단(도 2의 우단)이 노체(11)의 관통 구멍(17)을 관통하여 종동측 커버(22) 내까지 도달하고 있다. 또한, 제1 공간(11a) 내에는, 복수의 반송 롤러(61)를 상하로 사이에 두도록, 노체(11)의 천장 및 바닥부에 복수의 히터(20)가 배치되어 있다. 히터(20)는, 길이 방향이 반송 방향에 직교하도록 배치되어 있으며, 반송 방향을 따라서 복수 배치되어 있다. 히터(20)는 제1 공간(11a) 안을 통과하는 피처리물(96)을 가열하는 것으로, 예컨대 SiC 히터 등의 세라믹스 히터로서 구성되어 있다. 한편, 히터(20)에 한정되지 않고, 가스 버너 등, 피처리물(96)의 열처리를 행할 수 있는 가열 장치이면 된다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 노체(11)의 천장 부분에는, 배기 장치(86)와 접속되어 제1 공간(11a)의 분위기를 배기할 수 있는 배기구(19)가 형성되어 있다. 또한, 노체(11)의 바닥부에는, 가스 공급 장치(70)와 접속되어 제1 공간(11a)에 가스를 공급할 수 있는 제1 공간 공급구(18)가 형성되어 있다. 한편, 노체(11)는, 개구(14, 15), 관통 구멍(16, 17), 제1 공간 공급구(18), 배기구(19)를 제외하고는 기밀한 구조를 하고 있고, 이들 부분 이외에서는, 외부 공간 등의 다른 공간과의 기체의 유출입이 거의 일어나지 않게 되어 있다. 또한, 개구(14), 개구(15)는 기밀 구조의 도시하지 않는 치환실 내에 개구되어 있더라도 좋다.The
종동측 커버(22)는 노체(11)의 우측(도 2의 우측)에 배치된 대략 직방체의 구조체이다. 이 종동측 커버(22)는, 관통 구멍(17)을 관통한 반송 롤러(61)의 타단이 롤러 하스 킬른(10)의 외부 공간에 노출되지 않도록 반송 롤러(61)의 타단을 덮고 있다. 종동측 커버(22)는, 노체(11) 측의 관통 구멍(17)에 연속해 있는 개구를 제외하고 기밀한 구조를 하고 있어, 종동측 커버(22) 내의 공간과 외부 공간에서 기체의 유출입이 거의 일어나지 않게 되어 있다. 또한, 종동측 커버(22) 내에는, 반송 롤러(61)를 하측으로부터 지지하는 종동측 지지 롤러(24)가 배치되어 있다. 종동측 지지 롤러(24)는, 예컨대 반송 롤러(61)의 하측 및 반송 롤러(61)의 중심축으로부터 전후(도 2의 지면 바로 앞 및 안쪽)로 어긋난 위치에 2개의 롤러를 나란히 놓은 것으로, 이 복수의 롤러에 의해서 반송 롤러(61)를 회전 가능하게 지지하고 있다.The driven side cover 22 is a substantially rectangular parallelepiped structure disposed on the right side of the furnace body 11 (right side in FIG. 2). The driven side cover 22 covers the other end of the conveying
구동측 커버(26)는, 노체(11)의 좌측(도 2의 좌측)에 배치된 대략 직방체의 구조체이며, 내부에 제3 공간(26a)을 형성하고 있다. 구동측 커버(26)는 노체(11)측(도 2의 우측)이 개구되어 있고, 제3 공간(26a)은 관통 구멍(16)을 통해 제1 공간(11a)과 연통되어 있다. 제3 공간(26a) 내에는, 관통 구멍(16)을 관통한 반송 롤러(61)의 일단이 도달하고 있고, 구동측 커버(26)는 반송 롤러(61)의 일단을 덮고 있다. 또한, 구동측 커버(26)의 좌측에는 제3 공간(26a)에 연통되는 개구(27)가 형성되어 있고, 반송 롤러(61)에 접속된 구동축(65)이 개구(27)를 관통하고 있다(도 3 참조). 구동측 커버(26)는, 개구(27)나 노체(11) 측의 관통 구멍(16)에 연속해 있는 개구를 제외하고 기밀한 구조를 하고 있고, 이들 부분 이외에서는, 제3 공간(26a)과 제1 공간(11a), 제2 공간(30a), 외부 공간과의 사이에서 기체의 유출입이 거의 일어나지 않게 되어 있다. 제3 공간(26a) 내에는 회전체(60)[롤러 캡(62)]를 하측으로부터 지지하는 구동측 지지 롤러(28)가 배치되어 있다. 구동측 지지 롤러(28)는 종동측 지지 롤러(24)와 같은 식의 구성이며, 회전체(60)[롤러 캡(62)]를 회전 가능하게 지지하고 있다.The drive-
벽체(30)는 구동측 커버(26)의 좌측(도 2의 좌측)에 배치된 대략 직방체의 구조체이다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 벽체(30)는 판형의 부재인 제1 벽부(31)와 제2 벽부(32)를 갖고 있고, 이들을 포함하는 복수의 판형 부재를 접착제나 볼트 체결 등에 의해 조합하여 대략 직방체의 구조체로 만든 것이다. 이에 따라 벽체(30)의 내부에는 제2 공간(30a)이 형성되어 있다. 제1 벽부(31) 및 제2 벽부(32)는 회전체(60)의 축 방향(도 3의 좌우 방향)을 따라서 제2 공간(30a)을 사이에 두도록 대향하여 배치되어 있다. 제1 벽부(31)는, 노체(11) 측(도 3의 우측)의 면이 구동측 커버(26)의 벽체(30) 측(도 3의 좌측)의 면과 접하고 있고, 구동측 커버(26)의 개구(27)를 막도록 배치되어 있다. 이에 따라, 제1 벽부(31)는, 노체(11) 측의 면이 제1 공간(11a)에 연속해 있는 제3 공간(26a)에 면하고 있고, 노체(11)와는 반대쪽의 면이 제2 공간(30a)에 면하고 있다. 즉, 제1 벽부(31)는 제3 공간(26a)과 제2 공간(30a)을 구획하고 있다. 또한, 제2 벽부(32)는, 노체(11) 측의 면이 제2 공간(30a)에 면하고 있고, 노체(11)와는 반대쪽의 면이 외부 공간에 면하고 있다. 즉, 제2 벽부(32)는 제2 공간(30a)과 외부 공간을 구획하고 있다. 벽체(30)의 천장(도 3의 상부)에는, 가스 공급 장치(70)와 접속되어 제2 공간(30a)에 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구(33)가 형성되어 있다. 또한, 제1 벽부(31)는 구동축(65)에 의해서 관통되어 있고, 이 관통 부분에는 제1 베어링(40)이 부착되어 있다. 마찬가지로, 제2 벽부(32)는 구동축(65)에 의해서 관통되어 있고, 이 관통 부분에는 제2 베어링(50)이 부착되어 있다. 한편, 벽체(30)는, 제2 공간 공급구(33), 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)(도 3의 확대 부분 참조)을 제외하고 기밀한 구조를 하고 있고, 이들 부분 이외에서는, 외부 공간이나 제3 공간(26a)과의 기체의 유출입이 거의 일어나지 않게 되어 있다.The
제1 베어링(40)은 볼 베어링으로서 구성된 구름 베어링이며, 회전체(60)[구동축(65)]를 회전 가능하게 지지하는 것이다. 제1 베어링(40)은 내륜(41)과, 외륜(42)과, 복수의 구체(43)와, 차폐 부재(44, 45)를 갖고 있다. 내륜(41)은, 중심을 구동축(65)이 관통하고 있으며, 구동축(65)과 일체로 회전 가능하게 구성되어 있다. 외륜(42)은, 내륜(41)과 동심원형으로 배치된 부재이다. 외륜(42)의 외주면은 제1 벽부(31)에 부착되어 고정되어 있다. 외륜(42)의 외주면과 제1 벽부(31)의 관통 부분의 내주면과의 사이는, 예컨대 밀봉재 등에 의해 밀봉되어 있다. 구체(43)는 내륜(41)과 외륜(42)의 사이에서 회전 가능하게 배치된 부재이다. 이 구체(43)는, 내륜(41)의 외주면 및 외륜(42)의 내주면을 따라서 원주 방향으로 등간격으로 복수 배치되어 있다. 구동축(65)의 회전에 따라 내륜(41)이 회전하면, 회전하는 내륜(41)과 고정된 외륜(42)과의 상대적인 위치 어긋남을 구체(43)가 회전함으로써 흡수한다. 이에 따라, 제1 베어링(40)은 구동축(65)을 회전 가능하게 지지한다. 차폐 부재(44, 45)는, 내륜(41)의 축 방향(도 3의 좌우 방향)으로 복수의 구체(43)로부터 어긋난 위치에서 내륜(41)과 외륜(42)과의 사이에 배치된 링 형상의 부재이다. 한편, 차폐 부재(44)는 구체(43)보다도 제1 공간(11a) 측에 배치되고, 차폐 부재(45)는 구체(43)보다도 제2 공간(30a) 측에 배치되어 있다. 차폐 부재(44, 45)는, 예컨대 강판의 표면에 합성고무 등의 탄성체를 고착시킨 부재이며, 외륜(42)의 내주면에 형성된 홈에 차폐 부재(44, 45)의 외주면의 링 형상 돌기가 끼워져 들어감으로써 외륜(42)에 고정되어 있다. 또한, 차폐 부재(44, 45)의 내주면에도 링 형상의 돌기가 형성되어 있고, 이 돌기는 내륜(41)의 외주면의 홈과의 사이에 간극(44a, 45a)을 각각 형성하고 있다. 즉, 차폐 부재(44, 45)는 간극(44a, 45a)을 남기고 내륜(41)과 외륜(42) 사이의 간극을 막고 있다. 이 간극(44a, 45a)은, 내륜(41)의 홈과 차폐 부재(44, 45)의 돌기의 사이에 놓이고 라비린스(labyrinth) 형상을 하고 있다. 간극(44a)과 간극(45a)은 복수의 구체(43) 사이의 간극을 통해 연통되어 있다. 이 때문에, 제1 베어링(40)은 제2 공간(30a)으로부터, 간극(45a), 복수의 구체(43) 사이의 간극, 간극(44a)을 경유하여 제3 공간(26a)에 도달하는 가스의 유로를 형성하고 있고, 이에 따라 제2 공간(30a)과 제3 공간(26a)은 연통되어 있다.The
