JPH10132346A - Clean room/system and its control method - Google Patents
Clean room/system and its control methodInfo
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- JPH10132346A JPH10132346A JP28374196A JP28374196A JPH10132346A JP H10132346 A JPH10132346 A JP H10132346A JP 28374196 A JP28374196 A JP 28374196A JP 28374196 A JP28374196 A JP 28374196A JP H10132346 A JPH10132346 A JP H10132346A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム・
システムに関し、更に詳細には、外部からクリーンルー
ムへの汚染物侵入、又はクリーンルームから外部への汚
染物拡散を確実に防止するように改良した、特にバイオ
ハザード対策施設に最適なクリーンルーム・システムに
関するものである。[0001] The present invention relates to a clean room
More specifically, it relates to a clean room system that has been improved to ensure that contaminants do not enter the clean room from the outside or spread from the clean room to the outside. is there.
【０００２】[0002]
【従来の技術】クリーンルームとは、クリーンルームの
使用目的に応じて、クリーンルーム内の空気中の浮遊粉
塵（エアロゾル）の多寡、室内温度、室内湿度、室内圧
が一定の基準に制御されている部屋と定義され、一般
に、粉塵を嫌う半導体装置等を加工、製造するための工
業用クリーンルーム、手術室などを対象とするバイオク
リーンルーム、微生物、遺伝子等を取り扱うバイオハザ
ード対策施設及び有毒性物質等の危険な化学物質を取り
扱うケミカルハザード対策施設に大別できる。2. Description of the Related Art A clean room is a room in which the amount of floating dust (aerosol) in the air, the room temperature, the room humidity, and the room pressure are controlled according to a predetermined standard according to the purpose of use of the clean room. Defined and generally used in industrial clean rooms for processing and manufacturing semiconductor devices that dislike dust, bio-clean rooms for operating rooms, etc., bio-hazard countermeasures facilities handling microorganisms, genes, etc. It can be broadly divided into chemical hazard countermeasures facilities that handle chemical substances.
【０００３】工業用クリーンルーム及びバイオクリーン
ルームは、人体に有害で環境を汚染するような汚染物の
発生し拡散する発生、拡散源ではなく、寧ろ異物の侵入
を嫌うものを対象にしているので、室内を清浄な空気で
陽圧にして室内の空気を室内から室外に流出させること
により、室外の浮遊粉塵、微生物等の異物の侵入を防止
している。[0003] Industrial clean rooms and bio-clean rooms are not intended for the generation and diffusion of contaminants that are harmful to the human body and contaminate the environment, but rather for sources that do not like the ingress of foreign substances. Is made positive pressure with clean air to allow indoor air to flow out of the room to the outside of the room, thereby preventing the intrusion of foreign matters such as floating dust and microorganisms outside the room.
【０００４】一方、バイオハザード対策施設は、人体に
とって無害とは断言できない微生物、例えば一般病原
体、腫瘍ビールス、組換えＤＮＡ操作による組換え体等
を取り扱っている。そこで、バイオハザード対策施設で
は、バイオハザード、即ち人間が微生物感染により直接
または間接に受ける災害を防止する対策が講じられてい
て、バイオハザードが対象となる実験室等の室内を陰圧
にして、空気の流れを隙間からの漏洩も含めて室外から
室内への一方向の流れに維持し、室内のバイオハザード
源の外部漏洩を防止している。また、ケミカルハザード
対策施設は、環境を汚染し、人体にとって有害な化学物
質を取り扱っているので、バイオハザード対策施設と同
じく、実験室等の室内を陰圧にして、空気の流れを隙間
からの漏洩も含めて室外から室内への一方向の流れに維
持し、室内のケミカルハザード源の外部漏洩を防止して
いる。On the other hand, biohazard countermeasures facilities deal with microorganisms that cannot be declared harmless to the human body, such as general pathogens, tumor viruses, recombinants obtained by recombinant DNA manipulation, and the like. Therefore, in the biohazard countermeasures, measures are taken to prevent biohazard, that is, disasters that human beings receive directly or indirectly due to microbial infection, and the room such as a laboratory where the biohazard is targeted is negative pressure, The flow of air is maintained in a one-way flow from the outside to the room, including leaks from gaps, to prevent external leakage of biohazard sources in the room. In addition, chemical hazard countermeasures facilities deal with chemical substances that pollute the environment and are harmful to the human body.Therefore, similarly to biohazard countermeasures, negative pressure is applied to laboratories and other rooms to reduce the flow of air from gaps. Maintaining a one-way flow from the outside to the room, including leakage, prevents leakage of chemical hazard sources in the room to the outside.
