JP6172396B1 - モータ用エンコーダ及びモータ - Google Patents

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Abstract

【課題】モータ用エンコーダの軸方向寸法を短縮する。【解決手段】モータ用エンコーダ10は、モータシャフト102と共に回転するディスク11と、ディスク11に対向して配置され、開口12aが形成されたメイン基板12と、メイン基板12のディスク11とは反対側の表面12bに開口12aの少なくとも一部を覆うように配置されたサブ基板13と、開口12aにおいてサブ基板13のディスク11側の表面13aに配置され、ディスク11に光を出射する光源14と、開口12aにおいてサブ基板13のディスク11側の表面13aに配置され、ディスク11からの反射光を受光する受光素子15とを有する。

Description

開示の実施形態は、モータ用エンコーダ及びモータに関する。
特許文献1には、モータ本体と、多回転検出部及び回転位置検出部を備えたエンコーダとを有するモータが記載されている。
国際公開第2013/094042号(図11)
モータ用エンコーダにおいて軸方向寸法の短縮を図る場合には、装置構成のさらなる最適化が要望される。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、軸方向寸法を短縮することが可能なモータ用エンコーダ及びモータを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、ハウジングと、前記ハウジング内において、モータシャフトと共に回転するディスクと、前記ハウジング内において、当該ハウジングの軸方向一方側の壁面よりも軸方向他方側でかつ前記ディスクの前記軸方向一方側に対向して配置され、開口が形成された第1基板と、記開口の少なくとも一部を覆うように前記第1基板に連結された第2基板と、記第2基板の前記ディスク側となる前記軸方向他方側の表面に配置され、前記ディスクに光を出射する光源と、記第2基板の前記ディスク側となる前記軸方向他方側の表面に配置され、前記ディスクからの反射光を受光する受光素子と、前記第1基板の表面に設けられた複数の第1端子部と、前記第2基板の表面に設けられた複数の第2端子部と、連結された前記第1基板及び前記第2基板の前記軸方向一方側に配置され、前記第1端子部と前記第2端子部とを連結する、ハンダで構成された複数の連結部と、を有するモータ用エンコーダが適用される。
また、本発明の他の観点によれば、モータシャフトと、前記モータシャフトを回転するモータ電磁部と、上記モータ用エンコーダと、を有するモータが適用される。
また、本発明のさらに他の観点によれば、モータシャフトと共に回転するディスクと、前記ディスクに対向して配置された第1基板と、前記ディスクに光を出射する光源及び前記ディスクからの反射光を受光する受光素子を備えた第2基板と、前記第2基板を前記第1基板の前記ディスクとは反対側の表面に配置する手段と、を有するモータ用エンコーダが適用される。
本発明によれば、モータ用エンコーダ等の軸方向寸法を短縮することができる。
実施形態に係るモータ用エンコーダを備えたモータの構成の一例を表す軸方向断面図である。 光学モジュールの構成の一例を表す図1のII−II矢視図である。 サブ基板の端子部とメイン基板の端子部の構造の一例を表す説明図である。 サブ基板とメイン基板の開口近傍の構成の一例を表す説明図である。 磁性体における磁石の配置の一例を表す図1のV−V矢視図である。 磁性部材の構成の一例を表す図1のVI−VI矢視図である。 磁界検出部の構成の一例を表す、図6から磁性部材を取り除いた状態の説明図である。 磁性部材の構成の一例を表す、図6中の1つの磁界検出部等を拡大した説明図である。 磁気検出機構の回転検出動作の一例を表す説明図である。 磁気検出機構における磁路の経路の一例を表す説明図である。 磁気検出機構の回転検出動作の一例を表す説明図である。 磁気検出機構における磁路の経路の一例を表す説明図である。 磁気検出機構の回転検出動作の一例を表す説明図である。 比較例のモータ用エンコーダにおけるメイン基板とディスク間の距離を表す説明図である。 実施形態のモータ用エンコーダにおけるメイン基板とディスク間の距離を表す説明図である。
以下、一実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
<1.モータの全体構成>
まず、図1を参照しつつ、本実施形態に係るモータ100の全体構成の一例について説明する。
図1に示すように、モータ100は、モータシャフト102と、モータ電磁部110と、モータ用エンコーダ10(以下「エンコーダ10」という。)とを有する。
モータ電磁部110は、モータシャフト102をその軸心AX周りに回転させることで、回転力を出力する。なお、本明細書中では、モータ電磁部110の回転力出力側を「負荷側」といい、その反対側を「反負荷側」ということにする。
ここで、モータ100の構造の説明の便宜上、以下では、上下等の方向を次のように定めて適宜使用する。すなわち、図1において、反負荷側方向、つまりZ軸正の方向を「上」と定め、逆の負荷側方向、つまりZ軸負の方向を「下」と定める。但し、上下等の方向は、モータ100の設置態様により変動するものであり、モータ100の各構成の位置関係を限定するものではない。
モータ電磁部110の構成は、モータシャフト102を回転させることが可能な構成であれば特に限定されるものではないが、例えば次のように構成される。すなわち、モータ電磁部110は、固定子103と、回転子104とを有する。回転子104は、固定子103の内周側に配置される。回転子104は、モータシャフト102と同一軸心となるように、モータシャフト102の外周に固定されている。モータシャフト102は、ブラケット105,106に外輪が嵌合された軸受107,108により回転可能に支持される。固定子103は、フレーム101の内周に固定され、回転子104の外周と径方向に磁気的空隙を介して対向するように配置される。
上記構成のモータ電磁部110は、回転子104が固定子103に対し軸心AX周りに回転することで、モータシャフト102を軸心AX周りに回転させることが可能である。
なお、上記で説明したモータ電磁部110の構成は、あくまで一例であり、上記以外の構成であってもよい。例えば、モータ電磁部110は、固定子の内周側に回転子を配置したいわゆる「インナーロータ型」として構成される場合に限定されるものではなく、固定子の外周側に回転子を配置したいわゆる「アウターロータ型」として構成されてもよい。
