JP6160169B2 - サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ - Google Patents
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Description
圧電素子は電圧が加えられると伸縮する性質をもつ素子であり、この圧電素子に電圧を与えることで、先端部に実装された磁気ヘッドスライダを微小に動かして、精密なトラッキング動作を行うというものである。
また、上記第1リミッタおよび第2リミッタが形成されていることにより、圧電素子への応力を低減し、圧電素子の破損の少ないものとすることができる。
以下、本発明のサスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブについて詳細に説明する。
まず、本発明のサスペンション用基板について説明する。
本発明のサスペンション用基板は、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された配線層と、を有するサスペンション用基板であって、上記金属支持基板は、タング部と、上記タング部を支持する支持アーム部と、上記タング部のヘッド側に形成された第1開口領域を介して配置されたアウトリガー部と、上記タング部のテール側に形成された第2開口領域を介して配置され、上記支持アーム部および上記アウトリガー部に接続されたリアアーム部と、を有し、上記サスペンション用基板の幅方向に上記タング部を挟持するように上記タング部に接続された圧電素子接続部が形成され、上記圧電素子接続部は、上記ヘッド側およびテール側に、圧電素子の両端が固定されるヘッド側接続部およびテール側接続部を有し、上記ヘッド側接続部および上記アウトリガー部を上記第1開口領域を介して接続する第1リミッタが形成され、上記テール側接続部および上記テール側接続部よりテール側に配置された後方部材を上記第2開口領域を介して接続する第2リミッタが形成されていることを特徴とするものである。
図2および図3に例示するように、本発明のサスペンション用基板10は、金属支持基板1と、上記金属支持基板1上に形成された絶縁層2と、上記絶縁層2上に形成された配線層3と、を有するサスペンション用基板10であって、上記金属支持基板1は、タング部1aと、上記タング部1aを支持する支持アーム部1bと、上記タング部1aの上記サスペンション用基板10のヘッド側に形成された第1開口領域を介して配置されたアウトリガー部1cと、上記タング部1aの上記サスペンション用基板10のテール側に形成された第2開口領域を介して配置され、上記支持アーム部1bおよび上記アウトリガー部1cに接続されたリアアーム部1dと、を有し、上記サスペンション用基板10の幅方向に上記タング部1aを挟持するように上記タング部1aに接続された圧電素子接続部11が形成され、上記圧電素子接続部11は、上記サスペンション用基板10のヘッド側およびテール側に、圧電素子の両端が固定されるヘッド側接続部11aおよびテール側接続部11bを有し、上記ヘッド側接続部11aおよび上記アウトリガー部1cを上記第1開口領域を介して接続する第1リミッタ12aが形成され、上記テール側接続部11bおよび上記後方部材を上記第2開口領域を介して接続する第2リミッタ12bが形成されているものである。
なお、この例においては、後方部材がリアアーム部1dである場合を示すものである。
また、上記ヘッド側接続部および上記アウトリガー部を上記第1開口領域を介して接続する第1リミッタ、ならびに、上記テール側接続部および上記テール側接続部よりテール側に配置された後方部材を上記第2開口領域を介して接続する第2リミッタが形成されていること、すなわち、圧電素子の長手方向の両端にリミッタを配置することにより、圧電素子接続部やその周辺の部材が大きく変動する場合であっても、圧電素子の両端を固定するヘッド側接続部およびテール側接続部間の位置関係、例えば、両接続部間の長手方向の距離や、両接続部間の厚み方向の距離を所定の範囲内に抑制することができる。
このため、圧電素子への応力を効果的に低減し、圧電素子の破損の少ないものとすることができる。
さらに、上記第1リミッタを有することにより、上記タング部が過度に変動することを抑制できる。
以下、本発明のサスペンション用基板の各構成について説明する。
本発明における圧電素子接続部は、上記サスペンション用基板の幅方向に上記タング部を挟持するように上記タング部に接続されたものである。
また、上記圧電素子接続部は、ヘッド側およびテール側に、圧電素子の両端が固定されるヘッド側接続部およびテール側接続部を有するものであり、上記ヘッド側接続部およびテール側接続部に両端が固定された圧電素子の伸縮動作を上記タング部に伝えることにより、上記タング部の位置や向きを微調整するものである。
