JP6184514B2 - 有機電界発光素子、照明装置、照明システム及び有機電界発光素子の製造方法 - Google Patents
有機電界発光素子、照明装置、照明システム及び有機電界発光素子の製造方法 Download PDFInfo
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Description
本発明の実施形態は、有機電界発光素子、照明装置、照明システム及び有機電界発光素子の製造方法に関する。
光透過性の第１電極と、光反射性の第２電極と、第１電極と第２電極との間に設けられた有機層と、を含む有機電界発光素子がある。有機電界発光素子を光源として用いた照明装置がある。複数の有機電界発光素子と、これら複数の有機電界発光素子の点灯及び消灯を制御する制御部と、を含む照明システムがある。有機電界発光素子では、第２電極を細線状にすることで、素子に光透過性を持たせることが行われている。このような有機電界発光素子において、良好な発光特性が望まれる。
本発明の実施形態は、良好な発光特性の有機電界発光素子、照明装置、照明システム及び有機電界発光素子の製造方法を提供する。
本発明の実施形態によれば、第１電極と、有機層と、第２電極と、を備えた有機電界発光素子が提供される。前記第１電極は、光透過性である。前記有機層は、前記第１電極の上に設けられる。前記第２電極は、前記有機層の上に設けられ、光反射性である。前記第２電極は、第１方向に延びる複数の第１導電部と、第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む。前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並ぶ。前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並ぶ。前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。
本発明の別の実施形態によれば、照明装置は、有機電界発光素子と、電源部と、を含む。前記有機電界発光素子は、第１電極と、有機層と、第２電極と、を含む。前記第１電極は、光透過性である。前記有機層は、前記第１電極の上に設けられる。前記第２電極は、前記有機層の上に設けられ、光反射性である。前記第２電極は、第１方向に延びる複数の第１導電部と、第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む。前記電源部は、前記第１電極と前記第２電極とに電気的に接続され、前記第１電極及び前記第２電極を介して前記有機層に電流を供給する。前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並ぶ。前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並ぶ。前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。
本発明の別の実施形態によれば、照明システムは、複数の有機電界発光素子と、制御部と、を含む。前記複数の有機発光素子のそれぞれは、第１電極と、有機層と、第２電極と、を含む。前記第１電極は、光透過性である。前記有機層は、前記第１電極の上に設けられる。前記第２電極は、前記有機層の上に設けられ、光反射性である。前記第２電極は、第１方向に延びる複数の第１導電部と、第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む。前記電源部は、前記第１電極と前記第２電極とに電気的に接続され、前記第１電極及び前記第２電極を介して前記有機層に電流を供給する。制御部は、前記複数の有機電界発光素子のそれぞれと電気的に接続され、前記複数の有機電界発光素子のそれぞれの点灯及び消灯を制御する。前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並ぶ。前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並ぶ。前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。
本発明の別の実施形態によれば、有機電界発光素子の製造方法は、基板の上に、光透過性の第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上、有機層を形成する工程と、前記有機層の上に、光反射性の第２電極を形成する工程と、を含む。前記第２電極を形成する前記工程は、スリット部を含むマスクを用いることにより、第１方向に延びる複数の第１導電部と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む前記第２電極を形成することを含む。前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並ぶ。前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並ぶ。前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。
本発明の別の実施形態によれば、照明装置は、有機電界発光素子と、電源部と、を含む。前記有機電界発光素子は、第１電極と、有機層と、第２電極と、を含む。前記第１電極は、光透過性である。前記有機層は、前記第１電極の上に設けられる。前記第２電極は、前記有機層の上に設けられ、光反射性である。前記第２電極は、第１方向に延びる複数の第１導電部と、第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む。前記電源部は、前記第１電極と前記第２電極とに電気的に接続され、前記第１電極及び前記第２電極を介して前記有機層に電流を供給する。前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並ぶ。前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並ぶ。前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。
本発明の別の実施形態によれば、照明システムは、複数の有機電界発光素子と、制御部と、を含む。前記複数の有機発光素子のそれぞれは、第１電極と、有機層と、第２電極と、を含む。前記第１電極は、光透過性である。前記有機層は、前記第１電極の上に設けられる。前記第２電極は、前記有機層の上に設けられ、光反射性である。前記第２電極は、第１方向に延びる複数の第１導電部と、第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む。前記電源部は、前記第１電極と前記第２電極とに電気的に接続され、前記第１電極及び前記第２電極を介して前記有機層に電流を供給する。制御部は、前記複数の有機電界発光素子のそれぞれと電気的に接続され、前記複数の有機電界発光素子のそれぞれの点灯及び消灯を制御する。前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並ぶ。前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並ぶ。前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。
本発明の別の実施形態によれば、有機電界発光素子の製造方法は、基板の上に、光透過性の第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上、有機層を形成する工程と、前記有機層の上に、光反射性の第２電極を形成する工程と、を含む。前記第２電極を形成する前記工程は、スリット部を含むマスクを用いることにより、第１方向に延びる複数の第１導電部と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む前記第２電極を形成することを含む。前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並ぶ。前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並ぶ。前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なる。前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差する。前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である。
以下に、各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子を模式的に表す断面図である。
図１に表したように、有機電界発光素子１１０は、積層体ＳＢを含む。積層体ＳＢは、第１電極１０と、第２電極２０と、有機層３０と、を含む。なお、図１では、便宜的に、有機電界発光素子１１０の一部を拡大して表している。
