JP6136569B2

JP6136569B2 - Optical fiber manufacturing method

Info

Publication number: JP6136569B2
Application number: JP2013109650A
Authority: JP
Inventors: 彰久山口
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2013-05-24
Filing date: 2013-05-24
Publication date: 2017-05-31
Anticipated expiration: 2033-05-24
Also published as: CN104176927A; JP2014227325A; CN104176927B

Description

本発明は、光ファイバ母材を線引きして光ファイバを製造する光ファイバの製造方法に関する。 The present invention relates to an optical fiber manufacturing method for manufacturing an optical fiber by drawing an optical fiber preform.

一般に、光ファイバを製造する場合、まず、石英等の材料で製造した光ファイバ母材をフィーダによって線引き炉に供給し、線引き炉において先端部を加熱溶融して下方に引き出して細径化することによりガラスファイバとし、次いで、この細径化したガラスファイバの外周に樹脂を被覆して光ファイバとする。そして、光ファイバを製造する際には、所定外径にて線引きするように、光ファイバを引き取るキャプスタンによる引き取り速度を制御している。 In general, when manufacturing an optical fiber, first, an optical fiber preform manufactured from a material such as quartz is supplied to a drawing furnace by a feeder, and the tip portion is heated and melted in the drawing furnace and drawn downward to reduce the diameter. Then, the outer periphery of the glass fiber having a reduced diameter is coated with resin to obtain an optical fiber. And when manufacturing an optical fiber, the drawing speed by the capstan which draws an optical fiber is controlled so that it may draw with a predetermined outer diameter.

ところで、線引きする光ファイバは、不活性ガスが吹き込まれる線引き炉内におけるガス流の乱れや気圧の圧力変動によって外径変動が生じることがある。
このため、図１１に示すように、光ファイバ母材が投入される線引き炉１の上端開口部２に、シャッタリング３を設け、さらに、その上にシールリング４を設置することで、線引き炉１内のガスの流動を低減し、光ファイバの外径変動を抑制する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、図１２に示すように、線引き炉５の上端近傍に、炉内ガスの気圧の圧力変動を監視する圧力監視手段６を設け、この圧力監視手段６からの指令に基づいて炉内へガスを吹き込むガス流量調整手段７によるガスの吹き込み量を調整することで、線引き炉５内の気圧の圧力変動を低減し、光ファイバの外径変動を抑制する技術も知られている（例えば、特許文献２参照）。 By the way, the optical fiber to be drawn may cause fluctuations in the outer diameter due to the turbulence of the gas flow in the drawing furnace into which the inert gas is blown or the pressure fluctuation of the atmospheric pressure.
For this reason, as shown in FIG. 11, a shutter ring 3 is provided at the upper end opening 2 of the drawing furnace 1 into which the optical fiber preform is introduced, and a seal ring 4 is further provided thereon, thereby drawing the drawing furnace. There is known a technique for reducing the flow of gas in 1 and suppressing fluctuations in the outer diameter of an optical fiber (see, for example, Patent Document 1).
In addition, as shown in FIG. 12, pressure monitoring means 6 for monitoring the pressure fluctuation of the pressure in the furnace gas is provided near the upper end of the drawing furnace 5, and gas is supplied into the furnace based on a command from the pressure monitoring means 6. There is also known a technique that reduces the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 5 and suppresses the fluctuation of the outer diameter of the optical fiber by adjusting the amount of gas blown by the gas flow rate adjusting means 7 that blows in (for example, patents). Reference 2).

特開平８−１８８４４０号公報JP-A-8-188440 特開２０００−６３１４２号公報JP 2000-63142 A

ところで、特許文献１においては、線引き炉１の上端開口部２に、シャッタリング３及びシールリング４を設置したとしても、線引き炉１の上下端部には、光ファイバ母材を支持する支持棒及び引き延ばしたガラスファイバを通すための開口部が存在している。そのため、線引き炉１内の不活性ガス雰囲気と外部雰囲気との間を完全にシールすることはできず、外部雰囲気である製造設備室内の気圧に大きな圧力変動が生じた際に、線引き炉１から流出する不活性ガスの流量に変化が生じ、線引き炉１内の気圧の圧力変動が生じて光ファイバの外径変動が発生してしまう。 By the way, in Patent Document 1, even if the shutter ring 3 and the seal ring 4 are installed in the upper end opening 2 of the drawing furnace 1, the upper and lower ends of the drawing furnace 1 support rods for supporting the optical fiber preform. And an opening through which the stretched glass fiber is passed. Therefore, it is impossible to completely seal between the inert gas atmosphere in the drawing furnace 1 and the external atmosphere, and when a large pressure fluctuation occurs in the atmospheric pressure in the manufacturing equipment chamber that is the external atmosphere, the drawing furnace 1 A change occurs in the flow rate of the inert gas flowing out, a pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 1 occurs, and a fluctuation in the outer diameter of the optical fiber occurs.

また、特許文献２においては、圧力監視手段６からの指令に基づいて炉内へのガスの吹き込み量を調整することにより、線引き炉５内の気圧の圧力変動を抑制することができる。しかし、例えば、外部雰囲気である製造設備室内の気圧に大きな圧力変動が生じた際に、線引き炉５内の気圧の圧力変動を抑制するために不活性ガスの吹き込み量が調整されると、温度の低い不活性ガスの吹き込み量の増減により光ファイバ母材の溶融部にて温度変動が発生する。これにより、光ファイバ母材の溶け方が変動し、やはり、光ファイバの外径変動が生じてしまう。 Moreover, in patent document 2, the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 5 can be suppressed by adjusting the amount of gas blown into the furnace based on the command from the pressure monitoring means 6. However, for example, when a large pressure fluctuation occurs in the atmospheric pressure in the manufacturing equipment chamber which is an external atmosphere, the temperature of the inert gas blown is adjusted in order to suppress the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 5. Fluctuations in temperature occur in the melted portion of the optical fiber preform due to the increase or decrease in the amount of low inert gas blown. As a result, the melting method of the optical fiber preform changes, and the outer diameter of the optical fiber also varies.

この発明は、線引き炉内の気圧の圧力変動を抑制し、外径変動を極力抑えて高品質な光ファイバを製造することが可能な光ファイバの製造方法を提供することを目的としている。 An object of the present invention is to provide an optical fiber manufacturing method capable of manufacturing a high-quality optical fiber by suppressing pressure fluctuations of the atmospheric pressure in the drawing furnace and suppressing fluctuations in the outer diameter as much as possible.

上記目的を達成するために、本発明の光ファイバの製造方法は、ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽圧に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の圧力変動速度が３Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が５Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造することを特徴とする。 In order to achieve the above object, an optical fiber manufacturing method according to the present invention is a manufacturing equipment room in which a drawing furnace for manufacturing an optical fiber by drawing a glass base material is installed, and the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room is set as described above. In the manufacturing equipment room maintained at a positive pressure relative to the atmospheric pressure outside the manufacturing equipment room, the pressure fluctuation rate of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room is 3 Pa / second or less, and inside the manufacturing equipment room An optical fiber is manufactured in the manufacturing facility room in which the amount of pressure fluctuation of one atmospheric pressure is controlled to 5 Pa or less.

