JP2015517733A5

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Publication number: JP2015517733A5
Application number: JP2015511982A
Authority: JP
Filing date: 2013-04-30
Publication date: 2017-06-15
Anticipated expiration: 2033-04-30

Description

第１のファセットミラーの個々のミラーのうちの過半数が、専用群ミラー照明チャネルを通じて専用の第２のファセットにそれぞれ関連付けられた個々のミラー群のうちの少なくとも２つに属する割り当ては、特に高い照明柔軟性に導くものである。

第１のファセットミラーの個々のミラーの少なくとも一部が、専用群ミラー照明チャネルを通じて専用の第２のファセットにそれぞれ関連付けられた個々のミラー群のうちのちょうど２つに属する割り当ては、それぞれの個々のミラーが、それぞれの群割り当てを達成するために過度に多くの異なる傾斜位置をとらなければならないことを回避する。対応する陳述は、第１のファセットミラーの個々のミラーのうちの過半数が、専用群ミラー照明チャネルを通じて専用の第２のファセットにそれぞれ関連付けられた個々のミラー群のうちのちょうど２つに属する割り当てに適用される。

図８及び図９に記載の実施形態において、視野ファセットミラー１９の個々のミラー２６の過半数、すなわち、個々のミラー行２７₂から２７₇の個々のミラーは、専用群ミラー照明チャネル３５を通じて専用の第２のファセット３４にそれぞれ関連付けられた少なくとも２つの個々のミラー群２４ａに属する。個々のミラー行２７₂から２７₇のこれらの個々のミラーは、上述したように、それぞれちょうど２つの個々のミラー群２４ａに属する。ある一定の個々のミラー２６が多数の個々のミラー群２４ａに属する照明幾何学形状も可能であることは自明である。一例として、個々のミラー群２４ａが３つの個々のミラー行２７から構成される場合に、図８及び図９に関して上述したものと同様に、これらの３つの個々のミラー行のうちの１つが、第１のグループ分けにおいて第１の個々のミラー群の上側の個々のミラー行を構成し、第２のグループ分けにおいて第２の個々のミラー群の中心行を構成し、第３のグループ分けにおいて第３の個々のミラー群の下側行を構成するグループ分け割り当てを予め決定することが可能である。