제2 베어링(50)은 볼 베어링으로서 구성된 구름 베어링이며, 회전체(60)[구동축(65)]를 회전 가능하게 지지하는 것이다. 제2 베어링(50)은 내륜(51)과, 외륜(52)과, 복수의 구체(53)와, 차폐 부재(54, 55)를 갖고 있다. 내륜(51)은, 중심을 구동축(65)이 관통하고 있으며, 구동축(65)과 일체로 회전 가능하게 구성되어 있다. 외륜(52)은, 내륜(51)과 동심원형으로 배치된 부재이다. 외륜(52)의 외주면은, 제2 벽부(32)에 부착되어 고정되어 있다. 외륜(52)의 외주면과 제2 벽부(32)의 관통 부분의 내주면과의 사이는, 예컨대 밀봉재 등에 의해 밀봉되어 있다. 구체(53)는, 내륜(51)과 외륜(52)과의 사이에서 회전 가능하게 배치된 부재이다. 이 구체(53)는 내륜(51)의 외주면 및 외륜(52)의 내주면을 따라서 원주 방향으로 등간격으로 복수 배치되어 있다. 구동축(65)의 회전에 따라 내륜(51)이 회전하면, 회전하는 내륜(51)과 고정된 외륜(52)과의 상대적인 위치 어긋남을 구체(53)가 회전함으로써 흡수한다. 이에 따라, 제2 베어링(50)은 구동축(65)을 회전 가능하게 지지한다. 차폐 부재(54, 55)는, 내륜(51)의 축 방향(도 3의 좌우 방향)으로 복수의 구체(53)로부터 어긋난 위치에서 내륜(51)과 외륜(52)과의 사이에 배치된 링 형상의 부재이다. 한편, 차폐 부재(54)는 구체(53)보다도 제2 공간(30a) 측에 배치되고, 차폐 부재(55)는 구체(53)보다도 외부 공간 측에 배치되어 있다. 차폐 부재(54, 55)는, 예컨대 강판의 표면에 합성고무 등의 탄성체를 고착시킨 부재이며, 외륜(52)의 내주면에 형성된 홈에 차폐 부재(54, 55)의 외주면의 링 형상 돌기가 끼워져 들어감으로써 외륜(52)에 고정되어 있다. 또한, 제1 베어링(40)의 차폐 부재(44, 45)와는 달리, 차폐 부재(54, 55)의 내주면에 형성된 링 형상의 돌기는 내륜(51)의 외주면의 홈 안에 끼워져 들어가 홈의 바닥부와 접촉하고 있다. 이 때문에, 차폐 부재(54, 55)와 내륜(51)과의 사이에 간극이 없고, 차폐 부재(54, 55)는 내륜(51)과 외륜(52) 사이를 밀봉하고 있다.The
회전체(60)는 반송 롤러(61)와, 롤러 캡(62)과, 연결 샤프트(63)와, 홀더(64)와, 구동축(65)을 갖고 있다. 이 회전체(60)는, 반송 롤러(61)에 의해 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 반송할 수 있고, 제1 공간(11a) 측으로부터 외부 공간을 향하여 구동측 커버(26)[제3 공간(26a)], 제1 벽부(31), 제2 공간(30a), 제2 벽부(32)를 이 순서로 관통하여 일단(도 3의 좌단)이 제2 벽부(32)로부터 외부 공간으로 돌출되어 있다. 보다 구체적으로는, 반송 롤러(61)가 제1 공간(11a)으로부터 관통 구멍(16)을 관통하여 제3 공간(26a) 내에 도달하고, 제1 공간(11a) 측으로부터 제2 공간(30a) 측을 향하여 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64)가 이 순서로 제3 공간(26a) 내에 배치되어 있다. 또한, 구동축(65)은 제3 공간(26a) 내에서부터 개구(27), 제1 벽부(31)[제1 베어링(40)], 제2 공간(30a), 제2 벽부(32)[제2 베어링(50)]를 이 순서로 관통하여 제2 벽부(32)에서 외부 공간으로 돌출되어 있다. 구동축(65)의 일단측에는 스프로켓(66)이 형성되어 있고, 이 스프로켓(66)에는 롤러 체인(92)이 걸쳐져 있다. 롤러 체인(92)은, 외부 공간에 배치된 모터(90)의 구동축(91)과 스프로켓(66)을 걸치도록 배치되어 있으며, 회전체(60)와 모터(90)를 접속하고 있다. 모터(90)는 구동축(91), 롤러 체인(92)을 통해 스프로켓(66)에 회전 구동력을 전달한다. 스프로켓(66)이 회전 구동함으로써 회전체(60) 전체가 회전하고, 반송 롤러(61)가 피처리물(96)을 반송한다.The rotating
회전체(60)의 각 구성 요소와 그 접속에 관해서 설명한다. 반송 롤러(61)는, 예컨대 세라믹스제의 중공 파이프이며, 일단(도 3의 좌단) 측에 외경이 작은 원기둥형의 돌출부(61a)를 갖고 있다. 롤러 캡(62)은, 축 방향의 양단이 개구된 통 형상의 부재이다. 롤러 캡(62)의 반송 롤러(61) 측의 단부의 개구 내에는 돌출부(61a)가 삽입되어 있고, 도시하지 않는 볼트 등에 의해 돌출부(61a)와 롤러 캡(62)은 고정되어 있다. 이에 따라, 반송 롤러(61)와 롤러 캡(62)은 동축으로 고정되어 있다.The constituent elements of the
연결 샤프트(63)는, 롤러 캡(62)의 양단의 개구 직경보다도 작은(예컨대 2분의 1 등) 외경을 갖고, 또한 홀더(64)의 양단의 개구 직경보다도 작은 외경을 갖는 원기둥형의 부재이다. 홀더(64)는, 축 방향의 양단이 개구된 중공 파이프형의 부재이다. 연결 샤프트(63)의 노체(11) 측의 단부는, 롤러 캡(62)의 벽체(30) 측의 단부의 개구 내에 삽입되어 있다. 또한, 연결 샤프트(63)의 노체(11) 측의 단부 부근에서는, 삽입 핀(67a)이 연결 샤프트(63)의 중심축과 수직으로 연결 샤프트(63)를 관통하고 있다. 연결 샤프트(63)와 삽입 핀(67a)은, 삽입 핀(67a)과 수직으로 연결 샤프트(63)를 관통하는 멈춤 나사(68a)에 의해 고정되어 있다. 이 삽입 핀(67a)은, 롤러 캡(62)의 외경보다도 긴 부재이며, 롤러 캡(62)의 벽체(30) 측의 단부에 형성된 한 쌍의 절결부(62a, 62b)를 관통하고 있다. 절결부(62a, 62b)는, 롤러 캡(62)의 벽체(30) 측의 단부면으로부터 축 방향을 따라서 롤러 캡(62)의 통 형상 부분을 절결하여 형성된, 축 방향을 따르는 홈(깊이 방향이 축 방향인 홈)이다. 이 때문에, 연결 샤프트(63)와 삽입 핀(67a)을 멈춤 나사(68a)로 고정한 상태에서, 연결 샤프트(63)를 롤러 캡(62)의 내부에 삽입하고, 롤러 캡(62)의 벽체(30) 측의 단부면으로부터 절결부(62a, 62b) 내에 삽입 핀(67a)을 삽입할 수 있게 되고 있다. 또한, 삽입 핀(67a)보다도 롤러 캡(62)의 좌단부 측[절결부(62a, 62b)의 개구 측]에는 C형 멈춤 링(69a)이 부착되어 있고, 이에 의해 삽입 후의 삽입 핀(67a)이 절결부(62a, 62b)로부터 축 방향으로 빠지는 것을 방지하고 있다. 이와 같이, 삽입 핀(67a), 절결부(62a, 62b), C형 멈춤 링(69a)에 의해서 롤러 캡(62)과 연결 샤프트(63)가 접속되어 있다. 연결 샤프트(63)의 벽체(30) 측의 단부는, 노체(11) 측의 단부와 마찬가지로 삽입 핀(67b)에 관통되고 멈춤 나사(68b)에 의해 삽입 핀(67b)이 고정되어 있다. 이에 의해, 전술한 롤러 캡(62)과 연결 샤프트(63)의 접속과 마찬가지로, 홀더(64)의 노체(11) 측의 절결부(64a, 64b)와, 삽입 핀(67b)과, C형 멈춤 링(69b)에 의해서, 원통형의 홀더(64) 내에 연결 샤프트(63)가 삽입되면서 양자(兩者)가 접속되어 있다.The connection shaft 63 has a
구동축(65)은, 홀더(64)의 양단의 개구 직경보다도 작은 외경[예컨대, 연결 샤프트(63)와 같은 외경]을 갖는 원기둥형의 부재이다. 구동축(65)의 노체(11) 측의 단부는, 연결 샤프트(63)와 마찬가지로 삽입 핀(67c)에 관통되어 멈춤 나사(68c)에 의해 삽입 핀(67c)이 고정되어 있다. 이에 따라, 전술한 홀더(64)와 연결 샤프트(63)의 접속과 마찬가지로, 홀더(64)의 벽체(30) 측의 절결부(64c, 64d)와, 삽입 핀(67c)과, C형 멈춤 링(69c)에 의해서, 원통형의 홀더(64) 내에 구동축(65)이 삽입되면서 양자가 접속되어 있다.The
한편, 본 실시형태에서는, 홀더(64)의 내경과 연결 샤프트(63) 및 구동축(65)의 외경과의 차가 비교적 작고(예컨대 1 ㎜ 미만 등), 롤러 캡(62)의 내경과 연결 샤프트(63)의 외경의 차가 비교적 큰[예컨대 십수(十數) ㎜ 등] 것으로 했다. 이에 따라, 홀더(64)의 내경과 연결 샤프트(63) 및 구동축(65)의 외경과의 클리어런스는 비교적 작지만, 롤러 캡(62)의 내경과 연결 샤프트(63)의 외경과의 클리어런스는 비교적 크다. 이 때문에, 홀더(64)와 연결 샤프트(63) 및 구동축(65)이 거의 동축으로 유지되어 접속되어 있는 데 비하여, 연결 샤프트(63)와 롤러 캡(62)은 이 클리어런스에 의해 삽입 핀(67a)의 길이 방향(도 3의 상하 방향)으로 축 오프셋 가능하게 접속되어 있다. 한편, 삽입 핀(67a)은, 연결 샤프트(63)와 롤러 캡(62)이 축 오프셋되더라도 절결부(62a, 62b)로부터 빠지지 않는 충분한 길이를 갖는 것으로 했다. 이와 같이, 삽입 핀(67a~67c)을 이용하여 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64), 구동축(65)을 접속하는 구성은, 예컨대 일본 특허 공개 평성09-26264호 공보(또는 일본 특허 제3556739호 공보)에 기재되어 있다.On the other hand, in the present embodiment, the difference between the inner diameter of the
