JP6084716B1 - レジスト組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
上述したようにベース樹脂は、アクリル樹脂及びスチレンアクリル樹脂を含む。
本発明のレジスト組成物は無機フィラーを含んでいても含んでいなくてもよいが、無機フィラーを含むことが好ましい。この場合、レジスト組成物が無機フィラーを含まない場合と比べて、レジスト組成物の粘度を適正範囲内にすることが可能となる。
アクリル樹脂、スチレンアクリル樹脂及び無機フィラー(固形分)を、表1〜6に示す配合量でジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートからなる有機溶剤中に溶解又は分散させ、固形分の濃度が55質量%であるレジスト組成物を得た。
アクリル樹脂A:東亞合成株式会社製、酸価=74mgKOH/g
アクリル樹脂B:星光PMC株式会社製、酸価=50mgKOH/g
アクリル樹脂C:星光PMC株式会社製、酸価=105mgKOH/g
アクリル樹脂D:星光PMC株式会社製、酸価=140mgKOH/g
アクリル樹脂E:星光PMC株式会社製、酸価=40mgKOH/g
アクリル樹脂F:星光PMC株式会社製、酸価=150mgKOH/g
スチレンアクリル樹脂A:星光PMC株式会社製、酸価=75mgKOH/g
スチレンアクリル樹脂B:東亞合成株式会社製、酸価=170mgKOH/g
スチレンアクリル樹脂C:東光PMC株式会社製、酸価=240mgKOH/g
スチレンアクリル樹脂D:東亞合成株式会社製、酸価=259mgKOH/g
板状フィラーA:タルク、日本タルク社製
板状フィラーB:シリカ、AGCエスアイテック社製
板状フィラーC:アルミナ、キンセイマテック社製
非板状フィラー:シリカ(球状フィラー)、日本アエロジル社製
非板状フィラー:マグネタイト、戸田工業株式会社製
上記のようにして得られた実施例1〜25及び比較例1〜5のレジスト組成物について、以下のようにして、無電解めっきの際に用いられるめっき液によるめっき液耐性、剥離の際のレジスト剥離液に対する剥離性、粘度及び視認性の評価を行った。
上記のようにして得られたレジスト組成物を、乾燥後の厚さが約15μmとなるように厚さ25μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製)に塗布して乾燥させ、ポリイミドフィルム上にインク膜を形成してなる構造体を作製し、この構造体を3cm角に切断したものを測定サンプルとした。次に、無電解金めっき液(日本高純度化学株式会社製)に伝導塩調整剤(日本高純度化学株式会社製)を添加し、pHの異なる11種類の無電解金めっき液を用意した。11種類の無電解めっき液は、pH6.5から7.5まで0.1ずつ増加するように用意した。その後、pH調整した11種類の無電解金めっき液を80℃に加熱し、これらのめっき液の各々に対して測定サンプルを5分間浸漬させた後、インク膜の剥がれの有無を調べた。結果を表1〜6に示す。なお、表1〜6においては、pH6.5においてインク膜の剥離が見られなかった実施例又は比較例については合格であるとして「○」と表示し、pH6.5においてインク膜の剥離が見られた比較例については不合格であるとして「×」と表示した。また表1〜6においては、インク膜の剥離が見られたときのpHを併記した。
上記のようにして得られたレジスト組成物を、ベースフィルムの両面に銅箔が設けられている両面CCL(新日鉄住金化学社製)からその両面の銅箔を全面エッチングして得られる)ベースフィルム上に乾燥後の厚さが約15μmとなるように塗布し、乾燥させて積層体を得た。そして、この積層体を3cm角に切断したものを測定サンプルとし、この測定サンプルについて以下のようにしてレジスト剥離液に対する剥離性の評価を行った。具体的には、レジスト剥離液として、48℃の2.8質量%NaOH水溶液を用意し、このレジスト剥離液中に測定サンプルを180秒間浸漬させ、インク膜の剥離の有無を調べた。結果を表1〜6に示す。なお、表1〜6において、インク膜の剥離が見られた実施例又は比較例については合格として「○」と表記し、インク膜の剥離が見られなかった比較例については不合格として「×」と表記した。
上記のようにして得られたレジスト組成物について、B型粘度計(ブルックフィールド社製)を用いて粘度を測定した。結果を表1〜6に示す。なお、測定条件は以下の通りとした。
(測定条件)
ロータ :No.6
回転数 :60rpm
測定時間:60秒
測定温度:25℃
上記のようにして得られたレジスト組成物を、乾燥後の厚さが約15μmとなるように、厚さ25μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製)に塗布して乾燥させ、ポリイミドフィルム上にインク膜を形成してなる構造体を作製し、この構造体を測定サンプルとした。そして、この測定サンプルについて、目視でレジストインク膜を確認した。結果を表1〜6に示す。なお、表1〜6において、インク膜を視認できる実施例又は比較例については「A」と表記し、インク膜を視認できない実施例又は比較例については「B」と表記した。
Claims (2)
- アクリル樹脂及びスチレンアクリル樹脂を含むベース樹脂を含有し、
前記アクリル樹脂及び前記スチレンアクリル樹脂中の前記アクリル樹脂の含有率が30質量%以上75質量%以下であり、
前記アクリル樹脂の酸価が50mgKOH/g以上74mgKOH/g以下であり、
前記スチレンアクリル樹脂の酸価が75mgKOH/g以上180mgKOH/g以下である、レジスト組成物。 - 無機フィラーをさらに含む請求項1に記載のレジスト組成物。
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