JP6170827B2 - パッケージ基板の加工方法 - Google Patents
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Description
13 チャックテーブル
17 加工手段
42 切削ブレード
51 剥離装置
54 UVランプ
56 ケース
61 金属板
62 合成樹脂部
63 デバイス
65 パッケージ基板の表面
71 分割予定ライン
72 デバイス領域
73 余剰領域
75 第1の溝
76 第2の溝
77 パッケージデバイス
F リングフレーム
T1 UVテープ
T2 ダイシングテープ
W パッケージ基板
Claims (3)
- 表面に複数の分割予定ラインが格子状に形成され該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが配設されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する余剰領域とを有する金属板と、該金属板の裏面側から該デバイスをモールディングした合成樹脂部とからなるパッケージ基板を、該複数の分割予定ラインに沿って個々のパッケージデバイスに分割するパッケージ基板の加工方法であって、
紫外線で硬化する紫外線粘着層を備えたUVテープを該パッケージ基板に貼着するUVテープ貼着工程と、
該UVテープ貼着工程で該パッケージ基板に貼着された該UVテープに紫外線硬化しない粘着層を備えたダイシングテープを貼着すると共に、該ダイシングテープを介して開口部を有するリングフレームで該パッケージ基板を支持するダイシングテープ貼着工程と、
該ダイシングテープ貼着工程を経た該パッケージ基板の該ダイシングテープを接触させチャックテーブルで保持し、切削ブレードを用いて該デバイス領域と該余剰領域との境に沿って該パッケージ基板の表面から該UVテープよりも深い位置にある該ダイシングテープに達する深さで該パッケージ基板に第1の溝を形成する第1の溝形成工程と、
該切削ブレードを用いて該分割予定ラインに沿って、該パッケージ基板の表面から該UVテープに達する深さで該パッケージ基板に第2の溝を形成する第2の溝形成工程と、
該第1の溝で分割させ該パッケージ基板の該余剰領域を該UVテープと共に除去させる余剰領域除去工程と、
該余剰領域除去工程にて該UVテープと共に該余剰領域が除去された該パッケージ基板に貼着している該UVテープに紫外線を照射して該紫外線粘着層を硬化させる紫外線照射工程と、
該紫外線照射工程にて該紫外線粘着層が硬化された該パッケージ基板を該第2の溝で分割させパッケージデバイスを取得するパッケージ基板の加工方法。 - 該第1の溝形成工程の後に該余剰領域除去工程が実施され、該余剰領域除去工程の後に該第2の溝形成工程が実施される請求項1に記載のパッケージ基板の加工方法。
- 該第1の溝形成工程において、該パッケージ基板の格子状の分割予定ラインのうち、一方の分割予定ラインに沿って該デバイス領域と該余剰領域との境に第1の溝が形成された後、該余剰領域除去工程において、一方の分割予定ラインに沿う第1の溝で該パッケージ基板を分割させて該パッケージ基板から一部の該余剰領域が除去され、
該一部の余剰領域が除去された後、該第1の溝形成工程において、該パッケージ基板の格子状の分割予定ラインのうち、他方の分割予定ラインに沿って該デバイス領域と該余剰領域との境に第1の溝が形成された後、該余剰領域除去工程において、他方の分割予定ラインに沿う第1の溝で該パッケージ基板を分割させて該パッケージ基板から残りの該余剰領域が除去される請求項2に記載のパッケージ基板の加工方法。
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