図１は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子を模式的に表す断面図である。
図１に表したように、有機電界発光素子１１０は、積層体ＳＢを含む。積層体ＳＢは、第１電極１０と、第２電極２０と、有機層３０と、を含む。なお、図１では、便宜的に、有機電界発光素子１１０の一部を拡大して表している。
第１電極１０は、光透過性を有する。第１電極１０は、例えば、透明電極である。有機層３０は、第１電極１０の上に設けられる。有機層３０は、有機発光層を含む。有機層３０は、光透過性を有する。有機層３０は、例えば、消灯状態において光透過性を有する。
第２電極２０は、有機層３０の上に設けられる。すなわち、有機層３０は、第１電極１０と第２電極２０との間に設けられる。第２電極２０は、光反射性を有する。第２電極２０の光反射率は、第１電極１０の光反射率よりも高い。本願明細書においては、第１電極１０の光反射率よりも高い光反射率を有している状態を光反射性という。
有機電界発光素子１１０は、例えば、基板４０をさらに含む。積層体ＳＢは、基板４０の上に設けられる。すなわち、この例では、基板４０の上に第１電極１０が設けられ、第１電極１０の上に有機層３０が設けられ、有機層３０の上に第２電極２０が設けられる。基板４０は、光透過性を有する。基板４０は、例えば、透明である。
ここで、積層体ＳＢの積層方向（第１電極１０から第２電極２０に向かう方向）に対して平行な方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向は、換言すれば、第１電極１０、第２電極２０及び有機層３０のそれぞれの膜面に対して垂直な方向である。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｘ軸方向とＺ軸方向とに対して垂直な方向をＹ軸方向とする。
図２は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子の第２電極の一例を模式的に表す平面図である。
図２に表したように、第２電極２０は、第１導電部２１と、第２導電部２２と、を含む。本実施形態においては、第２電極２０は、複数の第１導電部２１と、複数の第２導電部２２と、を含む。なお、図２では、便宜的に、第２電極２０の一部を拡大して表している。
図２に表したように、第２電極２０は、第１導電部２１と、第２導電部２２と、を含む。本実施形態においては、第２電極２０は、複数の第１導電部２１と、複数の第２導電部２２と、を含む。なお、図２では、便宜的に、第２電極２０の一部を拡大して表している。
第１導電部２１は、第１方向に延びる。本実施形態においては、複数の第１導電部２１のそれぞれは、第１方向に延びる。すなわち、第１導電部２１の一点と他の一点とを結ぶ線が最も長くなるときの、該線の方向を第１方向を第１方向とする。また、複数の第１導電部２１のそれぞれは、第１方向と交差する第２方向に並ぶ。この例では、複数の第１導電部２１のそれぞれが、Ｙ軸方向に延び、Ｘ軸方向に並ぶ。すなわち、この例では、第２方向が、第１方向に対して実質的に垂直である。第２方向は、第１方向に対して垂直な方向に限ることなく、第１方向と交差する任意の方向でよい。複数の第１導電部２１のそれぞれは、例えば、Ｘ軸方向に実質的に等間隔に並ぶ。
第２導電部２２は、第２方向に延びる。本実施形態においては、複数の第２導電部２２のそれぞれは、第２方向に延びる。また、複数の第２導電部２２のそれぞれは、第１方向に並ぶ。この例では、複数の第２導電部２２のそれぞれが、Ｘ軸方向に延び、Ｙ軸方向に並ぶ。複数の第２導電部２２のそれぞれは、例えば、Ｙ軸方向に実質的に等間隔に並ぶ。第２導電部２２は、複数の第１導電部２１のいずれかと交差する。ここで、「交差する」とは、第１導電部２１と第２導電部２２との少なくとも一部が重なっていれば良い。重なる部分は、端部でもよいし、中央部分でも良い。
第２電極２０は、第１給電部２５と、第２給電部２６と、をさらに含む。第１給電部２５及び第２給電部２６は、第２電極２０と外部の機器との電気的な接続に用いられる。第１給電部２５及び第２給電部２６は、換言すれば、電極パッドである。
この例において、第１給電部２５及び第２給電部２６は、第２電極２０の外縁に沿って設けられる。第１給電部２５は、第２電極２０の一辺に沿ってＸ軸方向に延びる。第２給電部２６は、第２電極２０の別の一辺に沿ってＹ軸方向に延びる。第１給電部２５及び第２給電部２６の形状は、これに限ることなく、外部の機器との電気的な接続が可能な任意の形状でよい。
第１給電部２５は、第１導電部２１と電気的に接続される。第２給電部２６は、第２導電部２２と電気的に接続される。この例では、第１給電部２５及び第２給電部２６のそれぞれが、複数の第１導電部２１及び複数の第２導電部２２のそれぞれと電気的に接続されている。これにより、第１給電部２５及び第２給電部２６の少なくとも一方により、複数の第１導電部２１及び複数の第２導電部２２のそれぞれに通電を行うことができる。第１給電部２５及び第２給電部２６は、必要に応じて設けられ、省略可能である。第１給電部２５または第２給電部２６の一方のみを設けてもよい。
また、第２電極２０は、複数の開口部２０ａをさらに含む。複数の開口部２０ａは、複数の第１導電部２１及び複数の第２導電部２２のそれぞれの間の部分である。複数の開口部２０ａのそれぞれは、例えば、有機層３０の一部を露呈させる。例えば、複数の開口部２０ａによって、有機層３０の複数の部分が露呈される。すなわち、第２電極２０の形状は、メッシュ状である。
有機電界発光素子１１０では、有機層３０のうちの第１電極１０と第１導電部２１との間の部分、及び、第１電極１０と第２導電部２２との間の部分が、発光領域ＥＡとなる。発光領域ＥＡから発せられた発光ＥＬは、第１電極１０及び基板４０を透過して、有機電界発光素子１１０の外部に出射する。発光ＥＬの一部は、第２電極２０で反射し、有機層３０、第１電極１０及び基板４０を透過して外部に出射する。すなわち、有機電界発光素子１１０は、片面発光型である。
また、有機電界発光素子１１０では、外部から入射する外光ＯＬが、複数の開口部２０ａ、有機層３０、第１電極１０及び基板４０を透過する。このように、有機電界発光素子１１０は、発光ＥＬを出射させつつ、外部から有機電界発光素子１１０に入射する外光ＯＬを透過させる。このように、有機電界発光素子１１０は、光透過性を有する。これにより、有機電界発光素子１１０では、有機電界発光素子１１０を介して、背景の像を視認できる。すなわち、有機電界発光素子１１０は、シースルー可能な薄膜状または板状の光源である。
このように、実施形態の有機電界発光素子１１０によれば、光透過性の有機電界発光素子を提供できる。この有機電界発光素子１１０を照明装置に応用した場合、照明機能の他に、背景像を透過させる機能により、種々の新たな応用が可能になる。
第１導電部２１のＹ軸方向の長さＬｙ１は、例えば、１ｍｍより長く４７ｍｍ以下である。
また、複数の第１導電部２１を設ける場合には、第１導電部２１のそれぞれの長さＬｙ１は、例えば、複数の第２導電部２２のそれぞれのＹ軸方向の間隔Ｐｙの２倍以上である。これにより、複数の第１導電部２１のそれぞれは、少なくとも２つの第２導電部２２と交差する。
間隔Ｐｙは、換言すれば、複数の第２導電部２２のそれぞれのＹ軸方向における中心間の距離である。間隔Ｐｙは、例えば、５００μｍである。従って、第１導電部２１の長さＬｙ１は、例えば、１ｍｍよりも長くする。
第２導電部２２のＸ軸方向の長さＬｘ２は、例えば、１ｍｍより長く４７ｍｍ以下である。
また、複数の第２導電部２２を設ける場合には、第２導電部２２のそれぞれの長さＬｘ２は、例えば、複数の第１導電部２１のそれぞれのＸ軸方向の間隔Ｐｘの２倍以上である。これにより、複数の第２導電部２２のそれぞれは、少なくとも２つの第１導電部２１と交差する。
間隔Ｐｘは、換言すれば、複数の第１導電部２１のそれぞれのＸ軸方向における中心間の距離である。間隔Ｐｘは、例えば、５００μｍである。従って、第２導電部２２の長さＬｘ２は、例えば、１ｍｍよりも長くする。
この例では、複数の第１導電部２１が、Ｘ軸方向に並ぶとともに、Ｙ軸方向に並ぶ。換言すれば、第１導電部２１は、Ｙ軸方向において途切れた部分を有している。このように、第１導電部２１は、Ｙ軸方向に延びる連続した１本の線状ではない。
この例では、複数の第２導電部２２が、Ｙ軸方向に並ぶとともに、Ｘ軸方向に並ぶ。換言すれば、第２導電部２２は、Ｘ軸方向において途切れた部分を有している。このように、第２導電部２２は、Ｘ軸方向に延びる連続した１本の線状ではない。
前述のように、第１導電部２１の長さＬｙ１は、例えば、１ｍｍより長く４７ｍｍ以下である。これに対して、第２電極２０のＹ軸方向の長さ（有機電界発光素子１１０のＹ軸方向の長さ）は、例えば、第１導電部２１の長さＬｙ１の２倍以上である。すなわち、第２電極２０は、例えば、Ｙ軸方向に第１導電部２１を２つ以上有する。従って、有機電界発光素子１１０では、複数の第１導電部２１が、Ｙ軸方向に並べて設けられる。
前述のように、第２導電部２２の長さＬｘ２は、例えば、１ｍｍより長く４７ｍｍ以下である。これに対して、第２電極２０のＸ軸方向の長さ（有機電界発光素子１１０のＸ軸方向の長さ）は、例えば、第２導電部２２の長さＬｘ２の２倍以上である。すなわち、第２電極２０は、例えば、Ｘ軸方向に第２導電部２１を２つ以上有する。従って、有機電界発光素子１１０では、複数の第２導電部２２が、Ｘ軸方向に並べて設けられる。