<2.エンコーダ>
次に、図1〜図13を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ10の構成の一例について説明する。図1に示すように、エンコーダ10は、モータ電磁部110の例えば上側に隣接して配置されている。エンコーダ10は、ブラケット105に隣接して設けられた例えば有蓋円筒状のハウジング2によって覆われる。ハウジング2は、ブラケット105の上面に例えばボルト等により固定される。このエンコーダ10は、光学検出機構20と磁気検出機構30とを備える。
(2−1.光学検出機構)
図1〜図4を参照しつつ、光学検出機構20の構成の一例について説明する。図1に示すように、光学検出機構20は、ディスク11、メイン基板12(第1基板の一例)、サブ基板13(第2基板の一例)、光源14及び受光素子15等を有する。
図1に示すように、ディスク11は、モータシャフト102と共に回転するように構成されている。すなわち、ディスク11は、モータシャフト102に連結された磁性体18のメイン基板12側の表面18cにモータシャフト102の軸心AXと略同心となるように固定される。
ディスク11は、例えばガラスや透明樹脂等の光を透過する材質により形成される。そして、ディスク11の上面に光を反射する材質(例えばアルミニウム等)を蒸着等により配置することで、反射スリットが形成される。
なお、ディスク11の材質や製造方法等は、特に限定されるものではない。例えば、ディスク11を金属等の光を反射する材質により形成することも可能である。この場合、ディスク11の上面の光を反射させない部分に反射率の低い材質(例えば酸化クロム等)を塗布等により配置することで、該材質が配置されない部分に反射スリットが形成される。なお、光を反射させない部分をスパッタリング等により粗面として反射率を低下させることで、反射スリットが形成されてもよい。
磁性体18は、例えば円環状であり、メイン基板12とは反対側の表面18dの径方向略中央部に環状のつば部18aを有する。磁性体18は、つば部18aの内側の凹部18bがモータシャフト102の反負荷側端部に嵌合されることにより、モータシャフト102に連結されている。モータシャフト102は、磁気検出機構30を貫通して上方に延設されている。
ディスク11のメイン基板12側の表面には、円周方向に沿って複数の反射スリット(図示せず)が配列されたトラック(図示せず)が複数本形成されている。各反射スリットは、光源14から出射された光を反射する。トラックにおける反射スリットの配列パターンとしては、例えば、反射スリットが所定のピッチで規則的に繰り返される「インクリメンタルパターン」や、反射スリットの位置や割合等がディスク11の1回転内で一義に定まる「シリアルアブソリュートパターン」等が挙げられるが、特に限定されるものではない。
メイン基板12は、図示しない支持部材によってハウジング2に支持され、ディスク11の上方に対向するように配置される。メイン基板12には、モータシャフト102の軸心AXから偏倚した位置に、上下方向に貫通した開口12a(切り欠きでもよい)が形成されている。なお、メイン基板12上の一部の電子機器は、磁界検出部17の基板31上の一部の電子機器と例えばケーブルにより接続されている。
サブ基板13は、メイン基板12のディスク11とは反対側の表面12bに開口12aを塞ぐように配置される。このとき、サブ基板13のディスク11側の表面13aに配置された光源14、複数の受光素子15等が開口12aの内部に収容される。なお、この例では、サブ基板13は開口12aの全体を塞いでいるが、開口12aの一部を覆うように配置されてもよい。
メイン基板12とサブ基板13とは、複数の連結部19により連結される。複数の連結部19は、サブ基板13の縁部と、メイン基板12のディスク11とは反対側の表面12bにおける開口12aの周囲部分とを連結する。連結部19としては、例えばハンダを使用することができる。図2に示す例では、サブ基板13のディスク回転方向(図2中左右方向)における両側及びディスク半径方向(図2中上下方向)における内周側の縁部には、複数の端子部26が設けられている。図3に示すように、各端子部26は半円筒状の凹部26aを有する。他方、図3に示すように、メイン基板12の表面12bには、開口12aの周囲の上記端子部26に対応する位置に、端子部27が例えば薄膜状に形成されている。サブ基板13は、メイン基板12の表面12b上に端子部26が端子部27に重なるように載置される。そして、その状態で端子部26の凹部26a近傍においてハンダが溶融され、溶融したハンダが凹部26aにより端子部27上に導かれる。このようにして、連結部19が形成され、端子部26と端子部27とが機械的及び電気的に連結される。
なお、上述の端子部26,27及び連結部19の構成は一例であり、この構成に限定するものではない。例えば、サブ基板13の縁部からアーム状の金属端子を外側に突出させ、当該金属端子とメイン基板12の端子部27とをハンダ付けにより接合してもよいし、サブ基板13とメイン基板12との端子部同士をリード線等を用いてハンダ付けにより接続してもよい。また、例えばサブ基板13の表面に複数の端子部を形成しておき、メイン基板12の端子部27に形成した半田バンプによりサブ基板13側の端子部と直接接続するフリップチップ接合方式としてもよい。さらに、ハンダ付けを行わず、例えばコネクタ等を用いてサブ基板13の端子部とメイン基板12の端子部とを接続する構成としてもよい。
光源14は、メイン基板12の開口12aの内側において、サブ基板13のディスク11側の表面13aに配置され、ディスク11に光を出射する。受光素子15は、開口12aの内側においてサブ基板13の表面13aに複数配置され、ディスク11からの反射光を受光する。複数の受光素子15は、光源14の周囲においてディスク回転方向に沿って配列された複数本の受光アレイPA1,PA2,PI1,PI2を構成する。サブ基板13、光源14及び複数の受光素子15等は、光学モジュール21としてモジュール化されている。
図2に示す例では、光学モジュール21は、サブ基板13上に、光源14と、ディスク11の複数のトラックに対応した複数の受光アレイPA1,PA2,PI1,PI2と、光量調整用の2つの調整用受光素子PDとを有する。
光源14には、例えば、LED(Light Emitting Diode)が使用可能である。光源14は、特に光学レンズ等が配置されない点光源として構成され、発光部から拡散光を出射する。このように点光源を使用することにより、光源14は、対向した位置を通過するディスク11の複数のトラックにほぼ均等に光を照射することが可能である。また、光学素子による集光・拡散を行わないため、光学素子による誤差等が生じにくく、照射領域への出射光の直進性を高める事が可能である。