また、本発明の光ファイバの製造方法は、ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽庄に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の変動速度が１０Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が３Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造することを特徴とする。 The optical fiber manufacturing method of the present invention is a manufacturing equipment room in which a drawing furnace for manufacturing an optical fiber by drawing a glass base material is installed, and the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room is set outside the manufacturing equipment room. In the manufacturing equipment room maintained positively with respect to the atmospheric pressure, the fluctuation speed of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room is 10 Pa / sec or less, and the pressure of one atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room An optical fiber is manufactured in the manufacturing facility room in which the fluctuation amount is controlled to 3 Pa or less.

本発明の光ファイバの製造方法によれば、線引き炉内の気圧の圧力変動を抑制し、外径変動を極力抑えて高品質な光ファイバを製造することができる。 According to the method for manufacturing an optical fiber of the present invention, it is possible to manufacture a high-quality optical fiber by suppressing the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace and suppressing the outer diameter fluctuation as much as possible.

第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing equipment which can apply the manufacturing method of the optical fiber which concerns on 1st Embodiment. 製造設備内に設置された光ファイバの線引き装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the optical fiber drawing apparatus installed in the manufacturing facility. 出入り口に設けた自動開閉扉を説明する正面図である。It is a front view explaining the automatic opening / closing door provided in the doorway. 製造設備室内の気圧の圧力変動速度と光ファイバの外径変動量との関係を示すグラフ図である。It is a graph which shows the relationship between the pressure fluctuation speed of the atmospheric | air pressure in a manufacturing equipment room, and the outer diameter fluctuation amount of an optical fiber. 製造設備室内の気圧の圧力変動量と光ファイバの外径変動量との関係を示すグラフ図である。It is a graph which shows the relationship between the pressure fluctuation amount of the atmospheric | air pressure in a manufacturing equipment room, and the outer diameter fluctuation amount of an optical fiber. 第３の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing equipment which can apply the manufacturing method of the optical fiber which concerns on 3rd Embodiment. 第４の実施形態における回転扉機構の構造を説明する平面図である。It is a top view explaining the structure of the rotary door mechanism in 4th Embodiment. 第５の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing equipment which can apply the manufacturing method of the optical fiber which concerns on 5th Embodiment. 第６の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing equipment which can apply the manufacturing method of the optical fiber which concerns on 6th Embodiment. 第７の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing equipment which can apply the manufacturing method of the optical fiber which concerns on 7th Embodiment. 従来技術を説明する線引き炉の要部の断面図である。It is sectional drawing of the principal part of the drawing furnace explaining a prior art. 従来技術を説明する線引き炉の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the drawing furnace explaining a prior art.

[本願発明の実施形態の説明]
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。
本願発明の実施形態に係る光ファイバの製造方法は、
（１）ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽圧に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の圧力変動速度が３Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が５Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造する。
線引き炉内の気圧の圧力変動を引き起こす要因を低減させることにより、ガラス母材の溶融部における温度変化を生じさせることなく線引き炉内の気圧の圧力変動を抑制し、外径変動を極力抑えて高品質な光ファイバを製造することができる。 [Description of Embodiment of Present Invention]
First, the contents of the embodiments of the present invention will be listed and described.
An optical fiber manufacturing method according to an embodiment of the present invention is as follows.
(1) In a manufacturing facility room in which a drawing furnace for manufacturing an optical fiber by drawing a glass base material is installed, the pressure inside the manufacturing facility room is maintained at a positive pressure with respect to the pressure outside the manufacturing facility room. In the manufacturing equipment room, the pressure fluctuation speed of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room is 3 Pa / second or less, and the pressure fluctuation amount of one atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room is controlled to 5 Pa or less. An optical fiber is manufactured in the manufacturing equipment room.
By reducing factors that cause pressure fluctuations in the pressure inside the drawing furnace, pressure fluctuations in the pressure inside the drawing furnace are suppressed without causing temperature changes in the melting part of the glass base material, and fluctuations in the outer diameter are minimized. High quality optical fiber can be manufactured.

本願発明の実施形態に係る光ファイバの製造方法は、
（２）ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽庄に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の変動速度が１０Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が３Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造することを特徴とする。
上記（１）と同様に、線引き炉内の気圧の圧力変動を引き起こす要因を低減させることにより、ガラス母材の溶融部における温度変化を生じさせることなく線引き炉内の気圧の圧力変動を抑制し、外径変動を極力抑えて高品質な光ファイバを製造することができる。 An optical fiber manufacturing method according to an embodiment of the present invention is as follows.
(2) In a manufacturing facility room in which a drawing furnace for manufacturing an optical fiber by drawing a glass base material is installed, the pressure inside the manufacturing facility room is maintained positive with respect to the pressure outside the manufacturing facility room. Further, in the manufacturing equipment room, the fluctuation speed of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room was controlled to 10 Pa / second or less, and the pressure fluctuation amount of one atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room was controlled to 3 Pa or less. An optical fiber is manufactured in the manufacturing facility room.
Similarly to the above (1), by reducing the factor causing the pressure fluctuation of the pressure inside the drawing furnace, the pressure fluctuation of the pressure inside the drawing furnace is suppressed without causing a temperature change in the melting portion of the glass base material. In addition, it is possible to manufacture a high-quality optical fiber while suppressing fluctuations in the outer diameter as much as possible.

（３）前記製造設備室の内部と外部とを連通・遮断する開閉機構の開閉速度を制御することで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
製造設備室内の気圧を管理しながら光ファイバを製造することにより、光ファイバの外径変動を確実に抑制することができるためである。 (3) It is preferable to manufacture an optical fiber by controlling the air pressure inside the manufacturing equipment room by controlling the opening and closing speed of an opening and closing mechanism that communicates and blocks the inside and outside of the manufacturing equipment room.
This is because the fluctuation of the outer diameter of the optical fiber can be reliably suppressed by manufacturing the optical fiber while managing the atmospheric pressure in the manufacturing facility room.

（４）前記製造設備室の内部と外部の間にダンパー式扉の付いた通気口を設けることで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
ダンパー式扉を用いることで、製造設備室の内部と外部との差圧を設定した値に維持することが出来るため、製造設備室内の気圧管理が容易となり、光ファイバの外径変動を抑制することができるためである。 (4) It is preferable to manufacture an optical fiber by controlling the air pressure inside the manufacturing equipment room by providing a vent with a damper door between the inside and outside of the manufacturing equipment room.
By using a damper door, the pressure difference between the inside and outside of the manufacturing equipment room can be maintained at a set value, making it easy to manage the pressure inside the manufacturing equipment room and suppressing fluctuations in the outer diameter of the optical fiber. Because it can.