有機電界発光素子１１０において、複数の第１導電部２１のうちの１つの第１導電部２１ａのＹ軸方向の端部Ｅｙ１、Ｅｙ２の位置は、１つの第１導電部２１ａのＸ軸方向の隣の別の１つの第１導電部２１ｂのＹ軸方向の端部Ｅｄ３、Ｅｄ４の位置と異なる。すなわち、Ｘ軸方向に並ぶ２つの第１導電部２１ａ、２１ｂのそれぞれの位置は、互いにＹ軸方向にシフトしている。第１導電部２１は、例えば、Ｘ軸方向において、２つの第１導電部２１と隣り合う。
有機電界発光素子１１０において、複数の第２導電部２２のうちの１つの第２導電部２２ａのＸ軸方向の端部Ｅｘ１、Ｅｘ２の位置は、１つの第２導電部２２ａのＹ軸方向の隣の別の１つの第２導電部２２ｂのＸ軸方向の端部Ｅｘ３、Ｅｘ４の位置と異なる。すなわち、Ｙ軸方向に並ぶ２つの第２導電部２２ａ、２２ｂのそれぞれの位置は、互いにＸ軸方向にシフトしている。第２導電部２２は、例えば、Ｙ軸方向において、２つの第２導電部２２と隣り合う。
このように、各第１導電部２１のＹ軸方向の位置をシフトさせ、各第２導電部２２のＸ軸方向の位置をシフトさせる。これにより、例えば、各第１導電部２１及び各第２導電部２２のそれぞれを適切に交差させることができる。すなわち、各第１導電部２１及び各第２導電部２２のそれぞれにおいて、分断された部分が生じてしまうことを抑制することができる。換言すれば、各第１導電部２１及び各第２導電部２２のそれぞれを互いに連続させることができる。従って、第１導電部２１及び第２導電部２２は、直接的あるいは間接的に第１給電部２５または第２給電部２６に接続される。すなわち、第１導電部２１及び第２導電部２２は、第１給電部２５または第２給電部２６に直接接続されるか、あるいは他の第１導電部２１及び他の第２導電部２２の少なくとも一方を介して第１給電部２５または第２給電部２６に接続される。
各第１導電部２１の形状と各第２導電部２２の形状とは、例えば、延びる方向の違いのみで、実質的に同じである。例えば、各第２導電部２２を略９０°回転させた形状は、各第１導電部２１の形状と実質的に同じである。
図３は、マスクの一例を表す模式図である。
図３は、第２電極２０の形成に用いられるマスク５０を模式的に表す。
図３は、マスク５０の一例を模式的に表す平面図である。また、図３では、便宜的に、マスク５０の一部を拡大して表示している。第２電極２０の形成には、例えば、蒸着法が用いられる。マスク５０は、例えば、蒸着法に用いられるマスクである。有機層３０の上に設けられる第２電極２０は、例えば、蒸着法などのドライプロセスで形成される。
図３は、第２電極２０の形成に用いられるマスク５０を模式的に表す。
図３は、マスク５０の一例を模式的に表す平面図である。また、図３では、便宜的に、マスク５０の一部を拡大して表示している。第２電極２０の形成には、例えば、蒸着法が用いられる。マスク５０は、例えば、蒸着法に用いられるマスクである。有機層３０の上に設けられる第２電極２０は、例えば、蒸着法などのドライプロセスで形成される。
図３に表したように、マスク５０は、複数のスリット部５１と複数のマスク部５２とを含む。複数のスリット部５１は、例えば、Ｙ軸方向に延び、Ｘ軸方向に並ぶ。複数のマスク部５２のそれぞれは、例えば、複数のスリット部５１のそれぞれの間に設けられる。
各スリット部５１及び各マスク部５２の形状は、各第１導電部２１及び各第２導電部２２の形状に応じている。この例では、各スリット部５１のそれぞれにおいて、Ｘ軸方向に並ぶ２つのスリット部５１の位置が、互いにＹ軸方向にシフトしている。
スリット部５１の長さＬＳ１は、例えば、１ｍｍより長く４７ｍｍ以下である。また、複数のスリット部５１のそれぞれの長さＬＳ１は、例えば、複数のスリット部５１のそれぞれのＸ軸方向の間隔Ｐｓの２倍以上である。
間隔Ｐｓは、換言すれば、複数のスリット部５１のそれぞれのＸ軸方向における中心間の距離である。間隔Ｐｓは、例えば、５００μｍである。従って、スリット部５１の長さＬＳ１は、例えば、１ｍｍよりも長くする。このように、スリット部５１の長さＬＳ１及びＬＳ２を設定する。
マスク５０は、例えば、周囲を引っ張った状態で蒸着装置などに設置される。従って、場合によっては、マスク５０が歪んでしまい、第２電極２０を所望の形状に形成できない場合がある。本実施形態においては、例えば、マスク５０の歪みを抑制し、第２電極２０の形成精度を高めることができる。
図４（ａ）〜図４（ｄ）は、マスク部の歪みの計算に用いた計算モデルの一例を表す模式図である。
図４（ａ）〜図４（ｄ）に表したように、マスク部５２の計算モデル５０ｍでは、計算の単純化のために、両端固定構造を採用する。そして、計算モデル５０ｍでは、等分布荷重を考える。なお、図４（ｂ）は、計算モデル５０ｍの荷重図である。図４（ｃ）は、計算モデル５０ｍのせん力図である。図４（ｄ）は、計算モデル５０ｍの曲げモーメント図である。計算モデル５０ｍを用い、マスク部５２に幅方向（例えばＸ軸方向）の張力が加わった時の、マスク部５２の幅方向の歪み量（撓み量）を計算する。また、計算に用いるスリット部５１及びマスク部５２は、幅方向の最も端に位置するスリット部５１及びマスク部５２と仮定する。ここで、歪み量は、例えば、マスク部５２の幅方向の位置の最小値と最大値との差である。
図４（ａ）〜図４（ｄ）に表したように、マスク部５２の計算モデル５０ｍでは、計算の単純化のために、両端固定構造を採用する。そして、計算モデル５０ｍでは、等分布荷重を考える。なお、図４（ｂ）は、計算モデル５０ｍの荷重図である。図４（ｃ）は、計算モデル５０ｍのせん力図である。図４（ｄ）は、計算モデル５０ｍの曲げモーメント図である。計算モデル５０ｍを用い、マスク部５２に幅方向（例えばＸ軸方向）の張力が加わった時の、マスク部５２の幅方向の歪み量（撓み量）を計算する。また、計算に用いるスリット部５１及びマスク部５２は、幅方向の最も端に位置するスリット部５１及びマスク部５２と仮定する。ここで、歪み量は、例えば、マスク部５２の幅方向の位置の最小値と最大値との差である。
マスク部５２の歪み量は、例えば、以下の（１）式〜（７）式で求めることができる。
（１）式〜（７）式のそれぞれにおいて、
Ｗは、全荷重である。
ｗは、所定の位置ｘにおける荷重である。
ｌは、マスク部５２（スリット部５１）の長さである。
ＲＡは、Ａ点における反力である。
ＲＢは、Ｂ点における反力である。
ＱＡは、Ａ点におけるせん断力である。
ＱＢは、Ｂ点におけるせん断力である。
Ｑｘは、ｘ点におけるせん断力である。
ＭＡは、Ａ点における曲げモーメントである。
ＭＢは、Ｂ点における曲げモーメントである。
ＭＣは、Ｃ点（中心点）における曲げモーメントである。
Ｍｘは、ｘ点における曲げモーメントである。
δＣは、Ｃ点における歪み量である。
δｘは、ｘ点における歪み量である。
（１）式〜（７）式のそれぞれにおいて、
Ｗは、全荷重である。
ｗは、所定の位置ｘにおける荷重である。
ｌは、マスク部５２（スリット部５１）の長さである。
ＲＡは、Ａ点における反力である。
ＲＢは、Ｂ点における反力である。
ＱＡは、Ａ点におけるせん断力である。
ＱＢは、Ｂ点におけるせん断力である。
Ｑｘは、ｘ点におけるせん断力である。
ＭＡは、Ａ点における曲げモーメントである。
ＭＢは、Ｂ点における曲げモーメントである。
ＭＣは、Ｃ点（中心点）における曲げモーメントである。
Ｍｘは、ｘ点における曲げモーメントである。
δＣは、Ｃ点における歪み量である。
δｘは、ｘ点における歪み量である。
図５は、マスク部の歪み量の計算結果の一例を模式的に表すグラフ図である。
図５は、マスク部５２の長さｌと歪み量δｃとの関係を表す。図５において、横軸は、マスク部５２（スリット部５１）の長さｌ（ｍｍ）であり、縦軸は、歪み量δｃ（ｍｍ）である。
図５は、マスク部５２の長さｌと歪み量δｃとの関係を表す。図５において、横軸は、マスク部５２（スリット部５１）の長さｌ（ｍｍ）であり、縦軸は、歪み量δｃ（ｍｍ）である。
図５は、マスク５０にステンレスを用いた場合の計算結果の一例である。今回は、マスク部５２の外縁から最も近いスリット部５１について計算を行った。この計算では、マスク部５２の幅（マスク部５２の外縁と、マスク部５２の外縁から最も近いスリット部５１との間にあるマスク部５２の幅）を１０ｍｍとした。マスク部５２の厚さを５０μｍとした。マスク部５２の断面２次モーメントを４．１７×１０−１２ｍｍ４とした。分布荷重を３．１６×１０−７Ｎとした。ヤング率を２００ＧＰａとした。そして、比重量を７．９とした。また、計算では、マスク５０に加える張力を、１０Ｎ、５０Ｎ、及び、２５０Ｎとし、マスク部５２の長さと歪み量との関係を３つの張力のそれぞれについて求めた。図５において、ＣＲ１は、張力を１０Ｎとした時の計算結果である。ＣＲ２は、張力を５０Ｎとした時の計算結果である。そして、ＣＲ３は、張力を２５０Ｎとした時の計算結果である。