複数の受光アレイPA1,PA2,PI1,PI2は、光源14の周囲に配置される。具体的には、受光アレイPI1及びPI2は、光源14を間に挟んだディスク半径方向内側及び外側に配置され、受光アレイPA1及びPA2は、受光アレイPI1及びPI2を間に挟んだディスク半径方向内側及び外側に配置されている。これら受光アレイPA1,PA2,PI1,PI2は、複数の受光素子15をディスク回転方向に沿って所定のピッチでアレイ状に並べて構成される。
受光アレイPI1,PI2は、それぞれディスク11の対応するインクリメンタルパターンの反射スリットで反射された光を受光素子15で受光し、インクリメンタル信号を出力する。この例では、ピッチの小さい反射スリットに対応する受光アレイPI2で生成されるインクリメンタル信号は、ピッチの大きい反射スリットに対応する受光アレイPI1のインクリメンタル信号に比べて高分解能である。受光アレイPA1,PA2は、それぞれディスク11の対応するアブソリュートパターンの反射スリットで反射された光を受光素子15で受光し、アブソリュート信号を出力する。
調整用受光素子PDは、ディスク回転方向において受光アレイPI1の両側に配置され、受光アレイPI1に対応したインクリメントパターンのスリットトラックで反射した光を受光する。2つの調整用受光素子PDは、調整用受光素子PDの信号を用いて受光量の調整が可能なように、受光量が略一定となるように形成されている。
また、図2及び図4に示すように、メイン基板12の開口12aの内側においてサブ基板13のディスク11側の表面13aには、サブ基板13と受光素子15等を電気的に接続する複数のボンディングワイヤ28が配置されている。複数のボンディングワイヤ28は、開口12aの内部に収容される。
また、メイン基板12の開口12aの内側においてサブ基板13のディスク11側の表面13aには、ICチップ23が配置されている。上記受光素子15や調整用受光素子PDは、ICチップ23の半導体ウェハ24上に形成されている。また、ICチップ23の半導体ウェハ24上には、上記受光素子15や調整用受光素子PD等の他、例えばオペアンプやコンパレータ等の所定の機能を備えた集積回路25が形成されている。集積回路25は、半導体ウェハ24上の空いた領域、この例では受光アレイPA1の両側に形成されている。
エンコーダ10が備える位置データ生成部(図示せず)は、モータ電磁部110(モータシャフト102)の絶対位置を測定するタイミングにおいて、光学モジュール21から、絶対位置を表すビットパターンをそれぞれ備えた2つのアブソリュート信号と、高インクリメンタル信号及び低インクリメンタル信号とを取得する。そして、位置データ生成部は、取得した信号に基づいて、これらの信号が表すモータ電磁部110の絶対位置を算出し、算出した絶対位置を表す位置データを生成する。
なお、上記光学検出機構20の構成は、あくまで一例であり、上記以外の構成であってもよい。例えば、ディスク11は、磁性体18を介してモータシャフト102に連結されていたが、磁性体18を介さずにモータシャフト102に直接連結されてもよい。また、光学検出機構20は、モータ電磁部110の上側に隣接して配置されていたが、モータ電磁部110の上側に例えば電磁ブレーキ等の他の構成を配置し、モータ電磁部110の上側に当該他の構成を介して配置されてもよい。また、アブソリュート信号を出力する受光アレイPA1,PA2をいずれか一方の受光アレイのみとしてもよいし、インクリメンタル信号を出力する受光アレイを単一の分解能としてもよい。
(2−2.磁気検出機構)
次に、図1、図5〜図13を参照しつつ、磁気検出機構30の構成の一例について説明する。図1に示すように、磁気検出機構30は、磁石16、磁界検出部17及び基板31等を有する。
(2−2−1.基板、磁石)
基板31は、円環状に形成されており、ハウジング2の下端部に固定されている。基板31は、径方向中央部にモータシャフト102が非接触に貫通する穴部31aを有する。
磁石16は、ディスク11のメイン基板12とは反対側においてモータシャフト102と共に回転するように支持される。詳細には、図5に示すように、磁石16は、磁性体18のメイン基板12とは反対側の表面18dに4つ固定されている。
4つの磁石16、すなわち磁石16a,16b,16c,16dは例えば板状の永久磁石である。4つの磁石16a〜16dは、磁性体18の表面18dの外周部寄りの位置に周方向にそれぞれ離間して配置される。ここでは、4つの磁石16a〜16dは、例えば周方向に等間隔(90°間隔)に並べられている。4つの磁石16a〜16dは、周方向にN・Sの極性が交互に異なるように配置される。例えば、磁石16aがN極、磁石16bがS極、磁石16cがN極、磁石16dがS極である。これらの磁石16a〜16dは、磁性体18と基板31との間の領域に磁界を形成する。
なお、図5中の二点鎖線Rは、磁性体18が軸心AXの周りに回転したときの、4つの磁石16(磁石16a〜16d)の回転軌跡円を表す。各磁石16の周方向の寸法D1(各磁石16の中心と重なる回転軌跡円R上の点における接線方向の寸法)は、所定の値に設定されている。
なお、磁石16の個数は4に限定されるものではなく、他の個数としてもよい。その場合には、磁界検出部17及び磁性部材33,34の個数や配置等についても適宜変更すればよい。また、磁石16を永久磁石でない磁石(電磁石等)としてもよい。
(2−2−2.磁界検出部)
磁界検出部17は、ディスク11のメイン基板12とは反対側、詳細には、磁性体18のメイン基板12とは反対側に配置される。
図6及び図7に示すように、磁界検出部17は、磁性素子35及びコイル36を有する。磁性素子35はワイヤ状、棒状又は長板状(この例では長板状)に形成されており、コイル36は磁性素子35の周囲に巻回されている。
磁界検出部17は、基板31の磁性体18側の表面に3つ設けられている。3つの磁界検出部17、すなわち磁界検出部17a,17b,17cは、基板31の磁性体18側の表面に周方向にそれぞれ離間して配置され、例えば周方向に等間隔(120°間隔)に並べられている。各磁界検出部17a〜17cは、磁性素子35の長さ方向が、その長さ方向の中点を通る半径方向の線と磁石16の回転軌跡円Rとが交わる交点における接線と平行(長さ方向の中点を通る半径方向の線に対し直角)となるように位置が定められている。各磁界検出部17a〜17cの磁性素子35の長さ方向の両端は、軸心AXからの距離が等距離で、かつ上記回転軌跡円Rと重なるように位置される。各磁界検出部17a〜17cは、磁石16a〜16dにより形成された磁界を検出する。
