JP6157026B2 - 振動ジャイロスコープにおける共振器およびコリオリ軸制御のためのシステム、装置、ならびに方法 - Google Patents
振動ジャイロスコープにおける共振器およびコリオリ軸制御のためのシステム、装置、ならびに方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6157026B2 JP6157026B2 JP2016030779A JP2016030779A JP6157026B2 JP 6157026 B2 JP6157026 B2 JP 6157026B2 JP 2016030779 A JP2016030779 A JP 2016030779A JP 2016030779 A JP2016030779 A JP 2016030779A JP 6157026 B2 JP6157026 B2 JP 6157026B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonator
- gyroscope
- signal path
- coriolis
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 37
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 22
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 8
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 15
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 15
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000026676 system process Effects 0.000 description 4
- 230000006353 environmental stress Effects 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 3
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000011960 computer-aided design Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000006855 networking Effects 0.000 description 2
- 238000007797 non-conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 108010014173 Factor X Proteins 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
1つの例示的な実施形態において、共振器質量、およびコリオリ出力レート信号を発生させるための加速度計を有する、振動ジャイロスコープのためのジャイロスコープ制御回路を備える装置が提供され、該ジャイロスコープ制御回路は、共振器信号経路およびコリオリ信号経路を備える。共振器信号経路は、共振器センス信号に含有される振幅情報を使用せずに、共振器センス信号に基づいて、共振器質量の移動を駆動するように構成される、開ループ共振器信号経路制御回路を含む。コリオリ信号経路は、コリオリセンス信号に基づいてコリオリ出力レート信号を生成するように、かつコリオリセンス信号に基づいてフィードバック信号を加速度計に提供するように構成される、閉ループコリオリ信号経路制御回路を含む。
本発明は、例えば、以下を提供する。
(項目1)
共振器質量、およびコリオリ出力レート信号を発生させるための加速度計を有する、振動ジャイロスコープのためのジャイロスコープ制御回路を備える装置であって、前記ジャイロスコープ制御回路が、
共振器センス信号に含有される振幅情報を使用せずに、前記共振器センス信号に基づいて、前記共振器質量の移動を駆動するように構成される、開ループ共振器信号経路制御回路を含む、共振器信号経路と、
コリオリセンス信号に基づいて前記コリオリ出力レート信号を生成するように、かつ前記コリオリセンス信号に基づいてフィードバック信号を前記加速度計に提供するように構成される、閉ループコリオリ信号経路制御回路を含む、コリオリ信号経路と、を備える、装置。
(項目2)
前記ジャイロスコープが動作している間に、共振器信号経路Qにおける変動に基づいて、ジャイロスコープ感度における変動を補正するように構成されるQ補正回路をさらに備える、上記項目に記載の装置。
(項目3)
前記Q補正回路が、
前記共振器信号経路Qを測定するように構成されるQ測定回路を備える、上記項目のいずれか一項に記載の装置。
(項目4)
前記Q補正回路が、
前記測定された共振器信号経路Qと、前記閉ループコリオリ信号経路制御回路によって発生される前記コリオリ出力レート信号とを組み合わせて、補正されたコリオリ出力レート信号を生成する、乗算器をさらに備える、上記項目のいずれか一項に記載の装置。
(項目5)
前記Q補正回路が、前記Q測定回路から前記開ループ共振器信号経路制御回路までのフィードバックループをさらに備え、前記開ループ共振器信号経路制御回路が、共振器信号経路Qにおける変動を低減するように、前記測定された共振器信号経路Qに基づいて、共振器駆動信号を調節するようにさらに構成される、上記項目のいずれか一項に記載の装置。
(項目6)
前記Q測定回路が、前記ジャイロスコープが動作的である間に、異なる駆動力に応答して、前記共振器質量の性能パラメータを評価するように構成される、上記項目のいずれか一項に記載の装置。
