JP6156688B2 - プラズマ発生装置およびプラズマ発生装置を有する洗浄装置 - Google Patents
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Description
上記手段の一形態は、「前記洗浄装置は、洗浄処理部および液体通路を有し、前記洗浄処理部は、被洗浄対象物を収容し、前記液体通路は、前記液体収容部と前記洗浄処理部を連通するプラズマ発生装置を有する洗浄装置」を含む。
図1を参照して、プラズマ発生装置1の構成について説明する。
プラズマ発生装置1は、プラズマ発生部10、プラズマ電源部2、気体供給部3、第1リード線4、第2リード線5、および気体導入配管6を有する。第1リード線4および第2リード線5は、プラズマ電源部2とプラズマ発生部10とを電気的に接続する。気体導入配管6は、気体供給部3とプラズマ発生部10との間の気体搬送経路を形成する。
ケース部材11は、隔壁部12を有する。隔壁部12は、ケース部材11の内部空間を気体収容部14および液体収容部15に区画する。隔壁部12は、例えば、セラミックスにより形成される。
気体収容部14は、気体導入口17を有する。気体導入口17は、気体導入配管6が挿入されている。気体供給部3は、気体導入配管6を介して気体収容部14内に少なくとも酸素を含む気体を供給する。気体供給部3は、例えば、酸素を含む気体として大気を供給する。気体収容部14は、気体供給部3が供給する大気を収容する。
気体供給部3が気体収容部14に供給する気体は、気体通路13を通って液体収容部15に送り出される。液体収容部15に送り出される気体は、気体通路13の液体収容部15側の開口端13Aにおいて、大きさが気泡半径Rとなる気泡24を成長させる。
最大半径Rmaxは、プラズマ発生装置1の動作条件下で想定される最大の気泡24の半径である。
次に、上述したプラズマ発生装置1の動作ならびにオゾンおよびヒドロキシラジカル等の生成過程について説明する。
気体供給部3は、気体供給過程において、大気を気体収容部14に供給する。気体収容部14に供給された大気は、気体通路13を介して液体収容部15に圧送される。気体供給部3は、流量が0.01L/min〜1.0L/min程度の大気を、気体導入配管6を介して気体収容部14に送り込む。このとき、気体供給部3が吐出する圧力は、0.01MPa〜0.5MPa程度である。気体供給部3は、流量制御部が気体の供給流量を制御する。
プラズマ発生部10は、気泡成長過程において、大気を気体収容部14から液体収容部15に圧送して、気体通路13の液体収容部15側の開口端13Aにおいて酸素を含む気泡24を成長させる。
気泡24は、浮力が開口端13Aに対する付着力よりも大きくなるとき、開口端13Aからせん断されて液体20中に解き放たれる。
気泡24は、成長して気泡半径Rが最大半径Rmaxの値に達すると、浮力が開口端13Aに対する付着力よりも大きくなる。気泡24は、浮力以外のせん断力が作用するとき、気泡半径Rが最大半径Rmaxよりも小さい状態で開口端13Aからせん断されて液体20中に解き放たれる。
液体収容部15に収容される液体20は、液体収容部15に導入されるとき、移動方向25で示される液体の流れに沿って移動する。移動方向25で移動する液体20が成長する気泡24にあたるとき、液体20の流れは、気泡24にせん断力として作用する。気泡24は、最大半径Rmaxよりも小さい気泡半径Rの状態で、気体通路13の開口端13Aから液体20中へ解き放たれる。
ここで、本願発明者は、プラズマ発生装置1が発生する雑音と第2電極分離距離Dとの関係の確認を行った。雑音と第2電極分離距離Dとの関係は、第2電極分離距離Dが異なる複数種類の試作品の雑音電界強度を測定することで行った。また、雑音電界強度は、電磁波が遮断された電波暗室において、電磁波を電気信号として検出するEMIテストレシーバーによる電磁波の大きさを測定することにより行った。測定する電磁波の大きさは、プラズマ発生装置1から10cm離れた場所での値である。確認に用いたプラズマ発生装置1は、数式(1)に基づいて求めた最大半径Rmaxが1.49mmである。
図5における実線は、200MHzの測定周波数での結果である。図5における点線は、30MHzの測定周波数での結果である。
図6を参照して、第2電極分離距離Dが最大半径Rmaxよりも小さい第2電極19の配置について説明する。
(1)プラズマ発生装置1は、気体通路13の中心から第2電極19の気体通路13側端部19Aまでの第2電極分離距離Dが気泡24の最大半径Rmaxよりも大きい。気泡24の最大半径Rmaxは、気体通路の孔半径(δ)、気体通路の気体流量(V)、液体の表面張力(σ)、液体の密度(ρ)、重力加速度(g)、および円周率(π)に基づいて上記数式(1)により算出される。このため、プラズマ発生部10は、気体収容部14内の第1電極18と液体20と接する第2電極19との間で放電を生じさせることができる。このため、プラズマ発生部10は、第1電極18と第2電極19の間でのアーク放電状態の発生を抑制することができる。このため、プラズマ発生装置1は、高い雑音電界強度および大きな雑音の発生を抑制することができる。
(第2実施形態)
第2実施形態の洗浄装置30は、第1実施形態のプラズマ発生装置1を用いる。プラズマ発生装置1は第1実施形態のプラズマ発生装置1と同一の構成を有する。なお、プラズマ発生装置1に関して、その説明の一部または全部を省略する。
除毛器具100(図8参照)の洗浄装置としての洗浄装置30は、除毛器具100を挿入する開口31を有する。洗浄装置30は、筐体40の前面上部に操作部42、表示部43、および通気窓44を有する。筐体40は、除毛器具配置部としてのスタンド部41を有する。スタンド部41は、開口31側の内面に接触端子45を有する。洗浄装置30は、筐体40の背面に洗浄液としての液体を収容するタンク50を有する。使用者は、開口31に被洗浄処理対象物としての除毛器具100を挿入する。
図8(a)に示される除毛器具100は、把持部101およびヘッド部102を有する。把持部101は、操作スイッチ103を有する。使用者は、操作スイッチ103を操作して除毛器具100の動作を制御する。ヘッド部102は、刃部104を有する。刃部104は、二枚の外刃105を有する。
図8(b)に示されるように、刃部104は、外刃105の内側に、外刃105の湾曲に沿う逆U字状の内刃106を有する。内刃106は、除毛器具100が有する動力源が発生する駆動力を用いて左右方向に往復動する。
洗浄装置30は、プラズマ発生部10、プラズマ電源部2、気体供給部3、受皿60、タンク50、オーバーフロー部32、およびポンプ70を有する。プラズマ発生部10、プラズマ電源部2、および気体供給部3は、プラズマ発生装置1を構成している。
筐体40のスタンド部41は、開口31から挿入される除毛器具100の把持部101と当接して除毛器具100を受皿60と共に支持する。スタンド部41は、内面に接触端子45を有する。接触端子45は、除毛器具100の把持部101背面に設けられた背面端子108との接触により除毛器具100が装着されたことを検知する。接触端子45は、除毛器具100と接触して除毛器具100に制御信号および駆動電力を供給する。
オーバーフロー部32は、入口が受皿60と繋がり、出口が第1経路93と繋がる。第1経路93は、オーバーフロー部32の出口から、受皿60後部に設けられた中継口61を介してカートリッジ80に至る。
使用者は、除毛器具100を、ヘッド部102が洗浄装置30の受皿60に受容されるように洗浄装置30に挿入する。
除毛器具100の摺動部である刃部104の摺動面107を構成する外刃105の内表面105Aおよび内刃106の外表面106Aは、第1電極18および第2電極19のうちの少なくともいずれか一方の近傍に対向配置される。
洗浄装置30は、以下の効果を奏する。
(第3実施形態)
第3実施形態のプラズマ発生装置110は、第1実施形態のプラズマ発生装置1と比較して以下の部分において異なる構成を有し、その他の部分において同一の構成を有する。なお、第1実施形態のプラズマ発生装置1と共通する構成については同一の符号を付して、その説明の一部または全部を省略する。
プラズマ発生装置110は、プラズマ発生部120、プラズマ電源部2、気体供給部3、第1リード線4、第2リード線5、および気体導入配管6を有する。第1リード線4および第2リード線5は、プラズマ電源部2とプラズマ発生部10とを電気的に接続する。気体導入配管6は、気体供給部3とプラズマ発生部10との間の気体搬送経路を形成する。
第1電極18と第2電極19との間に高電圧が供給され放電が生じるとき、放電にともなって雑音電界が発生する。このとき、進行した雑音電界はアルミニウムのケース部材121によって減衰され、プラズマ発生装置110から出される雑音電界の強度は抑制される。
(第4実施形態)
第4実施形態の洗浄装置130は、第2実施形態の洗浄装置30と比較して以下の部分において異なる構成を有し、その他の部分において同一の構成を有する。なお、第2実施形態の洗浄装置30と共通する構成については同一の符号を付して、その説明の一部または全部を省略する。
