JP6142517B2 - 投影露光装置及び投影露光方法 - Google Patents
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Description
2:光源要素群,2a:光源要素列,2S:光源要素単体,
2A,2B,2C,2D:光源要素,
3:投影光学系,3a:マイクロレンズ,3b:レンズ基板,
3c:レンズアレイ,
10:基板,11発光素子,
P:露光パターン,P0:露光ドット,
S:被露光面,Vr:有効視野,
Ex1:第1の露光手段,Ex2:第2の露光手段,Ex3:第3の露光手段
Claims (6)
- 複数の光源要素を配列した光源要素群と当該光源要素群が形成するパターンを被露光面に投影する投影光学系によって、特定の露光パターンを被露光面に重ね合わせ露光する複数の露光手段を備え、
前記複数の露光手段の1つは、前記光源要素群を前記投影光学系の有効視野内における第1の位置に配置し、
前記複数の露光手段の他の1つは、前記光源要素群を前記投影光学系の有効視野内における前記第1の位置とは異なる第2の位置に配置することを特徴とする投影露光装置。 - 複数の光源要素を連続配列した光源要素列が複数分散配置されており、前記光源要素列毎に1つのマイクロレンズを配置した投影光学系によって、前記光源要素列が形成するパターンを被露光面に投影して、特定の露光パターンを被露光面に重ね合わせ露光する複数の露光手段を備え、
前記複数の露光手段の1つは、前記光源要素列における第1の光源要素が前記マイクロレンズの有効視野内における第1の位置に配置され、
前記複数の露光手段の他の1つは、前記第1の光源要素に重ね合わせ露光される光源要素が前記マイクロレンズの有効視野内における前記第1の位置とは異なる第2の位置に配置されることを特徴とする投影露光装置。 - 前記複数の露光手段は被露光面を特定の走査方向に沿って走査露光し、
前記第2の位置は、前記第1の位置に対して前記投影光学系の光軸方向と交差し且つ前記走査方向と交差する方向にシフトしていることを特徴とする請求項1又は2に記載の投影露光装置。 - 前記光源要素は、発光素子によって構成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の投影露光装置。
- 複数の光源要素を配列した光源要素群と当該光源要素群が形成するパターンを被露光面に投影する投影光学系によって、特定の露光パターンを被露光面に重ね合わせ露光する複数の露光手段を備えた投影露光方法であって、
前記複数の露光手段の1つにより、前記光源要素群を前記投影光学系の有効視野内における第1の位置に配置され、一の露光を行い、
前記複数の露光手段の他の1つにより、前記光源要素群を前記投影光学系の有効視野内における前記第1の位置とは異なる第2の位置に配置され、次の露光を行うことを特徴とする投影露光方法。 - 複数の光源要素を連続配列した光源要素列が複数分散配置されており、前記光源要素列毎に1つのマイクロレンズを配置した投影光学系によって、前記光源要素列が形成するパターンを被露光面に投影して、特定の露光パターンを被露光面に重ね合わせ露光する複数の露光手段を備えた投影露光方法であって、
前記複数の露光手段の1つにより、前記光源要素列における第1の光源要素が前記マイクロレンズの有効視野内における第1の位置に配置され、一の露光を行い、
前記複数の露光手段の他の1つにより、前記第1の光源要素に重ね合わせ露光される光源要素が前記マイクロレンズの有効視野内における前記第1の位置とは異なる第2の位置に配置され、次の露光を行うことを特徴とする投影露光方法。
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---|---|---|---|---|
TWI688578B (zh) | 2015-04-30 | 2020-03-21 | 德商艾朗希歐德意志有限公司 | 具有增進低溫性質及良好抗油性之乙烯共聚物,及可硫化混合物與由其製得之硫化橡膠 |
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