JP6180742B2 - テープ貼着方法及びテープ貼着装置 - Google Patents
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Description
図5(a)に示すように、搬入ロボット20は、第1のワークセット1を構成する保護テープ3側を下にして第1の支持テーブル40におけるフレーム2の開口エリアA1に配置する。その後、吸引源43の作動によりワーク吸引部41が保護テープ3側を吸引するとともに、フレーム吸引部42においてフレーム2を吸引することによって第1の支持テーブル40において第1のワークセット1を支持する。
粘着テープ貼着工程を実施した後、図6(a)に示すように、搬送ロボット30によって、第2のワークセット7を第2の支持テーブル60に搬送する。次いで、吸引源64の作動により、フレーム吸引部62においてフレーム2を吸引するとともに、ワーク吸引部61において保護テープ3側を吸引することによって、第2の支持テーブル60において第2のワークセット7を支持する。この際、フレーム2の内周2aと板状ワークWの外周1aとの間に環状の空間である限定エリアA2が形成される。これにより、ヒータ71の上方には、限定エリアA2を通じて粘着テープ4の一方の面が位置づけられる。
チップ離間工程を実施した後、図7に示すように、板状ワークWから保護テープ3を剥離する。まず、図7(a)に示す搬送ロボット30によって第2のワークセット7の表裏を反転させ、粘着テープ4側を下向きにするとともに板状ワークWに貼着された保護テープ3側が上向きになるように第2の支持テーブル60において第2のワークセット7を配置する。このとき、チップ離間工程においてチップ間隔が広げられているため、隣り合うチップ同士が接触することがない。
8:第3のワークセット 9:隙間 10:テープ貼着装置 10a:装置ベース
11:ロードカセット 12:アンロードカセット 13:アンロードユニット
14:ガイド部 15:第1の移動手段 15a:ボールネジ 15b:ガイドレール
15c:モータ 16:第2の移動手段 16a:ボールネジ 16b:ガイドレール
16c:モータ
20:搬入ロボット 21:ハンド 22:回動部 23:アーム部
30:搬送ロボット 31:吸着部 32:回転部 33 アーム部 34:支点軸
35:吸引源
40:第1の支持テーブル 41:ワーク吸引部 42:フレーム吸引部 43:吸引源
44:移動基台
50:粘着テープ貼着手段 51:第1のロール部 52:第2のロール部
53a,53b:送りローラ 54:押圧ローラ 55:剥離ローラ
56:引き込みローラ
60:第2の支持テーブル 61:ワーク吸引部 62:フレーム吸引部
63:移動基台 64:吸引源
70:熱付与手段 71:ヒータ 72:電源 73:制御部
80:熱付与手段 81:ヒータ 82:電源 83:制御部
90:保護テープ剥離手段 91:剥離部
W:板状ワーク Wa:外径 C:チップ S:間隔
Claims (3)
- 板状ワークの一方の面に保護テープを貼着するとともに該板状ワークの他方の面側に形成された切断ラインに沿って切断することにより複数のチップが該保護テープに貼着された第1のワークセットが構成され、環状に形成され内周側に開口エリアを備える環状フレームの該開口エリアに該第1のワークセットの該保護テープ側を下にして配置し、該環状フレームと該第1のワークセットとの上面に粘着テープを貼着することによって第2のワークセットを形成する粘着テープ貼着工程と、該粘着テープ貼着工程の後に該保護テープを該板状ワークの一方の面から剥離することによって第3のワークセットを形成する保護テープ剥離工程と、を備えたテープ貼着方法であって、
該粘着テープ貼着工程で用いられる該粘着テープは熱収縮性を有し、
該粘着テープ貼着工程の後、保護テープ剥離工程の前に、該開口エリアにおける該粘着テープに熱付与することによって該粘着テープを熱収縮させて該チップ間の間隔を広げるチップ離間工程を遂行するテープ貼着方法。 - 前記チップ離間工程では、該環状フレームの内周と板状ワークの外周との間のエリアに限定して熱付与する請求項1記載のテープ貼着方法。
- 前記環状フレームを支持するとともに前記開口エリアにおいて該環状フレームと同じ高さで板状ワークを支持する支持テーブルと、
該支持テーブルに支持された板状ワークと該環状フレームとに前記粘着テープを貼着することにより該環状フレームの内側の該開口エリアにおいて該粘着テープに板状ワークが貼着された前記第2のワークセットを形成する粘着テープ貼着手段と、
該粘着テープに熱を与える熱付与手段とを含んで構成され、請求項1又は2記載のテープ貼着方法を可能とするテープ貼着装置。
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