가스 공급 장치(70)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제1 가스를 공급하는 제1 가스 공급원(71)과, 제2 가스를 공급하는 제2 가스 공급원(72)을 구비하고 있다. 또한, 가스 공급 장치(70)는, 제2 가스 공급원(72)에서부터 접속부(76a)까지의 제1 가스의 유로가 되는 공통 배관(73)과, 접속부(76a)에서부터 접속부(76b)를 경유하여 제1 공간 공급구(18)까지의 가스의 유로가 되는 제1 배관(74)과, 접속부(76a)에서부터 제2 공간 공급구(33)까지의 가스의 유로가 되는 제2 배관(75)을 구비하고 있다. 공통 배관(73)의 가스 유로의 도중에는, 제2 가스 공급원(72)으로부터 접속부(76a)를 향하여, 필터(80)와, 유량계(81)와, 제1 감압 밸브(82)가 이 순서로 부착되어 있다. 또한, 제1 배관(74)의 가스 유로의 도중에는, 접속부(76b)보다도 하류 측[제1 공간 공급구(18) 측]에 제1 유량 조정 밸브(84)가 부착되어 있다. 제2 배관(75)의 가스 유로의 도중에는, 접속부(76a)로부터 제2 공간 공급구(33)를 향하여, 제2 감압 밸브(83)와, 제2 유량 조정 밸브(85)가 이 순서로 부착되어 있다.The
제1 가스 공급원(71)은, 제1 배관(74)의 접속부(76b)에 제1 가스를 공급하는 장치이다. 이 제1 가스는, 접속부(76b)로부터 제1 배관(74), 제1 공간 공급구(18)를 통해 제1 공간(11a) 내에 도달한다. 제2 가스 공급원(72)은, 공통 배관(73)에 제2 가스를 공급하는 장치이다. 이 제2 가스는, 공통 배관(73)으로부터 제1 배관(74) 안을 유통하고, 접속부(76b)에서 제1 가스와 혼합된 뒤에 제1 공간 공급구(18)로부터 제1 공간(11a) 내에 도달한다. 또한, 제2 가스는, 공통 배관(73)으로부터 제2 배관(75) 안을 유통하고, 제2 공간 공급구(33)를 통해 제2 공간(30a) 내에 도달한다. 여기서, 제2 가스는, 피처리물(96)의 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기 성분의 적어도 일부를 포함하는 가스이다. 본 실시형태에서는, 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기는 환원 분위기로 하고, 구체적으로는 질소에 미량의 수소를 혼합한 분위기(예컨대 분위기 속의 수소 농도가 수% 등)로 했다. 그리고, 제2 가스는 질소로 했다. 또한, 제1 가스는, 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기 중 제2 가스에 포함되지 않는 성분을 적어도 포함하는 것으로, 본 실시형태에서는 수소로 했다.The first
필터(80)는, 제2 가스 공급원(72)으로부터 공급된 제2 가스에서 먼지 등의 미립자를 제거하는 장치이다. 유량계(81)는, 공통 배관(73)을 흐르는 제2 가스의 유량을 측정하는 장치이다. 제1 감압 밸브(82)는, 제1 유량 조정 밸브(84)보다도 가스의 상류 측에 설치되어 있으며, 자신의 상류 측에 제2 가스 공급원(72)으로부터 공급된 가스의 압력을, 소정의 제1 압력까지 감압하여, 자신의 하류 측으로 흘린다. 이 제1 압력은, 피처리물(96)의 열처리시에 있어서 제1 공간(11a)의 분위기보다도 고압의 압력[예컨대 제1 공간(11a)의 분위기의 십수배의 압력]으로서 미리 정해져 있다. 특별히 한정하는 것은 아니지만, 제1 압력은, 제2 가스 공급원(72)이 공급하는 제2 가스의 압력의 반 이하로 하여도 좋다. 제2 감압 밸브(83)는, 제2 유량 조정 밸브(85)보다도 가스의 상류 측에 설치되어 있고, 자신의 상류 측에 공급된 가스의 압력을, 소정의 제2 압력까지 감압하여, 자신의 하류 측으로 흘린다. 한편, 도 2로부터도 알 수 있는 것과 같이, 제1 감압 밸브(82)는 제2 감압 밸브(83)의 상류 측에 설치되어 있기 때문에, 제2 감압 밸브(83)의 상류 측에는 제1 압력으로 가스가 공급된다. 즉, 제2 감압 밸브(83)는 제1 압력의 가스를 제2 압력까지 감압하여 하류 측으로 흘리게 된다. 이 제2 압력은, 피처리물(96)의 열처리시에 있어서 제1 공간(11a)의 분위기보다도 고압의 압력[예컨대 제1 공간(11a)의 분위기의 수배의 압력]으로서 미리 정해져 있다. 특별히 한정하는 것은 아니지만, 제2 압력은 제1 압력의 100분의 1 이하로 하여도 좋다. 제1 유량 조정 밸브(84)는, 자신을 통과하는 가스(제1 가스와 제2 가스가 혼합된 가스)의 유량이 소정의 제1 유량이 되도록(제1 유량을 넘지 않도록) 조정하는 장치이다. 제2 유량 조정 밸브(85)는, 자신을 통과하는 제2 가스의 유량이 소정의 제2 유량이 되도록(제2 유량을 넘지 않도록) 조정하는 장치이다.The
배기 장치(86)는, 배기구(19)에 접속되어 제1 공간(11a) 내의 분위기를 흡인하여 배기하는 장치이다. 이 배기 장치(86)는 배기 밸브(87)와, 흡기 밸브(88)와, 배기 팬(89)을 갖고 있다. 배기 밸브(87)는, 밸브의 개방도를 조정함으로써, 제1 공간(11a)으로부터 배기구(19)를 통해 흐르는 분위기 가스의 유량을 조정하는 장치이다. 흡기 밸브(88)는, 예컨대 주위의 대기 등을 흡기함으로써, 제1 공간(11a)으로부터 흘러온 분위기 가스를 냉각하는 장치이다. 배기 팬(89)은 배기구(19), 배기 밸브(87), 흡기 밸브(88)를 통해 제1 공간(11a) 내의 분위기를 흡인하여, 이것을 배기한다. 배기 팬(89)은 단위시간당 배기량을 조정할 수 있더라도 좋다.The
피처리물(96)은, 노체(11) 안을 통과할 때에 히터(20)로부터의 열에 의해, 예컨대 소성 등의 열처리를 행하는 것이다. 특별히 한정하는 것은 아니지만, 본 실시형태에서는, 피처리물(96)은 세라믹스제의 유전체와 전극을 적층한 적층체(치수는 예컨대 종횡이 1 ㎜ 이내)이며, 소성 후에 세라믹스 콘덴서의 칩으로 되는 것으로 했다.The object to be processed 96 is subjected to heat treatment such as firing by heat from the
이상 도 1~도 3을 이용하여 롤러 하스 킬른(10)의 구성을 설명했는데, 도 2, 도 3에서는, 하나의 회전체(60)와, 그 회전체(60)가 관통하는 하나의 구동측 커버(26) 및 하나의 벽체(30) 등을 도시했다. 본 실시형태에서는, 제1 공간(11a) 내에 배치된 복수의 회전체(60)의 어느 것이나 도 2, 도 3과 같은 구성을 갖는 것으로 했다. 즉, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 공간(11a) 내에 배치된 회전체(60)의 개수와 동일한 수만큼 구동측 커버(26), 벽체(30), 모터(90), 종동측 커버(22) 등을 갖는다. 또한, 제2 배관(75)은, 제2 유량 조정 밸브(85)의 하류에서 벽체(30)와 같은 수만큼 분기되어 있는 것으로 하고, 분기 대상이 복수의 제2 공간 공급구(33)의 각각에 접속되어 있는 것으로 했다.The configuration of the
이어서, 이렇게 구성된 롤러 하스 킬른(10)을 이용하여 피처리물(96)을 열처리하는 모습에 관해서 설명한다. 우선, 모터(90)를 동작시켜 복수의 회전체(60)를 회전 구동시키고, 히터(20)에 통전하여 히터(20)를 발열시킨다. 회전체(60)로부터 회전체(60)로의 구동력은, 본 실시형태에서는 열처리에 필요한 시간에 기초하여 미리 정하여 두는 것으로 했다. 히터(20)의 출력은, 제1 공간(11a) 내에서의 피처리물(96)의 열처리시의 온도(예컨대 1000℃ 전후 등)에 기초하여 미리 정하여 두는 것으로 했다. 이어서, 복수의 피처리물(96)을 배치하는 트레이(95)를 복수 준비하고, 개구(14) 측의 단부의 회전체(60)[반송 롤러(61)] 상에 순차적으로 놓아 간다. 트레이(95)는, 반송 방향과 수직인 방향(도 2의 좌우 방향)으로 복수 열 배치되더라도 좋다. 반송 롤러(61)에 놓인 트레이(95)는, 복수의 반송 롤러(61)의 회전에 의해 노체(11) 안으로 반입되어 반송 방향으로 순차적으로 반송되어 간다. 그리고, 트레이(95)는 제1 공간(11a)을 통과하여 개구(15) 측으로부터 반출된다. 이와 같이, 롤러 하스 킬른(10)에서는, 모터(90)가 회전체(60)를 회전 구동시킴으로써 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 순차적으로 반송하면서, 히터(20)에 의해 열처리를 행한다.Next, a description will be given of a state in which the object to be processed 96 is heat-treated using the
그리고, 피처리물(96)을 반송하고 있는 사이, 즉 열처리를 하고 있는 동안은, 제1 가스 공급원(71) 및 제2 가스 공급원(72)으로부터 제1 가스 및 제2 가스를 각각 공급하고, 배기 팬(89)에 의해 제1 공간(11a) 내의 분위기를 흡인하여 배기한다. 이하, 가스의 흐름에 관해서 설명한다.The first gas and the second gas are supplied from the first