(項目7)
前記ジャイロスコープが、モード整合されている、上記項目のいずれか一項に記載の装置。
(項目8)
前記共振器信号経路および前記コリオリ信号経路は、前記ジャイロスコープの感度が共振器信号経路品質係数(Q)とともに直接変動するように、互いに比例する変換係数を有する、上記項目のいずれか一項に記載の装置。
(項目9)
ASICウエハをさらに備え、前記共振器制御回路が、前記ASICウエハ上に形成される、上記項目のいずれか一項に記載の装置。
(項目10)
ジャイロスコープシステムであって、
共振器質量、およびコリオリ出力信号を発生させるための加速度計を含む、ジャイロスコープと、
(a)共振器センス信号に含有される振幅情報を使用せずに、前記共振器センス信号に基づいて、前記共振器質量の移動を駆動するように構成される、開ループ共振器信号経路制御回路を含む、共振器信号経路、および(b)コリオリセンス信号に基づいてコリオリ出力レート信号を生成するように、かつ前記コリオリセンス信号に基づいて、フィードバック信号を前記加速度計に提供するように構成される、閉ループコリオリ信号経路制御回路を含む、コリオリ信号経路を含む、ジャイロスコープ制御回路と、を備える、ジャイロスコープシステム。
(項目11)
前記ジャイロスコープ制御回路が、前記ジャイロスコープが動作している間に、共振器信号経路Qにおける変動に基づいて、ジャイロスコープ感度における変動を補正するように構成される、Q補正回路をさらに含む、上記項目のいずれか一項に記載のジャイロスコープシステム。
(項目12)
前記Q補正回路が、
前記共振器信号経路Qを測定するように構成されるQ測定回路を備える、上記項目のいずれか一項に記載のジャイロスコープシステム。
(項目13)
前記Q補正回路が、
前記測定された共振器信号経路Qと、前記閉ループコリオリ信号経路制御回路によって生成される前記コリオリ出力レート信号とを組み合わせて、補正されたコリオリ出力レート信号を生成する、乗算器をさらに備える、上記項目のいずれか一項に記載のジャイロスコープシステム。
(項目14)
前記Q補正回路が、前記Q測定回路から前記開ループ共振器信号経路制御回路までのフィードバックループをさらに備え、前記開ループ共振器信号経路制御回路が、共振器信号経路Qにおける変動を低減するように、前記測定された共振器信号経路Qに基づいて、共振器駆動信号を調節するようにさらに構成される、上記項目のいずれか一項に記載のジャイロスコープシステム。
(項目15)
前記Q測定回路が、前記ジャイロスコープが動作的である間に、異なる駆動力に応答して、前記共振器質量の性能パラメータを評価するように構成される、上記項目のいずれか一項に記載のジャイロスコープシステム。
(項目16)
前記ジャイロスコープが、モード整合されている、上記項目のいずれか一項に記載のジャイロスコープシステム。
(項目17)
前記共振器信号経路および前記コリオリ信号経路は、前記ジャイロスコープの感度が共振器信号経路品質係数(Q)とともに直接変動するように、互いに比例する変換係数を有する、上記項目のいずれか一項に記載のジャイロスコープシステム。
(項目18)
前記共振器制御回路が、ASICウエハ上に実装され、前記ジャイロスコープが、前記ASICウエハに結合される別個のMEMSウエハ上に実装される、上記項目のいずれか一項に記載のジャイロスコープシステム。
(項目19)
前記共振器制御回路および前記ジャイロスコープが、共通のウエハ上に実装される、上記項目のいずれか一項に記載のジャイロスコープシステム。
(項目20)
共振器質量を含む共振器信号経路を有し、かつコリオリ出力レート信号を生成するための加速度計を含むコリオリ信号経路を有する、振動ジャイロスコープを動作させる方法であって、
共振器センス信号に含有される振幅情報を使用せずに、前記共振器センス信号に基づいて、前記共振器質量の移動が駆動される、開ループ制御を使用して、前記共振器信号経路を動作させることと、
前記コリオリ出力レート信号がコリオリセンス信号に基づき、かつフィードバック信号が前記コリオリセンス信号に基づいて前記加速度計に提供される、閉ループ制御を使用して、前記コリオリ信号経路を動作させることと、を含む、方法。
(項目21)
共振器信号経路品質係数(Q)を測定することと、
前記ジャイロスコープが動作している間に、共振器信号経路Qにおける変動に基づいて、ジャイロスコープ感度における変動を補正することと、をさらに含む、上記項目のいずれか一項に記載の方法。
(摘要)
振動ジャイロスコープシステムのためのジャイロスコープ制御回路は、開ループRSP制御回路と、閉ループCSP制御回路とを含む。ジャイロスコープ制御回路は、共振器信号経路Qにおける変動に起因するジャイロスコープ感度における変動を補正するためのQ補正回路を任意に含み得る。共振器信号経路およびコリオリ信号経路は、ジャイロスコープの感度が共振器信号経路品質係数(Q)とともに直接変動するように、互いに比例する変換係数を有し得る。
FCOR=2mAgΩzvelRES
式中、
Ag=角利得、
m=質量、および
velRES=共振器軸速度。
FFB=DoutVdacVbdC/dx
式中、
Dout=出力ビット、
Vdac=DACフルスケール、
Vb=フィードバック電極間隙にわたるバイアス、および
dC/dx=変位に伴うキャパシタンスにおける変化。
S=Dout/Ωz=(2mAgdx velRES)/(Vdac Vb dC)。
FRES=Vrd Vb dC/dx
式中、
Vrd=共振器駆動電圧。
velRES=(Qr FRES)/(m ωr)
式中、
m=共振器質量、
ωr=共振器軸共振、および
Qr=共振器軸品質係数。
velRES=(Qr/mωr)Vrd Vb dC/dx
gcd=コリオリ軸力フィードバック電極間隙、