なお、磁界検出部17a〜17cの配置形状は、軸心AX方向から見て三角形状に限定されるものではなく、他の形状であってもよい。また、磁界検出部17の数は、3つに限定されるものではなく、他の個数としてもよい。その場合には、磁石16の個数や配置等についても適宜変更すればよい。
磁性素子35は、大バルクハウゼン効果を生じる。ここで、「大バルクハウゼン効果」とは、磁性素子35の磁化方向が、付与される外部磁界の強度がある強度を超えた時点で急激に反転する現象であり、大バルクハウゼンジャンプとも呼ばれる。
磁性素子35としては、大バルクハウゼン効果が生じる磁性素子であれば特に限定されるものではなく、例えばワイヤ状の磁性素子(例えば複合磁気ワイヤ、ウィーガントワイヤ、アモルファスワイヤ等)、棒状の磁性素子、板状の磁性素子等が使用可能である。但し、説明の便宜上、以下では、磁性素子35が複合磁気ワイヤである場合について説明する。
このような複合磁気ワイヤを磁性素子35として採用している各磁界検出部17a〜17cにおいて、磁性素子35に外部磁界が付与され、これにより磁性素子35の外周部の磁化方向が変化すると、当該磁性素子35に巻回されたコイル36からパルス状の電気信号が検出信号として出力される。磁気検出機構30において、磁性素子35に付与される外部磁界に相当するものは、磁石16aと磁石16bとにより形成される磁界、磁石16bと磁石16cとにより形成される磁界、磁石16cと磁石16dとにより形成される磁界、及び磁石16dと磁石16aとにより形成される磁界である。いずれか1つの磁性素子35に着目すると、磁性体18が回転することにより、これら4つの磁界が当該磁性素子35に順次付与される。また、これら4つの磁界は、磁性素子35の中心部及び外周部の双方の磁化方向を変化させることができるような大きな磁界ではなく、磁性素子35の外周部の磁化方向のみを変化させることができる程度の大きさの磁界である。当該磁性素子35と磁石16a〜16dとの位置関係から、当該磁性素子35に付与される磁界が切り替わるごとに磁界の方向が切り替わるので、当該磁界が切り替わるごとに、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が変化し、これに伴い当該磁性素子35に巻回されたコイル36から検出信号が出力される。
また、磁気検出機構30において、磁石16a〜16dは例えば90°間隔で配置されているのに対し、磁界検出部17a〜17cは例えば120°間隔で配置されている。したがって、磁性体18が回転する間に、磁界検出部17a〜17cの各々から検出信号が出力されるタイミングが重なり合うことがない。磁界検出部17a〜17cからそれぞれ異なるタイミングで出力される検出信号を用いて所定の処理を行うことにより、モータ100の多回転量(回転数及び回転方向)を検出することができる。
(2−2−3.磁性部材)
図1に示すように、磁気検出機構30は、磁界検出部17を覆う磁性部材33,34を備える。図6に示すように、磁性部材33,34は、各磁界検出部17a〜17cに対し設けられている。磁性部材33,34は、例えば鉄等の磁性材料により形成され、このうち一方の磁性部材33は、各磁界検出部17a〜17cの長さ方向一方側を覆い、他方の磁性部材34は、各磁界検出部17a〜17cの長さ方向他方側を覆う。
図8は、図6中の1つの磁界検出部等を拡大して表す図である。図8に示すように、磁界検出部17aに設けられた磁性部材33,34は、基板31の磁性体18側の表面に配置され、基板31に固定されている。磁性部材33,34は、互いに接触せず、且つ、磁界検出部17aとも接触しないように配置される。また、磁性部材33,34は、他の磁界検出部17b,17cの磁性部材33,34のいずれとも接触しないように配置される。
磁性部材33は、平板部33aと側板部33bとを備え、磁界検出部17aの長さ方向一方側(図8中左側)に配置される。平板部33aは、磁界検出部17aの基板31とは反対側において基板31と平行に広がり、磁界検出部17aの長さ方向中央直近から長さ方向一方端(左方端)を超えるまでの磁界検出部17aの幅方向を超える領域で、磁界検出部17aを覆っている。側板部33bは一端部が基板31に固定され、平板部33aは側板部33bを介して基板31に固定されている。側板部33bは、磁界検出部17aの長さ方向一方端の略周方向側の側方を覆う。
磁性部材34は、磁界検出部17aの長さ方向中央を通る径方向の線に対し、磁性部材33と線対称の形状に形成されている。磁性部材34は、平板部34aと側板部34bとを備え、磁界検出部17aの長さ方向他方側(図中右側)に配置される。
磁性部材33の平板部33aの辺部33Aと磁性部材34の平板部34aの辺部34Aは近接し、所定の寸法D2の間隙で対向する。この間隙の寸法D2と各磁石16a〜16dの寸法D1とは、D1がD2よりも大きくなるように設定されている。磁界検出部17aの磁性体18に臨む側の面は、磁性部材33の平板部33aと磁性部材34の平板部34aとによってほぼ覆われ、磁界検出部17aは、平板部33a及び平板部34aの対向する辺部33A,34A間の領域でのみ磁性体18側に露出している。
他の磁界検出部17b,17cの磁性部材33,34についても、磁界検出部17aの磁性部材33,34と同様の構成である。
なお、磁性部材33,34は、上記で説明した形状等に限定されるものではなく、磁界検出部17の長さ方向端部の少なくとも磁石16に対向する部分を覆う磁性部材であれば、他の形状等としてもよい。
(2−2−4.磁気検出機構の回転検出動作)
図9〜図13を用いて、磁気検出機構30の回転検出動作を説明する。なお、図9、図11及び図13は、図1中のIX−IX矢視図であるが、説明の便宜上、モータシャフト102及び磁性体18等の図示を省略している。
まず、図9及び図13により、磁気検出機構30の基本的な回転検出動作について説明する。モータ100の回転に伴い、磁性体18と共に磁石16a,16b,16c,16dが時計回り又は反時計回りに回転すると、磁石16a〜16dによって磁性体18と基板31との間に形成された磁界が回転する。磁界検出部17a,17b,17cは、このように回転する磁界の中で静止しているので、各磁界検出部17a〜17cに付与される磁界の極性が回転に伴って変化する。これにより、各磁界検出部17a〜17cにおいて、磁性素子35の外周部の磁化方向が変化し、コイル36からパルス状の検出信号が出力される。この検出信号に基づいてモータ100の多回転量を検出することができる。