제2 가스 공급원(72)은, 제1 압력 및 제2 압력을 초과하는 압력의 제2 가스를 공통 배관(73)에 공급한다. 공통 배관(73)에 공급된 제2 가스는 필터(80), 유량계(81)를 통과하고, 제1 감압 밸브(82)에 의해 제1 압력까지 감압된다. 제1 감압 밸브(82)에 의해 감압된 제2 가스는, 접속부(76a)에서 제1 배관(74)과 제2 배관(75)으로 분기되어 흐른다. 제1 배관(74)을 흐르는 제2 가스는, 접속부(76b)에서 제1 가스 공급원(71)이 공급하는 제1 가스와 혼합된다. 한편, 제1 가스 공급원(71)은, 예컨대 제1 압력과 같거나 조금 높은 압력으로 제1 가스를 접속부(76b)에 공급한다. 제1 가스와 제2 가스가 혼합된 가스는, 접속부(76b)의 하류의 제1 유량 조정 밸브(84)에 의해 유량이 제1 유량이 되도록 조정되고, 이 제1 유량으로 제1 공간 공급구(18)에서 제1 공간(11a) 내로 유입된다.The second
한편, 접속부(76a)에서 제2 배관(75)으로 분기된 제2 가스는, 제2 감압 밸브(83)에 의해 제2 압력까지 감압되고, 제2 유량 조정 밸브(85)에 의해 유량이 제2 유량이 되도록 조정되어, 이 제2 유량으로 제2 공간 공급구(33)에서 제2 공간(30a) 내로 유입된다. 여기서, 제2 압력은, 열처리시의 제1 공간(11a)의 분위기의 압력보다 높은 값으로 하고 있고, 제2 공간(30a) 내에 공급되는 제2 가스의 압력이 제1 공간(11a)[및 이에 연통되는 제3 공간(26a)]의 분위기의 압력보다 높은 값으로 되도록 조정되고 있다. 또한, 벽체(30)는, 제2 공간(30a)이 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통해 제3 공간(26a)과 연통하고 있는데, 그 이외에는 기밀하게 유지되어 있다. 이로써, 제2 공간(30a)에 공급된 제2 가스는, 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)으로부터 제1 공간(11a) 측을 향하려고 한다. 이 때문에, 제2 공간(30a) 내의 제2 가스는 간극(44a, 45a)으로부터 제3 공간(26a) 안을 경유하여 제1 공간(11a) 내로 유입된다.On the other hand, the second gas branched from the connecting
이와 같이, 제1 공간 공급구(18)를 경유하여 제1 가스 및 제2 가스가 제1 공간(11a)에 공급되며, 제2 공간 공급구(33)를 경유하여 제2 가스가 제1 공간(11a)에 공급되고, 이들 가스가 혼합된 것이 제1 공간(11a) 내의 분위기 가스로 된다. 본 실시형태에서는, 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기가 원하는 조성(예컨대 수소 농도가 수 %인 질소 분위기)으로 되도록, 제1 가스 공급원(71)으로부터의 제1 가스의 공급량 및 제2 가스 공급원(72)으로부터의 제2 가스의 공급량을 미리 실험에 의해 정해 두는 것으로 했다. 또한, 배기 팬(89)에 의해 제1 공간(11a)의 분위기는 배기된다. 이 때문에, 제1 가스 공급원(71) 및 제2 가스 공급원(72)으로부터의 가스 공급과, 배기 팬(89)으로부터의 가스 배기의 밸런스에 의해, 제1 공간(11a) 내의 압력을 조정할 수 있다. 본 실시형태에서는, 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기가 원하는 압력으로 유지되도록, 제1 압력, 제2 압력, 제1 유량, 제2 유량, 배기 밸브(87)의 개방도, 배기 팬(89)의 배기량 등을 미리 실험에 의해 정해 두는 것으로 했다. 한편, 예컨대 제1 공간(11a), 제2 공간(30a)에 압력계를 배치하고, 컴퓨터에 압력계가 검출한 값을 입력하여, 압력이 원하는 압력에 근접하도록 컴퓨터가 제1 압력, 제2 압력, 제1 유량, 제2 유량, 배기 밸브(87)의 개방도, 배기 팬(89)의 배기량을 제어하는 것으로 하더라도 좋다.In this way, the first gas and the second gas are supplied to the
한편, 열처리의 시작 시에 제1 공간(11a)의 분위기가 대기 분위기로 되어 있는 등의 경우에는, 제1 가스 공급원(71) 및 제2 가스 공급원(72)으로부터의 가스 공급과 배기 팬(89)에 의한 배기를 처음에 시작하고, 제1 공간(11a)의 분위기가 열처리시의 원하는 분위기로 된 후에 피처리물(96)의 반송을 시작하더라도 좋다.On the other hand, when the atmosphere in the
여기서, 본 실시형태의 구성 요소와 본 고안의 구성 요소와의 대응 관계를 밝힌다. 본 실시형태의 롤러 하스 킬른(10)이 본 고안의 열처리 장치에 상당하고, 노체(11)가 노체에 상당하며, 제1 벽부(31)가 제1 벽부에 상당하고, 제2 벽부(32)가 제2 벽부에 상당하며, 벽체(30)가 벽체에 상당하고, 회전체(60)가 회전체에 상당하며, 모터(90)가 구동 수단에 상당하고, 제1 베어링(40)이 제1 베어링에 상당하며, 제2 베어링(50)이 제2 베어링에 상당하고, 제2 공간 공급구(33)가 제2 공간 공급구에 상당한다. 또한, 구체(43, 53)가 회전체에 상당하고, 구동측 커버(26)가 제3 공간 형성 부재에 상당하며, 구동측 지지 롤러(28)가 지지 수단에 상당하고, 제2 가스 공급원(72)이 가스 공급 수단에 상당하며, 배기 팬(89)이 배기 수단에 상당한다.Here, the correspondence between the constituent elements of the present embodiment and the constituent elements of the present invention will be clarified. The
이상 설명한 본 실시형태의 롤러 하스 킬른(10)은, 처리 공간으로서의 제1 공간(11a)을 형성하는 노체(11)와, 제1 공간(11a)에 연통되는 제2 공간(30a)을 내부에 형성하며, 제1 벽부(31)와, 제2 벽부(32)와, 제2 공간(30a) 내에 외부로부터 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구(33)를 갖는 벽체(30)를 구비하고 있다. 또한, 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 반송할 수 있는 회전체(60)가, 제1 공간(11a) 측으로부터 외부 공간을 향하여 제1 벽부(31), 제2 공간(30a), 제2 벽부(32)를 이 순서로 관통하여 일단이 제2 벽부(32)로부터 돌출되어 있다. 그리고, 이 회전체(60)의 일단측과 접속된 모터(90)가 회전체(60)를 회전 구동시킴으로써, 제1 공간(11a) 내에서 회전체(60)에 의해 피처리물(96)을 반송하면서 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 열처리할 수 있다. 이때, 회전체(60)가 제1 벽부(31)를 관통하는 부분에는, 회전체(60)를 회전 가능하게 지지하면서 회전체(60)의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극(44a, 45a)을 갖는 구름 베어링인 제1 베어링(40)이 설치되어 있다. 또한, 회전체(60)가 제2 벽부(32)를 관통하는 부분에는, 회전체(60)를 회전 가능하게 지지하면서 제1 베어링(40)에 비해서 시일성이 높은 구름 베어링인 제2 베어링(50)이 설치되어 있다. 이 때문에, 예컨대 열처리 중에 있어서, 제1 공간(11a)의 분위기와 비교하여 고압의 가스를 제2 공간 공급구(33)를 통해 제2 공간(30a) 내에 공급함으로써, 제2 공간(30a)에 공급된 가스는, 제2 베어링(50)보다도 시일성이 낮은 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)으로부터 제1 공간(11a) 측을 향하려고 한다. 이 때문에, 제1 공간(11a)으로부터 관통 구멍(16), 제3 공간(26a), 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 지나 분위기 가스가 유출되는 것을, 제2 공간(30a)으로부터 제1 공간(11a)을 향하려고 하는 가스가 억누르게 된다. 따라서, 노체(11)의 내부에서 외부 공간으로의 분위기의 유출을 보다 억제할 수 있다. 한편, 회전체(60)는 노체(11), 구동측 커버(26), 벽체(30)를 관통하여 외부 공간으로 돌출되어 있어, 회전체(60)가 회전하는 이상, 예컨대 부시(bushing) 등을 이용했다고 해도, 회전체(60)의 주위 사이의 간극을 완전히 밀봉하기는 어렵다. 본 실시형태의 롤러 하스 킬른(10)에서는, 벽체(30)가 제1 공간(11a)으로부터의 분위기의 유출구가 되는 구동측 커버(26)의 개구(27)를 막고 회전체(60)의 주위에 굳이 간극(44a, 45a)을 형성하고 있다. 이에 의해, 회전체(60)의 관통 부분을 경유하여 제1 공간(11a) 내에 가스를 적극적으로 유입시키도록 하여, 간극을 밀봉하는 것이 아니라 가스의 흐름에 의해서 제1 공간(11a)의 분위기의 유출을 억제하고 있다. 한편, 롤러 하스 킬른(10)에서는, 열처리시의 제1 공간(11a)의 분위기에 수소가 포함되기 때문에, 이 분위기가 외부 공간으로 유출되는 것을 억제하는 의의가 크다.The