Acd=コリオリ軸力フィードバック電極面積、
grd=共振器軸駆動電極間隙、および
Ard=共振器軸駆動電極面積。
Claims (21)
- 共振器質量、およびコリオリ出力レート信号を発生させるための加速度計を有する、振動ジャイロスコープのためのジャイロスコープ制御回路を備える装置であって、前記ジャイロスコープ制御回路が、
共振器センス信号に含有される振幅情報を使用せずに、前記共振器センス信号に基づいて、前記共振器質量の移動を駆動するように構成される、開ループ共振器信号経路制御回路を含む、共振器信号経路と、
コリオリセンス信号に基づいて前記コリオリ出力レート信号を生成するように、かつ前記コリオリセンス信号に基づいてフィードバック信号を前記加速度計に提供するように構成される、閉ループコリオリ信号経路制御回路を含む、コリオリ信号経路と、を備える、装置。 - 前記ジャイロスコープが動作している間に、共振器信号経路Qにおける変動に基づいて、ジャイロスコープ感度における変動を補正するように構成されるQ補正回路をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記Q補正回路が、
前記共振器信号経路Qを測定するように構成されるQ測定回路を備える、請求項2に記載の装置。 - 前記Q補正回路が、
前記測定された共振器信号経路Qと、前記閉ループコリオリ信号経路制御回路によって発生される前記コリオリ出力レート信号とを組み合わせて、補正されたコリオリ出力レート信号を生成する、乗算器をさらに備える、請求項3に記載の装置。 - 前記Q補正回路が、前記Q測定回路から前記開ループ共振器信号経路制御回路までのフィードバックループをさらに備え、前記開ループ共振器信号経路制御回路が、共振器信号経路Qにおける変動を低減するように、前記測定された共振器信号経路Qに基づいて、共振器駆動信号を調節するようにさらに構成される、請求項3に記載の装置。
- 前記Q測定回路が、前記ジャイロスコープが動作的である間に、異なる駆動力に応答して、前記共振器質量の性能パラメータを評価するように構成される、請求項3に記載の装置。
- 前記ジャイロスコープが、モード整合されている、請求項1に記載の装置。
- 前記共振器信号経路および前記コリオリ信号経路は、前記ジャイロスコープの感度が共振器信号経路品質係数(Q)とともに直接変動するように、互いに比例する変換係数を有する、請求項1に記載の装置。
- ASICウエハをさらに備え、前記ジャイロスコープ制御回路が、前記ASICウエハ上に形成される、請求項1に記載の装置。
- ジャイロスコープシステムであって、
共振器質量、およびコリオリ出力レート信号を発生させるための加速度計を含む、ジャイロスコープと、
(a)共振器センス信号に含有される振幅情報を使用せずに、前記共振器センス信号に基づいて、前記共振器質量の移動を駆動するように構成される、開ループ共振器信号経路制御回路を含む、共振器信号経路、および(b)コリオリセンス信号に基づいて前記コリオリ出力レート信号を生成するように、かつ前記コリオリセンス信号に基づいて、フィードバック信号を前記加速度計に提供するように構成される、閉ループコリオリ信号経路制御回路を含む、コリオリ信号経路を含む、ジャイロスコープ制御回路と、を備える、ジャイロスコープシステム。 - 前記ジャイロスコープ制御回路が、前記ジャイロスコープが動作している間に、共振器信号経路Qにおける変動に基づいて、ジャイロスコープ感度における変動を補正するように構成される、Q補正回路をさらに含む、請求項10に記載のジャイロスコープシステム。
- 前記Q補正回路が、
前記共振器信号経路Qを測定するように構成されるQ測定回路を備える、請求項11に記載のジャイロスコープシステム。 - 前記Q補正回路が、
前記測定された共振器信号経路Qと、前記閉ループコリオリ信号経路制御回路によって生成される前記コリオリ出力レート信号とを組み合わせて、補正されたコリオリ出力レート信号を生成する、乗算器をさらに備える、請求項12に記載のジャイロスコープシステム。 - 前記Q補正回路が、前記Q測定回路から前記開ループ共振器信号経路制御回路までのフィードバックループをさらに備え、前記開ループ共振器信号経路制御回路が、共振器信号経路Qにおける変動を低減するように、前記測定された共振器信号経路Qに基づいて、共振器駆動信号を調節するようにさらに構成される、請求項12に記載のジャイロスコープシステム。
- 前記Q測定回路が、前記ジャイロスコープが動作的である間に、異なる駆動力に応答して、前記共振器質量の性能パラメータを評価するように構成される、請求項12に記載のジャイロスコープシステム。
- 前記ジャイロスコープが、モード整合されている、請求項10に記載のジャイロスコープシステム。
- 前記共振器信号経路および前記コリオリ信号経路は、前記ジャイロスコープの感度が共振器信号経路品質係数(Q)とともに直接変動するように、互いに比例する変換係数を有する、請求項10に記載のジャイロスコープシステム。
- 前記ジャイロスコープ制御回路が、ASICウエハ上に実装され、前記ジャイロスコープが、前記ASICウエハに結合される別個のMEMSウエハ上に実装される、請求項10に記載のジャイロスコープシステム。
- 前記ジャイロスコープ制御回路および前記ジャイロスコープが、共通のウエハ上に実装される、請求項10に記載のジャイロスコープシステム。
- 共振器質量を含む共振器信号経路を有し、かつコリオリ出力レート信号を生成するための加速度計を含むコリオリ信号経路を有する、振動ジャイロスコープを動作させる方法であって、
共振器センス信号に含有される振幅情報を使用せずに、前記共振器センス信号に基づいて、前記共振器質量の移動が駆動される、開ループ制御を使用して、前記共振器信号経路を動作させることと、