また、上記サスペンション用基板の幅方向に上記タング部を挟持するとは、タング部を幅方向に挟持するように2つの圧電素子接続部が形成されていること、すなわち、サスペンション用基板の幅方向に、圧電素子接続部、タング部、圧電素子接続部が、この順で配置されていることをいうものである。
なお、サスペンション用基板の幅方向(短手方向)とは、サスペンション用基板の長手方向に直交する方向をいうものである。
また、サスペンション用基板の長手方向(縦方向)とは、ヘッド側およびテール側間を結ぶ方向をいうものであり、例えばサスペンション用基板の中心にある、複数の基準穴を結んだ中心線に平行な方向をいい、通常、ハードディスクへの書き込みまたは読み込み時にディスクの回転方向に対して垂直となる方向をいうものである。
既に説明した図2は、圧電素子接続部がタング部に接続された配線部を介してタング部に接続される例を示すものである。
本発明においては、なかでも、ヘッド側接続部およびテール側接続部間に上記タング部が含まれる箇所であることが好ましく、特に、上記タング部の長手方向の全てが含まれる箇所であることが好ましい。
なお、ヘッド側接続部およびテール側接続部間とは、具体的には、図4中のヘッド側接続部のヘッド側端部からテール側接続部のテール側端部までの間aをいうものである。
既に説明した図2は、上記タング部の全てが、ヘッド側接続部およびテール側接続部間に含まれるように形成されている例を示すものである。また、図4は、上記タング部の長手方向の一部のみが、ヘッド側接続部およびテール側接続部間に含まれるように形成されている例を示すものである。
また、図4中の符号については、図2と同一の部材を示すものであるので、ここでの説明は省略する。
また、タング部を介して形成される2つの接続部間は、通常、平行となるように形成されるものである。
なお、本発明における長手方向に対す角度とは、具体的には、図5中に示されるように、長手方向と両接続部の重心間とによりなる角度αをいうものである。
また、図5中の符号については、図2と同一の部材を示すものであるので、ここでの説明は省略する。
本発明においては、なかでも、本発明のサスペンション用基板を構成する部材が少なくとも1種含まれていることが好ましく、特に、本発明のサスペンション用基板を構成する部材から選択された部材からなることが好ましい。
上記各部材を形成すると同時に形成することが可能となり、低コストかつ容易に形成可能なものとすることができるからである。
ここで、本発明のサスペンション用基板を構成する部材としては、具体的には、上記金属支持基板、絶縁層および配線層を少なくとも挙げることができ、カバー層や保護めっき層等も用いることができる。
本発明においては、なかでも、絶縁層および/またはカバー層を含むものであることが好ましく、絶縁層を含むものであることが好ましい。圧電素子の伸縮動作を効果的にタング部に伝えることができるからである。
図6は第1リミッタ周辺を示す概略平面図であり、図7は図6のX−X線断面図である。また、図6および図7は、圧電素子接続部が絶縁層からなる場合の例を示すものである。
なお、図6および図7中の符号については、図2と同一の部材を示すものであるので、ここでの説明は省略する。
また、上記タング部を挟持する上記圧電素子接続部は、両圧電素子接続部が平面視上タング部以外の箇所で接続されているものであっても良く、タング部以外の箇所で接続されていないものであっても良い。
なお、既に説明した図2は、上記圧電素子接続部が、平面視上、配置される圧電素子の全てを含む開口部を有する例を示すものである。また、タング部を挟持する両圧電素子接続部が、平面視上、上記第1開口領域上で接続されるものであり、上記タング部以外の箇所で接続されている例を示すものである。
本発明におけるリミッタは、第1リミッタおよび第2リミッタを有するものである。
本発明における第1リミッタは、上記ヘッド側接続部および上記アウトリガー部を上記第1開口領域を介して接続するものである。
既に説明した図6および図7では、上記第1リミッタが、平面視上、絶縁層2のみの領域と、絶縁層2および上記絶縁層2上に積層されたカバー層4を含む領域とを、有する例を示すものである。また、上記第1リミッタ12aおよび上記圧電素子接続部11が一部重複する例を示すものである。
また、上記第1開口領域を介して接続するとは、上記第1開口領域により挟持される第1リミッタのテール側端部であるヘッド側接続部との接続箇所が、上記ヘッド側接続部のテール側端部よりヘッド側であることをいうものである。
上記接続箇所は、具体的には、図8中のbで示される箇所である。
なお、図8は、第1リミッタのヘッド側接続部との接続箇所bが上記ヘッド側接続部のテール側端部cよりヘッド側である例を示すものである。
また、図9は、第1リミッタの接続箇所bが上記ヘッド側接続部のテール側端部cよりテール側である例を示すものである。
また、図8および図9中の符号については、図2と同一の部材を示すものであるので、ここでの説明は省略する。
