JP6183227B2 - 挿入型ガス濃度測定装置 - Google Patents
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Description
図1に本発明の挿入型ガス濃度測定装置の平面図(A)と縦断面図(B)を示す。また、図2には光源側に設けられる凹面鏡12、図3には先端側に設けられる凹面鏡13の構成を、それぞれ正面図(A)、側面図(B)として示す。
この例では、排気管Eの内部を測定対象空間とし、排気管Eに設けた測定用差し込み口Mに本発明の実施の形態であるガス濃度測定装置を装着する場合の構成を示している。
さらに、上記の実施例では、プローブサイズと性能のバランスを最適化するために光源側を光ファイバ導入、検出器を直接搭載の形としたが、光源側にレーザを直接搭載しても、検出器側を光ファイバを用いて外部検出器に導く形としても、本発明の範疇に入ることは明らかである。
11 円筒状フレーム
11a 開口
12 凹面鏡
13 凹面鏡
14 第1の光検出器
15 第2の光検出器
16 第1の光ファイバ接続口
17 第2の光ファイバ接続口
18 光ファイバ
19 第1の光源
20 光ファイバ
21 第2の光源
23 平面鏡
24,25 反射鏡ブロック
24a,24b,25a,25b 平面鏡
L1 第1の測定光
L2 第3の測定光
w 光透過窓
Claims (3)
- 互いに対向する一対の凹面鏡を支持する筒状フレームを測定対象空間内に挿入するとともに、その測定対象空間外には、特定ガス成分に吸収される波長の測定光を出力する光源と光検出器を配置し、上記光源からの測定光を、一方の凹面鏡に設けられた光透過窓を介してその背面側から他方の凹面鏡に導いて多重反射させた後、上記光透過窓を介して上記光検出器に導いて検出し、その検出出力から上記測定対象空間内における上記特定ガス成分の濃度を算出する挿入型ガス濃度測定装置において、
上記測定対象空間外に、上記特定ガス成分とは異なる第2の特定ガス成分に吸収される波長の第2の測定光を出力する第2の光源と、その第2の測定光を検出するための第2の光検出器が配置されているとともに、上記他方の凹面鏡には、上記多重反射に関与しない部位に平面鏡が形成され、上記一方の凹面鏡には、その平面鏡に対して上記第2の測定光を当該一方の凹面鏡の背面側から導き、かつ、その反射光を上記第2の光検出器に導くための光透過窓が形成され、その第2の光検出器の出力から上記第2の特定ガス成分の濃度を算出することを特徴とする挿入型ガス濃度測定装置。 - 上記平面鏡および上記第2の測定光を透過させるための光透過窓は、それぞれの凹面鏡の中心部に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の挿入型ガス濃度測定装置。
- 上記他方の凹面鏡と当該他方の凹面鏡の一部に形成されている平面鏡は、それぞれが反射する各測定光波長に対応した光反射特性を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の挿入型ガス濃度測定装置。
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