前記コリオリ出力レート信号がコリオリセンス信号に基づき、かつフィードバック信号が前記コリオリセンス信号に基づいて前記加速度計に提供される、閉ループ制御を使用して、前記コリオリ信号経路を動作させることと、を含む、方法。 - 共振器信号経路品質係数(Q)を測定することと、
前記ジャイロスコープが動作している間に、共振器信号経路Qにおける変動に基づいて、ジャイロスコープ感度における変動を補正することと、をさらに含む、請求項20に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/680,776 US9709400B2 (en) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | System, apparatus, and method for resonator and coriolis axis control in vibratory gyroscopes |
US14/680,776 | 2015-04-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016200579A JP2016200579A (ja) | 2016-12-01 |
JP6157026B2 true JP6157026B2 (ja) | 2017-07-05 |
Family
ID=55968763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016030779A Active JP6157026B2 (ja) | 2015-04-07 | 2016-02-22 | 振動ジャイロスコープにおける共振器およびコリオリ軸制御のためのシステム、装置、ならびに方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9709400B2 (ja) |
JP (1) | JP6157026B2 (ja) |
CN (1) | CN106052667B (ja) |
DE (1) | DE102016105527A1 (ja) |
GB (1) | GB2539529B (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11143548B2 (en) | 2014-10-28 | 2021-10-12 | Massachusetts Institute Of Technology | Simultaneous oscillation and frequency tracking of multiple resonances via digitally implemented phase-locked loop array |
WO2016164543A1 (en) | 2015-04-07 | 2016-10-13 | Analog Devices, Inc. | Quality factor estimation for resonators |
JP6726844B2 (ja) * | 2015-04-13 | 2020-07-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 駆動回路、物理量センサ及び電子機器 |
US10073115B1 (en) * | 2016-04-18 | 2018-09-11 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration | Self diagnostic accelerometer field programmable gate array (SDA FPGA) |
US11162886B2 (en) | 2017-03-31 | 2021-11-02 | Massachusetts Institute Of Technology | Systems, articles, and methods for flowing particles |
WO2018236708A1 (en) | 2017-06-19 | 2018-12-27 | Massachusetts Institute Of Technology | SYSTEMS AND METHODS FOR MEASURING PARTICLE PROPERTIES |
CN108106611B (zh) * | 2017-12-21 | 2021-07-02 | 北京航空航天大学 | 一种基于多重相移准谐振控制的磁悬浮转子谐波电流抑制方法 |
US10578435B2 (en) | 2018-01-12 | 2020-03-03 | Analog Devices, Inc. | Quality factor compensation in microelectromechanical system (MEMS) gyroscopes |
US11041722B2 (en) | 2018-07-23 | 2021-06-22 | Analog Devices, Inc. | Systems and methods for sensing angular motion in the presence of low-frequency noise |
CA3126148A1 (en) | 2019-01-10 | 2020-07-16 | Travera LLC | Calibration of a functional biomarker instrument |
US11243078B2 (en) * | 2019-03-22 | 2022-02-08 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | FTR loop of a gyro apparatus |