（５）前記製造設備室の内部と外部との間に、複数の区画部を有した回転扉機構を設け、いずれか一の区画部が前記製造設備室の内部と連通される際に、前記一の区画部と連通しない他の区画部のいずれかが前記製造設備室の外部と連通され、前記回転扉機構の回転速度を制御することで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
製造設備室の内部と外部との間に複数の区画部を設けることにより、製造設備室の内部と外部とが直接連通されないので、製造設備室への空気の流入出量を抑えることができ、製造設備室内の気圧管理を円滑に行うことができ、光ファイバの外径変動をさらに抑制することができるためである。 (5) A rotary door mechanism having a plurality of compartments is provided between the inside and outside of the manufacturing equipment room, and when any one of the compartments communicates with the inside of the manufacturing equipment room, One of the other compartments not communicating with the one compartment is communicated with the outside of the manufacturing equipment room, and controls the rotational speed of the rotary door mechanism to control the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room to control the light. It is preferred to produce a fiber.
By providing a plurality of partitions between the inside and outside of the production equipment room, the inside and outside of the production equipment room are not directly communicated, so the amount of air flowing into and out of the production equipment room can be suppressed, This is because the atmospheric pressure in the production facility room can be managed smoothly and fluctuations in the outer diameter of the optical fiber can be further suppressed.

（６）前記製造設備室の内部と外部との間に緩衝室を設け、この緩衝室の一方側で前記製造設備室の内部と連通されるとともに前記緩衝室の他方側で前記製造設備室の外部と連通されることで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
緩衝室の開閉のタイミングを制御することにより、製造設備室への空気の流入出量を大幅に抑えることができ、製造設備室内の気圧管理を円滑に行うことができ、光ファイバの外径変動をさらに抑制することができるためである。 (6) A buffer chamber is provided between the inside and outside of the manufacturing equipment room, and communicates with the inside of the manufacturing equipment room on one side of the buffer room and on the other side of the manufacturing equipment room. It is preferable to manufacture an optical fiber by controlling the atmospheric pressure inside the manufacturing facility room by communicating with the outside.
By controlling the opening and closing timing of the buffer chamber, the amount of air flowing into and out of the manufacturing equipment room can be greatly reduced, the air pressure inside the manufacturing equipment room can be managed smoothly, and the outer diameter of the optical fiber fluctuates. This is because it can be further suppressed.

（７）前記線引き炉の上部開口及び下部開口の少なくとも一方をチャンバで覆い、前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
（８）前記線引き炉全体をチャンバで覆い、前記製造設備室及びチャンバの内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
これらの構成によれば、製造設備室内の気圧の圧力変動による線引き炉内の気圧への影響がさらに低減され、光ファイバの外径変動をさらに低減させることができる。 (7) Preferably, at least one of an upper opening and a lower opening of the drawing furnace is covered with a chamber, and an optical fiber is manufactured by managing the atmospheric pressure inside the manufacturing facility room.
(8) It is preferable that the drawing furnace is entirely covered with a chamber, and an optical fiber is manufactured by controlling the pressure inside the manufacturing equipment room and the chamber.
According to these configurations, the influence on the atmospheric pressure in the drawing furnace due to the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the manufacturing facility room can be further reduced, and the outer diameter fluctuation of the optical fiber can be further reduced.

[本願発明の実施形態の詳細]
以下、本発明を実施するための実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図、図２は、製造設備内に設置された光ファイバの線引き装置の概略構成図、図３は、出入り口に設けた自動開閉扉を説明する正面図である。
図１に示すように、光ファイバを製造する製造設備１１は、その建物１２内に、製造設備室１３及び空調機室１４を備えている。 [Details of the embodiment of the present invention]
Embodiments for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing facility to which the optical fiber manufacturing method according to the first embodiment can be applied. FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an optical fiber drawing apparatus installed in the manufacturing facility. 3 is a front view illustrating an automatic opening / closing door provided at the doorway.
As shown in FIG. 1, a manufacturing facility 11 that manufactures an optical fiber includes a manufacturing facility room 13 and an air conditioner room 14 in a building 12.

製造設備室１３は、スラブ１５によって上下方向に沿って複数階に分割されて１階区画室１３ａ、２階区画室１３ｂ及び３階区画室１３ｃとされている。これら１階区画室１３ａ、２階区画室１３ｂ及び３階区画室１３ｃは、製造設備室１３を複数階に区画するスラブ１５の連通路１５ａなどを介して互いに連通されている。なお、３階までの区画室を備えた本実施形態は一例であり、４階区画室以上の階まであっても良い。 The production facility room 13 is divided into a plurality of floors along the vertical direction by a slab 15 to be a first floor compartment 13a, a second floor compartment 13b, and a third floor compartment 13c. The first-floor compartment 13a, the second-floor compartment 13b, and the third-floor compartment 13c communicate with each other via a communication passage 15a of a slab 15 that divides the manufacturing facility room 13 into a plurality of floors. In addition, this embodiment provided with the partition room to the 3rd floor is an example, and the floor beyond the 4th floor partition room may be sufficient.

空調機室１４には、空調装置１７が設置され、この空調装置１７のダクト１８が製造設備室１３の各区画室１３ａ、１３ｂ、１３ｃに接続されている。また、各区画室１３ａ、１３ｂ、１３ｃには、それぞれ製造設備１１の外部の大気圧と各区画室１３ａ、１３ｂ、１３ｃ内との差圧を測定する差圧計１９が設置されている。これら差圧計１９は、空調装置１７の図示しないコントローラに接続され、このコントローラに測定結果を送信する。空調装置１７はこのコントローラによって管理され、製造設備室１３は大気圧に対して陽圧になるよう維持されている。 An air conditioner 17 is installed in the air conditioner room 14, and a duct 18 of the air conditioner 17 is connected to each compartment 13 a, 13 b, 13 c of the manufacturing equipment room 13. Further, in each of the compartments 13a, 13b, and 13c, a differential pressure gauge 19 that measures a differential pressure between the atmospheric pressure outside the manufacturing facility 11 and the inside of each of the compartments 13a, 13b, and 13c is installed. These differential pressure gauges 19 are connected to a controller (not shown) of the air conditioner 17 and transmit measurement results to this controller. The air conditioner 17 is managed by this controller, and the production facility room 13 is maintained at a positive pressure with respect to the atmospheric pressure.

