JP6147658B2 - 電磁誘導式位置検出器及び検出方法 - Google Patents
電磁誘導式位置検出器及び検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6147658B2 JP6147658B2 JP2013261273A JP2013261273A JP6147658B2 JP 6147658 B2 JP6147658 B2 JP 6147658B2 JP 2013261273 A JP2013261273 A JP 2013261273A JP 2013261273 A JP2013261273 A JP 2013261273A JP 6147658 B2 JP6147658 B2 JP 6147658B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- primary side
- main pattern
- sub
- primary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 title claims description 41
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 28
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 94
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 19
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
- G01D5/2053—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable non-ferromagnetic conductive element
- G01D5/206—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable non-ferromagnetic conductive element constituting a short-circuiting element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
Ib=I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・ (2)
V=K(g)・I・sin(k(X−α))・sin(ωt) ・・・ (3)
Vp=K(g)・I・sin(k(X−α)) ・・・ (4)
電磁誘導を用いて位置を検出する電磁誘導式位置検出器において、
互いにピッチの異なる櫛形極の平面コイルパターンからなる一次側メインパターンと一次側サブパターンとを有する(並列に配置した)一次側板部材と、
互いにピッチの異なる櫛形極の平面コイルパターンからなる二次側メインパターンと二次側サブパターンとを有する(並列に配置する)と共に、前記二次側メインパターンと前記二次側サブパターンの隣接する前記櫛形極同士を各々接続して、前記二次側メインパターンと前記二次側サブパターンとを1本のループにした二次側板部材と、
前記一次側メインパターンと前記一次側サブパターンとの切り替えを制御して、前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンのいずれか一方に励振電流を供給すると共に、いずれか他方から前記二次側メインパターン又は前記二次側サブパターンに流れる励起電圧を検出させる制御部とを有し、
前記一次側メインパターン及び前記一次側サブパターンと前記二次側メインパターン及び前記二次側サブパターンとを各々向かい合わせにして、前記一次側板部材と二次側板部材とを対向配置し、
前記制御部は、
前記一次側メインパターンに前記励振電流を供給したときには、前記一次側メインパターンの前記励振電流により励起された前記二次側メインパターンの励起電圧を、前記二次側サブパターンを介し、前記一次側サブパターンを用いて検出し、
前記一次側サブパターンに前記励振電流を供給したときには、前記一次側サブパターンの前記励振電流により励起された前記二次側サブパターンの励起電圧を、前記二次側メインパターンを介し、前記一次側メインパターンを用いて検出する
ことを特徴とする。
上記第1の発明に記載の電磁誘導式位置検出器において、
前記制御部は、
前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンに励振電流を供給するドライブ回路と、
前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンを用いて、前記二次側メインパターン又は前記二次側サブパターンに流れる励起電圧を検出するピックアップ回路と、
前記ドライブ回路を前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンのいずれか一方に切り替えると共に、前記ピックアップ回路を前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンのいずれか他方に切り替えるスイッチ部とを備え、
前記制御部は、
前記一次側メインパターンに前記励振電流を供給するときには、前記スイッチ部により、前記ドライブ回路を前記一次側メインパターンに切り替えると共に、前記ピックアップ回路を前記一次側サブパターンに切り替えて、前記励振電流により励起された前記二次側メインパターンの励起電圧を、前記二次側サブパターンを介し、前記一次側サブパターンを用いて検出し、
前記一次側サブパターンに前記励振電流を供給するときには、前記スイッチ部により、前記ドライブ回路を前記一次側サブパターンに切り替えると共に、前記ピックアップ回路を前記一次側メインパターンに切り替えて、前記励振電流により励起された前記二次側サブパターンの励起電圧を、前記二次側メインパターンを介し、前記一次側メインパターンを用いて検出する
ことを特徴とする。