図13は、洗浄装置130が有するプラズマ発生装置140およびプラズマ発生装置140の液体収容部15と連結された洗浄処理部160が示されている。
洗浄処理部160は、処理部ケース部材161を有する。液体通路162は、洗浄処理部160の処理部ケース部材161およびプラズマ発生部150のケース部材121を連通する。液体通路162は、処理部ケース部材161との連結部に第1液体搬送口164を有する。液体通路162は、プラズマ発生部150のケース部材151との連結部に第2液体搬送口165を有する。
洗浄装置130は、第1液体搬送口164および第2液体搬送口165を有する液体通路162を介してプラズマ発生部150の液体収容部15と洗浄処理部160の処理部ケース部材161との間で液体を搬送する。
(4)洗浄装置130は、プラズマ発生装置140、洗浄処理部160、および液体通路162を有する。洗浄処理部160は、ヘッド部102の刃部104を受容する。洗浄装置130は刃部104を処理部ケース部材161内で洗浄する。この構成によれば、プラズマ発生部150は、ケース部材151が第2液体搬送口165を除く部分を覆う。このため、プラズマ発生部150は、第1電極18と第2電極19との間での放電にともなって発生する雑音電界をプラズマ発生部150の大部分を覆うアルミニウムのケース部材151によってより減衰させる。このため、洗浄装置130は、高い雑音電界強度および大きな雑音の発生に対する抑制効果をさらに高めることができる。
本プラズマ発生装置および本洗浄装置は、第1〜第4実施形態以外の実施形態を含む。以下、本プラズマ発生装置および本洗浄装置のその他の実施形態としての第1〜第4実施形態の変形例を示す。なお、以下の各変形例は、技術的に矛盾しない範囲において互いに組み合わせることもできる。
・第1実施形態のプラズマ発生装置1は、隔壁部12が気体通路13有する。ただし、隔壁部および気体通路の構成は、第1実施形態に例示された構成に限られない。例えば、変形例のプラズマ発生装置は、隔壁部が複数の気体通路を有する。
・第3実施形態のプラズマ発生装置110は、ケース部材121が金属であるアルミニウムにより形成される。ただし、ケース部材の構成は、第3実施形態に例示される内容に限られない。例えば、変形例のプラズマ発生装置は、ケース部材が金属である銅により形成される。
Claims (5)
- プラズマ発生部、プラズマ電源部、および気体供給部を有するプラズマ発生装置であって、
前記プラズマ発生部は、液体収容部、気体収容部、隔壁部、第1電極、および第2電極を有し、
前記隔壁部は、前記液体収容部と前記気体収容部を区画し、前記気体収容部と前記液体収容部とを連通する気体通路を有し、
前記液体収容部は、少なくとも水を含む液体を収容可能であり、
前記気体供給部は、少なくとも酸素を含む気体を前記気体収容部に供給可能であり、
前記第1電極は、前記気体収容部に配置され、
前記第2電極は、前記第1電極と前記第2電極との間で放電を生じさせることができるように前記液体収容部に配置され、
前記プラズマ電源部は、前記放電が生じるように前記第1電極および前記第2電極に電圧をかけることが可能であり、
前記気体通路の中心から前記第2電極までの第2電極分離距離は、前記気体収容部に前記気体が供給されるときに前記液体収容部のうちの前記気体通路の開口まわりに形成される気泡の最大半径(Rmax)よりも大きく、
前記気泡の最大半径(Rmax)は、前記気体通路の孔半径(δ)、前記気体通路の気体流量(V)、前記液体の表面張力(σ)、前記液体の密度(ρ)、重力加速度(g)、および円周率(π)を下記数式に代入することにより算出される
- 前記プラズマ発生部は、前記液体収容部および前記気体収容部を構成するケース部材を有し、
前記ケース部材は、少なくとも前記隔壁部と接する部分が金属部材で形成される
請求項1に記載のプラズマ発生装置。 - 洗浄装置であって、
前記洗浄装置は、請求項1または2に記載のプラズマ発生装置を有する
プラズマ発生装置を有する洗浄装置。 - 前記洗浄装置は、洗浄処理部および液体通路を有し、
前記洗浄処理部は、被洗浄対象物を収容し、
前記液体通路は、前記液体収容部と前記洗浄処理部を連通する
請求項3に記載のプラズマ発生装置を有する洗浄装置。 - 前記洗浄装置は、除毛器具配置部を有し、
前記除毛器具配置部は、除毛器具を支持するための構造を有する
請求項3または4に記載のプラズマ発生装置を有する洗浄装置。
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