本発明においては、なかでも、本発明のサスペンション用基板を構成する部材が少なくとも1種含まれていることが好ましく、特に、本発明のサスペンション用基板を構成する部材から選択された部材からなることが好ましい。
上記各部材を形成すると同時に形成することが可能となり、低コストかつ容易に形成可能なものとすることができるからである。
また、本発明においては、上記圧電素子接続部と同一材料を含むものであることが好ましい。上記第1リミッタの構成材料が上記材料を含み、圧電素子接続部(ヘッド側接続部)と連続的に形成されていることにより、ヘッド側接続部との接続性安定性に優れたものとすることができるからである。
なお、図12および図13に示すように、上記第1リミッタとして用いられる配線層3は、他の配線層と電気的に接続されていないダミー配線であることが好ましい。
また、上記第1リミッタが複数形成される場合には、各第1リミッタは同一の材料からなるものであっても良いが、異なる材料からなるものであっても良い。
なお、図10〜図13は、図6のX−X線断面図の他の例を示すものであり、図10〜図13中の符号については、図6と同一の部材を示すものであるので、ここでの説明は省略する。
また、図7および図10〜13は、圧電素子接続部と同一の部材を含む例を示すものである。
また、上記第1リミッタの幅としては、例えば50μm〜400μmの範囲内であることが好ましく、50μm〜300μmの範囲内であることがより好ましく、50μm〜200μmの範囲内であることがさらに好ましい。
本発明においては、なかでも、上記接続箇所が上記ヘッド側接続部の長手方向中央部よりヘッド側に含まれることが好ましく、特に、上記ヘッド側接続部のヘッド側端部よりヘッド側に含まれることが好ましい。
また、上記第1リミッタの上記ヘッド側接続部との接続箇所の幅方向の位置としては、圧電素子の伸縮運動によっても上記ヘッド側接続部および上記アウトリガー部間の相対的な位置関係を所定の範囲内に抑制できるものであれば特に限定されるものではなく、圧電素子の大きさ等により適宜設定されるものである。
なお、上記第1リミッタの上記アウトリガー部との接続箇所とは、上記第1開口領域により挟持される第1リミッタのヘッド側端部をいうものである。
また、上記両接続箇所の長手方向の距離は、具体的には、既に説明した図8中のfで示される距離である。
なお、上記ヘッド側接続部との接続箇所および上記アウトリガー部との接続箇所間のサスペンション用基板の長手方向に対する形成角度とは、サスペンション用基板の長手方向に対する両接続箇所の幅方向の中心間を結ぶ方向とがなす角度をいうものである。具体的には、既に説明した図8中のβで示される角度をいうものである。
本発明における第2リミッタは、上記テール側接続部および上記テール側接続部より上記サスペンション用基板のテール側に配置された後方部材を上記第2開口領域を介して接続するものである。
また、上記第2開口領域を介して接続するとは、上記第2開口領域により挟持される第2リミッタのヘッド側端部であるテール側接続部との接続箇所が、上記テール側接続部のヘッド側端部よりテール側であることをいうものである。
既に説明した図2は、上記後方部材がリアアーム部である場合の例を示すものである。
また、図14は、上記後方部材が上記配線部である場合の例を示すものである。
なお、図14中の符号については、図2と同一の部材を示すものであるので、ここでの説明は省略する。
本発明においては、なかでも、上記圧電素子接続部の上記テール側接続部の長手方向中央部よりテール側であることが好ましく、特に、上記圧電素子接続部の上記テール側接続部のテール側端部よりテール側であることが好ましい。上記接続箇所であることにより、上記テール側接続部および上記後方部材間の相対的な位置関係を効果的に所定の範囲内に抑制できるからである。
本発明における金属支持基板は、タング部と、支持アーム部と、アウトリガー部と、リアアーム部と、を有するものである。
本発明においては、なかでも、上記接続部材を介してタング部と接続されることが好ましく、なかでも、上記接続部材が上記圧電素子接続部であることが好ましい。圧電素子の伸縮動作によるタング部の位置等の微調整が容易だからである。
既に説明した図2は、上記支持アーム部が上記圧電素子接続部のヘッド側で接続し、上記圧電素子接続部を介してタング部を間接的に支持する例を示すものである。また、図15は、上記支持アーム部が上記圧電素子接続部のテール側で接続し、上記圧電素子接続部を介してタング部を間接的に支持する例を示すものである。
なお、図15中の符号については、図2と同一の部材を示すものであるので、ここでの説明は省略する。
具体的には、上記支持アーム部の長手方向の形成箇所が、少なくとも上記ヘッド側接続部のテール側端部およびテール側接続部のヘッド側端部間の長手方向において上記ヘッド側接続部よりヘッド側またはテール側接続部よりテール側であることが好ましく、なかでも、上記ヘッド側接続部よりヘッド側であることが好ましい。圧電素子の伸縮動作が容易だからである。