ここで、磁界検出部17aに着目し、この動作を具体的に説明する。例えば磁界検出部17aの磁性素子35がその他端部から一端部に向いた方向に磁化された状態であるときに、基板31が反時計回りに回転したとする。これにより、図9に示すように、N極の磁石16aが磁界検出部17aの一端部に接近し、かつS極の磁石16bが磁界検出部17aの他端部に接近すると、磁石16aから磁石16bに向かう磁界により、磁界検出部17aの磁性素子35の外周部の磁化方向が反転する。この結果、当該磁性素子35の磁化方向がその一端部から他端部に向いた方向となる。そして、当該磁性素子35の磁化方向の反転により、当該磁性素子35に巻回されたコイル36から例えば正の方向に鋭く立ち上がるパルス状の検出信号が出力される。
引き続き、磁性体18の反時計回りの回転が継続し、図13に示すように、S極の磁石16dが磁界検出部17aの一端部に接近し、かつN極の磁石16aが磁界検出部17aの他端部に接近すると、磁石16aから磁石16dに向かう磁界により、磁界検出部17aの磁性素子35の外周部の磁化方向が反転する。この結果、当該磁性素子35の磁化方向がその他端部から一端部に向いた方向となる。そして、当該磁性素子35の磁化方向の反転により、当該磁性素子35に巻回されたコイル36から例えば負の方向に鋭く立ち上がるパルス状の検出信号が出力される。
引き続き、磁性体18が回転を続け、N極の磁石16cが磁界検出部17aの一端側に接近し、かつS極の磁石16dが磁界検出部17aの他端部に接近したときには、磁石16cから磁石16dに向かう磁界により、磁界検出部17aの磁性素子35の磁化方向がその一端部から他端部に向いた方向となり、コイル36から例えば正の方向に鋭く立ち上がるパルス状の検出信号が出力される。
さらに、磁性体18が回転を続け、S極の磁石16bが磁界検出部17aの一端側に接近し、かつN極の磁石16cが磁界検出部17aの他端部に接近したときには、磁石16cから磁石16bに向かう磁界により、磁界検出部17aの磁性素子35の磁化方向がその他端部から一端部に向いた方向となり、コイル36から例えば負の方向に鋭く立ち上がるパルス状の検出信号が出力される。
磁界検出部17b,17cも、以上の磁界検出部17aと同様に動作する。
(2−2−5.磁性部材による磁界誘導機能)
次に、図9〜図13を参照しながら、磁性部材33,34による磁界誘導機能について説明する。各磁界検出部17a〜17cの磁性部材33,34は、磁石16a〜16dにより各磁界検出部17a〜17cに付与される磁界を誘導し、所定の磁路を形成する機能を有する。
図9に示すように、磁性体18が例えば反時計回りに回転し、N極の磁石16aが磁界検出部17aの一端部に接近し、かつS極の磁石16bが磁界検出部17bの他端部に接近したとする。このとき、図10に示すように、磁石16aと磁界検出部17aの一端部との間には磁性部材33が介在し、一方、磁石16bと磁界検出部17aの他端部との間には磁性部材34が介在する。したがって、磁石16aから磁石16bに向かう磁束の大部分は、まず、磁石16aから、磁界検出部17aの一端部ではなく、磁性部材33に進入し、磁性部材33に進入した磁束は、磁性部材34側に向かって磁性部材33の平板部33a中を進行する。磁界検出部17aの長さ方向中間部において磁性部材33と磁性部材34とは互いに離れているので、磁性部材33の平板部33a中を進行した磁束は、磁性部材34に接近するものの磁性部材34へは直接進入せず、磁界検出部17aの中間部の一端側(図10中左側)寄りの部分に進入する。磁界検出部17aの中間部において一端側寄りの部分に進入した磁束は、磁界検出部17aの中間部を他端側へ向かって進行し、磁界検出部17aの中間部の他端側(図10中右側)寄りの部分に到達する。磁界検出部17aの中間部の他端側寄りの部分に到達した磁束は、磁界検出部17aから離脱して磁性部材34に進入する。磁性部材34に進入した磁束は、磁石16bに向かって磁性部材34の平板部34a中を進行し、磁性部材34から磁石16bに到達する。
このように、磁石16aが磁界検出部17aの一端部に接近し、かつ磁石16bが磁界検出部17bの他端部に接近したときには、磁石16aから磁石16bに向かう磁界が磁性部材34,34により磁界検出部17aの中間部に誘導され、図10中、実線の矢印曲線で示すように、磁石16aから磁性部材33の平板部33a、磁界検出部17aの中間部、磁性部材34の平板部34a、磁石16bの順に進む磁路が形成される。この結果、当該磁界の大部分が磁界検出部17aの中間部に付与されるので、磁界検出部17aの中間部の磁束密度が、磁界検出部17aの一端部及び他端部の磁束密度と比較して高くなる。
また、磁界検出部17aの一端部及び他端部において磁性体18に臨む部分を含む広い領域が磁性部材33,34の平板部33a,33bにより覆われており、さらに、磁界検出部17aの一方端面(左方端面)及び他方端面(右方端面)が磁性部材33,34の側板部33b,34bにより覆われている。これにより、N極の磁石16aが磁界検出部17aの一端部に接近し、かつS極の磁石16bが磁界検出部17aの他端部に接近した場合、磁界検出部17aの周囲であって磁性部材33,34により覆われた内側の空間に、図10中、破線の矢印曲線で示すように、磁界検出部17aの一端側から他端側に向かう磁束の磁路が形成される。この磁束は、磁性素子35の中間部だけでなく、磁性素子35の一端部及び他端部にも付与される。この場合、磁石16aから磁石16bに向かう磁束のうち、その大部分は図10中の実線の矢印曲線で示す磁路を進行するので、破線の矢印曲線で示す磁束の密度は、実線の矢印曲線で示す磁束の密度よりも小さい。したがって、破線の矢印曲線で示した磁束の磁界検出部17aへの付与によって、磁界検出部17aの中間部の磁束密度を一端部及び他端部の磁束密度よりも高い状態を保持したまま、磁界検出部17a全体の磁束密度を増加することができる。
以上のような磁束が磁界検出部17aに付与されることにより、磁界検出部17aの磁性素子35の外周部は、図10中の白抜きの矢印が示す方向、すなわち磁性素子35の一端部から他端部に向かう方向に磁化される。したがって、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が当該磁性素子35の他端部から一端部に向いた方向であった場合には、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が反転し、当該磁性素子35に巻回されたコイル36から例えば正の方向に鋭く立ち上がったパルス状の検出信号が出力される。