図５に表したように、マスク部５２の歪み量δｃは、マスク部５２の長さｌを長くする程大きくなる。例えば、ステンレス鋼などの合金をマスク５０の材料に用いる。蒸着装置などにおいて、マスク５０を引っ張る張力は、およそ１０Ｎ〜２５０Ｎである。この場合、マスク部５２の幅が１０ｍｍ、厚さが５０μｍである時に、長さを４７ｍｍ以下にすることによって、マスク部５２の幅方向の歪み量が、５μｍ以下になる。この５μｍは、マスク部５２の幅を例えば１００μｍとした時の５％に相当し、この程度のわずかな歪み量であれば、許容される。従って、スリット部５１の長さが、１ｍｍより大きく４７ｍｍ以下のマスク５０を用いる。これにより、第１導電部２１の幅方向の歪み量、及び、第２導電部２２の幅方向の歪み量を、５μｍ以下にすることができる。例えば、第２電極２０の形成精度を高めることができる。従って、複数のスリット部５１の長さＬＳ１を、１ｍｍより長く４７ｍｍ以下にする。これにより、マスク部５２の歪み量をマスク部５２の幅の５％以下にすることができる。
図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第２電極の形成手順の一例を模式的に表す平面図である。
図６（ａ）に表したように、第２電極２０の形成においては、まず、上記のマスク５０を用いて蒸着を行い、各スリット部５１のパターンを転写させることにより、有機層３０の上に複数の第１導電部２１を形成する。
図６（ａ）に表したように、第２電極２０の形成においては、まず、上記のマスク５０を用いて蒸着を行い、各スリット部５１のパターンを転写させることにより、有機層３０の上に複数の第１導電部２１を形成する。
次に、マスク５０を回転させて各スリット部５１の向きを変化させる。この例では、マスク５０を略９０°回転させる。
図６（ｂ）に表したように、マスク５０を用いて再び蒸着を行うことにより、有機層３０及び各第１導電部２１の上に複数の第２導電部２２を形成する。これにより、第２電極２０が形成される。なお、上記とは反対に、各第２導電部２２を形成した後に、各第１導電部２１を形成してもよい。
図７（ａ）〜図７（ｃ）は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子の製造工程順の一例を模式的に表す断面図である。
図７（ａ）に表したように、有機電界発光素子１１０の製造においては、まず、基板４０の上に、第１電極１０を形成する。
図７（ｂ）に表したように、第１電極１０の上に、有機層３０を形成する。
図７（ｃ）に表したように、有機層３０の上に、第２電極２０を形成する。
第２電極２０は、上述のように、マスク５０を用いて形成する。例えば、マスク５０を用いて各第１導電部２１を形成し、マスク５０の向きを変えて各第２導電部２２を形成する。
これにより、有機電界発光素子１１０が完成する。
図７（ａ）に表したように、有機電界発光素子１１０の製造においては、まず、基板４０の上に、第１電極１０を形成する。
図７（ｂ）に表したように、第１電極１０の上に、有機層３０を形成する。
図７（ｃ）に表したように、有機層３０の上に、第２電極２０を形成する。
第２電極２０は、上述のように、マスク５０を用いて形成する。例えば、マスク５０を用いて各第１導電部２１を形成し、マスク５０の向きを変えて各第２導電部２２を形成する。
これにより、有機電界発光素子１１０が完成する。
光透過型の有機電界発光素子では、ストライプ状のスリットが設けられたマスクを用いて、有機層の上に電極を形成することが行われている。しかしながら、ストライプ状のスリットのマスクを用いた場合、素子の大面積化にともなって、マスクのスリット間の部分（マスク部５２に相当する部分）が、歪んでしまう。例えば、スリット間の部分の歪み量が、５μｍよりも大きくなってしまう。
マスクの歪みは、例えば、電極の形成精度を低下させる要因となる。例えば、電極がよれたり、電極のエッジ部分の形状がボケたりする。そして、電極のよれやボケは、例えば、有機層から放出される光のボケやムラとなって表れる。すなわち、電極の形成精度の低下は、有機電界発光素子の発光特性の低下につながる。
これに対して、本実施形態に係る有機電界発光素子１１０では、第１導電部２１の長さＬｙ１を１ｍｍより長く４７ｍｍ以下にしている。そして、第２導電部２２の長さＬｘ２を１ｍｍより長く４７ｍｍ以下にしている。すなわち、有機電界発光素子１１０では、過度に長い第１導電部２１及び第２導電部２２を形成しないようにしている。Ｙ軸方向に延びる第１導電部２１において、１つの長い第１導電部２１を設けるのではなく、Ｙ軸方向に延びる複数の第１導電部２１をＹ軸方向に直線状に並べて配置する。Ｘ軸方向に延びる第２導電部２２において、１つの長い第２導電部２２を設けるのではなく、Ｘ軸方向に延びる複数の第２導電部２２をＸ軸方向に直線状に並べて配置する。
本実施形態に係る有機電界発光素子１１０では、マスク５０のスリット部５１の長さＬＳ１を、１ｍｍより長く４７ｍｍ以下にすることができる。マスク部５２の幅方向の歪み量を５μｍ以下にすることができる。従って、本実施形態に係る有機電界発光素子１１０では、例えば、第２電極２０の形成精度の低下を抑えることができる。例えば、第２電極２０のよれやボケを抑制することができる。これにより、有機電界発光素子１１０では、有機層３０から放出される光のボケやムラを抑え、発光特性を高めることができる。有機電界発光素子１１０では、例えば、有機層３０における面内の発光輝度を均一にすることができる。
また、スリット状の第２電極２０では、第１電極１０とのリークや断線などの不良が発生した場合に、不良箇所から先の部分の輝度が低下してしまう。例えば、不良箇所から先の部分が実質的に発光しなくなってしまう。輝度の低下が、不良箇所から線状に生じるため、輝度の低下が目立ってしまう。
本実施形態に係る有機電界発光素子１１０では、第２電極２０をメッシュ状にしている。メッシュ状の第２電極２０では、リークや断線などの不良が発生した場合でも、周囲の第１導電部２１や第２導電部２２を介して、不良箇所の先の部分にも電流が供給される。例えば、輝度の低下する領域を不良箇所の近傍のみに抑えることができる。すなわち、第２電極２０に複数の第１導電部２１と複数の第２導電部２２とを設ける。これにより、有機電界発光素子１１０の発光特性をより高めることができる。
なお、この例では、第２電極２０をメッシュ状にしているが、例えば、ストライプ状にしてもよい。すなわち、第２電極２０は、各第１導電部２１のみを含むものでもよい。例えば、有機電界発光素子１１０の素子サイズが小さい場合には、長さＬｙ１を１ｍｍより長く４７ｍｍ以下にした第１導電部２１のみを含む第２電極２０を用いてもよい。
図８は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法を模式的に表すフローチャートである。
図８に表したように、実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法は、第１電極１０を形成するステップＳ１１０と、有機層３０を形成するステップＳ１２０と、第２電極２０を形成するステップＳ１３０と、を含む。第２電極２０を形成するステップＳ１３０は、例えば、複数の第１導電部２１を形成するステップと、複数の第２導電部２２を形成するステップと、を含む。
図８に表したように、実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法は、第１電極１０を形成するステップＳ１１０と、有機層３０を形成するステップＳ１２０と、第２電極２０を形成するステップＳ１３０と、を含む。第２電極２０を形成するステップＳ１３０は、例えば、複数の第１導電部２１を形成するステップと、複数の第２導電部２２を形成するステップと、を含む。
ステップＳ１１０では、例えば、図７（ａ）に関して説明した処理を実施する。ステップＳ１２０では、例えば、図７（ｂ）に関して説明した処理を実施する。ステップＳ１３０では、例えば、図７（ｃ）に関して説明した処理を実施する。
これにより、良好な発光特性の有機電界発光素子を製造することができる。
これにより、良好な発光特性の有機電界発光素子を製造することができる。
図９は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子の一部を模式的に表す断面図である。
図９に表したように、有機層３０は、第１層３１を含む。有機層３０は、必要に応じて、第２層３２及び第３層３３の少なくともいずれかをさらに含むことができる。第１層３１は、可視光の波長を含む光を放出する。第２層３２は、第１層３１と第１電極１０との間に設けられる。第３層３３は、第１層３１と第２電極２０との間に設けられる。
図９に表したように、有機層３０は、第１層３１を含む。有機層３０は、必要に応じて、第２層３２及び第３層３３の少なくともいずれかをさらに含むことができる。第１層３１は、可視光の波長を含む光を放出する。第２層３２は、第１層３１と第１電極１０との間に設けられる。第３層３３は、第１層３１と第２電極２０との間に設けられる。