製造設備室１３には、３階区画室１３ｃから１階区画室１３ａにわたって光ファイバの線引き装置２１が設置されている。
図２に示すように、光ファイバの線引き装置２１は、光ファイバ母材Ｇ（ガラス母材の一例）を加熱する線引き炉２２を備えている。この線引き炉２２は、内側に光ファイバ母材Ｇが供給される円筒状の炉心管２４と、この炉心管２４を囲むヒータである発熱体２３とを備えている。線引き炉２２は、発熱体２３を発熱させることで炉心管２４が昇温して、その内側の空間に加熱領域が形成される。ここでいう加熱領域とは、ガラスが軟化して線引き可能な温度となっている領域であり、例えば、１８００℃以上となっている領域である。 In the manufacturing facility room 13, an optical fiber drawing device 21 is installed from the third floor compartment 13c to the first floor compartment 13a.
As shown in FIG. 2, the optical fiber drawing device 21 includes a drawing furnace 22 that heats an optical fiber preform G (an example of a glass preform). The drawing furnace 22 includes a cylindrical core tube 24 to which an optical fiber preform G is supplied, and a heating element 23 that is a heater surrounding the core tube 24. In the drawing furnace 22, the furnace core tube 24 is heated by causing the heating element 23 to generate heat, and a heating region is formed in the space inside the furnace core tube 24. A heating area | region here is an area | region which becomes the temperature which can be drawn by softening glass, for example, is an area | region which is 1800 degreeC or more.

また、線引き炉２２には、ガス供給部Ｐが設けられ、このガス供給部Ｐから加熱領域にヘリウムやアルゴン、窒素等の不活性ガスが供給される。
光ファイバ母材Ｇは、送り手段２５によってその上部が把持されて、炉心管２４の内側の加熱領域にその下端部分が位置するように線引き炉２２内に送られる。このように、線引き炉２２内に供給された光ファイバ母材Ｇは、その下端側が加熱領域内で加熱されて軟化して溶融部となり、この溶融部から下方に引き延ばされて細径化し、ガラスファイバＧ１が形成される。 Further, the drawing furnace 22 is provided with a gas supply unit P, and an inert gas such as helium, argon, or nitrogen is supplied from the gas supply unit P to the heating region.
The upper part of the optical fiber preform G is gripped by the feeding means 25 and is sent into the drawing furnace 22 so that the lower end portion thereof is positioned in the heating region inside the furnace core tube 24. Thus, the lower end side of the optical fiber preform G supplied into the drawing furnace 22 is heated and softened in the heating region to become a melted portion, and is drawn downward from the melted portion to be reduced in diameter. A glass fiber G1 is formed.

線引き炉２２の下流側には、例えば、ヘリウムガス等のガスを用いた冷却装置２６が設けられており、線引き炉２２を出た直後のガラスファイバＧ１が数百℃から室温近くまで急速に冷却される。
また、冷却装置２６の下流側には、例えば、レーザ光式の外径測定器２７が設けられており、冷却装置２６を出たガラスファイバＧ１は、この外径測定器２７によりその外径が測定される。 On the downstream side of the drawing furnace 22, for example, a cooling device 26 using a gas such as helium gas is provided, and the glass fiber G1 immediately after exiting the drawing furnace 22 is rapidly cooled from several hundred degrees C to near room temperature. Is done.
Further, on the downstream side of the cooling device 26, for example, a laser beam type outer diameter measuring device 27 is provided, and the outer diameter of the glass fiber G1 exiting the cooling device 26 is reduced by the outer diameter measuring device 27. Measured.

外径測定器２７の下流側には、ガラスファイバＧ１に紫外線硬化型樹脂を塗布するプライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９が順に設けられている。また、これらプライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９の下流側には、紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させるための紫外線照射装置３０が設けられている。 On the downstream side of the outer diameter measuring instrument 27, a primary die 28 and a secondary die 29 for applying an ultraviolet curable resin to the glass fiber G1 are sequentially provided. Further, on the downstream side of the primary die 28 and the secondary die 29, an ultraviolet irradiation device 30 for irradiating and curing the ultraviolet curable resin with ultraviolet rays is provided.

これにより、ガラスファイバＧ１は、プライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９と紫外線照射装置３０を通過することにより、その外周側にプライマリ樹脂及びセカンダリ樹脂が塗布されて２層の被覆層が形成された光ファイバＧ２とされる。 As a result, the glass fiber G1 passes through the primary die 28, the secondary die 29, and the ultraviolet irradiation device 30, so that the primary resin and the secondary resin are applied to the outer peripheral side thereof to form a two-layer coating layer. G2.

その後、光ファイバＧ２は、紫外線照射装置３０の下流側に設けられた直下ローラ３１に巻回されて複数の導入ローラ３２に送り出される。そして、光ファイバＧ２は、これら導入ローラ３２に巻回されて案内された後、キャプスタン３３によって引き込まれ、所定の張力が加えられる。 Thereafter, the optical fiber G 2 is wound around a direct roller 31 provided on the downstream side of the ultraviolet irradiation device 30 and sent out to a plurality of introduction rollers 32. The optical fiber G2 is guided by being wound around the introduction roller 32, and then pulled in by the capstan 33 to apply a predetermined tension.

キャプスタン３３は、複数のローラ３４に巻回されたキャプスタンベルト３５と、このキャプスタンベルト３５が密着されるキャプスタンローラ３６とを有しており、これらキャプスタンベルト３５とキャプスタンローラ３６との間に光ファイバＧ２を挟持して引き込む構造とされている。
キャプスタン３３によって引き込まれた光ファイバＧ２は、ガイドローラ３７、ダンサローラ３８，３９を介して巻き取りボビン４０に送られ、この巻き取りボビン４０に巻き取られる。 The capstan 33 includes a capstan belt 35 wound around a plurality of rollers 34, and a capstan roller 36 to which the capstan belt 35 is in close contact, and the capstan belt 35 and the capstan roller 36. The optical fiber G2 is sandwiched between and pulled.
The optical fiber G2 drawn by the capstan 33 is sent to the take-up bobbin 40 via the guide roller 37 and the dancer rollers 38 and 39, and is taken up by the take-up bobbin 40.

また、製造設備室１３の１階区画室１３ａには、出入り口１６が設けられている。この出入り口１６には、図３に示すように、自動開閉扉４１が設けられている。この自動開閉扉４１は、スライド可能な左右の扉体４２と、これら扉体４２をスライドさせて出入り口１６を開閉させる駆動モータ４３を備えた開閉機構４４とから構成されている。 Further, an entrance / exit 16 is provided in the first floor compartment 13 a of the manufacturing equipment room 13. As shown in FIG. 3, an automatic opening / closing door 41 is provided at the doorway 16. The automatic opening / closing door 41 includes a slidable left and right door body 42 and an opening / closing mechanism 44 provided with a drive motor 43 that opens and closes the doorway 16 by sliding the door body 42.

次に、光ファイバＧ２を製造する場合について説明する。
まず、線引き炉２２に光ファイバ母材Ｇを投入し、発熱体２３によって加熱溶融して下方に引き延ばして細径化されたガラスファイバＧ１とする。
なお、このとき、線引き炉２２内の気圧が、製造設備室１３内の気圧よりも若干高くなるように、線引き炉２２内の加熱領域へガス供給部Ｐから不活性ガスを供給する。 Next, the case where the optical fiber G2 is manufactured will be described.
First, an optical fiber preform G is put into a drawing furnace 22, heated and melted by a heating element 23, and drawn downward to obtain a thinned glass fiber G1.
At this time, the inert gas is supplied from the gas supply unit P to the heating region in the drawing furnace 22 so that the pressure in the drawing furnace 22 is slightly higher than the pressure in the manufacturing equipment chamber 13.