【０００５】ここで、バイオハザード対策施設に適用さ
れる従来のクリーンルーム・システムを具体的に説明す
る。従来のクリーンルーム・システム５０は、通常、図
５に示すように、出入口５４を有するクリーンルーム５
２と、外部に通ずる出入口５８を有し、クリーンルーム
５２の出入口５４を介してクリーンルーム５２に通じる
前室５６とを備えている。前室５６は、クリーンルーム
５２の出入口５４を開放した際にも、クリーンルーム５
２と外部とが直接連通しないようにする遮断する中間領
域として設けられており、前室５６の室内圧は、−７mm
H2O 程度に維持されているクリーンルーム５２の室内圧
より高く、しかも外部の気圧より低い−３mmH2O 程度の
室内圧に維持されている。これにより、気流の流れは、
前室１８からクリーンルーム１２の方向に維持されてい
る。前室５８の出入口５６には外方に引き出し、押し戻
して、出入口５６を開閉する第１の開閉扉６０が、クリ
ーンルーム５２の出入口５４にはクリーンルーム側に押
し入れ、引き戻して、出入口５４を開閉する第２の開閉
扉６２が、それぞれ設けられている。人がクリーンルー
ム５２に出入りする際、その人は、先ず、前室５６に入
って外部とクリーンルーム５２とを遮断した後に、クリ
ーンルーム５２に入り、またクリーンルーム５２から出
るようになっている。Here, a conventional clean room system applied to a biohazard countermeasure facility will be specifically described. A conventional clean room system 50 typically includes a clean room 5 having an entrance 54, as shown in FIG.
2 and a front room 56 having an entrance 58 leading to the outside, and leading to the clean room 52 via the entrance 54 of the clean room 52. The anterior room 56 is also used when the entrance 54 of the clean room 52 is opened.
It is provided as an intermediate area that blocks the direct communication between the second chamber and the outside, and the indoor pressure of the front chamber 56 is −7 mm.
The indoor pressure of the clean room 52 which is maintained at about H 2 O is higher than the indoor pressure of the clean room 52 and is lower than the outside air pressure of about -3 mmH 2 O. As a result, the airflow is
It is maintained in the direction from the front room 18 to the clean room 12. A first opening / closing door 60 that pulls out and pushes back to the entrance 56 of the front room 58 to open and close the entrance 56 is pushed into the entrance 54 of the clean room 52 toward the clean room side, pulls back, and opens and closes the entrance 54. Two opening / closing doors 62 are provided, respectively. When a person enters or exits the clean room 52, the person first enters the front room 56 to shut off the outside from the clean room 52, and then enters the clean room 52 and exits the clean room 52.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
のクリーンルーム・システムでは、清浄であるべき前室
の空気が、クリーンルームの空気により汚染されている
という好ましくない現象が時折発生していた。前室が汚
染されていると、前室を通じて外部に汚染空気が流出す
る可能性が生じる。仮に、その発生頻度が極めて稀であ
るにしても、一旦汚染空気が外部に流出すると、重大な
環境汚染を招くおそれがある。しかも、環境汚染が発生
しても、その原因を直ちに確定することは極めて難しい
のが実情である。以上の例では、バイオハザード対策施
設を例に挙げて従来のクリーンルーム・システムの問題
を説明したが、これに限らず工業用クリーンルーム、バ
イオクリーンルームについても、空気の流れが逆方向で
あること及び外部汚染ではなくクリーンルーム汚染であ
ることを除いて同じ問題を有している。そこで、本発明
の目的は、従来のクリーンルーム・システムに比べて更
に安全性の高いクリーンルーム・システムを提供するこ
とである。However, in the above-described conventional clean room system, an undesired phenomenon that the air in the front room to be cleaned is sometimes contaminated by the air in the clean room has occasionally occurred. If the front chamber is contaminated, there is a possibility that contaminated air will flow out through the front chamber to the outside. Even if the frequency of occurrence is extremely rare, once the contaminated air flows out, serious environmental pollution may be caused. In addition, even if environmental pollution occurs, it is extremely difficult to determine the cause immediately. In the above example, the problem of the conventional clean room system was explained using the biohazard countermeasure facility as an example.However, the air flow in the industrial clean room and bio It has the same problem except that it is not a pollution but a clean room pollution. Then, an object of the present invention is to provide a clean room system with higher safety than a conventional clean room system.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、従来のク