第１層３１には、例えば、Ａｌｑ３（トリス(８−ヒドロキシキノリノラト)アルミニウム）、Ｆ８ＢＴ（ポリ(9,9-ジオクチルフルオレン-ｃｏ-ベンゾチアジアゾール）及びＰＰＶ（ポリパラフェニレンビニレン）などの材料を用いることができる。第１層３１には、ホスト材料と、ホスト材料に添加されるドーパントと、の混合材料を用いることができる。ホスト材料としては、例えばＣＢＰ（4,4'−N,N'-ビスジカルバゾリルール−ビフェニル）、ＢＣＰ（2,9−ジメチル-4,7 ジフェニル−1,10−フェナントロリン）、ＴＰＤ（4,4'−ビス−N−3メチルフェニル−N−フェニルアミノビフェニル）、ＰＶＫ（ポリビニルカルバゾール）及びＰＰＴ（ポリ（３−フェニルチオフェン））などを用いることができる。ドーパント材料としては、例えば、Ｆｌｒｐｉｃ（イリジウム(III)ビス(4,6-ジ-フルオロフェニル)-ピリジネート-N,C2'-ピコリネート）、Ｉｒ（ｐｐｙ）３（トリス (２−フェニルピリジン)イリジウム）及びＦｌｒ６（ビス（２，４−ジフルオロフェニルピリジナト）−テトラキス（１−ピラゾリル）ボラート−イリジウム（ＩＩＩ））などを用いることができる。なお、第１層３１は、これらの材料に限定されない。
第２層３２は、例えば、正孔注入層として機能する。正孔注入層は、例えば、ＰＥＤＰＯＴ：ＰＰＳ（ポリ(3,4- エチレンジオキシチオフェン)-ポリ(スチレンスルホン酸)）、ＣｕＰｃ(銅フタロシアニン)、及び、ＭｏＯ３（三酸化モリブデン）などの少なくともいずれかを含む。第２層３２は、例えば正孔輸送層として機能する。正孔輸送層は、例えば、α−ＮＰＤ（4，4'−ビス［N−（1−ナフチル）−N−フェニルアミノ］ビフェニル）、ＴＡＰＣ（1,1-ビス[4-[N,N-ジ(p-トリル)アミノ]フェニル]シクロヘキサン）、ｍ−ＭＴＤＡＴＡ（4,4',4''-トリス[フェニル(m-トリル)アミノ]トリフェニルアミン）、ＴＰＤ（ビス(3-メチルフェニル)-N,N'-ジフェニルベンジジン）、及び、ＴＣＴＡ（4，4'，4”−トリ（N− カルバゾリル）トリフェニルアミン）などの少なくともいずれかを含む。第２層３２は、例えば、正孔注入層として機能する層と、正孔輸送層として機能する層と、の積層構造を有しても良い。第２層３２は、正孔注入層として機能する層及び正孔輸送層として機能する層とは別の層を含んでも良い。なお、第２層３２は、これらの材料に限定されない。
第３層３３は、例えば電子注入層として機能する層を含むことができる。電子注入層は、例えば、フッ化リチウム、フッ化セシウム、及び、リチウムキノリン錯体などの少なくともいずれかを含む。第３層３３は、例えば、電子輸送層として機能する層を含むことができる。電子輸送層は、例えば、Ａｌｑ３（トリス（8キノリノラト）アルミニウム（III））、ＢＡｌｑ(ビス（２−メチル−８− キノリラト）(ｐ−フェニルフェノラート)アルミニウム)、Ｂｐｈｅｎ（バソフェナントロリン）、及び、３ＴＰＹＭＢ（トリス[３−(３−ピリジル)−メシチル]ボラン）などの少なくともいずれかを含む。第３層３３は、例えば、電子注入層として機能する層と、電子輸送層として機能する層と、の積層構造を有しても良い。第３層３３は、電子注入層として機能する層及び電子輸送層として機能する層とは別の層を含んでも良い。なお、第３層３３は、これらの材料に限定されない。
例えば、有機層３０から放出される光は、実質的に白色光である。すなわち、有機電界発光素子１１０から出射する光は白色光である。ここで、「白色光」は、実質的に白色であり、例えば、赤色系、黄色系、緑色系、青色系及び紫色系などの白色の光も含む。有機層３０から放出される光の色温度は、例えば、２８００Ｋ以上７０００Ｋ以下である。
第１電極１０は、例えば、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｚｎ及びＴｉよりなる群から選択された少なくともいずれかの元素を含む酸化物を含む。第１電極１０には、例えば、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化錫、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Indium Tin Oxide）膜、フッ素ドープ酸化錫（ＦＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物を含む導電性ガラスを用いて作製された膜（例えばＮＥＳＡなど）、金、白金、銀、及び、銅などを用いることができる。第１電極１０は、例えば、陽極として機能する。なお、第１電極１０は、これらの材料に限定されない。
第２電極２０は、例えば、アルミニウム及び銀の少なくともいずれかを含む。例えば、第２電極２０には、アルミニウム膜が用いられる。さらに、第２電極２０として、銀とマグネシウムとの合金を用いても良い。この合金にカルシウムを添加しても良い。第２電極２０は、例えば、陰極として機能する。なお、第２電極２０は、これらの材料に限定されない。
なお、第１電極１０を陰極とし、第２電極２０を陽極とし、第２層３２を電子注入層または電子輸送層として機能させ、第３層３３を正孔注入層または正孔輸送層として機能させてもよい。
基板４０には、例えば、石英ガラス、アルカリガラス及び無アルカリガラスなどの透明ガラスが用いられる。基板４０は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネイト、ポリメチルメタクリエート、ポリプロピレン、ポリエチレン、非晶質ポリオレフィン及びフッ素系樹脂などの透明樹脂でもよい。
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子を表す模式図である。
図１０（ａ）は、有機電界発光素子１１１を模式的に表す断面図であり、図１０（ｂ）は、模式的平面図である。なお、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）では、便宜的に、有機電界発光素子１１１の一部を拡大して表示している。
図１０（ａ）は、有機電界発光素子１１１を模式的に表す断面図であり、図１０（ｂ）は、模式的平面図である。なお、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）では、便宜的に、有機電界発光素子１１１の一部を拡大して表示している。
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に表したように、有機電界発光素子１１１では、積層体ＳＢが、配線層６０をさらに含む。配線層６０は、例えば、第１電極１０と有機層３０との間に設けられる。すなわち、有機電界発光素子１１１では、第１電極１０の上に配線層６０が形成され、配線層６０の上に有機層３０が形成される。
配線層６０は、第１電極１０と電気的に接続される。配線層６０は、例えば、第１電極１０に接する。配線層６０の導電率は、第１電極１０の導電率よりも高い。配線層６０は、光反射性を有する。配線層６０の光反射率は、第１電極１０の光反射率よりも高い。配線層６０は、例えば、金属配線である。配線層６０は、例えば、第１電極１０に流れる電流を伝達する補助電極として機能する。これにより、有機電界発光素子１１１では、例えば、第１電極１０に流れる電流量をより均一にできる。例えば、面内の発光輝度をより均一にできる。
有機電界発光素子１１１では、積層体ＳＢが、絶縁膜６４をさらに含む。絶縁膜６４は、配線層６０と有機層３０との間に設けられる。絶縁膜６４は、配線層６０を覆い、配線層６０が有機層３０に接することを抑制する。絶縁膜６４は、例えば、光透過性を有する。絶縁膜６４には、例えば、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、または、シリコン酸窒化膜などが用いられる。
配線層６０は、例えば、複数の第１配線部６１と、複数の第２配線部６２と、を含む。複数の第１配線部６１のそれぞれは、例えば、Ｙ軸方向に延び、Ｘ軸方向に並ぶ。複数の第２配線部６２のそれぞれは、例えば、Ｘ軸方向に延び、Ｙ軸方向に並ぶ。各第２配線部６２は、各第１配線部６１と交差する。
配線層６０は、複数の開口部６０ａをさらに含む。複数の開口部６０ａは、複数の第１配線部６１及び複数の第２配線部６２のそれぞれの間の部分である。複数の開口部６０ａのそれぞれは、例えば、第１電極１０の一部を露呈させる。例えば、複数の開口部６０ａによって、第１電極１０の複数の部分が露呈される。すなわち、配線層６０の形状は、メッシュ状である。絶縁膜６４は、より具体的には、第１配線部６１と有機層３０との間、及び、第２配線部６２と有機層３０との間に設けられる。絶縁膜６４は、例えば、開口部６０ａの部分には形成されない。換言すれば、絶縁膜６４は、第１電極１０の一部を露呈させる開口を含む。
各第１配線部６１は、例えば、積層体ＳＢの積層方向に対して垂直な平面（Ｘ−Ｙ平面）に投影した時に、各第１導電部２１の間に配置される。換言すれば、各第１配線部６１は、上から見た時に、各第１導電部２１の間に配置される。各第１配線部６１のＸ軸方向の間隔は、例えば、各第１導電部２１のＸ軸方向の間隔よりも広い。
各第２配線部６２は、例えば、Ｘ−Ｙ平面に投影した時に、各第２導電部２２の間に配置される。換言すれば、各第２配線部６２は、上から見た時に、各第２導電部２２の間に配置される。各第２配線部６２のＹ軸方向の間隔は、例えば、各第２導電部２２のＹ軸方向の間隔よりも広い。
また、各第１配線部６１のＹ軸方向の長さは、各第１導電部２１のＹ軸方向の長さよりも長い。各第１配線部６１は、例えば、Ｙ軸方向に連続して延びる１本の線状である。各第２配線部６２のＸ軸方向の長さは、各第２導電部２２のＸ軸方向の長さよりも長い。各第２配線部６２は、例えば、Ｘ軸方向に連続して延びる１本の線状である。