次いで、ガラスファイバＧ１の外周に、プライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９によって紫外線硬化型樹脂を被覆し、さらに、紫外線照射装置３０によって紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させ、２層の樹脂が被覆された光ファイバＧ２とする。 Next, the outer periphery of the glass fiber G1 is coated with an ultraviolet curable resin by a primary die 28 and a secondary die 29, and further, the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays and cured by an ultraviolet irradiation device 30 to form a two-layer resin. Let it be a coated optical fiber G2.

その後、光ファイバＧ２を、直下ローラ３１を介して導入ローラ３２に送り出し、導入ローラ３２に巻回させる。さらにその後、光ファイバＧ２を、キャプスタン３３によって引き込んで所定の張力を加え、巻き取りボビン４０へ送り込み、巻き取りボビン４０に巻き取らせる。 Thereafter, the optical fiber G 2 is sent out to the introduction roller 32 through the direct lower roller 31 and is wound around the introduction roller 32. Thereafter, the optical fiber G 2 is drawn by the capstan 33 to apply a predetermined tension, is sent to the take-up bobbin 40, and is taken up by the take-up bobbin 40.

ここで、第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法では、光ファイバ母材ＧからガラスファイバＧ１を線引きして光ファイバＧ２とする際に、空調装置１７及び自動開閉扉４１の開閉機構４４を制御することにより、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を３Ｐａ／秒以下、かつ、製造設備室１３の内部での１回の気圧の圧力変動量を５Ｐａ以下に管理する。
つまり、外部雰囲気である製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動を極力抑えるように管理することにより、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を、不活性ガスの吹き込み量の調整によらずに光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。 Here, in the optical fiber manufacturing method according to the first embodiment, when the glass fiber G1 is drawn from the optical fiber preform G to obtain the optical fiber G2, the air conditioner 17 and the opening / closing mechanism 44 of the automatic opening / closing door 41 are used. By controlling the above, the pressure fluctuation speed of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment chamber 13 is controlled to 3 Pa / second or less, and the pressure fluctuation amount of one atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room 13 is managed to 5 Pa or less.
In other words, by managing the pressure fluctuation of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment chamber 13 that is an external atmosphere as much as possible, the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 22 can be controlled without adjusting the amount of inert gas blown in. Variations in the outer diameter of the optical fiber G2 can be suppressed.

このように、第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法によれば、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を引き起こす要因である製造設備室１３の気圧の圧力変動を低減させることにより、光ファイバ母材Ｇの溶融部の温度変化を生じさせることなく線引き炉２２内の気圧の圧力変動を抑制することができる。これにより、外径変動が極力抑えられた高品質な光ファイバＧ２を製造することができる。 Thus, according to the optical fiber manufacturing method according to the first embodiment, the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the manufacturing equipment chamber 13 which is a factor causing the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 22 is reduced. The pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 22 can be suppressed without causing a temperature change in the melted portion of the fiber preform G. Thereby, it is possible to manufacture a high-quality optical fiber G2 in which fluctuations in the outer diameter are suppressed as much as possible.

図４は、製造設備室１３内の気圧の圧力変動速度と光ファイバの外径変動量との関係を示すものであり、製造設備室１３の外部の気圧に対する製造設備室１３の内部の気圧を、＋５Ｐａとした場合のデータを示す。なお、線引き炉２２には、不活性ガスとしてヘリウムを供給した。 FIG. 4 shows the relationship between the pressure fluctuation speed of the atmospheric pressure in the manufacturing equipment room 13 and the outer diameter fluctuation amount of the optical fiber. The atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room 13 with respect to the atmospheric pressure outside the manufacturing equipment room 13 is shown. , +5 Pa data is shown. The drawing furnace 22 was supplied with helium as an inert gas.

図４に示すように、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を３Ｐａ／秒以下に管理することにより、光ファイバＧ２の外径変動を、ガラス欠陥以外で生じる外径変動の許容変動量である±０．４μｍに抑えられる。 As shown in FIG. 4, by managing the pressure fluctuation speed of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment chamber 13 to 3 Pa / sec or less, the outer diameter fluctuation of the optical fiber G2 is allowed as the allowable fluctuation of the outer diameter fluctuation caused by other than the glass defect. The amount is suppressed to ± 0.4 μm.

即ち、本実施形態では、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を抑制することができ、外径変動が極力抑えられた高品質な光ファイバＧ２を製造することができる。 That is, in this embodiment, the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 22 can be suppressed, and the high-quality optical fiber G2 with the outer diameter fluctuation suppressed as much as possible can be manufactured.

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る光ファイバの製造方法について説明する。
この第２の実施形態の場合も、第１の実施形態と同様に、まず、線引き炉２２に光ファイバ母材Ｇを投入し、線引き炉２２内の気圧が、製造設備室１３内の気圧よりも若干高くなるように、線引き炉２２内の加熱領域へガス供給部Ｐから不活性ガスを供給しながら発熱体２３によって光ファイバ母材Ｇを加熱溶融して下方に引き延ばして細径化されたガラスファイバＧ１とする。 (Second Embodiment)
Next, an optical fiber manufacturing method according to the second embodiment will be described.
Also in the case of the second embodiment, as in the first embodiment, first, the optical fiber preform G is introduced into the drawing furnace 22 so that the atmospheric pressure in the drawing furnace 22 is higher than the atmospheric pressure in the manufacturing equipment chamber 13. Also, the optical fiber preform G was heated and melted by the heating element 23 while being supplied with an inert gas from the gas supply part P to the heating region in the drawing furnace 22 so that the diameter was reduced. The glass fiber G1.

次いで、ガラスファイバＧ１の外周に、プライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９によって紫外線硬化型樹脂を被覆し、さらに、紫外線照射装置３０によって紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させ、２層の樹脂が被覆された光ファイバＧ２とする。その後、光ファイバＧ２を、直下ローラ３１を介して導入ローラ３２に送り出し、導入ローラ３２に巻回させる。さらにその後、光ファイバＧ２を、キャプスタン３３によって引き込んで所定の張力を加え、巻き取りボビン４０へ送り込み、巻き取りボビン４０に巻き取らせる。
なお、製造設備室１３の内部の気圧は、製造設備室１３の外部の気圧に対して陽圧を維持しておく。 Next, the outer periphery of the glass fiber G1 is coated with an ultraviolet curable resin by a primary die 28 and a secondary die 29, and further, the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays and cured by an ultraviolet irradiation device 30 to form a two-layer resin. Let it be a coated optical fiber G2. Thereafter, the optical fiber G 2 is sent out to the introduction roller 32 through the direct lower roller 31 and is wound around the introduction roller 32. Thereafter, the optical fiber G 2 is drawn by the capstan 33 to apply a predetermined tension, is sent to the take-up bobbin 40, and is taken up by the take-up bobbin 40.
The atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room 13 is maintained at a positive pressure relative to the atmospheric pressure outside the manufacturing equipment room 13.