リーンルーム・システムにおいて、前室の空気が汚染さ
れる原因を調査する過程で、クリーンルームの室内圧を
測定していたところ、前室の室内圧より低い室内圧に維
持されている筈のクリーンルームの室内圧が、クリーン
ルームの開閉扉を開いてクリーンルームに出入りする時
に、瞬間的ではあるが、上昇し、前室の室内圧より高く
なることを発見した。瞬間的にしろ、クリーンルームの
室内圧が前室の室内圧より高くなると、その瞬間、クリ
ーンルームから前室に空気が流れ、汚染物質が前室に入
る可能性があると予測できた。SUMMARY OF THE INVENTION The present inventors have measured the indoor pressure of a clean room in a conventional clean room system while measuring the cause of contamination of the air in the front room. The room pressure in the clean room, which should have been maintained at a room pressure lower than the room pressure, instantaneously rises and becomes higher than the room pressure in the front room when opening and closing the clean room by opening and closing the door of the clean room. I discovered that. Even momentarily, when the indoor pressure of the clean room became higher than the indoor pressure of the front room, it could be predicted that at that moment, air would flow from the clean room to the front room and contaminants might enter the front room.
【０００８】そこで、この事実を確認するために、以下
の実験装置を使用して、開閉扉の開閉によるクリーンル
ームの室内圧の変化を測定した。実験に供したクリーンルーム・システムの概要 クリーンルーム：容積６５．３ｍ3 の非整流方式クリーンルーム 前室 ：エアシャワー設備を備えた容積１．３ｍ3 の部屋 開閉扉 ：クリーンルームに向かって押入れ、クリーンルームから引き 戻す方式の開き戸式扉、幅０．７３ｍ×高さ１．８５ｍ 室内圧制御 ：クリーンルームの室内圧を前室より−５mmH2O 低くなるよう に制御 室内圧測定場所：クリーンルームの中央天井近傍 前室の中央天井近傍Therefore, in order to confirm this fact, the change in the indoor pressure of the clean room due to the opening and closing of the opening / closing door was measured using the following experimental apparatus. Overview clean room of clean room system that was used in the experiment: non-rectifying system clean room front chamber of the volume of 65.3m 3: room opening and closing door of the volume of 1.3m 3 having an air shower facilities: closet toward the clean room, back off from the clean room Interior door control, 0.73m wide x 1.85m high Indoor pressure control: Control the indoor pressure of the clean room to be -5mmH2O lower than the front room Indoor pressure measurement location: Near the central ceiling of the clean room Front room Near the central ceiling
【０００９】実験結果 実験により得た、開閉扉の開閉によるクリーンルームと
前室との差圧の変化は、図９に示す通りである。図９
は、横軸に時間（sec)を、縦軸に差圧（mmH2O ）をそれ
ぞれ取っている。クリーンルームの室内圧は、開閉扉を
開いた直後より差圧が減少し、約１秒後には、初期差圧
の−５mmH2O から０mmH2O に上昇し、更に陽圧側に約＋
２．５mmH2O オーバーシュートした後、約１．７秒後
に、０mmH2O の定常状態となった。６秒後に開閉扉を閉
止したところ、クリーンルームの室内圧は０mmH2O より
急激に陰圧となり、更にオーバーシュートが認められた
後、初期差圧の−５mmH2O に復帰した。本実験では、一
時的な差圧の逆転及び気流の逆転と、オーバーシュート
が、差圧制御下の２室間の開閉扉の開放直後に認められ
た。特に、オーバーシュートは開閉扉を開放する速度が
速いほど大きく、開閉扉の開く方向によってオーバーシ
ュートの方向も決まるが、初期差圧の大きさによる相違
は認められないことが確認された。また、オーバーシュ
ートの大きさは、開閉扉の開放時と閉止時で、同程度で
あることが確認された。更に、パーティクルカウンター
で開閉扉の開閉時の前室の浮遊粉塵の個数を計数したと
ころ、明らかにオーバーシュートとともに浮遊粉塵の数
が増大することが確認できた。 Experimental Results The change in the differential pressure between the clean room and the front room due to the opening and closing of the opening and closing door, obtained by the experiment, is as shown in FIG. FIG.