第１電極１０の上に形成する配線層６０では、例えば、フォトリソグラフを用いたパターニングで各第１配線部６１及び各第２配線部６２を形成することができる。このため、配線層６０は、蒸着法を用いる第２電極２０に比べて高精細に形成することができる。このため、配線層６０では、例えば、各第１配線部６１及び各第２配線部６２のそれぞれの長さを、各第１導電部２１及び各第２導電部２２のそれぞれの長さよりも長くすることができる。なお、この例では、配線層６０をメッシュ状にしているが、配線層６０は、ストライプ状でもよい。すなわち、配線層６０は、各第１配線部６１のみを有してもよい。
配線層６０（第１配線部６１、第２配線部６２）は、例えば、Ｍｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ａｌ、Ｎｉ及びＴｉよりなる群から選択された、少なくともいずれかの元素を含む。配線層６０は、例えば、この群から選択された元素を含む混合膜とすることができる。配線層６０は、それらの元素を含む積層膜とすることができる。配線層６０には、例えば、Ｎｂ／Ｍｏ／Ａｌ／Ｍｏ／Ｎｂの積層膜を用いることができる。配線層６０は、例えば、第１電極１０の電位降下を抑制する補助電極として機能する。配線層６０は、電流供給のためのリード電極として機能することができる。なお、配線層６０は、これらの材料に限定されない。
図１１は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子を模式的に表す断面図である。
図１１に表したように、有機電界発光素子１１２では、積層体ＳＢが、第３電極２３をさらに含む。第３電極２３は、第２電極２０と有機層３０との間に設けられる。すなわち、この例では、有機層３０の上に第３電極２３が設けられ、第３電極２３の上に第２電極２０が設けられる。第３電極２３は、光透過性を有する。第３電極２３は、例えば、透明である。第３電極２３は、第２電極２０及び有機層３０と電気的に接続される。第３電極２３には、例えば、第１電極１０に関して説明した材料を用いることができる。
図１１に表したように、有機電界発光素子１１２では、積層体ＳＢが、第３電極２３をさらに含む。第３電極２３は、第２電極２０と有機層３０との間に設けられる。すなわち、この例では、有機層３０の上に第３電極２３が設けられ、第３電極２３の上に第２電極２０が設けられる。第３電極２３は、光透過性を有する。第３電極２３は、例えば、透明である。第３電極２３は、第２電極２０及び有機層３０と電気的に接続される。第３電極２３には、例えば、第１電極１０に関して説明した材料を用いることができる。
有機電界発光素子１１２では、第１電極１０と第３電極２３との間の有機層３０の全体を発光領域ＥＡとすることができる。このため、有機電界発光素子１１２では、有機層３０から放出された光が、第２電極２０の各開口部２０ａを介して第２電極２０側にも出射される。すなわち、有機電界発光素子１１２では、両面発光型とすることができる。有機電界発光素子１１２では、例えば、第２電極２０が、第３電極２３の補助電極として機能する。
図１２は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子を模式的に表す断面図である。
図１２に表したように、この例においては、有機電界発光素子１１３は絶縁層７０を含む。
絶縁層７０は、第１電極１０の上面１０ａの上に設けられる。絶縁層７０は、開口部７０ａ（第１開口部）と、絶縁部７０ｂと、を有する。絶縁層７０は、例えば、複数の開口部７０ａと、複数の絶縁部７０ｂと、を有する。複数の開口部７０ａのそれぞれは、第１電極１０の一部を露呈させる。この例では、複数の開口部７０ａのそれぞれにより、第１電極１０の複数の部分が露呈される。以下では、第１電極１０のうちの開口部７０ａによって露呈された部分を、露呈部１０ｐと称す。複数の絶縁部７０ｂのそれぞれは、複数の開口部７０ａのそれぞれの間に配置される。絶縁層７０は、光透過性である。絶縁層７０は、例えば、透明である。絶縁部７０ｂは、例えばストライプ状である。
図１２に表したように、この例においては、有機電界発光素子１１３は絶縁層７０を含む。
絶縁層７０は、第１電極１０の上面１０ａの上に設けられる。絶縁層７０は、開口部７０ａ（第１開口部）と、絶縁部７０ｂと、を有する。絶縁層７０は、例えば、複数の開口部７０ａと、複数の絶縁部７０ｂと、を有する。複数の開口部７０ａのそれぞれは、第１電極１０の一部を露呈させる。この例では、複数の開口部７０ａのそれぞれにより、第１電極１０の複数の部分が露呈される。以下では、第１電極１０のうちの開口部７０ａによって露呈された部分を、露呈部１０ｐと称す。複数の絶縁部７０ｂのそれぞれは、複数の開口部７０ａのそれぞれの間に配置される。絶縁層７０は、光透過性である。絶縁層７０は、例えば、透明である。絶縁部７０ｂは、例えばストライプ状である。
有機層３０は、絶縁層７０の上に設けられる。有機層３０は、第１電極１０の露呈部１０ｐの上に設けられた第１部分３０ａと、絶縁層７０の上に設けられた第２部分３０ｂと、を有する。第２部分３０ｂは、絶縁層７０の上の少なくとも一部に設けられる。
有機層３０は、例えば、第１部分３０ａと第２部分３０ｂとの間の第３部分３０ｃを、さらに有する。第３部分３０ｃは、絶縁部７０ｂの側面に沿い、第１部分３０ａと第２部分３０ｂとをつなぐ部分である。この例において、有機層３０は、複数の露呈部１０ｐのそれぞれの上に設けられた複数の第１部分３０ａと、複数の絶縁部７０ｂのそれぞれの上に設けられた複数の第２部分３０ｂと、複数の第１部分３０ａと複数の第２部分３０ｂとのそれぞれの間の複数の第３部分３０ｃと、を有する。有機層３０は、例えば、複数の絶縁部７０ｂのそれぞれの上及び複数の露呈部１０ｐのそれぞれの上に、連続して設けられる。有機層３０は、例えば、複数の絶縁部７０ｂのそれぞれの少なくとも一部の上、及び、複数の露呈部１０ｐのそれぞれの上に設けられる。
有機層３０の厚さ（Ｚ軸方向に沿う長さ）は、絶縁層７０（絶縁部７０ｂ）の厚さよりも薄い。有機層３０の第１部分３０ａの上面３０ｕと第１電極１０の上面１０ａとの間のＺ軸方向の距離は、絶縁層７０の絶縁部７０ｂの上面７０ｕと第１電極１０の上面１０ａとの間のＺ軸方向の距離よりも短い。すなわち、第１部分３０ａの上面３０ｕは、絶縁部７０ｂの上面７０ｕよりも下に位置する。
第２電極２０は、有機層３０の上に設けられる。第２電極２０の第１導電部２１および第２導電部２２は、絶縁層７０の開口部７０ａを接続するように設けられる。例えば、絶縁部７０ａがストライプ状の場合、第１導電部２１は、隣り合う２つの絶縁部７０ａの間に設けられる。また、第２導電部２２はストライプ状の絶縁部７０ａと交差するように設けられる。
なお、背景の像を視認する際に、有機電界発光素子１１３は第２電極２０の形状が観察者に認識されない程度に微細であることが求められる。従って、できるだけ微細な第２電極２０を形成するために、第２電極２０を形成する際の下地層にマスク５０をできるだけ近付けて配置して第２電極２０が形成される。本実施形態においては、下地層は有機層３０である。図１２のように、有機層３０よりも第１電極１０からの高さが高い絶縁層７０が設ける。第２電極２０を形成する際に、マスク５０が絶縁層７０に接触するように配置する。これにより、有機層３０の発光領域ＥＡとなる部分にマスク５０が接触し、発光領域ＥＡに傷が付いてしまうことを抑制することができる。例えば、第２電極２０の形成精度をより高めることができる。
図１３は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子を模式的に表す平面図である。
図１３に表したように、有機電界発光素子１２０では、Ｘ−Ｙ平面に投影した形状が、実質的に円形である。
図１３に表したように、有機電界発光素子１２０では、Ｘ−Ｙ平面に投影した形状が、実質的に円形である。
有機電界発光素子１２０では、複数の第１導電部２１のそれぞれが、放射方向に延び、放射方向と交差する周方向に並ぶ。そして、複数の第２導電部２２のそれぞれが、周方向に延び、放射方向に並ぶ。すなわち、この例では、第１方向が、放射方向であり、第２方向が、周方向である。
このように、実質的に円形状の有機電界発光素子１２０では、第１方向を放射方向とし、第２方向を周方向としてもよい。有機電界発光素子１２０において、第１導電部２１の放射方向の長さを１ｍｍより長く４７ｍｍ以下にする。そして、第２導電部２２の周方向の長さを１ｍｍより長く４７ｍｍ以下にする。これにより、上記各実施形態と同様に、有機電界発光素子１２０において、発光特性を向上させることができる。なお、円形状の有機電界発光素子において、例えば、Ｙ軸方向に延びる第１導電部２１と、Ｘ軸方向に延びる第２導電部２２と、を含むメッシュ状の第２電極２０を用いてもよい。円形状の有機電界発光素子の場合、第１方向は、必ずしも放射方向でなくてもよい。第２方向は、必ずしも周方向でなくてもよい。
有機電界発光素子は、矩形状でもよいし、他の多角形状でもよいし、円形状でもよいし、楕円形状などでもよい。有機電界発光素子の形状は、任意の形状でよい。
図１４は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子を模式的に表す断面図である。