또한, 제2 베어링(50)은, 내륜(51)과, 외륜(52)과, 내륜(51) 및 외륜(52)의 사이에 수납된 복수의 구체(53)와, 내륜(51)의 축 방향으로 복수의 구체(53)로부터 어긋난 위치에서 내륜(51)과 외륜(52)의 사이에 배치된 차폐 부재(54, 55)를 갖고 있다. 그리고, 제2 베어링(50)의 차폐 부재(54, 55)는 내륜(51)과 외륜(52)의 사이를 밀봉하고 있다. 이에 의해, 제2 베어링(50)에 있어서 회전체(60)의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 차폐 부재(54, 55)를 이용하여 밀봉할 수 있다. 이 때문에, 제2 공간(30a)의 분위기[예컨대 제2 공간 공급구(33)로부터 공급된 제2 가스]가 제2 베어링(50)의 간극을 지나 외부 공간으로 유출되는 것을 보다 억제할 수 있다.The
또한, 제1 베어링(40)은, 내륜(41)과, 외륜(42)과, 내륜(41) 및 외륜(42)의 사이에 수납된 복수의 구체(43)와, 내륜(41)의 축 방향으로 상기 복수의 구체(43)로부터 어긋난 위치에서 내륜(41)과 외륜(42) 사이에 배치된 차폐 부재(44, 45)를 갖고 있다. 그리고, 제1 베어링(40)의 차폐 부재(44, 45)는 내륜(41)과 외륜(42)의 사이에 간극(44a, 45a)을 형성하고 있다. 이에 따라, 제1 베어링(40)에 있어서 회전체(60)의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극(44a, 45a)을, 차폐 부재(44, 45)를 이용하여 용이하게 작게 할 수 있다. 이에 따라, 가스가 제2 공간(30a)으로부터 제1 공간(11a)을 향하게 하도록 하면서, 제1 베어링(40)의 간극을 통해 제2 공간(30a)으로부터 제1 공간(11a)으로 먼지 등의 미립자가 침입하는 것을 억제하기 쉽다.The
또한, 롤러 하스 킬른(10)은, 피처리물(96)의 가열 처리를 포함하는 열처리를 행한다. 여기서, 제1 공간(11a)에 있어서 가열 처리를 포함하는 처리가 행해지는 경우, 노체(11) 내에서 회전체(60)가 가열되는 등에 의해 제1 베어링(40)이 가열되는 경우가 있다. 이러한 경우에, 제2 공간 공급구(33)로부터 제2 공간(30a)에 가스를 공급하고, 제2 공간(30a)으로부터 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통해 제1 공간(11a)을 향하는 흐름을 생기게 함으로써, 이 가스의 흐름에 의하여 제1 베어링(40)을 냉각하여 가열을 억제할 수 있다.Further, the
그리고, 노체(11)는 제1 공간(11a) 내의 분위기를 배기할 수 있는 배기구(19)를 갖고 있다. 이 때문에, 제2 공간 공급구(33), 제2 공간(30a) 및 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통해 제1 공간(11a) 내에 가스를 공급하는 경우에, 배기구(19)로부터 분위기를 배기함으로써 제1 공간(11a) 내의 분위기의 압력을 조정하기 쉽다. 또한, 노체(11)는 제1 공간(11a) 내에 가스를 공급할 수 있는 제1 공간 공급구(18)를 갖고 있다. 이 때문에, 제2 공간(30a) 및 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통하지 않고서 제1 공간(11a)에 가스를 공급할 수 있어, 제1 공간(11a) 내의 분위기를 조정하기 쉽다.The
그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 공간 공급구(18)에 접속된 제1 배관(74)과, 제2 공간 공급구(33)에 접속된 제2 배관(75)과, 제1 배관(74) 및 제2 배관(75)에 접속된 공통 배관(73)을 구비하고 있다. 이에 따라, 제1 공간 공급구(18)를 통한 제1 공간(11a)으로의 가스 공급과, 제2 공간 공급구(33)를 통한 제2 공간(30a)으로의 가스 공급 모두를, 공통 배관(74)에 가스를 공급함으로써 함께 행할 수 있다. 또한, 제1 배관(74)은, 공통 배관 이외의 경로로부터 제1 가스 공급원(71)이 공급하는 제1 가스도 유통할 수 있다. 이 때문에, 공통 배관(73)에 가스를 공급함으로써 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a) 모두에 가스를 공급할 수 있게 하면서, 제1 배관(74)에 다른 경로로부터의 가스도 유통[공통 배관(73)으로부터의 가스와 혼합]시킴으로써, 제1 공간 공급구(18)를 통해 공급하는 가스와 제2 공간 공급구(33)를 통해 공급하는 가스의 조성을 다르게 할 수 있다.The
그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 배관(74)에 접속되어 제1 배관(74)의 유량을 조정하는 제1 유량 조정 밸브(84)와, 제2 배관(75)에 접속되어 제2 배관(75)의 유량을 조정하는 제2 유량 조정 밸브(85)를 구비하고 있다. 이에 따라, 제1 공간(11a) 및 제2 공간(30a)에 유입되는 가스의 유량을 조정할 수 있다.The
그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 공통 배관(73)에 설치되고, 또한 제1 유량 조정 밸브(84)보다도 상류 측에 설치된 제1 감압 밸브(82)와, 제2 배관(75) 중 제2 유량 조정 밸브(85)보다도 상류 측에 설치된 제2 감압 밸브(83)를 구비하며, 제1 감압 밸브(82)는, 하류 측의 가스의 압력을 제1 공간(11a)의 분위기보다도 고압인 제1 압력까지 감압하고, 제2 감압 밸브(83)는, 하류 측의 가스의 압력을 제1 공간(11a)의 분위기보다도 고압인 제2 압력까지 감압한다. 이에 따라, 감압 후의 압력(제1 압력 및 제2 압력)보다도 고압의 가스를 공통 배관으로부터 공급할 수 있다. 이 때문에, 제1 감압 밸브보다 상류 측이나 제2 감압 밸브보다 상류 측의 배관을 가늘게 하더라도 필요한 가스의 유량을 확보할 수 있다. 배관을 가늘게 할 수 있으므로, 예컨대 롤러 하스 킬른(10)의 설치 면적을 줄이는 등 구성을 컴팩트하게 하거나 제조 비용을 저감시키거나 할 수 있다.The
그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)의 사이에 제1 공간(11a) 및 제2 공간(30a)과 연통되는 제3 공간(26a)을 형성하며, 회전체(60)에 관통되어 있는 구동측 커버(26)를 구비하고 있다. 이에 따라, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)의 사이에 제3 공간(26a)이 존재함으로써, 예컨대 노체(11)로부터의 열전도에 의해 벽체(30)의 제1 베어링(40), 제2 베어링(50)의 온도가 변화되는 등의, 노체(11)로부터 벽체(30)로의 영향을 보다 억제할 수 있다.The
그리고, 회전체(60)는, 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 반송할 수 있는 반송 롤러(61)와, 모터(90)에 의해 회전 구동되고 벽체(30)를 관통하는 구동축(65)과, 구동축(65) 중 반송 롤러(61) 측의 단부가 삽입되어 그 단부와 접속된 중공 파이프형의 홀더(64)와, 반송 롤러(61) 중 구동축(65) 측에 고정된 롤러 캡(62)과, 홀더(64)와 롤러 캡(62)에 삽입되어 홀더(64) 및 롤러 캡(62)에 접속된 연결 샤프트(63)를 구비하고 있다. 그리고, 홀더(64), 롤러 캡(62) 및 연결 샤프트(63)는 제3 공간(26a) 내에 배치되어 있고, 롤러 캡(62)의 내주면과 연결 샤프트(63)의 사이에는 클리어런스가 있으며, 연결 샤프트(63)는 롤러 캡(62)에 대하여 클리어런스에 의해 축 오프셋 가능하게 접속되어 있다. 이에 따라, 연결 샤프트(63)가 롤러 캡(62)에 대하여 축 오프셋 가능하게 접속되어 있음으로써, 반송 롤러(61)와 구동축(65)에 편심(축 오프셋)이 생기더라도, 구동축(65)을 통해 반송 롤러(61)에 모터(90)로부터의 회전 구동력을 전달할 수 있다. 한편, 롤러 캡(62)과 연결 샤프트(63)가 축 오프셋 가능하지 않은 경우에, 반송 롤러(61)와 구동축(65)에 축 오프셋이 생기면, 회전체(60) 중 어느 부분에 무리한 힘이 가해져, 회전체(60)가 파손되는 경우가 있다. 연결 샤프트(63)가 롤러 캡(62)에 대하여 축 오프셋 가능하게 접속되어 있음으로써, 이와 같은 회전체(60)의 파손을 보다 억제할 수 있다. 한편, 롤러 하스 킬른(10)은 피처리물(96)의 열처리를 행하는 것으로, 제1 공간(11a) 내와 외부 공간과의 온도차에 의해서 반송 롤러(61)와 구동축(65)의 축 오프셋이 생기기 쉽기 때문에, 본 고안을 적용하는 의의가 크다.The rotating
그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 공간(11a)의 분위기와 비교하여 고압의 가스를 제2 공간(30a) 내에 공급하는 가스 공급 장치(70)를 구비하고 있기 때문에, 제2 공간(30a)에서부터 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 지나 제1 공간(11a)을 향하는 가스의 흐름을 생기게 할 수 있다.The
한편, 본 고안은 전술한 실시형태에 하등 한정되지 않으며, 본 고안의 기술적 범위에 속하는 한 여러 가지 양태로 실시할 수 있음은 물론이다.It should be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms within the technical scope of the present invention.