ここで、この第２の実施形態に係る光ファイバの製造方法では、空調装置１７及び自動開閉扉４１の開閉機構４４を制御することにより、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を１０Ｐａ／秒以下とし、かつ、製造設備室１３の内部での１回の気圧の圧力変動量を３Ｐａ以下に管理して製造設備室１３内にて光ファイバＧ２を製造する。
つまり、外部雰囲気である製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動を極力抑えるように管理することにより、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を、不活性ガスの吹き込み量の調整によらずに光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。 Here, in the optical fiber manufacturing method according to the second embodiment, the pressure fluctuation rate of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment chamber 13 is set to 10 Pa by controlling the air conditioner 17 and the opening / closing mechanism 44 of the automatic opening / closing door 41. The optical fiber G2 is manufactured in the manufacturing equipment room 13 by controlling the pressure fluctuation amount of one atmospheric pressure in the manufacturing equipment room 13 to 3 Pa or less.
In other words, by managing the pressure fluctuation of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment chamber 13 that is an external atmosphere as much as possible, the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 22 can be controlled without adjusting the amount of inert gas blown in. Variations in the outer diameter of the optical fiber G2 can be suppressed.

このように、第２の実施形態に係る光ファイバの製造方法の場合も、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を引き起こす要因である製造設備室１３の気圧の圧力変動を低減させることにより、光ファイバ母材Ｇの溶融部の温度変化を生じさせることなく線引き炉２２内の気圧の圧力変動を抑制することができる。これにより、外径変動が極力抑えられた高品質な光ファイバＧ２を製造することができる。 Thus, also in the case of the optical fiber manufacturing method according to the second embodiment, by reducing the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the manufacturing equipment chamber 13 which is a factor causing the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 22, The pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 22 can be suppressed without causing a temperature change in the melted portion of the fiber preform G. Thereby, it is possible to manufacture a high-quality optical fiber G2 in which fluctuations in the outer diameter are suppressed as much as possible.

図５は、製造設備室１３内の気圧の圧力変動量と光ファイバの外径変動量との関係を示すものであり、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を１０Ｐａ／秒とした場合のデータを示す。なお、図４と同様に、線引き炉２２には、不活性ガスとしてヘリウムを供給した。
図５に示すように、製造設備室１３の気圧の圧力変動量が３Ｐａを越えると、光ファイバＧ２の外径変動量が許容変動量である０．４μｍを越えてしまう。
つまり、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を１０Ｐａ／秒以下とし、かつ、製造設備室１３の内部での１回の気圧の圧力変動量を３Ｐａ以下に管理しながら光ファイバＧ２を製造することにより、光ファイバＧ２の外径変動を±０．４μｍに抑えることができ、高品質な光ファイバＧ２を製造することができる。 FIG. 5 shows the relationship between the pressure fluctuation amount of the atmospheric pressure in the manufacturing equipment room 13 and the outer diameter fluctuation quantity of the optical fiber, and the pressure fluctuation speed of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room 13 is set to 10 Pa / sec. The data of the case is shown. As in FIG. 4, helium was supplied to the drawing furnace 22 as an inert gas.
As shown in FIG. 5, when the pressure fluctuation amount of the atmospheric pressure in the manufacturing equipment chamber 13 exceeds 3 Pa, the outer diameter fluctuation amount of the optical fiber G2 exceeds the allowable fluctuation amount of 0.4 μm.
That is, the pressure fluctuation speed of the atmospheric pressure inside the manufacturing equipment chamber 13 is set to 10 Pa / second or less, and the pressure fluctuation amount of one atmospheric pressure inside the manufacturing equipment room 13 is controlled to 3 Pa or less to control the optical fiber G2. By manufacturing, the outer diameter fluctuation of the optical fiber G2 can be suppressed to ± 0.4 μm, and a high-quality optical fiber G2 can be manufactured.

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
この第３の実施形態では、製造設備室１３の内部と外部の間にダンパー式扉の付いた通気口Ｄを備えている。
図６は、第３の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。
図６に示すように、製造設備１１Ａは、製造設備室１３の１階区画室１３ａの内部と１階区画室１３ａの問の隔壁上にダンパー式扉の付いた通気口Ｄを備えている。このダンパーとしてクリフ株式会社製微庄調整ダンパーを使用した。
この微圧調整ダンパーを使用することで、製造設備室１３内と製造設備室１３外の差圧を設定した値に維持することが出来るので、製造設備室１３内の気圧管理が容易となり、光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。 (Third embodiment)
Next, an optical fiber manufacturing method according to the third embodiment will be described.
In the third embodiment, a vent D with a damper door is provided between the inside and the outside of the manufacturing equipment chamber 13.
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing facility to which the optical fiber manufacturing method according to the third embodiment can be applied.
As shown in FIG. 6, the manufacturing facility 11 A includes a vent D with a damper door on the inside of the first floor compartment 13 a of the manufacturing facility room 13 and on the partition walls of the first floor compartment 13 a. As this damper, a Shosho adjustment damper manufactured by Cliff Corporation was used.
By using this fine pressure adjusting damper, the pressure difference between the manufacturing equipment room 13 and the outside of the manufacturing equipment room 13 can be maintained at a set value. Variations in the outer diameter of the fiber G2 can be suppressed.

（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
この第４の実施形態では、自動開閉扉として回転扉機構を備えている。
図７は、回転扉機構の構造を説明する平面図である。
図７に示すように、回転扉機構５１は、出入り口１６の両側部に設けられた平面視円弧状の隔壁５２と、この隔壁５２の間に回転可能に設けられた連通機構５３とを備えている。連通機構５３は、平面視放射状に配置された複数の扉体５４を備えている。そして、この回転扉機構５１では、連通機構５３の扉体５４同士の間が扇状の区画部５５とされている。いずれか一つの区画部５５が製造設備室１３の内部と連通された際に、その一つの区画部５５が連通しない他の区画部５５の一つが製造設備室１３の外部と連通する。つまり、出入り口１６では、製造設備室１３の内部と外部とが直接連通しないようになっている。 (Fourth embodiment)
Next, an optical fiber manufacturing method according to the fourth embodiment will be described.
In the fourth embodiment, a revolving door mechanism is provided as an automatic opening / closing door.
FIG. 7 is a plan view for explaining the structure of the rotary door mechanism.
As shown in FIG. 7, the rotary door mechanism 51 includes a partition wall 52 having a circular arc shape in plan view provided on both sides of the doorway 16 and a communication mechanism 53 provided rotatably between the partition walls 52. Yes. The communication mechanism 53 includes a plurality of door bodies 54 arranged radially in plan view. In the rotary door mechanism 51, a space between the door bodies 54 of the communication mechanism 53 is a fan-shaped partition portion 55. When any one of the compartments 55 communicates with the inside of the manufacturing equipment chamber 13, one of the other compartments 55 that does not communicate with the one compartment 55 communicates with the outside of the manufacturing equipment room 13. That is, at the doorway 16, the inside and outside of the manufacturing equipment room 13 are not directly communicated.