CN117490807B (zh) * | 2023-11-03 | 2024-06-04 | 北京首科实华自动化设备有限公司 | 一种科氏质量流量计的品质因数获取方法及*** |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5218867A (en) * | 1989-07-29 | 1993-06-15 | British Aerospace Public Limited Company | Single axis attitude sensor |
US5540094A (en) * | 1990-12-22 | 1996-07-30 | British Aerospace Public Limited Company | Scale factor compensation for piezo-electric rate sensors |
DE4447005A1 (de) * | 1994-12-29 | 1996-07-04 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate |
DE19710359B4 (de) * | 1997-03-13 | 2006-05-11 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Ermittlung einer Bewegungsgröße mit automatischer Schalenfaktornachführung |
US6598455B1 (en) * | 1999-06-30 | 2003-07-29 | California Institute Of Technology | Non-inertial calibration of vibratory gyroscopes |
WO2001079862A1 (en) | 2000-04-14 | 2001-10-25 | Microsensors, Inc. | Z-axis micro-gyro |
US6510737B1 (en) * | 2000-09-15 | 2003-01-28 | Bei Technologies, Inc. | Inertial rate sensor and method with improved tuning fork drive |
US6675630B2 (en) * | 2001-08-17 | 2004-01-13 | The Boeing Company | Microgyroscope with electronic alignment and tuning |
GB0227084D0 (en) * | 2002-11-20 | 2002-12-24 | Bae Systems Plc | Method and apparatus for measuring scalefactor variation in a vibrating structure gyroscope |
JP4317219B2 (ja) * | 2003-07-04 | 2009-08-19 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | ヨーレートセンサの調整方法 |
US6934665B2 (en) * | 2003-10-22 | 2005-08-23 | Motorola, Inc. | Electronic sensor with signal conditioning |
US7253615B2 (en) | 2004-05-05 | 2007-08-07 | General Electric Company | Microelectromechanical system sensor and method for using |
US7640803B1 (en) * | 2004-05-26 | 2010-01-05 | Siimpel Corporation | Micro-electromechanical system inertial sensor |
US7302848B2 (en) * | 2005-03-10 | 2007-12-04 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Force compensated comb drive |
DE102005034703A1 (de) * | 2005-07-26 | 2007-02-01 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Schaltungsanordnung zum Antrieb und zur gleichzeitigen Auswertung eines Drehratensensors |
WO2008054404A2 (en) * | 2005-11-15 | 2008-05-08 | California Institute Of Technology | Resonant vibratory device having high quality factor and methods of fabricating same |
EP1962054B1 (en) | 2007-02-13 | 2011-07-20 | STMicroelectronics Srl | Microelectromechanical gyroscope with open loop reading device and control method of a microelectromechanical gyroscope |