예컨대, 전술한 실시형태에서는, 제2 베어링(50)의 차폐 부재(54, 55)는 내륜(51)과 외륜(52)의 사이를 밀봉하고 있는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않고, 제1 베어링(40)과 비교하여 제2 베어링(50)의 시일성이 높으면 된다. 예컨대, 제2 베어링(50)의 차폐 부재(54, 55)가 제1 베어링(40)의 차폐 부재(44, 45)와 마찬가지로 내륜(51)과의 사이에 간극을 형성하고 있는 것으로 하더라도 좋다. 이 경우, 제2 베어링(50)의 간극이 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)보다도 작은 등, 제1 베어링(40)과 비교하여 제2 베어링(50)의 시일성이 높은[가스가 제2 베어링(50)보다도 제1 베어링(40)을 통과하기 쉬운] 것으로 하면 된다. 혹은, 제1 베어링(40)이 차폐 부재(44, 45) 중 적어도 한쪽을 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋고, 제2 베어링(50)이 차폐 부재(54, 55) 중 적어도 한쪽을 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋다. 제1 베어링(40), 제2 베어링(50)이 함께 차폐 부재를 구비하지 않더라도 좋다. 이 경우, 제1 베어링(40)에서의 내륜(41)의 외경과 외륜(42)의 내경과의 차가 제2 베어링(50)에서의 내륜(51)의 외경과 외륜(52)의 내경과의 차보다 크게 되도록 하여, 제2 베어링(50)의 시일성을 제1 베어링(40)보다도 높게 하더라도 좋다. 혹은, 구체(43)나 구체(53)의 수(數)나 구경(球徑)을 조정하여, 제2 베어링(50)의 시일성을 제1 베어링(40)보다도 높게 하더라도 좋다. 또한, 제1 베어링(40)의 차폐 부재(44, 45)가 차폐 부재(54, 55)와 마찬가지로 내륜(51)의 외주면과의 간극을 형성하지 않는 것으로 하고, 대신에 차폐 부재(44, 45)에 별도의 구멍을 형성함으로써 가스의 유로가 되는 간극을 형성하더라도 좋다. 한편, 제2 베어링(50)의 차폐 부재(54, 55)가 내륜(51)과 외륜(52)의 사이에 간극을 형성하고 있는 경우 등, 제2 베어링(50)의 내륜(51)과 외륜(52)과의 사이에 간극이 있는 경우에는, 제2 공간 공급구(33)로부터 제2 공간(30a)으로 공급된 가스가 외부 공간으로 유출되는 경우가 있다. 그러나, 본 실시형태에서는 제2 공간(30a)에 공급되는 제2 가스는 질소로 했기 때문에, 외부 공간으로 유출되더라도 문제는 없다. 한편, 제2 공간 공급구(33)로부터 제2 공간(30a)으로 공급하는 가스는 질소에 한정되지 않고, 불활성 가스 등의 유출되더라도 문제가 없는 가스로 하는 것이 바람직하다.For example, in the above-described embodiment, the shielding
전술한 실시형태에서는, 제1 공간(11a) 내에 배치된 회전체(60)의 개수와 동일한 수만큼 구동측 커버(26)나 벽체(30)를 갖는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않고, 복수의 회전체(60)에서 구동측 커버(26)나 벽체(30)를 공용으로 하여도 좋다. 다만, 하나의 벽체(30)를 하나의 회전체(60)가 관통하는 구성으로 함으로써, 제2 공간(30a)을 되도록 용적이 작은 공간으로 하여 제2 공간 공급구(33)에 공급하는 가스의 유량을 적게 할 수 있다.The drive-
전술한 실시형태에서는, 노체(11), 구동측 커버(26), 벽체(30)를 회전체(60)가 일직선으로 관통하고 있는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 구동축(65)이, 도 3의 좌우 방향의 축을 갖고 제1 벽부(31)를 관통하는 제1 부재와, 도 3의 상하 방향의 축을 갖고 제1 부재와 베벨 기어를 통해 제2 공간(30a) 내에서 접속되어 있으며 벽체(30)를 아래 방향으로 관통하는 제2 부재를 갖는 경우 등, 회전체(60)의 축이 일직선이 아니더라도 좋다. 이 경우, 제2 부재가 벽체(30)를 아래 방향으로 관통하는 부분에 제2 베어링(50)을 배치하면 된다. 이러한 구성에서도, 전술한 실시형태와 마찬가지로, 회전체(60)의 축 방향을 따라서 제1 공간(11a)의 분위기가 외부 공간으로 유출되는 것을 억제할 수 있다.In the embodiment described above, the rotating
전술한 실시형태에서는, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)의 사이에 제3 공간(26a)이 형성되어 있는 것으로 했지만, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)이 연통되어 있으면 된다. 예컨대, 롤러 하스 킬른(10)이 구동측 커버(26)를 구비하지 않고, 제3 공간(26a)이 형성되어 있지 않더라도 좋다. 이 경우, 벽체(30)의 제1 벽부(31)와 노체(11)가 접촉하고 있는 등에 의해, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)이 관통 구멍(16) 및 간극(44a, 45a)을 통해 연통되어 있는 것으로 하더라도 좋다. 이 경우, 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64) 등은 제2 공간(30a) 내에 배치하더라도 좋다.Although the
전술한 실시형태에서는, 구동축(65)과 반송 롤러(61)는 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64)를 통해 접속되어 있는 것으로 했지만, 이들 구성 요소 중의 하나 이상을 생략하더라도 좋다. 또한, 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64), 구동축(65) 사이의 접속은 삽입 핀(67a~67c)을 이용하는 것에 한정되지 않는다.Although the
전술한 실시형태에서는, 제1 베어링(40), 제2 베어링(50)은 볼 베어링인 것으로 했지만, 내륜과, 외륜과, 내륜 및 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체를 구비한 구름 베어링이면 된다. 예컨대 제1 베어링(40) 및 제2 베어링(50) 중 적어도 한쪽이, 전동체로서 구체(43, 53) 대신에 원기둥형의 부재를 갖는 구성으로 하여도 좋다.In the above-described embodiment, the
전술한 실시형태에서는, 피처리물(96)에 대하여 히터(20)에 의한 가열 처리를 하는 것으로 했지만, 열처리를 하는 것이면 된다. 예컨대 냉각 처리를 하는 것으로 하더라도 좋고, 가열 처리와 냉각 처리를 소정의 순서로 행하는 것으로 하더라도 좋다.In the above-described embodiment, the object to be processed 96 is subjected to heat treatment by the
전술한 실시형태에서는, 제1 감압 밸브(82)를 공통 배관(73)에 설치하는 것으로 했지만, 제1 배관(74)에 설치하더라도 좋다. 예컨대 제1 감압 밸브(82)를 접속부(76b)와 제1 유량 조정 밸브(84)의 사이에 설치하는 등, 제1 감압 밸브(82)를 제1 유량 조정 밸브(84)보다 상류의 제1 배관(74)에 설치하더라도 좋다. 또한, 제1 감압 밸브(82), 제2 감압 밸브(83) 중 어느 하나 이상을 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋다.Although the first
전술한 실시형태에서는, 가스 공급 장치(70)는 제1 유량 조정 밸브(84) 및 제2 유량 조정 밸브(85)를 구비하는 것으로 했지만, 제1 유량 조정 밸브(84) 및 제2 유량 조정 밸브(85) 중 어느 하나 이상을 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋다.The
전술한 실시형태에서는, 제1 배관(74)과 제2 배관(75)이 공통 배관(73)에 접속되어 있는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 공통 배관(73)을 구비하지 않는 것으로 하며, 제1 가스 공급원(71)이 제1 배관(74) 및 제1 공간 공급구(18)를 통해 제1 공간(11a)에 제1 가스를 공급하고, 제2 가스 공급원(72)이 제2 배관(75) 및 제2 공간 공급구(33)를 통해 제2 공간(30a)에 제2 가스를 공급하더라도 좋다. 이 경우, 예컨대 제1 가스를 질소와 수소의 혼합 기체로 하고, 제2 가스를 질소로 하여도 좋다. 혹은, 제1 공간 공급구(18)를 구비하지 않는 것으로 하여, 가스 공급 장치(70)는 제2 배관(75)으로부터 제2 공간 공급구(33)를 통해 제2 공간(30a)에 가스를 공급하고, 제2 공간(30a)을 통해 제1 공간(11a)에 가스를 공급하는 것으로 하더라도 좋다.In the embodiment described above, the
전술한 실시형태에서는, 배기 장치(86)의 배기 팬(89)이 배기구(19)를 통해 제1 공간(11a)의 분위기를 배기하는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 배기 팬(89)을 구비하지 않고 제1 공간(11a)의 분위기를 흡인하지 않는 것으로 하더라도 좋다. 혹은 배기구(19)를 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋다.In the above-described embodiment, the exhaust fan 89 of the
전술한 실시형태에서는, 열처리시의 제1 공간(11a)의 분위기는 질소와 수소를 포함하는 환원 분위기로 했지만, 이것에 한정되지 않고 어떠한 분위기로 하여도 좋다. 열처리하는 피처리물에 따라서, 열처리시의 분위기의 조성, 온도, 압력 등을 적절하게 결정하면 된다.In the above-described embodiment, the atmosphere in the
전술한 실시형태에서는, 벽체(30)는, 제1 벽부(31) 및 제2 벽부(32)를 포함하는 복수의 판형 부재를 조합한 구조체로 하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 벽부(31) 및 제2 벽부(32)는 벽체(30)의 일부이어도 좋고, 독립된 부재가 아니어도 좋다. 예컨대, 벽체(30)는 일체 형성된 구조체이어도 좋다.In the above-described embodiment, the