そして、この回転扉機構５１を備えた場合は、連通機構５３の回転速度を制御して、製造設備室１３内の気圧を管理しながら光ファイバＧ２を製造することにより、光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。
特に、この回転扉機構５１では、製造設備室１３の内部と外部とが直接連通されないので、出入り口１６における空気の流入出量を抑えることができる。そのため、製造設備室１３内の気圧管理を円滑に行うことができ、光ファイバＧ２の外径変動をさらに抑制することができる。 And when this rotary door mechanism 51 is provided, the outer diameter of the optical fiber G2 is manufactured by manufacturing the optical fiber G2 while controlling the rotation speed of the communication mechanism 53 and managing the atmospheric pressure in the manufacturing equipment chamber 13. Variations can be suppressed.
In particular, in the rotary door mechanism 51, the inside and outside of the manufacturing equipment chamber 13 are not directly communicated with each other, so that the amount of air flowing in and out at the entrance 16 can be suppressed. Therefore, the atmospheric pressure in the manufacturing equipment room 13 can be managed smoothly, and the outer diameter fluctuation of the optical fiber G2 can be further suppressed.

（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
図８は、第５の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。
図８に示すように、製造設備１１Ｂの建物１２の出入り口１６には、製造設備室１３の内部と外部との間に緩衝室６１が設けられている。この緩衝室６１は、製造設備室１３の内部と連通する連通口６２と、製造設備室１３の外部と連通する連通口６３とを有し、これら連通口６２、６３は、それぞれ自動開閉扉６４、６５を備えている。 (Fifth embodiment)
Next, an optical fiber manufacturing method according to the fifth embodiment will be described.
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing manufacturing equipment to which the optical fiber manufacturing method according to the fifth embodiment can be applied.
As shown in FIG. 8, a buffer chamber 61 is provided between the inside and outside of the manufacturing equipment room 13 at the entrance 16 of the building 12 of the manufacturing equipment 11 B. The buffer chamber 61 has a communication port 62 that communicates with the inside of the manufacturing facility chamber 13 and a communication port 63 that communicates with the outside of the manufacturing facility chamber 13, and these communication ports 62 and 63 each have an automatic opening / closing door 64. , 65.

そして、この緩衝室６１を備えた場合は、自動開閉扉６４、６５の開閉速度及び開閉のタイミングを制御して、製造設備室１３内の気圧を管理しながら光ファイバＧ２を製造することにより、光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。
特に、この緩衝室６１を備えた場合は、自動開閉扉６４、６５のいずれか一方だけを開閉するように開閉のタイミングを制御することにより、出入り口１６における空気の流入出量を大幅に抑えることができる。そのため、製造設備室１３内の気圧管理を円滑に行うことができ、光ファイバＧ２の外径変動をさらに抑制することができる。 And when this buffer chamber 61 is provided, by controlling the opening and closing speed and the timing of opening and closing of the automatic opening and closing doors 64 and 65, by manufacturing the optical fiber G2 while managing the atmospheric pressure in the manufacturing equipment chamber 13, Variations in the outer diameter of the optical fiber G2 can be suppressed.
In particular, when the buffer chamber 61 is provided, by controlling the opening / closing timing so that only one of the automatic opening / closing doors 64, 65 is opened / closed, the inflow / outflow amount of air at the entrance / exit 16 is greatly suppressed. Can do. Therefore, the atmospheric pressure in the manufacturing equipment room 13 can be managed smoothly, and the outer diameter fluctuation of the optical fiber G2 can be further suppressed.

（第６の実施形態）
次に、第６の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
図９は、第６の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。
図９に示すように、この実施形態の製造方法が適応可能な製造設備１１Ｃでは、光ファイバの線引き装置２１を構成する線引き炉２２の上下端に、チャンバ７１を取り付けている。これにより、この線引き炉２２は、その上部開口部及び下部開口部の周囲が、チャンバ７１によって覆われている。 (Sixth embodiment)
Next, an optical fiber manufacturing method according to the sixth embodiment will be described.
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing facility to which the optical fiber manufacturing method according to the sixth embodiment can be applied.
As shown in FIG. 9, in a manufacturing facility 11C to which the manufacturing method of this embodiment can be applied, chambers 71 are attached to upper and lower ends of a drawing furnace 22 constituting an optical fiber drawing device 21. Accordingly, the drawing furnace 22 is covered with the chamber 71 around the upper opening and the lower opening.

そして、この実施形態に係る光ファイバの製造方法では、上記のように、線引き炉２２の上部開口部及び下部開口部の周囲を、チャンバ７１によって覆った状態にて、製造設備室１３の内部の気圧を管理して光ファイバＧ２を製造する。
これにより、線引き炉２２では、製造設備室１３内の気圧の圧力変動による線引き炉２２内の気圧への影響がさらに低減され、光ファイバＧ２の外径変動をさらに低減させることができる。
なお、チャンバ７１は、線引き炉２２の上下端のいずれか一方に設けても良く、この場合も、線引き炉２２内における気圧の圧力変動を抑制することができる。 And in the manufacturing method of the optical fiber which concerns on this embodiment, in the state which covered the circumference | surroundings of the upper opening part and the lower opening part of the drawing furnace 22 with the chamber 71 as mentioned above, The optical fiber G2 is manufactured by managing the atmospheric pressure.
Thereby, in the drawing furnace 22, the influence on the atmospheric | air pressure in the drawing furnace 22 by the pressure fluctuation of the atmospheric | air pressure in the manufacturing equipment chamber 13 is further reduced, and the outer-diameter fluctuation | variation of the optical fiber G2 can further be reduced.
The chamber 71 may be provided on either the upper or lower end of the drawing furnace 22, and in this case as well, the pressure fluctuation of the atmospheric pressure in the drawing furnace 22 can be suppressed.

（第７の実施形態）
次に、第７の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
図１０は、第７の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。
図１０に示すように、この実施形態の製造方法が適応可能な製造設備１１Ｄでは、光ファイバの線引き装置２１を構成する線引き炉２２全体をチャンバ８１で覆っている。そして、このチャンバ８１には、空調装置８２のダクト８３が接続されている。 (Seventh embodiment)
Next, an optical fiber manufacturing method according to the seventh embodiment will be described.
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing facility to which the optical fiber manufacturing method according to the seventh embodiment can be applied.
As shown in FIG. 10, in the manufacturing equipment 11D to which the manufacturing method of this embodiment can be applied, the entire drawing furnace 22 constituting the optical fiber drawing apparatus 21 is covered with a chamber 81. The chamber 81 is connected to a duct 83 of an air conditioner 82.

また、空調装置８２の図示しないコントローラには、チャンバ８１の内部の気圧と製造設備室１３の外部の大気圧との差圧を測定する差圧計８４が接続されている。この差圧計８４の測定結果がコントローラに送信され、この測定結果に基づいてコントローラが空調装置８２を制御する。
そして、この実施形態に係る光ファイバの製造方法では、上記のように、線引き炉２２の全体を、チャンバ８１によって覆った状態にて、製造設備室１３の内部の気圧及びチャンバ８１の内部の気圧をそれぞれ管理して光ファイバＧ２を製造する。 In addition, a controller (not shown) of the air conditioner 82 is connected to a differential pressure gauge 84 that measures a differential pressure between the atmospheric pressure inside the chamber 81 and the atmospheric pressure outside the manufacturing equipment room 13. The measurement result of the differential pressure gauge 84 is transmitted to the controller, and the controller controls the air conditioner 82 based on the measurement result.
In the optical fiber manufacturing method according to this embodiment, the air pressure inside the manufacturing equipment room 13 and the air pressure inside the chamber 81 in the state where the entire drawing furnace 22 is covered by the chamber 81 as described above. Are managed to manufacture the optical fiber G2.

これにより、線引き炉２２では、製造設備室１３内の気圧の圧力変動による線引き炉２２内の気圧への影響がさらに低減され、光ファイバＧ２の外径変動をさらに低減させることができる。 Thereby, in the drawing furnace 22, the influence on the atmospheric | air pressure in the drawing furnace 22 by the pressure fluctuation of the atmospheric | air pressure in the manufacturing equipment chamber 13 is further reduced, and the outer-diameter fluctuation | variation of the optical fiber G2 can further be reduced.

以上、本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。また、上記説明した構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等に変更することができる。 While the invention has been described in detail and with reference to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the invention. In addition, the number, position, shape, and the like of the constituent members described above are not limited to the above-described embodiments, and can be changed to a number, position, shape, and the like that are suitable for carrying out the present invention.

１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ：製造設備
１３：製造設備室
１６：出入り口
２２：線引き炉
４４：開閉機構
５１：回転扉機構
６１：緩衝室
７１、８１：チャンバ
Ｇ：光ファイバ母材（ガラス母材の一例）
Ｇ２：光ファイバ
Ｄ：通気口 11, 11A, 11B, 11C, 11D: Manufacturing equipment 13: Manufacturing equipment room 16: Entrance / exit 22: Drawing furnace 44: Opening / closing mechanism 51: Revolving door mechanism 61: Buffer room 71, 81: Chamber G: Optical fiber preform (glass Example of base material)
G2: Optical fiber D: Vent

Claims

ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽圧に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の圧力変動速度が３Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が５Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造する、光ファイバの製造方法。 In the manufacturing equipment room in which a drawing furnace for producing an optical fiber by drawing a glass base material is installed, the pressure inside the manufacturing equipment room is maintained at a positive pressure with respect to the pressure outside the manufacturing equipment room. In the equipment room, the pressure fluctuation rate of the atmospheric pressure inside the production equipment room is 3 Pa / second or less, and the pressure fluctuation amount of one atmospheric pressure inside the production equipment room is controlled to 5 Pa or less. An optical fiber manufacturing method for manufacturing an optical fiber in an equipment room.

ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽圧に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の圧力変動速度が１０Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が３Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造する、光ファイバの製造方法。 In the manufacturing equipment room in which a drawing furnace for producing an optical fiber by drawing a glass base material is installed, the pressure inside the manufacturing equipment room is maintained at a positive pressure with respect to the pressure outside the manufacturing equipment room. In the equipment room, the pressure fluctuation rate of the atmospheric pressure inside the production equipment room is 10 Pa / sec or less, and the pressure fluctuation amount of one atmospheric pressure inside the production equipment room is controlled to 3 Pa or less. An optical fiber manufacturing method for manufacturing an optical fiber in an equipment room.

前記製造設備室の内部と外部とを連通および遮断する開閉機構の開閉速度を制御することで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１または２に記載の光ファイバの製造方法。 The optical fiber is manufactured by managing the air pressure inside the manufacturing equipment room by controlling the opening and closing speed of an opening and closing mechanism that communicates and blocks the inside and outside of the manufacturing equipment room. An optical fiber manufacturing method.

前記製造設備室の内部と外部の間にダンパー式扉の付いた通気口を設けることで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１または２に記載の光ファイバの製造方法。 The optical fiber according to claim 1, wherein an optical fiber is manufactured by controlling a pressure inside the manufacturing equipment room by providing a vent with a damper door between the inside and the outside of the manufacturing equipment room. Fiber manufacturing method.

前記製造設備室の内部と外部との間に、複数の区画部を有した回転扉機構を設け、いずれか一の区画部が前記製造設備室の内部と連通される際に、前記一の区画部と連通しない他の区画部のいずれかが前記製造設備室の外部と連通され、
前記回転扉機構の回転速度を制御することで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１または２に記載の光ファイバの製造方法。 A revolving door mechanism having a plurality of compartments is provided between the inside and outside of the manufacturing equipment room, and when any one of the compartments communicates with the inside of the manufacturing equipment room, the one compartment Any of the other compartments not communicating with the part communicates with the outside of the manufacturing equipment room,
The method of manufacturing an optical fiber according to claim 1 or 2, wherein an optical fiber is manufactured by controlling an air pressure inside the manufacturing facility room by controlling a rotation speed of the rotary door mechanism.

前記製造設備室の内部と外部との間に緩衝室を設け、この緩衝室の一方側で前記製造設備室の内部と連通されるとともに前記緩衝室の他方側で前記製造設備室の外部と連通されることで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１または２に記載の光ファイバの製造方法。 A buffer chamber is provided between the inside and outside of the manufacturing equipment room, and communicates with the inside of the manufacturing equipment room on one side of the buffer room and communicates with the outside of the manufacturing equipment room on the other side of the buffer room. The manufacturing method of the optical fiber of Claim 1 or 2 which manages the atmospheric | air pressure of the said manufacturing equipment room by being manufactured, and manufactures an optical fiber.

前記線引き炉の上部開口及び下部開口の少なくとも一方をチャンバで覆い、前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１から６のいずれか一項に記載の光ファイバの製造方法。 The optical fiber according to any one of claims 1 to 6, wherein at least one of an upper opening and a lower opening of the drawing furnace is covered with a chamber, and an optical fiber is manufactured by controlling an atmospheric pressure in the manufacturing equipment room. Manufacturing method.

前記線引き炉全体をチャンバで覆い、前記製造設備室及びチャンバの内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１から６のいずれか一項に記載の光ファイバの製造方法。 The method of manufacturing an optical fiber according to any one of claims 1 to 6, wherein the entire drawing furnace is covered with a chamber, and an optical fiber is manufactured by controlling the pressure inside the manufacturing equipment room and the chamber.