Claims

リソグラフィマスク（７）を配置することができる物体視野（５）に照明光（１６）を案内するためのＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット（４）であって、
少なくとも２つの傾斜位置の間で切り換えることができ、照明光部分ビームを前記物体視野（５）に案内するための個々のミラー照明チャネル（３５ａ）を与える多数の個々のミラー（２６）を含む第１のファセットミラー（１９；３６）を有し、
前記照明光（１６）のビーム経路内で前記第１のファセットミラー（１９；３６）の下流に配置され、かつ群ミラー照明チャネル（３５）を通じた前記物体視野（５）内への該第１のファセットミラー（１９；３６）の、前記個々のミラー（２６）を複数含むミラー群（２４ａ）の結像にそれぞれ寄与する複数のファセット（３４）を有する第２のファセットミラー（２０）であって、個々の該ミラー群（２４ａ）の該像が、該物体視野（５）内で互いの上に重ね合わされる前記第２のファセットミラー（２０）を有し、
前記個々のミラー（２６）の少なくとも一部（２６₀）が、該個々のミラーのそれぞれの前記傾斜位置に応じて少なくとも１つの専用群ミラー照明チャネル（３５₁，３５₄；３５₁，３５₃）を通じて少なくとも１つの専用の第２のファセット（３４₁，３４₃）にそれぞれ関連付けることができる前記個々のミラー群（２４ａ₁，２４ａ₄；２４ａ₁，２４ａ₃）のうちの少なくとも２つの異なる群に属する、
ことを特徴とする照明光学ユニット（４）。
前記第１のファセットミラー（１９；３６）の前記個々のミラー（２６）のうちの過半数が、専用群ミラー照明チャネル（３５₁，３５₄；３５₁，３５₃）を通じて専用の第２のファセット（３４₁，３４₃）にそれぞれ関連付けられた前記個々のミラー群のうちの少なくとも２つ（２４ａ₁，２４ａ₄；２４ａ₁，２４ａ₃）に属することを特徴とする請求項１に記載の照明光学ユニット。
前記第１のファセットミラー（１９；３６）の前記個々のミラー（２６）の少なくとも一部が、専用群ミラー照明チャネル（３５₁，３５₄；３５₁，３５₃）を通じて専用の第２のファセット（３４₁，３４₃）にそれぞれ関連付けられた前記個々のミラー群のうちのちょうど２つ（２４ａ₁，２４ａ₄；２４ａ₁，２４ａ₃）に属することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学ユニット。
前記第１のファセットミラー（１９；３６）の前記個々のミラー（２６）のうちの過半数が、専用群ミラー照明チャネル（３５₁，３５₄；３５₁，３５₃）を通じて専用の第２のファセット（３４₁，３４₃）にそれぞれ関連付けられた前記個々のミラー群のうちのちょうど２つ（２４ａ₁，２４ａ₄；２４ａ₁，２４ａ₃）に属することを特徴とする請求項３に記載の照明光学ユニット。
前記第１のファセットミラー（１９；３６）の前記個々のミラー（２６）のうちのいずれも、専用群ミラー照明チャネル（３５₁，３５₄；３５₁，３５₃）を通じて専用の第２のファセット（３４₁，３４₃）にそれぞれ関連付けられた前記個々のミラー群のうちの２つ（２４ａ₁，２４ａ₄；２４ａ₁，２４ａ₃）よりも多いものに属さないことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
専用群ミラー照明チャネル（３５₁，３５₄；３５₁，３５₃）を通じて専用の第２のファセット（３４₁，３４₃）にそれぞれ関連付けられた２つの個々のミラー群（２４ａ₁，２４ａ₄；２４ａ₁，２４ａ₃）が、該２つの個々のミラー群（２４ａ₁，２４ａ₄；２４ａ₁，２４ａ₃）の前記個々のミラー（２６）の全てのうちの２０％と８０％の間のものが両方の個々のミラー群（２４ａ₁，２４ａ₄；２４ａ₁，２４ａ₃）に同時に属するように互いに重なることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
専用群ミラー照明チャネル（３５₁，３５₄，３５₅；３５₁，３５₂，３５₃）を通じて専用の第２のファセット（３４₁，３４₄，３４₅；３４₁，３４₂，３４₃）にそれぞれ関連付けられた３つの個々のミラー群（２４ａ₁，２４ａ₄，２４ａ₅；２４ａ₁，２４ａ₂，２４ａ₃）が、該３つの個々のミラー群（２４ａ₁，２４ａ₄，２４ａ₅；２４ａ₁，２４ａ₂，２４ａ₃）のうちの第１の群（２４ａ₄；２４ａ₁）が該３つの個々のミラー群のうちの第２の群（２４ａ₁；２４ａ₃）に重なり、かつ該３つの個々のミラー群のうちの該第２の群（２４ａ₁；２４ａ₃）が該３つの個々のミラー群のうちの第３の群（２４ａ₅；２４ａ₂）に重なるように互いに重なり、
前記３つの個々のミラー群のうちの前記第１の群（２４ａ₄；２４ａ₁）及び前記第３の群（２４ａ₅；２４ａ₂）は、互いに重なり合わない、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の照明光学ユニットを有し、
物体視野（５）を像視野（１１）に結像するための投影光学ユニット（１０）を有する、
ことを特徴とする照明系。
請求項８に記載の照明系（３）を有し、
ＥＵＶ光源（２）を有し、
物体変位ドライブ（９）を用いて変位方向（ｙ）に沿って変位可能である物体視野（５）に物体（７）を保持するための物体ホルダ（８）を有し、
ウェーハ変位ドライブ（１５）を用いて前記変位方向（ｙ）に沿って変位可能である像視野（１１）にウェーハ（１３）を保持するためのウェーハホルダ（１４）を有する、
ことを特徴とする投影露光装置。
個々のミラー群（２４ａ）のうちの少なくとも２つが、前記変位方向（ｙ）に沿って互いに重なることを特徴とする請求項９に記載の投影露光装置。
微細構造化又はナノ構造化構成要素を生成する方法であって、
感光材料の層が少なくとも部分的に塗布されたウェーハ（１３）を与える段階と、
結像される構造を有するレチクル（７）を与える段階と、
請求項９又は請求項１０のいずれか１項に記載の投影露光装置（１）を与える段階と、前記投影露光装置（１）の投影光学ユニット（１０）を用いて前記レチクル（７）の少なくとも一部を前記層の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。