上記第1又は第2の発明に記載の電磁誘導式位置検出器において、
ロータとステータとを有するロータリ形の電磁誘導式位置検出器とする場合、
前記一次側板部材を前記ステータとし、前記一次側メインパターン及び前記一次側サブパターンの各々を全体が円環状になるように形成すると共に、
前記二次側板部材を前記ロータとし、前記二次側メインパターン及び前記二次側サブパターンを全体が円環状になるように形成する
ことを特徴とする。
上記第1又は第2の発明に記載の電磁誘導式位置検出器において、
スライダとスケールとを有するリニア形の電磁誘導式位置検出器とする場合、
前記一次側板部材を前記スライダとし、前記一次側メインパターン及び前記一次側サブパターンの各々を全体が直線状になるように形成すると共に、
前記二次側板部材を前記スケールとし、前記二次側メインパターン及び前記二次側サブパターンを全体が直線状になるように形成する
ことを特徴とする。
上記第1〜第4のいずれか1つの発明に記載の電磁誘導式位置検出器を用いた検出方法であって、
前記一次側メインパターンは、第1の一次側メインパターンと、前記第1の一次側メインパターンから位相を90度ずらして配置した第2の一次側メインパターンとからなり、
前記一次側サブパターンは、第1の一次側サブパターンと、前記第1の一次側サブパターンから位相を90度ずらして配置した第2の一次側サブパターンとからなり、
前記制御部は、
前記第1の一次側メインパターン又は第1の一次側サブパターンに、数1に示す第1の励振電流Iaを供給すると共に、前記第2の一次側メインパターン又は第2の一次側サブパターンに、数1に示す第2の励振電流Ibを供給し、
前記二次側メインパターン又は前記二次側サブパターンには、数1に示す励起電圧Vが発生し、
第1の一次側サブパターン又は前記第1の一次側メインパターンで、数1に示す第1の励起電圧Vsを検出すると共に、第2の一次側サブパターン又は前記第2の一次側メインパターンで、数1に示す第2の励起電圧Vcを検出し、
前記第2の励起電圧Vcを90度位相シフトさせた後、前記第1の励起電圧Vsと合成して、数1に示す合成電圧Vgを導き、
前記合成電圧Vgにおいて、B=0となるように、位置変位Xに対して励振位置αを追従させることにより、α=Xを検出位置として求める
ことを特徴とする。
図1は、本実施例の電磁誘導式位置検出器となるロータリスケールの一次側コイルパターンと二次側コイルパターンの一例を示す平面図である。又、図2は、図1に示した二次側コイルパターンのロータでの構成を示す平面図である。又、図3は、図1、図2に示した一次側コイルパターンと二次側コイルパターンに用いる回路構成を示す図である。
スイッチ部25で選択されたSINドライブ回路21及びCOSドライブ回路22から第1メインパターン13及び第2メインパターン14へ各々励振電流を供給する。基本的には、従来と同様に、上記式(1)に示すような第1励振電流Iaを第1メインパターン13に流し、上記式(2)に示すような第2励振電流Ibを第2メインパターン14に流す。すると、第1メインパターン13及び第2メインパターン14とスケールパターン17のメインパターン部17aとの間の電磁誘導により、メインパターン部17aには上記式(3)と同様に、下記式(5)に示すような励起電圧Vが発生する。
但し、A=Km・I・sin(k(X−α))であり、「Km」は、第1メインパターン13及び第2メインパターン14とスケールパターン17のメインパターン部17aの間のギャップg等の結合の強さに依存する結合係数である。
スケールパターン17のメインパターン部17aで励起された励起電圧Vにより、そのサブパターン部17bに電流が流れ、この電流に励振されて、第1サブパターン15及び第2サブパターン16に励起電圧が各々発生する。これらの励起電圧が、スイッチ部35で選択されたSINピックアップ回路33及びCOSピックアップ回路34により各々検出されることになるが、SINピックアップ回路33により第1サブパターン15で検出される励起電圧をVsとし、COSピックアップ回路34により第2サブパターン16で検出される励起電圧をVcとすると、下記式(6)、(7)に示すように表すことができる。
Vc=B・cosθ・sin(ωt) ・・・ (7)
但し、B=Ks・A=Ks・Km・I・sin(k(X−α))であり、「Ks」は、スケールパターン17のサブパターン部17bと第1サブパターン15及び第2サブパターン16との間のギャップg等の結合の強さに依存する結合係数である。又、「θ」は、スケールパターン17の位置(角度)である。
演算制御装置21において、演算制御装置21内に設けた位相シフト回路(図示省略)により励起電圧Vcを90度位相シフトさせる。すると、励起電圧Vcは下記式(8)で表すことができる。
Vc=B・cosθ・cos(ωt) ・・・ (8)
上記式(6)に示した励起電圧Vsと上記式(8)に示した励起電圧Vcとを合成すると、合成電圧Vgについて、下記式(9)を導くことができる。
Vg=B・sinθ・sin(ωt)+B・cosθ・cos(ωt)=B・cos(ωt−θ) ・・・ (9)
上記式(9)において、B=0となるように制御すれば、つまり、B=Ks・A=Ks・Km・I・sin(k(X−α))において、位置変位Xに対して励振位置αを追従させて、B=0となるように制御することで、α=Xが検出位置として求まり、これにより、スケールパターン17のメインパターン部17aのメイン位置Xmが求まることになる。
12 ロータ
13 第1メインパターン
14 第2メインパターン
15 第1サブパターン
16 第2サブパターン
17 スケールパターン
17a メインパターン部
17b サブパターン部
20 演算制御装置
21、31 SINドライブ回路
22、32 COSドライブ回路
23、33 SINピックアップ回路
24、34 COSピックアップ回路
25、35 スイッチ部
Claims (5)
- 電磁誘導を用いて位置を検出する電磁誘導式位置検出器において、
互いにピッチの異なる櫛形極の平面コイルパターンからなる一次側メインパターンと一次側サブパターンとを有する一次側板部材と、