続いて、図11に示すように、磁性体18が図9及び図10の状態から反時計回りにさらに45°回転し、N極の磁石16aが磁界検出部17aの中間部に接近したときには、図12に示すように、磁石16aと磁界検出部17aとの間の距離よりも、磁石16aと磁性部材33との間の距離の方が短いので、磁石16aから磁石16dに向かう磁束の大部分は、磁石16aから、磁界検出部17aの中間部ではなく、磁性部材33に進入する。磁性部材33に進入した磁束は、磁石16d側に向かって磁性部材33中を進行する。これにより、磁束が磁界検出部17aに進入することを抑制することができる。また、図11に示すように、磁界検出部17a側の磁性部材33と磁界検出部17c側の磁性部材34とは間隙を介して互いに離間しているので、磁性部材33を進行した磁束の大部分は磁界検出部17c側の磁性部材34へ進入しない。
また、磁石16aが磁界検出部17aの中間部に接近したときには、図12に示すように、磁石16aと磁界検出部17aとの間の距離よりも、磁石16aと磁性部材34との間の距離の方が短いので、磁石16aから磁石16bに向かう磁束の大部分は、磁石16aから、磁界検出部17aの中間部ではなく、磁性部材34に進入する。磁性部材34に進入した磁束は、磁石16b側に向かって磁性部材34中を進行する。これにより、磁束が磁界検出部17aに進入することを抑制することができる。また、図11に示すように、磁界検出部17a側の磁性部材34と磁界検出部17b側の磁性部材33とは間隙を介して互いに離間しているので、磁性部材34を進行した磁束の大部分は磁界検出部17b側の磁性部材33へ進入しない。
このように、磁石16aが磁界検出部17aの中間部に接近したときには、磁石16aから磁石16d,16bに向かう磁束が、磁性部材33,34により磁界検出部17aに進入するのを避けるように誘導される。この結果、当該磁界における磁束の大部分は磁界検出部17aには進入しない。したがって、磁界検出部17aの磁性素子35の外周部の磁化方向は変化せず、図12中の磁化方向を示す白抜きの矢印は、図10中の磁化方向を示す白抜きの矢印と同じになる。よって、当該磁性素子35に巻回されたコイル36からパルス状の検出信号が出力されることはない。
続いて、図13に示すように、磁性体18が図11及び図12の状態から反時計回りにさらに45°回転し、S極の磁石16dが磁界検出部17aの一端部に接近し、かつN極の磁石16aが磁界検出部17aの他端部に接近したときには、磁石16aから磁石16dに向かう磁界は、磁性部材34,33により誘導され、図10中の実線の矢印曲線及び破線の矢印曲線で示す磁路の経路を逆方向に辿る。すなわち、磁石16aから磁石16dに向かう磁束の大部分は、磁石16aから、磁性部材34、磁界検出部17aの中間部、磁性部材33の順に進行し、磁石16dに到達する。この結果、磁石16aから磁石16dに向かう磁束の大部分が磁界検出部17aの中間部に付与されるので、磁界検出部17aの中間部の磁束密度が、磁界検出部17aの一端部及び他端部の磁束密度と比較して高くなる。さらに、磁界検出部17aの周囲であって磁性部材33,34により覆われた内側の空間に、磁界検出部17aの他端側から一端側に向かう比較的密度の小さい磁束による磁路が形成される。この結果、磁界検出部17aの中間部の磁束密度が、磁界検出部17aの一端部又は他端部の磁束密度よりも高い状態が保持されたまま、磁界検出部17a全体の磁束密度が増加する。
このような磁束が磁界検出部17aに付与されることにより、磁界検出部17aの磁性素子35の外周部は、磁性素子35の他端部から一端部に向かう方向に磁化される。したがって、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が当該磁性素子35の一端部から他端部に向いた方向であった場合には、当該磁性素子35の外周部の磁化方向が反転し、当該磁性素子35に巻回されたコイル36から例えば負の方向に鋭く立ち上がったパルス状の検出信号が出力される。
以上より、磁性部材33,34の磁界誘導機能によれば、互いに極性の異なる磁石16が磁界検出部17aの一端部及び他端部にそれぞれ接近したときには、これらの磁石16により形成される磁束が、磁界検出部17aの一端部及び他端部よりも中間部を通過するように磁束を誘導することができる。また、磁石16が磁界検出部17aの中間部に接近したときには、この磁石16により形成される磁束が磁界検出部17aに進入するのを抑制することができる。
これにより、互いに極性の異なる一対の磁石16が磁界検出部17aの一端部及び他端部にそれぞれ接近したときには、磁界検出部17aの磁性素子35の主に中間部の磁束密度を高くすることができる。一方、磁石16が磁界検出部17aの中間部に接近したときには、磁界検出部17aの磁性素子35の磁束密度を全体に亘って低くすることができる。したがって、互いに極性の異なる磁石16が磁界検出部17の一端部及び他端部にそれぞれ接近したときに限り、磁界検出部17aの磁性素子35の磁束密度を高くすることができる。それゆえ、互いに極性の異なる磁石16が磁界検出部17aの一端部及び他端部にそれぞれ接近したときに限り、磁性素子35の磁化方向を変化させることができる。すなわち、互いに極性の異なる磁石16が磁界検出部17aの一端部及び他端部にそれぞれ接近していない期間に、磁界検出部17aの磁性素子35の磁化方向が変化するのを防止することができる。
なお、本実施形態は、エンコーダ10が、例示したような大バルクハウゼン効果を生じる磁界検出部17を備えた磁気検出機構30を有する場合に、バッテリレスのエンコーダを実現できることから、磁気検出機構30の構成・動作・機能について詳しく説明した。しかしながら、磁気検出機構30の構成はこの例に限定されるものではなく、多回転量を検出可能な磁気検出機構(例えばMR素子等の磁気抵抗素子を備えた磁気検出機構)であれば、本実施形態は同様の作用効果を奏し得る。さらには、磁気検出機構がないエンコーダであってもエンコーダの軸方向寸法を短縮し得るため、本実施形態は同様の効果を奏し得る。
また以上において、メイン基板12に開口12aを形成し、サブ基板13の光源14及び受光素子15が当該開口12aを介してディスク11に対し光を出射すると共に反射光を受光する構成が、第2基板を第1基板のディスクとは反対側の表面に配置する手段の一例に相当する。
<3.本実施形態による効果の例>