전술한 실시형태에서는, 회전체(60)가 제2 벽부(32)를 관통하는 부분에는, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 제2 베어링(50)이 마련되어 있는 것으로 하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 회전체(60)가 제2 벽부(32)를 관통하는 부분에는, 제2 베어링(50)만이 아니라, 제1 베어링(40)에 비해서 시일성이 놓은 시일 부재가 마련되어 있으면 된다. 도 4는, 이러한 경우의 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다. 한편, 도 4에서는, 전술한 롤러 하스 킬른(10)과 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명을 생략한다. 도 4에서는, 벽체(30)의 제2 벽부(132)는 구동축(65)에 의해 관통되어 있고, 이 관통 부분에는 일단측 베어링(150)과 축 시일(156)이 부착되어 있다. 일단측 베어링(150)은, 회전체(60)[구동축(65)]를 회전 가능하게 지지하는 볼 베어링이며, 제1 베어링(40) 및 축 시일(156)보다도 구동축(65)의 일단측(도 4의 좌측)에 배치되어 있다. 이 일단측 베어링(150)은, 차폐 부재(54, 55)를 구비하지 않는 점 이외에는, 전술한 제2 베어링(50)과 동일한 구성을 하고 있다. 축 시일(156)은, 링형의 부재이며, 중심을 구동축(65)이 관통하고 있다. 축 시일(156)은, 오일 시일이며, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 시일 부재로서 구성되어 있다. 이 축 시일(156)은, 본체부(157)와, 금속 고리(158)와, 스프링(159)을 구비한다. 본체부(157)는, 고무 등의 탄성체로 이루어지는 링형의 부재이며, 외주면 및 제2 공간(30a)측(도 4의 우측)의 면이 제2 벽부(132)에 접촉하여 고정되어 있다. 본체부(157)에는, 자신의 내주면측에 시일 립부(157a), 더스트 립부(157b)가 형성되어 있다. 시일 립부(157a)는, 구동축(65)의 축 방향의 단면에서 보았을 때, 구동축(65)을 향하여 선단이 가늘어지는 형상을 하고 있고, 그 선단에서 구동축(65)과 접촉해 있다. 더스트 립부(157b)는, 구동축(65)을 향해 돌출해 있고, 선단이 구동축(65)의 외주면과 접촉해 있다. 더스트 립부(157b)는, 외주 공간으로부터의 더스트 등의 침입을 막는 역할을 담당한다. 금속 고리(158)는, 구동축(65)의 주위를 둘러싸도록 배치된 링형의 부재이며, 본체부(157)를 제2 벽부(132)에 밀어붙인다. 이 때문에, 본체부(157)와 제2 벽부(132)의 사이에는 간극이 없고, 축 시일(156)과 제2 벽부(132)의 사이는 밀봉되어 있다. 스프링(159)은, 시일 립부(157a)의 주위를 둘러싸도록 마련된 링형의 탄성체이다. 스프링(159)의 탄성력에 의해, 시일 립부(157a)의 선단은 구동축(65)의 외주면에 밀어붙여진다. 이 때문에, 구동축(65)과 본체부(157)의 사이에는 간극이 없고, 구동축(65)과 축 시일(156)의 사이는 밀봉되어 있다. 이와 같이 구성된 변형예의 롤러 하스 킬른에서는, 회전체(60)가 제2 벽부(132)를 관통하는 부분에, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 축 시일(156)이 마련되어 있다. 이 때문에, 전술한 실시형태와 마찬가지로, 제2 공간(30a)에 공급된 가스가 제1 공간(11a)측을 향하게 되어, 제1 공간(11a)으로부터 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통하여 분위기 가스가 유출되는 것을 억누를 수 있다. 한편, 도 4에 도시한 변형예의 롤러 하스 킬른에서는, 구동축(65)을 지지하는 역할을 일단측 베어링(150)이 담당하고 있고, 제1 베어링(40)과 비교하여 높은 시일성을 발휘하는 역할을 축 시일(156)이 담당하고 있다. 이에 비해, 전술한 실시형태의 제2 베어링(50)은, 일단측 베어링(150)의 역할과 축 시일(156)의 역할을 겸하고 있다. 한편, 도 4에 도시한 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서, 축 시일(156)과 제2 벽부(132)의 사이나, 축 시일(156)과 구동축(65)의 사이에는 간극이 없고 밀봉되어 있는 것으로 하였지만, 제1 베어링(40)과 비교하여 축 시일(156)의 시일이 높으면, 간극이 형성되어 있어도 좋다. 또한, 축 시일(156)은 오일 시일로 하였지만, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높으면, 어떠한 축 시일을 사용하여도 좋다. 또한, 도 4에 도시하는 바와 같이, 일단측 베어링(150)은 축 시일(156)보다도 구동축(65)의 일단측(도 4의 좌측)에 배치되어 있는 것으로 하였지만, 일단측 베어링(150)을 축 시일(156)보다도 구동축(65)의 타단측(도 4의 우측)에 배치하여도 된다. 예컨대 도 4에 있어서의 일단측 베어링(150)과 축 시일(156)의 배치를 반대로 하여도 된다. 또한, 도 4에서는, 일단측 베어링(150)은 차폐 부재(54, 55)를 구비하지 않아, 일단측 베어링(150)은 제1 베어링(40)보다도 시일성이 낮은 것으로 하였지만, 제1 베어링(40)보다도 시일성이 높은 것으로 하여도 된다. 또한, 도 4의 일단측 베어링(150)은 볼 베어링으로 하였지만, 이에 한정되지 않고, 내륜과, 외륜과, 내륜 및 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체를 구비한 구름 베어링이어도 된다.The
도 4에 도시한 변형예의 롤러 하스 킬른에서는, 회전체(60)가 제2 벽부(132)를 관통하는 부분에 일단측 베어링(150)이 마련되어 있는 것으로 하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 일단측 베어링(150)이 외부 공간에서 회전체(60)을 지지하여도 된다. 도 5는, 이러한 경우의 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다. 한편, 도 5에서는, 전술한 롤러 하스 킬른(10)이나 도 4의 롤러 하스 킬른과 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명을 생략한다. 도 5에서는, 벽체(30)의 제2 벽부(232)는 구동축(65)에 의해 관통되어 있다. 이 관통 부분에는, 축 시일(156)이 부착되어 있다. 또한, 회전체(60)[구동축(65)]의 일단측(도 5의 좌측)은, 외부 공간에서 지지부(294)를 관통하고 있다. 구동축(65)이 지지부(294)를 관통하는 부분에는, 일단측 베어링(250)이 마련되어 있다. 일단측 베어링(250)은, 외부 공간에서 회전체(60)[구동축(65)]을 회전 가능하게 지지하는 볼 베어링이며, 도 4의 일단측 베어링(150)과 동일한 구성을 하고 있다. 또한, 벽체(30)와 지지부(294)의 사이에는, 캠 클러치(293a, 293b)가 마련되어 있다. 캠 클러치(293a)는, 캠 클러치(293b)와 벽체(30)의 사이에 배치되어 있다. 캠 클러치(293a, 293b)는, 도시는 생략하지만, 내륜과 외륜을 갖고 있고, 외륜으로부터의 구동력을 내륜에 전달하는 한편, 내륜으로부터의 구동력은 외륜에 전달되지 않도록[외륜에 대하여 내륜이 공전(空轉)하도록] 구성된 기계식 클러치이다. 캠 클러치(293a, 293b)의 내륜은, 각각 구동축(65)의 외주면에 접속되어 있다. 캠 클러치(293a, 293b)의 외륜은, 각각 스프로켓(266a, 266b)에 동축으로 접속되어 있다. 스프로켓(266a, 266b)에는, 각각 롤러 체인(292a, 292b)이 걸쳐져 있다. 롤러 체인(292a)은, 스프로켓(266a)과, 외부 공간에 배치된 도시하지 않은 저속 모터의 구동축을 걸치도록 배치되어 있다. 롤러 체인(292b)은, 스프로켓(266b)과, 외부 공간에 배치된 도시하지 않은 고속 모터의 구동축을 걸치도록 배치되어 있다. 저속 모터로부터 출력된 회전 구동력은, 캠 클러치(293a)를 통해 구동축(65)에 전달되어 회전체(60) 전체를 저속으로 회전시킨다. 또한, 저속 모터에 의해 구동축(65)이 회전하여도, 캠 클러치(293b)의 내륜은 공전하므로 고속 모터에는 회전 구동력은 전달되지 않는다. 마찬가지로, 고속 모터로부터 출력된 회전 구동력은, 캠 클러치(293b)를 통해 구동축(65)에 전달되어 회전체(60) 전체를 고속으로 회전시킨다. 또한, 고속 모터에 의해 구동축(65)이 회전하여도, 캠 클러치(293a)의 내륜은 공전하므로 저속 모터에는 회전 구동력은 전달되지 않는다. 이와 같이, 도 5의 회전체(60)는, 저속 모터 및 고속 모터에 의해 다른 속도로 회전 가능하다. 이 때문에, 회전체(60)에 의한 피처리물(96)의 반송 속도의 전환이 가능해진다. 이와 같이 구성된 변형예의 롤러 하스 킬른에서는, 회전체(60)가 제2 벽부(232)를 관통하는 부분에, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 축 시일(156)이 마련되어 있다. 이 때문에, 전술한 실시형태나 도 4의 롤러 하스 킬른과 마찬가지로, 제2 공간(30a)에 공급된 가스가 제1 공간(11a)측을 향하게 되어, 제1 공간(11a)으로부터 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통해 분위기가 유출되는 것을 억누를 수 있다. 한편, 도 5의 일단측 베어링(250)은 볼 베어링으로 하였지만, 이에 한정되지 않는 임의의 베어링을 이용하여도 된다. 예컨대 볼 베어링 이외의 구름 베어링으로 하여도 된다. 예컨대, 전술한 실시형태의 종동측 지지 롤러(24)나 구동측 지지 롤러(28)와 같이 구동축(65)을 하측으로부터 회전 가능하게 지지하는 구름 베어링으로 하여도 된다. 혹은, 일단측 베어링(250)은 미끄럼 베어링으로 하여도 된다.In the roller hearth kiln of the modification shown in Fig. 4, the one end side bearing 150 is provided at the portion through which the
한편, 도 4에서의 일단측 베어링(150)을 생략해도 좋고, 도 5에서의 일단측 베어링(250)을 생략해도 좋다. 이 경우에도, 제1 베어링(40)과 1 이상의 베어링[예컨대 종동측 지지 롤러(24), 구동측 지지 롤러(28) 등]이 있으면, 구동축(65)을 회전 가능하게 지지할 수 있다.On the other hand, the one-
산업상 이용가능성Industrial availability
본 고안은 피처리물을 반송하면서 소성 등의 열처리를 행할 필요가 있는 산업, 예컨대 세라믹스 컨덴서 등의 세라믹스 제품의 제조 산업 등에 이용할 수 있다.The present invention can be used in an industry in which it is necessary to carry out heat treatment such as firing while conveying a material to be processed, for example, in a manufacturing industry of ceramics products such as ceramics capacitors.