互いにピッチの異なる櫛形極の平面コイルパターンからなる二次側メインパターンと二次側サブパターンとを有すると共に、前記二次側メインパターンと前記二次側サブパターンの隣接する前記櫛形極同士を各々接続して、前記二次側メインパターンと前記二次側サブパターンとを1本のループにした二次側板部材と、
前記一次側メインパターンと前記一次側サブパターンとの切り替えを制御して、前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンのいずれか一方に励振電流を供給すると共に、いずれか他方から前記二次側メインパターン又は前記二次側サブパターンに流れる励起電圧を検出させる制御部とを有し、
前記一次側メインパターン及び前記一次側サブパターンと前記二次側メインパターン及び前記二次側サブパターンとを各々向かい合わせにして、前記一次側板部材と二次側板部材とを対向配置し、
前記制御部は、
前記一次側メインパターンに前記励振電流を供給したときには、前記一次側メインパターンの前記励振電流により励起された前記二次側メインパターンの励起電圧を、前記二次側サブパターンを介し、前記一次側サブパターンを用いて検出し、
前記一次側サブパターンに前記励振電流を供給したときには、前記一次側サブパターンの前記励振電流により励起された前記二次側サブパターンの励起電圧を、前記二次側メインパターンを介し、前記一次側メインパターンを用いて検出する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器。 - 請求項1に記載の電磁誘導式位置検出器において、
前記制御部は、
前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンに励振電流を供給するドライブ回路と、
前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンを用いて、前記二次側メインパターン又は前記二次側サブパターンに流れる励起電圧を検出するピックアップ回路と、
前記ドライブ回路を前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンのいずれか一方に切り替えると共に、前記ピックアップ回路を前記一次側メインパターン又は前記一次側サブパターンのいずれか他方に切り替えるスイッチ部とを備え、
前記制御部は、
前記一次側メインパターンに前記励振電流を供給するときには、前記スイッチ部により、前記ドライブ回路を前記一次側メインパターンに切り替えると共に、前記ピックアップ回路を前記一次側サブパターンに切り替えて、前記励振電流により励起された前記二次側メインパターンの励起電圧を、前記二次側サブパターンを介し、前記一次側サブパターンを用いて検出し、
前記一次側サブパターンに前記励振電流を供給するときには、前記スイッチ部により、前記ドライブ回路を前記一次側サブパターンに切り替えると共に、前記ピックアップ回路を前記一次側メインパターンに切り替えて、前記励振電流により励起された前記二次側サブパターンの励起電圧を、前記二次側メインパターンを介し、前記一次側メインパターンを用いて検出する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器。 - 請求項1又は請求項2に記載の電磁誘導式位置検出器において、
ロータとステータとを有するロータリ形の電磁誘導式位置検出器とする場合、
前記一次側板部材を前記ステータとし、前記一次側メインパターン及び前記一次側サブパターンの各々を全体が円環状になるように形成すると共に、
前記二次側板部材を前記ロータとし、前記二次側メインパターン及び前記二次側サブパターンを全体が円環状になるように形成する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器。 - 請求項1又は請求項2に記載の電磁誘導式位置検出器において、
スライダとスケールとを有するリニア形の電磁誘導式位置検出器とする場合、
前記一次側板部材を前記スライダとし、前記一次側メインパターン及び前記一次側サブパターンの各々を全体が直線状になるように形成すると共に、
前記二次側板部材を前記スケールとし、前記二次側メインパターン及び前記二次側サブパターンを全体が直線状になるように形成する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器。 - 請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の電磁誘導式位置検出器を用いた検出方法であって、
前記一次側メインパターンは、第1の一次側メインパターンと、前記第1の一次側メインパターンから位相を90度ずらして配置した第2の一次側メインパターンとからなり、
前記一次側サブパターンは、第1の一次側サブパターンと、前記第1の一次側サブパターンから位相を90度ずらして配置した第2の一次側サブパターンとからなり、
前記制御部は、
前記第1の一次側メインパターン又は第1の一次側サブパターンに、数1に示す第1の励振電流Iaを供給すると共に、前記第2の一次側メインパターン又は第2の一次側サブパターンに、数1に示す第2の励振電流Ibを供給し、
前記二次側メインパターン又は前記二次側サブパターンには、数1に示す励起電圧Vが発生し、
第1の一次側サブパターン又は前記第1の一次側メインパターンで、数1に示す第1の励起電圧Vsを検出すると共に、第2の一次側サブパターン又は前記第2の一次側メインパターンで、数1に示す第2の励起電圧Vcを検出し、
前記第2の励起電圧Vcを90度位相シフトさせた後、前記第1の励起電圧Vsと合成して、数1に示す合成電圧Vgを導き、
前記合成電圧Vgにおいて、B=0となるように、位置変位Xに対して励振位置αを追従させることにより、α=Xを検出位置として求める
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013261273A JP6147658B2 (ja) | 2013-12-18 | 2013-12-18 | 電磁誘導式位置検出器及び検出方法 |
