JP6138312B1 - レジスト組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
上述したようにベース樹脂は、アクリル樹脂及びスチレン系樹脂を含む。
アクリル樹脂は、アクリルモノマーの重合体であり、アクリルモノマーとしては、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。これらは単独で又は2種以上を組み合せて用いることができる。
スチレン系樹脂は、スチレン単位を含む重合体であり、スチレンの単独重合体でもスチレンと他のモノマーとの共重合体でもよい。他のモノマーとしては、例えば(メタ)アクリレート、アクリロニトリル及びブタジエンなどが挙げられる。スチレンと他のモノマーとの共重合体としては、例えばスチレンアクリル樹脂(AS樹脂)及びアクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂(ABS樹脂)などが挙げられる。これらは単独で又は2種以上を組み合せて用いることができる。スチレン系樹脂としては、スチレンの単独重合体が好ましい。この場合、スチレン系樹脂がスチレンの単独重合体以外のスチレン系樹脂である場合と比べて、レジスト組成物をレジスト剥離液によって剥離する際に、レジスト組成物がレジスト剥離液に十分に溶解するため、レジスト剥離液中にレジスト組成物の不溶解物が残りにくい。そのため、残渣を除去する装置がなくともレジスト剥離液を循環させて使用できる。
本発明のレジスト組成物は無機フィラーを含んでいても含んでいなくてもよいが、無機フィラーを含むことが好ましい。この場合、レジスト組成物が無機フィラーを含まない場合と比べて、レジスト組成物の粘度を適正範囲内にすることが可能となる。
アクリル樹脂、スチレン系樹脂及び無機フィラー(固形分)を、表1〜4に示す配合量(単位は質量部)でジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートからなる有機溶剤中に溶解又は分散させ、固形分の濃度が55質量%であるレジスト組成物を得た。
アクリル樹脂A:星光PMC株式会社製、酸価=105mgKOH/g
アクリル樹脂B:星光PMC株式会社製、酸価=40mgKOH/g
アクリル樹脂C:星光PMC株式会社製、酸価=150mgKOH/g
アクリル樹脂D:星光PMC株式会社製、酸価=50mgKOH/g
アクリル樹脂E:東亞合成株式会社製、酸価=74mgKOH/g
アクリル樹脂F:星光PMC株式会社製、酸価=140mgKOH/g
スチレン系樹脂A:スチレンの単独重合体、藤倉化成株式会社製、重量平均分子量=8000
スチレン系樹脂B:スチレンの単独重合体、ヤスハラケミカル株式会社製、重量平均分子量=2500
スチレン系樹脂C:スチレンの単独重合体、東洋スチレン株式会社製、重量平均分子量=187000
スチレン系樹脂D:スチレンの単独重合体、藤倉化成株式会社製、重量平均分子量=5000
スチレン系樹脂E:スチレンの単独重合体、藤倉化成株式会社製、重量平均分子量=17000
スチレン系樹脂F:スチレンアクリル樹脂、星光PMC株式会社製、重量平均分子量=10000
板状フィラーA:タルク、日本タルク社製
板状フィラーB:シリカ、AGCエスアイテック社製
板状フィラーC:アルミナ、キンセイマテック社製
非板状フィラー:シリカ(球状フィラー)、日本アエロジル社製
非板状フィラー:マグネタイト、戸田工業株式会社製
上記のようにして得られた実施例1〜27及び比較例1〜6のレジスト組成物について、以下のようにして、無電解めっきの際に用いられるめっき液によるめっき液耐性、剥離の際のレジスト剥離液に対する剥離性、レジスト膜強度、レジスト組成物の安定性、粘度及び視認性の評価を行った。
上記のようにして得られたレジスト組成物を、乾燥後の厚さが約15μmとなるように厚さ25μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製)に塗布して乾燥させ、ポリイミドフィルム上にレジスト膜を形成してなる構造体を作製し、この構造体を3cm角に切断したものを測定サンプルとした。次に、無電解金めっき液(日本高純度化学株式会社製)に伝導塩調整剤(日本高純度化学株式会社製)を添加し、pHの異なる11種類の無電解金めっき液を用意した。11種類の無電解めっき液は、pH6.5から7.5まで0.1ずつ増加するように用意した。その後、pH調整した11種類の無電解金めっき液を80℃に加熱し、これらのめっき液の各々に対して測定サンプルを5分間浸漬させた後、レジスト膜の剥離の有無を調べた。結果を表1〜4に示す。また、表1〜4においては、レジスト膜の剥離が見られたときのpHを併記した。なお、表1〜4においては、pH6.5においてレジスト膜の剥離が見られなかった実施例又は比較例については合格であるとして「○」と表示し、pH6.5においてレジスト膜の剥離が見られた比較例については不合格であるとして「×」と表示した。また、比較例5のレジスト組成物については、レジスト膜の強度が低く、めっき液耐性の評価ができなかったため、「評価不可」と表記した。また、比較例6のレジスト組成物については、スチレン系樹脂とアクリル樹脂との相溶性が悪く、レジスト組成物の調製が困難であったため、「評価不可」と表記した。