また、上記支持アーム部が上記接続部材を介して上記タング部を支持する場合、上記接続部材との接続箇所が、上記ヘッド側接続部よりヘッド側またはテール側接続部よりテール側であることが好ましく、なかでも、上記ヘッド側接続部よりヘッド側であることが好ましい。圧電素子の伸縮動作が容易だからである。
なお、上記ヘッド側接続部よりヘッド側に形成されるとは、上記支持アーム部の全てが上記ヘッド側接続部よりヘッド側であることをいうものである。
また、上記支持アーム部の上記接続部材との接続箇所は、上記支持アーム部の、上記接続部材と平面視上重なる部位のうち、上記タング部との経路が最短となる箇所をいうものである。
本発明における絶縁層は、金属支持基板上に形成されるものである。絶縁層の材料は、絶縁性を有するものであれば特に限定されるものではないが、例えば樹脂を挙げることができる。上記樹脂としては、例えばポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテルニトリル樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂およびポリ塩化ビニル樹脂を挙げることができ、中でもポリイミド樹脂が好ましい。絶縁性、耐熱性および耐薬品性に優れているからである。また、絶縁層の材料は、感光性材料であっても良く、非感光性材料であっても良い。絶縁層の厚さは、例えば5μm〜30μmの範囲内であることが好ましく、5μm〜18μmの範囲内であることがより好ましく、5μm〜12μmの範囲内であることがさらに好ましい。
本発明における配線層は、絶縁層上に形成されるものである。配線層の材料は、導電性を有するものであれば特に限定されるものではないが、例えば金属を挙げることができ、中でも銅(Cu)が好ましい。また、配線層の材料は、圧延銅であっても良く、電解銅であっても良い。配線層の厚さは、例えば5μm〜18μmの範囲内であることが好ましく、9μm〜12μmの範囲内であることがより好ましい。また、配線層の一部の表面には、配線めっき部が形成されていることが好ましい。配線めっき部を設けることにより、配線層の劣化(腐食等)を防止できるからである。中でも、本発明においては、素子や外部回路基板との接続を行う端子部に配線めっき部が形成されていることが好ましい。配線めっき部の種類は特に限定されるものではないが、例えば、Auめっき、Niめっき、Agめっき等を挙げることができる。中でも、本発明においては、配線層の表面側から、NiめっきおよびAuめっきが形成されていることが好ましい。配線めっき部の厚さは、例えば0.1μm〜4μmの範囲内である。
また、本発明における配線層は、通常、ライト用配線層およびリード用配線層ならびに圧電素子と接続するアクチュエータ用配線層を有し、さらに必要に応じて、ノイズシールド用配線層、クロストーク防止用配線層、電源用配線層、グランド用配線層、フライトハイトコントロール用配線層、センサー用配線層、熱アシスト用配線層を有していても良い。
本発明のサスペンション用基板は、上記金属支持基板、絶縁層、配線層、圧電素子接続部およびリミッタを少なくとも有するものであるが、必要に応じて他の部材を有するものであっても良い。
図16は、本発明のサスペンション用基板の製造方法の一例を示す概略断面図である。
なお、図16は、第1リミッタの材料が、絶縁層およびカバー層の材料と同一である態様である。
また、図16の左欄は図2のB−B線断面図およびD−D線断面図(第1リミッタおよび第2リミッタ)に相当する断面図であり、図16の右欄はC−C線断面図に相当する断面図である。図17においては、まず、金属支持部材1X、絶縁部材2Xおよび導体部材3Xがこの順に積層された積層部材を準備する(図16(a))。
次に、導体部材3Xに対して、ウェットエッチングによるパターニングを行い、配線層3を形成する(図16(b))。次に、配線層3を覆うようにカバー層4を形成する(図16(c))。
次に、本発明のサスペンションについて説明する。本発明のサスペンションは、上述したサスペンション用基板を含むことを特徴とするものである。
次に、本発明の素子付サスペンションについて説明する。本発明の素子付サスペンションは、上述したサスペンションと、上記サスペンションの素子実装領域に実装された素子と、を有することを特徴とするものである。
記録再生用素子としては、特に限定されるものではないが、磁気発生素子を有するものが好ましい。具体的には、磁気ヘッドスライダを挙げることができる。
また、圧電素子としては、例えばマイクロアクチュエータ、ミニアクチュエータが該当する。圧電素子としては、例えばピエゾ素子を挙げることができる。ピエゾ素子としては、例えばPZTからなるものを挙げることができる。ピエゾ素子の伸縮応答を利用することで、サブミクロン単位での位置決めを行うことができる。また、ピエゾ素子には、エネルギー効率が高い、耐荷重が大きい、応答性が速い、摩耗劣化がない、磁場が発生しないという利点がある。
次に、本発明のハードディスクドライブについて説明する。本発明のハードディスクドライブは、上述した素子付サスペンションを含むことを特徴とするものである。
まず、厚さ18μmのSUS304(金属支持部材)、厚さ10μmのポリイミド樹脂層(絶縁部材)、厚さ9μmの電解銅層(導体部材)を有する積層部材を準備した(図16(a))。次に、ドライフィルムレジストを積層部材の両面にラミネートし、レジストパターンを形成した。次に、塩化第二鉄液を用いてエッチングし、エッチング後レジスト剥膜を行った。これにより、導体部材から配線層を形成すると同時に、第1リミッタおよび第2リミッタとなる位置の絶縁部材上の導体部材を除去した(図16(b))。なお、図示しないが、金属支持部材には治具孔を形成した。
第1リミッタおよび第2リミッタを形成する箇所にカバー層を形成しなかった以外、すなわち、第1リミッタおよび第2リミッタを絶縁層のみからなるものとした以外は、実施例1と同様にしてサスペンション用基板を得た。
第1開口領域および第2開口領域上に第1リミッタおよび第2リミッタを形成しなかった以外は、実施例1と同様にしてサスペンション用基板を得た。
第1開口領域上に第1リミッタを形成し、第2開口領域上に第2リミッタを形成しなかった以外は、実施例1と同様にしてサスペンション用基板を得た。
[比較例3]
第2開口領域上に第2リミッタを形成し、第1開口領域上に第1リミッタを形成しなかった以外は、実施例1と同様にしてサスペンション用基板を得た。
実施例および比較例で得られたサスペンション用基板のヘッド側接続部およびテール側接続部に圧電素子を固定して、ハードディスクを製造した。次いで、ハードディスクを回転させた状態で圧電素子により磁気ヘッドスライダを微小に動かす精密トラッキング試験を行った。
その結果、実施例では、圧電素子の伸縮動作をした場合であっても、圧電素子が割れる不具合は生じなかった。
一方、比較例では、圧電素子が割れる不具合が生じた。
2…絶縁層
3…配線層
4…カバー層
5…保護めっき層
10…サスペンション用基板
11…圧電素子接続部
11a…ヘッド側接続部
11b…テール側接続部
12a…第1リミッタ
12b…第2リミッタ
20…サスペンション
21…ロードビーム
30…素子付サスペンション
40…ハードディスクドライブ
Claims (6)
- 金属支持基板と、前記金属支持基板上に形成された絶縁層と、前記絶縁層上に形成された配線層と、を有するサスペンション用基板であって、
前記金属支持基板は、タング部と、前記タング部を支持する支持アーム部と、前記タング部のヘッド側に形成された第1開口領域を介して配置されたアウトリガー部と、前記タング部のテール側に形成された第2開口領域を介して配置され、前記支持アーム部および前記アウトリガー部に接続されたリアアーム部と、を有し、
前記サスペンション用基板の幅方向に前記タング部を挟持するように前記タング部に接続された圧電素子接続部が形成され、
前記圧電素子接続部は、前記ヘッド側およびテール側に、圧電素子の両端が固定されるヘッド側接続部およびテール側接続部を有し、
前記ヘッド側接続部および前記アウトリガー部を前記第1開口領域を介して接続する第1リミッタが形成され、
前記テール側接続部および前記テール側接続部よりテール側に配置された後方部材を前記第2開口領域を介して接続する第2リミッタが形成されており、
前記ヘッド側接続部および前記テール側接続部が、前記タング部の外縁部より前記幅方向に外側に形成されていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記第1リミッタおよび前記第2リミッタの両方が、前記絶縁層およびカバー層のいずれかのみ、または両方のみからなる積層構造である特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 前記第1リミッタまたは前記第2リミッタのうちの少なくとも一方が、前記絶縁層、前記配線層、および保護めっき層からなる積層構造、または前記絶縁層、前記配線層、およびカバー層からなる積層構造であり、
前記積層構造に含まれる前記配線層はダミー配線層であることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。 - 請求項1から請求項3までのいずれかの請求項に記載のサスペンション用基板を含むことを特徴とするサスペンション。
- 請求項4に記載のサスペンションと、前記サスペンションの素子実装領域に実装された素子と、を有することを特徴とする素子付サスペンション。
- 請求項5に記載の素子付サスペンションを含むことを特徴とするハードディスクドライブ。
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