CN201480053235.5A CN105579814B (zh) | 2013-12-18 | 2014-10-16 | 电磁感应式位置检测器以及检测方法 |
PCT/JP2014/077484 WO2015093135A1 (ja) | 2013-12-18 | 2014-10-16 | 電磁誘導式位置検出器及び検出方法 |
EP14871195.5A EP3040687B1 (en) | 2013-12-18 | 2014-10-16 | Electromagnetic-induction-type position detector and detection method |
US15/026,435 US9709423B2 (en) | 2013-12-18 | 2014-10-16 | Electromagnetic-induction-type position detector and detection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013261273A JP6147658B2 (ja) | 2013-12-18 | 2013-12-18 | 電磁誘導式位置検出器及び検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015117998A JP2015117998A (ja) | 2015-06-25 |
JP6147658B2 true JP6147658B2 (ja) | 2017-06-14 |
Family
ID=53402492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013261273A Active JP6147658B2 (ja) | 2013-12-18 | 2013-12-18 | 電磁誘導式位置検出器及び検出方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9709423B2 (ja) |
EP (1) | EP3040687B1 (ja) |
JP (1) | JP6147658B2 (ja) |
CN (1) | CN105579814B (ja) |
WO (1) | WO2015093135A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6029724B1 (ja) * | 2015-09-16 | 2016-11-24 | 三菱重工工作機械株式会社 | ロータリ形スケール |
CN107482997B (zh) * | 2017-08-24 | 2018-06-22 | 中腾微网(北京)科技有限公司 | 一种太阳能光伏板装置 |
JP7118627B2 (ja) * | 2017-12-01 | 2022-08-16 | 株式会社ミツトヨ | 電磁誘導式位置検出装置 |
CN112735298B (zh) * | 2021-02-04 | 2022-03-25 | 浙江师范大学 | 一种车轮警示灯 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3272544B2 (ja) | 1994-07-18 | 2002-04-08 | 株式会社ワコム | 位置検出装置及びその位置指示器 |
JPH11223505A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-08-17 | Mitsutoyo Corp | 誘導型位置測定装置 |
JP3046959B1 (ja) * | 1998-12-11 | 2000-05-29 | 三菱重工業株式会社 | 電磁誘導式の位置検出器 |
US6605939B1 (en) * | 1999-09-08 | 2003-08-12 | Siemens Vdo Automotive Corporation | Inductive magnetic saturation displacement sensor |
JP3806358B2 (ja) | 2002-02-27 | 2006-08-09 | 株式会社ミツトヨ | 誘導型位置トランスデューサ |
JP2005249730A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Niles Co Ltd | 電磁誘導型変位センサ |
FR2868526B1 (fr) * | 2004-04-06 | 2007-04-20 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Capteur de position d'un actionneur de soupape d'un moteur a combustion interne |
EP2257769B1 (de) * | 2008-03-26 | 2015-10-07 | ELMOS Semiconductor AG | Induktiver positionssensor |
US8710829B2 (en) * | 2009-06-19 | 2014-04-29 | Minebea Co., Ltd. | Sheet coil type resolver |
JP5275944B2 (ja) * | 2009-08-20 | 2013-08-28 | ミネベア株式会社 | シートコイル型レゾルバ |
JP5249279B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2013-07-31 | 愛三工業株式会社 | 位置センサ |
CN102223046B (zh) * | 2010-04-19 | 2013-10-09 | 爱三工业株式会社 | 位置传感器 |
JP5249278B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2013-07-31 | 愛三工業株式会社 | 位置センサ |