上記のようにして得られたレジスト組成物を、ベースフィルムの両面に銅箔が設けられている両面CCL(新日鉄住金化学社製)からその両面の銅箔を全面エッチングして得られるベースフィルム上に乾燥後の厚さが約15μmとなるように塗布し、乾燥させ、ベースフィルム上にレジスト膜を形成して成る積層体を得た。そして、この積層体を3cm角に切断したものを測定サンプルとし、この測定サンプルについて以下のようにしてレジスト剥離液に対する剥離性の評価を行った。具体的には、レジスト剥離液として、48℃の2.8質量%NaOH水溶液を用意し、このレジスト剥離液中に測定サンプルを180秒間浸漬させ、レジスト膜の剥離の有無を調べた。結果を表1〜4に示す。なお、表1〜4において、レジスト膜が全て剥離した実施例又は比較例については合格として「○」と表記し、レジスト膜の少なくとも一部が剥離しなかった比較例については不合格として「×」と表記した。
また、レジスト剥離液に対する剥離後のレジスト膜の状況についても調べた。結果を表1〜4に示す。表1〜4においては、レジスト膜が剥離した後、レジスト剥離液中に溶解した実施例又は比較例については「溶解」と表記し、レジスト膜の一部がレジスト剥離液中に溶解せずに残存した実施例又は比較例については「残存」と表記した。なお、比較例5のレジスト組成物については、レジスト膜の強度が低く、レジスト剥離液に対する剥離性の評価ができなかったため、「評価不可」と表記した。また、比較例6のレジスト組成物については、スチレン系樹脂とアクリル樹脂との相溶性が悪く、レジスト組成物の調製が困難であったため、「評価不可」と表記した。
上記のようにして得られたレジスト組成物を、両面に銅箔が設けられている両面CCL(新日鉄住金化学社製)からその両面の銅箔を全面エッチングして得られるベースフィルム上に乾燥後の厚さが約15μmとなるように塗布し、乾燥させて、ベースフィルム上にレジスト膜を形成して成る積層体を得た。そして、この積層体を180°折り曲げた際のレジスト膜の割れ及び剥離の有無を調べた。結果を表1〜4に示す。なお、表1〜4においては、レジスト膜の割れ及び剥離が見られなかった実施例又は比較例については、合格であるとして「○」と表記し、レジスト膜の割れ及び剥離が見られた比較例については、不合格であるとして「×」と表記した。なお、比較例6のレジスト組成物については、スチレン系樹脂とアクリル樹脂との相溶性が悪く、レジスト組成物として使用できなかったため、「評価不可」と表記した。
上記のようにして得られたレジスト組成物について、常温保存で12時間経過後に、配合成分の沈降及び分離の有無を調べた。結果を表1〜4に示す。なお、表1〜4においては、レジスト組成物の沈降及び分離が見られなかった実施例又は比較例については合格であるとして「○」と表示し、沈降又は分離が見られた比較例については、不合格であるとして「×」と表示した。
上記のようにして得られたレジスト組成物について、B型粘度計(ブルックフィールド社製)を用いて粘度を測定した。結果を表1〜4に示す。なお、測定条件は以下の通りとした。また、比較例6のレジスト組成物については、スチレン系樹脂とアクリル樹脂との相溶性が悪く、レジスト組成物の調製が困難であったため、「評価不可」と表記した。
(測定条件)
ロータ :No.6
回転数 :60rpm
測定時間:60秒
測定温度:25℃
上記のようにして得られたレジスト組成物を、乾燥後の厚さが約15μmとなるように、厚さ25μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製)に塗布して乾燥させ、ポリイミドフィルム上にレジスト膜を形成してなる構造体を作製し、この構造体を測定サンプルとした。そして、この測定サンプルについて、目視でレジスト膜を確認した。結果を表1〜4に示す。なお、表1〜4において、レジスト膜を視認できる実施例又は比較例については「A」と表記し、レジスト膜を視認できない実施例又は比較例については「B」と表記した。また、上記比較例6のレジスト組成物については、スチレン系樹脂とアクリル樹脂との相溶性が悪く、レジスト組成物の調製が困難であったため、「評価不可」と表記した。
Claims (2)
- アクリル樹脂及びスチレン系樹脂を含むベース樹脂と、
無機フィラーとを含有し、
前記アクリル樹脂及び前記スチレン系樹脂中の前記アクリル樹脂の含有率が50質量%以上85質量%以下であり、
前記アクリル樹脂の酸価が50mgKOH/g以上140mgKOH/g以下であり、
前記スチレン系樹脂の重量平均分子量が3000以上50000以下であり、
前記スチレン系樹脂がスチレンの単独重合体又はスチレンアクリル樹脂である、レジスト組成物。 - 前記無機フィラーが板状フィラーを含む請求項1に記載のレジスト組成物。
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