JP6141721B2 - センサーの製造方法 - Google Patents
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Description
(i)磁性フィラーと、熱硬化性エラストマー前駆液とを混合して混合液を形成する工程、
(ii)該混合液をシート状に成形する工程、
(iii)該磁性フィラーを、該熱硬化性エラストマー前駆液中で偏在させる工程、
(iv)該熱硬化性エラストマー前駆液を加熱して硬化し、シート状エラストマーを形成する工程、および
(v)該磁性フィラーを着磁して磁性エラストマーを形成する工程
を含み、
該工程(i)で形成した混合液が粘度100〜50,000mPa・sを有し、該工程(iii)で偏在させた磁性フィラーの熱硬化性エラストマー中での偏在度が1〜100であることを特徴とする、センサーの製造方法に関するものである。
上記工程(iii)の磁性フィラーを偏在させる工程が、磁束密度1〜3000mTの磁場を印加することによって行われ;
上記磁性フィラーがエラストマーの片面側に偏在していて、その偏在面を接触面とし;
上記磁性フィラーが希土類系、Fe系、Co系、Ni系、酸化物系であり、平均粒径が0.02〜500μmであり;
上記磁性フィラーがエラストマー100質量部に対して1〜450質量部の量で添加され;
上記エラストマーがポリウレタンエラストマーまたはシリコーンエラストマーであり;
上記偏在度が2〜90である;
ことが望ましい。
(i)磁性フィラーと、熱硬化性エラストマー前駆液とを混合して混合液を形成する工程、
(ii)該混合液をシート状に成形する工程、
(iii)該磁性フィラーを、該熱硬化性エラストマー前駆液中で偏在させる工程、
(iv)該熱硬化性エラストマー前駆液を加熱して硬化し、シート状エラストマーを形成する工程、および
(v)該磁性フィラーを着磁して磁性エラストマーを形成する工程
を含むことを要件とする。
反応容器に、旭硝子株式会社から商品名「プレミノール7001」で市販されているポリプロピレングリコール(数平均分子量6000)40質量部、および旭硝子株式会社から商品名「エクセノール3020」で市販されているポリプロピレングリコール(数平均分子量3000)60質量部を入れ、撹拌しながら減圧脱水を1時間行った。その後、反応容器内を窒素置換した。そして、反応容器にトリレンジイソシアネート(三井化学株式会社から商品名「コスモネートT−80」で市販の2,4‐体/2,6‐体=80/20のトリレンジイソシアネート)10質量部を添加して、反応容器内の温度を80℃に保持しながら5時間反応させてイソシアネート末端プレポリマーを合成した。
以下の表1に示すように、反応容器に2液性液状シリコーンゴムの主剤(東レ・ダウコーニング株式会社製「DY35−1106A」)50質量部、磁性フィラー100質量部、トルエン60質量部を入れ撹拌し、室温にて60分間減圧脱泡して、予備混合液を得た。2液性液状シリコーンゴムの硬化剤(東レ・ダウコーニング株式会社製「DY35−1106B」)50質量部にトルエン60質量部を入れ撹拌し60分間減圧脱泡を行い、前記予備混合液とハイブリッドミキサーにて混合および脱泡して、混合液を得た。この時、混合液の粘度は1200mPa・sであった。この混合液を離型処理したモールド上に滴下し、その上に離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルムを被せ、ニップロールにて厚みを1mmに調整した。その後、磁性フィラー偏在処理として常温にて120分間静置することで磁性フィラーを沈降させた。その後、上記モールドを120℃のオーブンに入れ、15分間キュアを行い、さらに200℃で4時間キュアを行うことでシリコーンエラストマーを得た。得られた該エラストマーシートを、着磁装置(電子磁気工業社製)にて1.3Tで着磁することによりシリコーン磁性エラストマーを得た。
実施例2と同様の原料を用いて、トルエンを各30質量部の合計60質量部とし、混合液粘度を42,000mPa・sに調整した。
実施例2と同様の原料を用いて、磁性フィラー偏在処理として、常温にて5mTの磁場中(ネオジム磁石使用)で120分間処理した。
実施例2と同様の原料を用いて、トルエンを各5質量部の合計10質量部とし、混合液粘度を60,000mPa・sに調整した。
以下の表1に示すように、ミラブルタイプ(熱加硫型)シリコーンゴム「DY32‐1000U」(東レ・ダウコーニング株式会社製)100質量部、架橋剤RC−4 50P FD(東レ・ダウコーニング株式会社製2,5-ビス(t-ブチルパーオキシ)-2,5-ジメチルヘキサン)0.8質量部、磁性フィラー100.8質量部をラボプラストミル(東洋精機製作所社製「4C150−01」)にて混練し、磁性フィラーを均一分散させた。170℃のプレス機にて10分間加硫した後、200℃のオーブンにて2時間二次加硫することによって、厚さ1mmのシリコーンエラストマーシートを得た。
(注2)旭硝子株式会社から商品名「プレミノール7001」で市販されているポリプロピレングリコール(数平均分子量6000)
(注3)旭硝子株式会社から商品名「エクセノール1020」で市販されているポリプロピレングリコール(数平均分子量1000)