US8175855B2 (en) | 2007-08-07 | 2012-05-08 | Old Dominion University Research Foundation | Predictive system and method for the design of mechanical resonant devices |
WO2009037499A1 (en) * | 2007-09-18 | 2009-03-26 | Atlantic Inertial Systems Limited | Improvements in or relating to angular velocity sensors |
US8020440B2 (en) * | 2008-05-16 | 2011-09-20 | Rosemount Aerospace Inc. | System and method for providing high-range capability with closed-loop inertial sensors |
US7980133B2 (en) | 2008-08-19 | 2011-07-19 | Analog Devices, Inc. | Method and apparatus for a micromachined multisensor |
US8464571B1 (en) | 2009-03-20 | 2013-06-18 | Analog Devices, Inc. | Systems and methods for determining resonant frequency and quality factor of overdamped systems |
US8151641B2 (en) | 2009-05-21 | 2012-04-10 | Analog Devices, Inc. | Mode-matching apparatus and method for micromachined inertial sensors |
US8701459B2 (en) * | 2009-10-20 | 2014-04-22 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and method for calibrating MEMS inertial sensors |
GB201003539D0 (en) * | 2010-03-03 | 2010-04-21 | Silicon Sensing Systems Ltd | Sensor |
US8689631B1 (en) | 2011-06-23 | 2014-04-08 | The United States Of America As Represented By Secretary Of The Navy | High sensitivity mechanical gyro with reduced quadrature error |
FR2977676B1 (fr) | 2011-07-08 | 2013-08-02 | Thales Sa | Micro-systeme vibrant a boucle de controle automatique de gain, a controle integre du facteur de qualite |
US8991247B2 (en) * | 2011-10-21 | 2015-03-31 | The Regents Of The University Of California | High range digital angular rate sensor based on frequency modulation |
CN102620726B (zh) | 2012-04-04 | 2014-10-29 | 西北工业大学 | 微机械陀螺的双闭环控制电路 |
US9212908B2 (en) | 2012-04-26 | 2015-12-15 | Analog Devices, Inc. | MEMS gyroscopes with reduced errors |
FI124624B (en) * | 2012-06-29 | 2014-11-14 | Murata Manufacturing Co | Improved vibration gyroscope |
FI125238B (en) * | 2012-06-29 | 2015-07-31 | Murata Manufacturing Co | Improved vibration gyroscope |
US10036652B2 (en) * | 2014-02-24 | 2018-07-31 | The Regents Of The University Of California | Utilization of mechanical quadrature in silicon MEMS vibratory gyroscope to increase and expand the long term in-run bias stability |
WO2016164543A1 (en) | 2015-04-07 | 2016-10-13 | Analog Devices, Inc. | Quality factor estimation for resonators |
-
2015
- 2015-04-07 US US14/680,776 patent/US9709400B2/en active Active
-
2016
- 2016-02-22 JP JP2016030779A patent/JP6157026B2/ja active Active
- 2016-03-18 CN CN201610154517.5A patent/CN106052667B/zh active Active