JP5341832B2 (ja) * | 2010-07-08 | 2013-11-13 | 愛三工業株式会社 | 回転位置センサ |
JP5803428B2 (ja) * | 2011-08-25 | 2015-11-04 | 株式会社ジェイテクト | 回転センサ、及び回転角検出装置 |
JP5863507B2 (ja) * | 2012-02-27 | 2016-02-16 | 三菱重工業株式会社 | 電磁誘導式位置検出器 |
US9528858B2 (en) * | 2012-11-13 | 2016-12-27 | Semiconductor Components Industries, Llc | Inductive sensor |
-
2013
- 2013-12-18 JP JP2013261273A patent/JP6147658B2/ja active Active
-
2014
- 2014-10-16 CN CN201480053235.5A patent/CN105579814B/zh active Active
- 2014-10-16 WO PCT/JP2014/077484 patent/WO2015093135A1/ja active Application Filing
- 2014-10-16 EP EP14871195.5A patent/EP3040687B1/en not_active Not-in-force
- 2014-10-16 US US15/026,435 patent/US9709423B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105579814A (zh) | 2016-05-11 |
EP3040687A4 (en) | 2016-11-09 |
CN105579814B (zh) | 2017-09-05 |
US20160216134A1 (en) | 2016-07-28 |
EP3040687B1 (en) | 2018-01-31 |
EP3040687A1 (en) | 2016-07-06 |
US9709423B2 (en) | 2017-07-18 |
WO2015093135A1 (ja) | 2015-06-25 |
JP2015117998A (ja) | 2015-06-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5486874B2 (ja) | 分散配置リニアモータおよび分散配置リニアモータの制御方法 | |
JP6021136B1 (ja) | 電磁誘導式位置検出器 | |
US9383184B2 (en) | Inductive position-measuring device | |
JP6147658B2 (ja) | 電磁誘導式位置検出器及び検出方法 | |
US10989515B2 (en) | Inductive position measuring device | |
KR20120023800A (ko) | 자기전자 각도 센서, 특히 릴럭턴스 리졸버 | |
JP2008286667A (ja) | 電磁誘導型位置センサ | |
JP6487246B2 (ja) | 電磁誘導式位置検出器及びそれを用いた位置検出方法 | |
JP4392228B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP5411084B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP5863507B2 (ja) | 電磁誘導式位置検出器 | |
JP2015227826A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2017166883A (ja) | エンコーダ装置及びエンコーダ装置付き運動案内装置 | |
JP6393644B2 (ja) | 電磁誘導式位置検出器及び電磁誘導式位置検出方法 | |
JP2020056754A (ja) | 電磁誘導式エンコーダ | |
JP6642915B2 (ja) | 電磁誘導式位置検出器 | |
WO2016111266A1 (ja) | 位置検出装置 | |
TWI507662B (zh) | Magnetic displacement sensor and displacement detection method | |
JP2013160733A (ja) | 位置センサ | |
JP2010145086A (ja) | 電磁誘導式位置検出器及び電磁誘導式位置検出方法 | |
JP5494418B2 (ja) | 平面位置検出装置及びこれを適用した平面モータ | |
JP2015224925A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2015094720A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2015094719A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2016038255A (ja) | 回転角度検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20160309 |
|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20160727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170509 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170517 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6147658 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |