JP6184898B2 - クロロシラン類、クロロシラン類の精製方法、および、シリコン結晶 - Google Patents
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図4は、上述の複合物(PH3−BH3)の蒸留分離工程(S104)後に得られたクロロシラン類をさらに蒸留分離(S105、S106)して得られた各ガスを原料として用いてエピタキシャル成長させて得られたシリコン結晶の比抵抗値を比較した図(深さ方向マッピング)である。
表2は、ステップS102後(ステップS103前)のトリクロロシラン、ステップS106後のジクロロシラン、トリクロロシラン、およびテトラクロロシランを原料ガスとして用いてエピタキシャル成長させたシリコン結晶の比抵抗、PおよびB濃度([P]および[B])等の評価結果を纏めた表である。
Claims (3)
- 三塩化リン(PCl3)および三塩化ボロン(BCl3)を不純物として含むトリクロロシランを、不均化反応触媒としての陰イオン交換樹脂に流通させ、前記三塩化リン(PCl3)および三塩化ボロン(BCl3)を不均化せしめてホスフィン(PH3)とボラン(BH3)の複合物(PH3−BH3)であって沸点が−85℃〜−87.5の間にある複合物を生成させる第1工程と、
前記第1工程後のクロロシラン類から、前記複合物(PH 3 −BH 3 )を蒸留分離して、前記トリクロロシランからリン不純物とボロン不純物を同時に除去する第2工程と、
前記第2工程後のクロロシラン類をさらに蒸留して、精製されたトリクロロシランを分離する第3工程を備えている、クロロシラン類の精製方法。 - 前記陰イオン交換樹脂は、第三級アミンを交換基とする弱塩基性陰イオン交換樹脂である、請求項1に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記陰イオン交換樹脂は、トリメチルアンモニウムを交換基とするI型強塩基性陰イオン交換樹脂である、請求項1に記載のクロロシラン類の精製方法。
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