10: 롤러 하스 킬른 11: 노체
11a: 제1 공간 12: 전단면
13: 후단면 14, 15: 개구
16, 17: 관통 구멍 18: 제1 공간 공급구
19: 배기구 20: 히터
22: 종동측 커버 24: 종동측 지지 롤러
26: 구동측 커버 26a: 제3 공간
27: 개구 28: 구동측 지지 롤러
30: 벽체 30a: 제2 공간
31: 제1 벽부 32: 제2 벽부
33: 제2 공간 공급구 40: 제1 베어링
41: 내륜 42: 외륜
43: 구체 44, 45: 차폐 부재
44a, 45a: 간극 50: 제2 베어링
51: 내륜 52: 외륜
53: 구체 54, 55: 차폐 부재
60: 회전체 61: 반송 롤러
61a: 돌출부 62: 롤러 캡
62a, 62b: 절결부 63: 연결 샤프트
64: 홀더 64a~64d: 절결부
65: 구동축 66: 스프로켓
67a~67c: 삽입 핀 68a~68c: 멈춤 나사
69a~69c: C형 멈춤 링 70: 가스 공급 장치
71; 제1 가스 공급원 72: 제2 가스 공급원
73: 공통 배관 74: 제1 배관
75: 제2 배관 76a, 76b: 접속부
80: 필터 81: 유량계
82: 제1 감압 밸브 83: 제2 감압 밸브
84: 제1 유량 조정 밸브 85: 제2 유량 조정 밸브
86: 배기 장치 87: 배기 밸브
88: 흡기 밸브 89: 배기 팬
90: 모터 91: 구동축
92: 롤러 체인 95: 트레이
96: 피처리물 150, 250: 일단측 베어링
156: 축 시일 157: 본체부
157a: 시일 립부 157b: 더스트 립부
158: 금속 고리 259: 스프링
266a, 266b: 스프로켓 292a, 292b: 롤러 체인
293a, 293b: 캠 클러치 294: 지지부10: Roller Haas Kiln 11: Noche
11a: first space 12: front section
13:
16, 17: through hole 18: first space supply port
19: exhaust port 20: heater
22: driven side cover 24: driven side support roller
26:
27: opening 28: driving side supporting roller
30:
31: first wall portion 32: second wall portion
33: second space supply port 40: first bearing
41: inner ring 42: outer ring
43:
44a, 45a: Clearance 50: Second bearing
51: inner ring 52: outer ring
53:
60: rotating body 61: conveying roller
61a: protrusion 62: roller cap
62a, 62b: cut-out portion 63: connecting shaft
64:
65: drive shaft 66: sprocket
67a to 67c: Insertion pins 68a to 68c:
69a to 69c: C-type stop ring 70: gas supply device
71; First gas supply source 72: Second gas supply source
73: Common piping 74: First piping
75:
80: Filter 81: Flowmeter
82: first pressure reducing valve 83: second pressure reducing valve
84: first flow regulating valve 85: second flow regulating valve
86: Exhaust device 87: Exhaust valve
88: intake valve 89: exhaust fan
90: motor 91: drive shaft
92: Roller chain 95: Tray
96: object to be processed 150, 250: one side bearing
156: shaft seal 157:
157a: seal
158: metal ring 259: spring
266a, 266b:
293a, 293b: cam clutch 294:
Claims (15)
상기 처리 공간으로서의 제1 공간을 형성하는 노체와,
상기 제1 공간에 연통되는 제2 공간을 내부에 형성하며, 제1 벽부와, 제2 벽부와, 상기 제2 공간 내에 외부로부터 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구를 갖는 벽체와,
상기 제1 공간 내에서 상기 피처리물을 반송할 수 있고, 상기 제1 공간 측으로부터 외부 공간을 향하여 상기 제1 벽부, 상기 제2 공간, 상기 제2 벽부를 이 순서로 관통하여 일단이 상기 제2 벽부로부터 돌출되어 있는 회전체와,
상기 회전체의 상기 일단측과 접속되어 상기 회전체를 회전 구동할 수 있는 구동 수단과,
상기 제1 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 회전체를 회전 가능하게 지지하면서 상기 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 갖는 구름 베어링인 제1 베어링과,
상기 제2 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 제1 베어링과 비교하여 시일성이 높은 시일 부재
를 포함하고,
상기 노체와 상기 제1 벽부 사이에 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간과 연통되는 제3 공간을 형성하고, 상기 회전체에 관통되어 있는 제3 공간 형성 부재를 구비하는 것인 열처리 장치.A heat treatment apparatus for performing a heat treatment on an object to be processed in a processing space,
A furnace body forming a first space as the processing space,
A wall having a first space communicating with the first space and having a first wall portion, a second wall portion, and a second space supply port capable of supplying gas from the outside in the second space,
The first space, the second space, and the second wall in this order from the first space side toward the outer space, so that one end of the first space can pass through the first space, A rotating body protruding from the two wall portions,
Driving means connected to the one end side of the rotating body for rotationally driving the rotating body,
A first bearing which is a rolling bearing provided at a portion through which the rotating body passes the first wall portion and which has a gap through which gas can flow in the direction of passage of the rotating body while rotatably supporting the rotating body;
The second wall portion is provided at a portion through which the rotating body passes, and a seal member having a higher sealability than the first bearing,
Lt; / RTI >
And a third space forming member formed between the furnace body and the first wall portion to form the first space and a third space communicating with the second space, the third space forming member passing through the rotator.
상기 시일 부재는 축 시일인 것인 열처리 장치.The bearing device according to claim 1, further comprising: a one-end bearing disposed on one end side of the rotating body and supporting the one end side of the rotating body in a rotatable manner,
Wherein the seal member is a shaft seal.
상기 제2 베어링의 차폐 부재는, 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 상기 제1 베어링의 상기 간극과 비교하여 작은 간극을 형성하거나, 또는 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이를 밀봉하는 것인 열처리 장치.4. The internal combustion engine according to claim 3, wherein the second bearing comprises: an inner ring; an outer ring; a plurality of rolling bodies accommodated between the inner ring and the outer ring; And a shielding member disposed between the inner ring and the outer ring in a shifted position,
Wherein the shielding member of the second bearing is provided between the inner ring and the outer ring to form a gap smaller than the gap of the first bearing or between the inner ring and the outer ring, .
상기 제1 베어링의 차폐 부재는, 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 상기 간극을 형성하는 것인 열처리 장치.5. The internal combustion engine according to claim 4, wherein the first bearing comprises: an inner ring, an outer ring, a plurality of rolling elements housed between the inner ring and the outer ring, and a plurality of rolling elements disposed at positions displaced from the plurality of rolling elements in the axial direction of the inner ring. And a shielding member disposed between the inner ring and the outer ring,
Wherein the shielding member of the first bearing forms the gap between the inner ring and the outer ring.
상기 제2 공간 공급구에 접속된 제2 배관과,
상기 제1 배관 및 상기 제2 배관에 접속된 공통 배관을 구비하는 것인 열처리 장치.The apparatus according to claim 9, further comprising: a first pipe connected to the first space supply port;
A second pipe connected to the second space supply port,
And a common pipe connected to the first pipe and the second pipe.
상기 제2 배관에 접속되어 상기 제2 배관의 유량을 조정하는 제2 유량 조정 밸브를 구비하는 것인 열처리 장치.The apparatus according to claim 10, further comprising: a first flow rate adjusting valve connected to the first pipe to adjust a flow rate of the first pipe;
And a second flow rate adjusting valve connected to the second pipe to adjust a flow rate of the second pipe.
상기 제2 배관 중 상기 제2 유량 조정 밸브보다도 상류 측에 설치된 제2 감압 밸브를 구비하며,
상기 제1 감압 밸브는, 하류 측의 가스의 압력을 상기 제1 공간의 분위기보다도 고압인 제1 압력까지 감압하고,
상기 제2 감압 밸브는, 하류 측의 가스의 압력을 상기 제1 공간의 분위기보다도 고압인 제2 압력까지 감압하는 것인 열처리 장치.12. The air conditioner according to claim 11, further comprising: a first pressure reducing valve provided on at least one of said common pipe and said first pipe,
And a second pressure reducing valve disposed upstream of the second flow control valve in the second pipe,
The first pressure reducing valve reduces the pressure of the gas on the downstream side to a first pressure higher than the atmosphere of the first space,
Wherein the second pressure reducing valve reduces the pressure of the gas on the downstream side to a second pressure higher than the atmosphere of the first space.
상기 홀더, 상기 롤러 캡 및 상기 연결 샤프트는, 상기 제3 공간 내에 배치되며,
상기 롤러 캡의 내주면과 상기 연결 샤프트의 사이에는 클리어런스가 있고, 상기 연결 샤프트는 상기 롤러 캡에 대하여 상기 클리어런스에 의해 축 오프셋 가능하게 접속되어 있는 것인 열처리 장치.6. The rotary electric machine according to any one of claims 1 to 5, wherein the rotating body includes: a conveying roller capable of conveying the object to be processed in the first space; A roller cap fixed to the side of the drive shaft among the conveying rollers; and a roller cap which is inserted into the holder and the roller cap, And a connection shaft connected to the holder and the roller cap,
Wherein the holder, the roller cap and the connection shaft are disposed in the third space,
Wherein there is a clearance between the inner circumferential surface of the roller cap and the connecting shaft, and the connecting shaft is axially offsetably connected to the roller cap by the clearance.
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| JP2000109926A (en) | 1998-10-05 | 2000-04-18 | Nkk Corp | Intra-furnace roll shaft sealing device in continuous processing furnace of metal band and usage method |
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-
2013
- 2013-09-17 KR KR2020130007786U patent/KR200483965Y1/en active IP Right Grant
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