以上説明したように、本実施形態のエンコーダ10は、モータシャフト102と共に回転するディスク11と、ディスク11に対向して配置され、開口12aが形成されたメイン基板12と、メイン基板12のディスク11とは反対側の表面12bに開口12aの少なくとも一部を覆うように配置されたサブ基板13と、開口12aにおいてサブ基板13のディスク11側の表面13aに配置され、ディスク11に光を出射する光源14と、開口12aにおいてサブ基板13のディスク11側の表面13aに配置され、ディスク11からの反射光を受光する受光素子15とを有する。これにより、次の効果を奏する。
すなわち、一般に反射型エンコーダの軸方向寸法の中では、光学モジュール21の光源14又は受光素子15とディスク11との間の光学的ギャップが占める割合が比較的高い。このため、図14Aに示す比較例のエンコーダ10’のように、メイン基板12のディスク11側の表面12cにサブ基板13が配置され、サブ基板13のディスク11側の表面13aに光源14と受光素子15等が配置される場合には、メイン基板12とディスク11間の距離L(メイン基板12上面とディスク11上面間の距離)が大きくなり、エンコーダ10’の軸方向寸法が大きくなってしまう。しかしながら、エンコーダ10’の薄型化のために光学的ギャップG(光源14とディスク11間の距離)を変更すると、エンコーダ10’の光学系の設計の全面的な見直しが必要となり、例えば新規開発と同等のコストや開発期間が必要となる可能性がある。
本実施形態のエンコーダ10では、図14Bに示すように、メイン基板12のディスク11とは反対側の表面12bにサブ基板13が配置され、メイン基板12の開口12aにおいてサブ基板13のディスク11側の表面13aに光源14と受光素子15が配置される。これにより、光源14及び受光素子15をメイン基板12の開口12aの内側に配置できるので、光学的ギャップGを変更することなく、メイン基板12とディスク11との距離Lを上記比較例の場合よりも大幅に短縮することができる。その結果、コストや開発期間の増大を招くことなく、エンコーダ10の軸方向寸法を短縮することができる。
また、本実施形態において、サブ基板13が開口12aを塞ぐように配置され、エンコーダ10が、サブ基板13の縁部とメイン基板12のディスク11とは反対側の表面12bにおける開口12aの周囲部分とを連結する、複数の連結部19を有する場合には、次の効果を奏する。
例えば、サブ基板13をメイン基板12にハンダ付けする場合、図14Aに示す比較例のエンコーダ10’では、光源14及び受光素子15が露出されるメイン基板12のディスク11側の表面12cにおいてハンダ付けを行なわなければならず、フラックス等の異物が光源14や受光素子15に付着し易い。フラックス等の異物が光源14や受光素子15に付着すると、エンコーダの検出精度に影響を与える可能性がある。このため、異物の付着を防止するために、例えばハンダ付けを行う際に光源14や受光素子15を覆うカバーを設置するのが好ましい。
本実施形態では、サブ基板13がメイン基板12のディスク11とは反対側の表面12bに開口12aを塞ぐように配置されると共に、表面12b側においてサブ基板13の縁部と開口12aの周囲部分とが複数の連結部19により連結される。これにより、サブ基板13で開口12aを塞ぎつつ、光源14及び受光素子15が開口12aを通して露出されるメイン基板12のディスク11側の表面12cとは反対側の表面12bにおいて連結作業ができるので、他の部品等とのクリアランスが確保できるなど連結作業の作業性が向上する。また、連結部19としてハンダを使用することができるので、ハンダから生じ得るフラックス等の異物が光源14や受光素子15に付着するのを防止し、検出精度が低下するのを防止できる。さらに、異物の付着を防止するための上記カバー等の部品が不要となるので、製造工程を簡素化できると共にコストを削減できる。
また、本実施形態において、エンコーダ10が、ディスク11のメイン基板12とは反対側においてモータシャフト102と共に回転するように支持された磁石16と、ディスク11のメイン基板12とは反対側に配置され、磁石16の磁界を検出する磁界検出部17とを有する場合には、次の効果を奏する。
すなわち、磁界検出部17で磁石16の磁界を検出することにより、モータ100の多回転量を検出できる。また、多回転量を検出するエンコーダ10では、モータ電磁部110や磁石16からの漏れ磁束により例えば光学モジュール21の電子回路に誘導起電力が生じる等により、検出精度に影響が生じる可能性がある。本実施形態では、光学モジュール21がメイン基板12の開口12a内の奥まった位置に配置されるので、例えば図14Aに示す比較例のエンコーダ10’のように光学モジュール21がメイン基板12のディスク11側に突出して配置される場合に比べて、上記漏れ磁束の影響を低減することができる。
また、本実施形態において、磁界検出部17が、大バルクハウゼン効果を生じる磁性素子35及びコイル36を備え、長さ方向が磁石16の回転軌跡円Rの接線方向と平行となるように配置される場合には、次の効果を奏する。
すなわち、上記構成により、磁界検出部17から出力されたパルス信号を用いて電圧を生成し、当該電圧を用いて電子回路を起動し、多回転量を検出することが可能である。したがって、外部電源から電源電圧が供給されない場合であっても、消費電力を自己発電できるため、バックアップ用電源(例えばバッテリ等)を省略したバッテリレスのエンコーダを実現できる。
また、本実施形態において、エンコーダ10が、モータシャフト102に連結され、メイン基板12側の表面18cにディスク11が固定されると共に、メイン基板12とは反対側の表面18dに磁石16が固定された、磁性体18を有する場合には、次の効果を奏する。
すなわち、上記構成により、ディスク11と磁石16とを共通の支持体である磁性体18によって支持できるので、個別に支持体を設ける場合に比べてさらなる薄型化が可能となる。また、部品数やコストを低減できる。さらに、磁性体18によりモータ電磁部110や磁石16から光学モジュール21側へ漏れる漏れ磁束を低減できるので、漏れ磁束が検出精度に与える影響をさらに低減することができる。また、磁石16を磁性体18に固定することで、磁石16の磁路を形成して磁界を集中させることができるので、磁界検出部17による検出精度を向上できる。
また、本実施形態において、エンコーダ10が、メイン基板12の開口12aにおいてサブ基板13のディスク11側の表面13aに配置され、半導体ウェハ24上に受光素子15及び所定の機能を備えた集積回路25が形成されたICチップ23を有する場合には、次の効果を奏する。
すなわち、メイン基板12が基板の両面に電子部品を実装される両面実装型の基板である場合、メイン基板12のディスク11とは反対側の表面12bにサブ基板13を配置し、メイン基板12の開口12aを介してディスク11に光を出射及び受光する構成とすることで、メイン基板12の表面12bの実装面積が低下するという課題がある。