- 2016-03-23 GB GB1604932.2A patent/GB2539529B/en active Active
- 2016-03-24 DE DE102016105527.1A patent/DE102016105527A1/de active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106052667B (zh) | 2019-09-03 |
US9709400B2 (en) | 2017-07-18 |
GB2539529B (en) | 2017-12-13 |
GB201604932D0 (en) | 2016-05-04 |
JP2016200579A (ja) | 2016-12-01 |
CN106052667A (zh) | 2016-10-26 |
US20160298965A1 (en) | 2016-10-13 |
GB2539529A (en) | 2016-12-21 |
DE102016105527A1 (de) | 2016-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6157026B2 (ja) | 振動ジャイロスコープにおける共振器およびコリオリ軸制御のためのシステム、装置、ならびに方法 | |
US10309782B2 (en) | Quality factor estimation for resonators | |
FI125238B (en) | Improved vibration gyroscope | |
Park et al. | Adaptive control for the conventional mode of operation of MEMS gyroscopes | |
US9846055B2 (en) | Continuous mode reversal for rejecting drift in gyroscopes | |
EP2867614B1 (en) | Improved vibratory gyroscope | |
Taheri-Tehrani et al. | Disk resonator gyroscope with whole-angle mode operation | |
TWI596885B (zh) | 控制元件、共振器器件及用於控制機械共振器之操作的方法 | |
JP6641712B2 (ja) | 回路装置、電子機器及び移動体 | |
EP2733461A2 (en) | Amplitude control for vibrating resonant sensors | |
US20020100322A1 (en) | Vibrating gyroscope and temperature-drift adjusting method therefor | |
Omar et al. | Analyzing the impact of phase errors in quadrature cancellation techniques for MEMS capacitive gyroscopes | |
JP6632037B2 (ja) | ジャイロスコープループフィルタ | |
Esmaeili et al. | An adaptable broadband MEMS vibratory gyroscope by simultaneous optimization of robustness and sensitivity parameters | |
Liewald et al. | A 100 kHz vibratory MEMS rate gyroscope with experimental verification of system model's frequency scaling | |
Ovchinnikova et al. | Control of vibrations in a micromechanical gyroscope using inertia properties of standing elastic waves | |
JP4449383B2 (ja) | 発振回路 | |
Liu et al. | Comparison of DSB and SSB demodulation methods in general control system of MEMS gyroscopes | |
Cui et al. | Improvement of transient response for drive loop of microgyroscope using 2-DOF PID controller | |
Yi et al. | Design on the driving mode of MEMS vibratory gyroscope | |
KR101458837B1 (ko) | 듀얼매스 자이로스코프의 진동 제어방법 | |
Cui et al. | An Electrostatic Force Feedback Approach for Extending the Bandwidth of MEMS Vibratory Gyroscope | |
Hulquan et al. | Analysis of a MEMS gyroscope interface circuit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170602 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6157026 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |