JP6169516B2 - 樹脂成形装置及び樹脂成形方法 - Google Patents
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Description
2 液状樹脂
3 貯留部
4 計量送出機構(押圧手段)
5 樹脂移送部
6 ノズル(樹脂供給手段)
7 コンプレッサ(高圧ガス供給手段)
8 ナイロンチューブ
9 電空レギュレータ
10 サーボモータ
11 ボールねじ
12 ボールねじナット
13 プランジャ
14 樹脂供給口
15 樹脂吐出口
16 エア供給口(第1のガス供給口)
17 上型(成形型)
18 下型(成形型)
19 チップ
20 封止前基板(基板)
21 キャビティ(収容部)
22、22a、22b 樹脂通路
23 エア通路
24 樹脂通路
25 圧縮空気(進入防止手段、高圧ガス)
26 残留樹脂
27 圧縮空気(高圧ガス)
28a、28b、28c エア供給口(第2のガス供給口)
29a、29b、29c エア通路
30 圧縮空気(高圧ガス)
31 樹脂方向変更部材
32 樹脂供給口
33 樹脂送出口
34、34a、34b 樹脂通路
35 樹脂成形装置
36 基板供給・収納モジュール
37A、37B、37C、37D 成形モジュール
38 液状樹脂供給モジュール(供給モジュール)
39 封止前基板供給部
40 封止済基板
41 封止済基板収納部
42 ローダ
43 アンローダ
44 レール
45 型締め機構
46 移動機構
47 真空引き機構
48 制御部
P0 樹脂押圧力
P1 圧縮空気の圧力(第2の圧力)
P2 圧縮空気の圧力(第1の圧力)
P3 圧縮空気の圧力(第3の圧力)
Claims (12)
- 上型と、該上型に相対向して設けられた下型と、前記上型と前記下型との少なくとも一方に設けられたキャビティと、前記キャビティにおいて硬化して硬化樹脂になるはずの液状樹脂が収容される収容部と、該収容部に所定量の前記液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、前記上型と前記下型とを少なくとも有する成形型を型締めする型締め手段とを備え、前記硬化樹脂を含む成形品を成形する樹脂成形装置であって、
前記樹脂供給手段に設けられ前記液状樹脂が供給される樹脂供給口と、
前記樹脂供給口につながり第1の方向に沿って延びる樹脂通路と、
前記樹脂通路につながり前記液状樹脂を前記収容部に向かって吐出する樹脂吐出口と、
前記樹脂供給手段に貯留された前記液状樹脂を前記樹脂吐出口に向かって樹脂押圧力でもって押圧することによって前記収容部に向かって前記液状樹脂を押し出す押圧手段と、
前記樹脂供給手段に貯留された前記液状樹脂に向かって、前記第1の方向に交わる第2の方向に沿って高圧ガスを吹き付ける高圧ガス供給手段と、
前記樹脂供給手段に設けられ前記高圧ガスが供給される第1のガス供給口と、
前記第1のガス供給口において前記液状樹脂が前記第1のガス供給口を通過して前記高圧ガス供給手段に向かって進入することを防止する進入防止手段とを備え、
前記樹脂押圧力でもって押圧することによって前記収容部に向かって前記液状樹脂を押し出した後に、少なくとも前記樹脂通路の一部において残る前記液状樹脂に対して前記樹脂押圧力よりも大きい第1の圧力を有する前記高圧ガスを吹き付けて、少なくとも前記樹脂通路の一部において残る前記液状樹脂を前記樹脂吐出口に向かって押し出して順次流動させて前記収容部に収容することによって、前記収容部に所定量の前記液状樹脂を供給することを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1に記載された樹脂成形装置において、
前記進入防止手段は第2の圧力を有する前記高圧ガスであって、
前記第2の圧力は前記樹脂押圧力よりも大きく、
前記第1の圧力は前記第2の圧力よりも大きいことを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1に記載された樹脂成形装置において、
前記進入防止手段は弁であることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載された樹脂成形装置において、
前記樹脂供給手段に設けられ前記高圧ガスが供給される少なくとも第2のガス供給口を備え、
前記樹脂通路の一部において貯留された前記液状樹脂に、前記第1の圧力よりも小さい第3の圧力を有する高圧ガスを前記第2のガス供給口から吹き付けることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載された樹脂成形装置において、
前記硬化樹脂は基板に装着されたチップを覆う封止樹脂であることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜5のいずれかに記載された樹脂成形装置において、
前記樹脂供給手段に前記液状樹脂を供給する供給モジュールと、
前記成形型と前記型締め手段とを有する少なくとも1個の成形モジュールとを備え、
前記供給モジュールと前記1個の成形モジュールとが着脱可能であり、
前記1個の成形モジュールが他の成形モジュールに対して着脱可能であることを特徴とする樹脂成形装置。 - 上型と、該上型に相対向して設けられた下型と、前記上型と前記下型との少なくとも一方に設けられたキャビティと、前記キャビティにおいて硬化して硬化樹脂になるはずの液状樹脂が収容される収容部と、該収容部に所定量の前記液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、前記上型と前記下型とを少なくとも有する成形型を型締めする型締め手段とを備えた樹脂成形装置を使用して、前記硬化樹脂を含む成形品を成形する樹脂成形方法であって、
第1の方向に沿って延びる樹脂通路を経由して樹脂吐出口から前記収容部に向かって前記液状樹脂を吐出するために、樹脂押圧力でもって前記液状樹脂を押し出す工程と、
前記液状樹脂を押し出す工程の後に、少なくとも前記樹脂通路の一部において残る前記液状樹脂に、高圧ガス供給手段を使用して前記樹脂押圧力よりも大きい第1の圧力を有する前記高圧ガスを第1のガス供給口から吹き付けて、少なくとも前記樹脂通路の一部において残る前記液状樹脂を前記樹脂吐出口に向かって押し出して順次流動させて前記収容部に収容することによって、前記収容部に所定量の前記液状樹脂を供給する工程と、
前記樹脂押圧力でもって押圧されている前記液状樹脂が前記第1のガス供給口において前記高圧ガス供給手段に向かって進入することを防止する工程とを備えることを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項7に記載された樹脂成形方法において、
前記進入することを防止する工程では、前記樹脂押圧力よりも大きく前記第1の圧力よりも小さい第2の圧力を有する前記高圧ガスを、前記樹脂押圧力でもって押圧されている前記液状樹脂に向かって前記第1のガス供給口から吹き付けることを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項7に記載された樹脂成形方法において、
前記進入することを防止する工程では、前記第1のガス供給口において設けられた弁を閉じることを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項7〜9のいずれかに記載された樹脂成形方法において、
前記液状樹脂を供給する工程では、前記樹脂通路の一部において貯留された前記液状樹脂に、前記第1の圧力よりも小さい第3の圧力を有する高圧ガスを第2のガス供給口から吹き付けることを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項7〜10のいずれかに記載された樹脂成形方法において、
前記硬化樹脂は基板に装着されたチップを覆う封止樹脂であることを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項7〜11のいずれかに記載された樹脂成形方法において、
前記樹脂供給手段に前記液状樹脂を供給する供給モジュールを準備する工程と、
前記成形型と前記型締め手段とを有する少なくとも1個の成形モジュールを準備する工程とを備え、
前記供給モジュールと前記1個の成形モジュールとが着脱可能であり、
前記1個の成形モジュールが他の成形モジュールに対して着脱可能であることを特徴とする樹脂成形方法。
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