本実施形態では、半導体ウェハ24上に受光素子15及び所定の機能を備えた集積回路25が形成されたICチップ23をサブ基板13に実装することで、例えばオペアンプやコンパレータ等の回路機能を光学モジュール21に持たせることができる。これにより、メイン基板12の表面12bにおける光学モジュール21に対応する位置に実装される電子部品の機能を光学モジュール21に持たせることが可能となるので、メイン基板12の実装面積が低下することによる影響を低減することができる。
また、本実施形態において、エンコーダ10が、メイン基板12の開口12aの内側においてサブ基板13のディスク11側の表面13aに配置され、サブ基板13と受光素子15とを電気的に接続する複数のボンディングワイヤ28を有する場合には、次の効果を奏する。
すなわち、一般にボンディングワイヤ28は非常に細く強度が弱いため、仮に図14Aに示す比較例のエンコーダ10’のようにメイン基板12のディスク11側の表面12cにサブ基板13を配置する場合、表面12cにおいてディスク11側に露出されるボンディングワイヤ28の周囲に、例えば図14Aに示すように保護用の部材(例えば枠基板9)を設置してボンディングワイヤ28を保護するのが好ましい。
本実施形態では、ボンディングワイヤ28をメイン基板12の開口12aの内側に収容できるので、枠基板9を使用しなくてもボンディングワイヤ28を保護することができる。したがって、枠基板9が不要となるので、構成を簡素化でき、コストを低減できる。
また、本実施形態のモータ100によれば、軸方向寸法を短縮できるエンコーダ10を有するため、モータ全体を軸方向に小型化できる。
なお、以上の説明において、「垂直」「平行」「平面」等の記載がある場合には、当該記載は厳密な意味ではない。すなわち、それら「垂直」「平行」「平面」とは、設計上、製造上の公差、誤差が許容され、「実質的に垂直」「実質的に平行」「実質的に平面」という意味である。
また、以上の説明において、外観上の寸法や大きさが「同一」「等しい」「異なる」等の記載がある場合は、当該記載は厳密な意味ではない。すなわち、それら「同一」「等しい」「異なる」とは、設計上、製造上の公差、誤差が許容され、「実質的に同一」「実質的に等しい」「実質的に異なる」という意味である。
また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。
その他、一々例示はしないが、上記実施形態は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
10 モータ用エンコーダ
11 ディスク
12 メイン基板(第1基板の一例)
12a 開口
12b 表面
13 サブ基板(第2基板の一例)
13a 表面
14 光源
15 受光素子
16 磁石
17 磁界検出部
18 磁性体
18c 表面
18d 表面
19 連結部
24 半導体ウェハ
23 ICチップ
25 集積回路
28 ボンディングワイヤ
35 磁性素子
36 コイル
100 モータ
102 モータシャフト
110 モータ電磁部
R 回転軌跡円

Claims (8)

  1. ハウジングと、
    前記ハウジング内において、モータシャフトと共に回転するディスクと、
    前記ハウジング内において、当該ハウジングの軸方向一方側の壁面よりも軸方向他方側でかつ前記ディスクの前記軸方向一方側に対向して配置され、開口が形成された第1基板と、
    記開口の少なくとも一部を覆うように前記第1基板に連結された第2基板と、
    記第2基板の前記ディスク側となる前記軸方向他方側の表面に配置され、前記ディスクに光を出射する光源と、
    記第2基板の前記ディスク側となる前記軸方向他方側の表面に配置され、前記ディスクからの反射光を受光する受光素子と、
    前記第1基板の表面に設けられた複数の第1端子部と、
    前記第2基板の表面に設けられた複数の第2端子部と、
    連結された前記第1基板及び前記第2基板の前記ディスクとは反対側となる前記軸方向一方側に露出して設けられ、直角に重ねられた前記第1端子部と前記第2端子部とを連結する、ハンダで構成された複数の連結部と、
    を有する
    ことを特徴とするモータ用エンコーダ。
  2. 前記第2基板は、
    前記開口を塞ぐように配置され、
    前記複数の連結部は、
    前記第2基板の縁部に設けられた前記第2端子部と、前記第1基板の前記ディスクとは反対側の表面における前記開口の周囲部分に設けられた前記第1端子部とを連結す
    ことを特徴とする請求項1に記載のモータ用エンコーダ。
  3. 前記ディスクの前記第1基板とは反対側において前記モータシャフトと共に回転するように支持された磁石と、
    前記ディスクの前記第1基板とは反対側に配置され、前記磁石の磁界を検出する磁界検出部と、をさらに有する
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載のモータ用エンコーダ。
  4. 前記磁界検出部は、
    大バルクハウゼン効果を生じる磁性素子及びコイルを備え、長さ方向が前記磁石の回転軌跡円の接線方向と平行となるように配置される
    ことを特徴とする請求項3に記載のモータ用エンコーダ。
  5. 前記モータシャフトに連結され、前記第1基板側の表面に前記ディスクが固定されると共に、前記第1基板とは反対側の表面に前記磁石が固定された、磁性体をさらに有する
    ことを特徴とする請求項4に記載のモータ用エンコーダ。
  6. 前記開口において前記第2基板の前記ディスク側の表面に配置され、半導体ウェハ上に前記受光素子及び所定の機能を備えた集積回路が形成されたICチップをさらに有する
    ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のモータ用エンコーダ。
  7. 前記開口の内側において前記第2基板の前記ディスク側の表面に配置され、前記第2基板と前記受光素子とを電気的に接続する複数のボンディングワイヤをさらに有する
    ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のモータ用エンコーダ。
  8. モータシャフトと、
    前記モータシャフトを回転するモータ電磁部と、
    請求項1〜7のいずれか1項に記載のモータ用エンコーダと、を有する
    ことを特徴とするモータ。
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