図１４に表したように、有機電界発光素子１３０は、基板４２と、シール部４４と、をさらに含む。
基板４２は、光透過性を有する。基板４２は、例えば、透明である。基板４２には、例えば、基板４０に関して説明した材料を用いることができる。基板４２は、積層体ＳＢの上に設けられる。すなわち、基板４２は、第２電極２０の上に設けられる。
図１４に表したように、有機電界発光素子１３０は、基板４２と、シール部４４と、をさらに含む。
基板４２は、光透過性を有する。基板４２は、例えば、透明である。基板４２には、例えば、基板４０に関して説明した材料を用いることができる。基板４２は、積層体ＳＢの上に設けられる。すなわち、基板４２は、第２電極２０の上に設けられる。
この例において、積層体ＳＢは、有機電界発光素子１１０に関して説明した積層体ＳＢと同じである。積層体ＳＢは、有機電界発光素子１１１、１１２に関して説明した積層体ＳＢでもよい。
シール部４４は、例えば、基板４０、４２の外縁に沿って環状に設けられ、基板４０、４２を接着する。シール部４４は、第１電極１０と、第２電極２０と、有機層３０と、を囲む。すなわち、シール部４４は、積層体ＳＢを囲む。これにより、基板４０、４２とシール部４４とによって、積層体ＳＢが封止される。このように、積層体ＳＢを封止することにより、例えば、有機層３０への水分の浸入を抑えることができる。
有機電界発光素子１３０では、基板４０、４２の間のＺ軸方向の距離をシール部４４によって規定している。この構成は、例えば、シール部４４に粒状のスペーサ（図示は省略）を含めることによって実現できる。例えば、シール部４４に粒状の複数のスペーサを分散させ、複数のスペーサの径によって、基板４０、４２の間の距離が規定される。
有機電界発光素子１３０において、シール部４４の厚さ（Ｚ軸方向に沿う長さ）は、例えば、１μｍ以上１００μｍ以下である。より好ましくは、例えば、５μｍ以上２０μｍ以下である。これにより、例えば、水分の浸入などを抑えることができる。シール部４４の厚さは、例えば、シール部４４に分散させるスペーサの径と実質的に同じである。
なお、基板４０、４２及びシール部４４で囲まれた空間ＳＰには、例えば、吸湿性材料を含む中間層を充填してもよい。中間層は、例えば、酸素吸着性をさらに有してもよい。吸湿性材料には、例えば、酸化カルシウム、シリカ、ゼオライト、または、酸化バリウムなどが用いられる。吸湿性材料は、例えば、樹脂材料に分散される。樹脂材料には、例えば、アクリル系樹脂、トリアジン系樹脂、シリコーン系樹脂、またはエポキシ樹脂などが用いられる。このように、中間層は、樹脂材料を含む。これにより、例えば、基板４０、４２を接着する際に、基板４２が積層体ＳＢに接触し、積層体ＳＢに傷を付けてしまうことを抑制することができる。
このように、空間ＳＰを吸湿性材料を含む中間層で充填する。これにより、有機層３０への水分の浸入をより適切に抑制することができる。なお、中間層は、必要に応じて設けられ、省略可能である。空間ＳＰは、例えば、空気層でもよい。空間ＳＰには、例えば、Ｎ２やＡｒなどの不活性ガスを充填してもよい。また、中間層は、吸湿性材料を含まなくてもよい。中間層には、例えば、吸湿性材料を含まない上記の樹脂材料を用いてもよい。
なお、背景の像の視認が可能であり、かつ、第２電極２０の形状が観察者に認識されにくいように、第２電極２０が以下の条件を満たすことが好ましい。すなわち、第１導電部２１のＸ軸方向の長さＬｘ１をＷ１（マイクロメートル）とする。第１導電部２１が等間隔にピッチＰ１（マイクロメートル）で配置されているものとする。第２導電部２２のＹ軸方向の長さをＬｙ２をＷ２（マイクロメートル）とする。第２導電部２２が等間隔にピッチＰ２（マイクロメートル）で配置されているものとする。Ｗ１とＰ１とは、Ｗ１≦−７５０（１−Ｗ１／Ｐ１）（１−Ｗ２／Ｐ２）＋６７５の関係を満たす。Ｗ２とＰ２とは、Ｗ２≦−７５０（１−Ｗ１／Ｐ１）（１−Ｗ２／Ｐ２）＋６７５の関係を満たす。
第２電極２０がこのような条件を満たすことにより、第１導電部２１および第２導電部２２に囲まれた開口によって生じる光の回折現象に寄り背景の像がぼける問題が生じにくくなり、背景の像が視認しやすくなる。また、有機電界発光素子が非点灯時でも、第２電極２０が観察者に認識されにくく、光透過性に優れた有機電界発光素子を得ることができる。
（第２の実施形態）
図１５は、第２の実施形態に係る照明装置を表す模式図である。
図１５に表したように、本実施形態に係る照明装置２１０は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子（例えば有機電界発光素子１３０）と、電源部２０１と、を備える。
図１５は、第２の実施形態に係る照明装置を表す模式図である。
図１５に表したように、本実施形態に係る照明装置２１０は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子（例えば有機電界発光素子１３０）と、電源部２０１と、を備える。
電源部２０１は、第１電極１０と第２電極２０とに電気的に接続される。電源部２０１は、第１電極１０及び第２電極２０を介して有機層３０に電流を供給する。これにより、電源部２０１からの電流の供給によって、有機電界発光素子１３０（有機層３０）から光が放出される。
本実施形態に係る照明装置２１０によれば、良好な発光特性の照明装置を提供できる。
本実施形態に係る照明装置２１０によれば、良好な発光特性の照明装置を提供できる。
（第３の実施形態）
図１６（ａ）〜図１６（ｃ）は、第３の実施形態に係る照明システムを表す模式図である。
図１６（ａ）に表したように、本実施形態に係る照明システム３１１は、第１の実施形態に係る複数の有機電界発光素子（例えば有機電界発光素子１３０）と、制御部３０１と、を備える。
図１６（ａ）〜図１６（ｃ）は、第３の実施形態に係る照明システムを表す模式図である。
図１６（ａ）に表したように、本実施形態に係る照明システム３１１は、第１の実施形態に係る複数の有機電界発光素子（例えば有機電界発光素子１３０）と、制御部３０１と、を備える。
制御部３０１は、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれと電気的に接続され、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれの点灯・消灯を制御する。制御部３０１は、例えば、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれの第１電極１０及び第２電極２０と電気的に接続される。これにより、制御部３０１は、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれの点灯・消灯を個別に制御する。
図１６（ｂ）に表したように、照明システム３１２では、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれが、直列に接続されている。制御部３０１は、複数の有機電界発光素子１３０のうちの１つの有機電界発光素子１３０の第１電極１０と電気的に接続される。そして、制御部３０１は、複数の有機電界発光素子１３０のうちの別の１つの有機電界発光素子１３０の第２電極２０と電気的に接続される。これにより、制御部３０１は、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれの点灯・消灯をまとめて制御する。このように、制御部３０１は、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれの点灯・消灯を個別に制御してもよいし、まとめて制御してもよい。
図１６（ｃ）に表したように、照明システム３１３は、電源部２０１をさらに備える。この例では、照明システム３１３が、複数の電源部２０１を含む。複数の電源部２０１のそれぞれは、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれと電気的に接続されている。
照明システム３１３では、制御部３０１が、複数の電源部２０１のそれぞれと電気的に接続されている。すなわち、照明システム３１３では、制御部３０１が、複数の電源部２０１のそれぞれを介して複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれと電気的に接続される。制御部３０１は、例えば、各電源部２０１に対して制御信号を入力する。各電源部２０１は、制御部３０１からの制御信号に応じて、有機電界発光素子１３０に電流を供給し、有機電界発光素子１３０を点灯させる。
このように、制御部３０１は、電源部２０１を介して複数の有機電界発光素子１３０の点灯・消灯を制御してもよい。この例では、複数の電源部２０１が、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれに接続されている。これに限ることなく、例えば、１つの電源部２０１を複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれに接続してもよい。例えば、１つの電源部２０１が、制御部３０１からの制御信号に応じて、複数の有機電界発光素子１３０のそれぞれに選択的に電流を供給できるようにしてもよい。また、制御部３０１と電源部２０１との間の電気的な接続は、有線でもよいし、無線でもよい。制御部３０１からの制御信号は、例えば、無線通信で電源部２０１に入力してもよい。