(注4)東栄化工株式会社製のオクチル酸鉛
(注5)東レ・ダウコーニング株式会社から商品名「DY35−1106」で市販されている2液性液状シリコーンゴムの主剤
(注6)東レ・ダウコーニング株式会社から商品名「DY35−1106」で市販されている2液性液状シリコーンゴムの硬化剤
(注7)東レ・ダウコーニング株式会社から商品名「DY32−1000U」で市販されているミラブルタイプ(熱加硫型)シリコーンゴム
(注8)東レ・ダウコーニング株式会社から商品名「RC−4 50P FD」で市販されている2,5-ビス(t-ブチルパーオキシ)-2,5-ジメチルヘキサン(架橋剤)
(注9)愛知製鋼株式会社から商品名「MF−15P」で市販されている平均粒径133μmのネオジム系磁性体粉末(磁性フィラー)
(1)粘度測定
JIS K−7117−1に準拠して測定した。
作製した磁性エラストマーをカミソリ刃で切り出し、サンプル断面をデジタルマイクロスコープにて100倍で観察した。得られた画像を、画像解析ソフト(三谷商事株式会社製「WinROOF」)を用いて、磁性エラストマーの厚み方向に3等分し上段層、中段層、下段層の磁性フィラーの粒子数をカウントした。各層の粒子数と、中段層の粒子数との比率を求めることで、各層の磁性フィラー存在率を求めた。さらに、[(上段層の磁性フィラー存在率)−(下段層の磁性フィラー存在率)]を求めることにより偏在度とした。ここで、上段層とは触覚センサーにおける接触面側の層である。
基板に磁気センサーとしてホール素子(旭化成エレクトロニクス株式会社から商品名「EQ−430L」で市販のホール素子と増幅回路を1パッケージ化したリニアホールIC)を設置し、基板の磁気センサーと反対の面に磁性エラストマーを、図1のように設置する。このとき、前記磁性エラストマーは磁性フィラーが偏在している面を、圧力を印加される接触面になるように設置する。圧縮試験機(株式会社島津製作所製オートグラフ)を用いて圧力30kPaを印加した時の、ホール素子の出力電圧を読み取り、出力電圧変化率(ΔVout)の値をセンサー感度として、触覚センサー特性の評価とした。
基板に磁気センサーとしてホール素子(旭化成エレクトロニクス社製EQ−430L)を図2のように3個エラストマー上に設置する。図2において、10が磁気センサーAで、11が磁気センサーBで、12が磁気センサーCであり、エラストマー13の端部14を矢印15の方向に上げていき、矢印の各角度16で磁気センサーの出力電圧を読み取ることで曲げセンサーの特性を得た。また、表1には、センサー感度の評価として、曲げ角度90°の時の各ホール素子の出力変化率の値の和を出力和(ΔVout)として指標としたものを記載した。この90°の時のセンサーの出力和の値が高いほどセンサー感度が良好であると考えられる。
2、10、11、12 … 磁気センサー
3 … 磁性フィラー
4 … 基板
5 … 圧力
Claims (6)
- 磁性フィラーを含む磁性エラストマーと、磁気センサーとから構成される、センサーの製造方法であって、
(i)磁性フィラーと、熱硬化性エラストマー前駆液とを混合して混合液を形成する工程、
(ii)該混合液をシート状に成形する工程、
(iii)該磁性フィラーを、該熱硬化性エラストマー前駆液中で偏在させる工程、
(iv)該熱硬化性エラストマー前駆液を加熱して硬化し、シート状エラストマーを形成する工程、および
(v)該磁性フィラーを着磁して磁性エラストマーを形成する工程
を含み、
該工程(i)で形成した混合液が粘度100〜50,000mPa・sを有し、該工程(iii)で偏在させた磁性フィラーの磁性エラストマー中での偏在度が1〜100であり、
前記偏在度は、エラストマーの厚み方向に3等分し、上段層、中段層、下段層の磁性フィラーの粒子数をカウントし、上段層および下段層の粒子数と、中段層の粒子数との比率を求めて、上段層および下段層の磁性フィラー存在率を求め、以下の式:
偏在度=[(上段層の磁性フィラー存在率)−(下段層の磁性フィラー存在率)]
から決定することを特徴とする、センサーの製造方法。 - 前記工程(iii)の磁性フィラーを偏在させる工程が、磁束密度1〜3000mTの磁場を印加することによって行われる請求項1記載の製造方法。
- 前記磁性フィラーが片面側に偏在していて、その偏在面と反対側に磁気センサーを配置する請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記磁性フィラーが希土類系、Fe系、Co系、Ni系、酸化物系であり、平均粒径が0.02〜500μmである請求項1〜3のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記磁性フィラーがエラストマー100質量部に対して1〜450質量部の量で添加される請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記エラストマーがポリウレタンエラストマーまたはシリコーンエラストマーである請求項1〜5のいずれか1項に記載の製造方法。
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