本実施形態に係る照明システム３１１〜３１３によれば、良好な発光特性の照明システムを提供できる。
実施形態によれば、良好な発光特性の有機電界発光素子、照明装置、照明システム及び有機電界発光素子の製造方法が提供される。
なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。本願明細書において、「上に設けられる」状態は、直接接して設けられる状態の他に、間に他の要素が挿入されて設けられる状態も含む。「積層される」状態は、互いに接して重ねられる状態の他に、間に他の要素が挿入されて重ねられる状態も含む。「対向する」状態は、直接的に面する状態の他に、間に他の要素が挿入されて面する状態も含む。本願明細書において、「電気的に接続」には、直接接触して接続される場合の他に、他の導電性部材などを介して接続される場合も含む。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、有機電界発光素子に含まれる、第１電極、第２電極、有機層、第１導電部、第２導電部、基板、並びに、照明装置に含まれる電源部、照明システムに含まれる制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した有機電界発光素子、照明装置、照明システム及び有機電界発光素子の製造方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての有機電界発光素子、照明装置、照明システム及び有機電界発光素子の製造方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
Claims (6)
- 光透過性の第１電極と、
前記第１電極の上に設けられた有機層と、
前記有機層の上に設けられた光反射性の第２電極であって、第１方向に延びる複数の第１導電部と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む第２電極と、
を備え、
前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並び、
前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並び、
前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なり、
前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なり、
前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差し、
前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差し、
前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下であり、
前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である、有機電界発光素子。 - 前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、前記複数の第２導電部の前記第１方向の間隔の２倍以上であり、
前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、前記複数の第１導電部の前記第２方向の間隔の２倍以上である請求項１記載の有機電界発光素子。 - 前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の２つ以上と交差し、
前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の２つ以上と交差した、請求項２記載のの有機電界発光素子。 - 有機電界発光素子であって、
光透過性の第１電極と、
前記第１電極の上に設けられた有機層と、
前記有機層の上に設けられた光反射性の第２電極であって、第１方向に延びる複数の第１導電部と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む第２電極と、
を含む有機電界発光素子と、
前記第１電極と前記第２電極とに電気的に接続され、前記第１電極及び前記第２電極を介して前記有機層に電流を供給する電源部と、
を備え、
前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並び、
前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並び、
前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なり、
前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なり、
前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差し、
前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差し、
前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下であり、
前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である、照明装置。 - 複数の有機電界発光素子であって、
前記複数の有機発光素子のそれぞれは、
光透過性の第１電極と、
前記第１電極の上に設けられた有機層と、
前記有機層の上に設けられた光反射性の第２電極であって、第１方向に延びる複数の第１導電部と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む第２電極と、
を含む
複数の有機電界発光素子と、
前記複数の有機電界発光素子のそれぞれと電気的に接続され、前記複数の有機電界発光素子のそれぞれの点灯及び消灯を制御する制御部と、
を備え、
前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並び、
前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並び、
前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なり、
前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なり、
前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差し、
前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差し、
前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下であり、
前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である、照明システム。 - 基板の上に、光透過性の第１電極を形成する工程と、
前記第１電極の上、有機層を形成する工程と、
前記有機層の上に、光反射性の第２電極を形成する工程であって、スリット部を含むマスクを用いることにより、第１方向に延びる複数の第１導電部と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる複数の第２導電部と、を含む前記第２電極を形成する工程と、
を備え、
前記複数の第１導電部は、前記第２方向に並ぶとともに、前記第１方向に並び、
前記複数の第２導電部は、前記第１方向に並ぶとともに、前記第２方向に並び、
前記複数の第１導電部の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置は、前記複数の第１導電部の前記１つの前記第２方向における隣の別の１つの前記第１方向の端部の前記第１方向における位置とは異なり、
前記複数の第２導電部の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置は、前記複数の第２導電部の前記１つの前記第１方向における隣の別の１つの前記第２方向の端部の前記第２方向における位置とは異なり、
前記複数の第２導電部のそれぞれは、前記複数の第１導電部の少なくとも１つと交差し、
前記複数の第１導電部のそれぞれは、前記複数の第２導電部の少なくとも１つと交差し、
前記複数の第１導電部のそれぞれの前記第１方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下であり、
前記複数の第２導電部のそれぞれの前記第２方向の長さは、１ｍｍよりも長く４７ｍｍ以下である、有機電界発光素子の製造方法。
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