Indicates the time (sec) on the horizontal axis and the differential pressure (mmH 2 O) on the vertical axis. In the clean room, the pressure difference decreases immediately after the door is opened, and after about one second, increases from the initial pressure difference of −5 mmH 2 O to 0 mmH 2 O, and further increases by about +
After 2.5mmH 2 O overshoot, after about 1.7 seconds, it has become a steady state of 0mmH 2 O. After 6 seconds, the door was closed, and the indoor pressure in the clean room suddenly became negative from 0 mmH 2 O. After overshoot was recognized, the pressure returned to the initial differential pressure of −5 mmH 2 O. In this experiment, temporary reversal of differential pressure and reversal of airflow and overshoot were observed immediately after opening of the door between the two chambers under differential pressure control. In particular, the overshoot increases as the opening speed of the door increases, and the direction of the overshoot is determined by the opening direction of the door. However, it was confirmed that no difference due to the magnitude of the initial differential pressure was recognized. In addition, it was confirmed that the magnitude of the overshoot was substantially the same between when the door was opened and when it was closed. Furthermore, when the number of floating dust particles in the front room when the door was opened and closed by the particle counter was counted, it was confirmed that the number of floating dust particles clearly increased along with the overshoot.
【００１０】結論 以上のことから、開閉扉の開閉時に差圧の逆転現象、従
って空気流れの逆転現象が生じ、この結果、清浄である
べき前室がクリーンルームの空気により汚染されること
が実証できた。空気流れの逆転現象は、クリーンルーム
の室内に存在する空気の容積が、開き戸式扉の開閉によ
り瞬間的に変化する結果、室内圧が変化することによる
と推論できる。そして、本発明者らは、様々に試みた結
果、クリーンルーム及び前室をそれぞれ−７mmH2O 及び
−３mmH2O 程度の負圧に維持する従来の室内圧制御方式
では、開閉扉の開閉に際し、差圧の逆転現象及び気流の
逆転現象を防止できないことを確認した。クリーンルー
ムと前室との差圧を大きくすれば、開閉扉の開閉に際し
ても差圧の逆転現象及び気流の逆転現象は生じないと推
測されるが、実験等から、−２０mmH2O でも差圧の逆転
現象が生じることが判った。従って、逆転現象を防止す
るには、少なくとも−２０mmH2O 以上の極めて大きな差
圧を必要とするが、そうすれば、外部とクリーンルーム
との間の差圧が極めて大きくなり、クリーンルームをそ
のような大きな差圧に耐える構造にする必要が生じて、
クリーンルームの建築費が嵩み、また大きな差圧を維持
するための動力費が増大して、現実的ではない。そこ
で、本発明者らは、クリーンルームの開閉扉を、開き戸
式扉に代えて、クリーンルームの出入口を開ける際に、
クリーンルームの室内圧と前室の室内圧との間の差圧が
低下し、所定差圧と逆方向の差圧が発生する現象が生じ
ないような開閉扉、例えば引き戸式扉にしたところ、か
かる空気流れの逆転現象を防止することができることを
確認した。また、クリーンルームの開閉扉に開き戸式扉
を使用していたとしても、クリーンルームの出入口の開
閉と前室の空気の清浄化を管理することによって、一層
安全なクリーンルーム・システムを実現できることを確
認し、本発明を完成するに到った。[0010] From the above conclusions, the reverse phenomenon of the differential pressure at the time of opening and closing the door, thus resulting reversal phenomenon of the air flow, as a result, could be demonstrated that the chamber before cleaning which should be is contaminated by the air in the clean room Was. It can be inferred that the reversal phenomenon of the air flow is caused by a change in the indoor pressure as a result of a momentary change in the volume of air existing in the room of the clean room due to the opening and closing of the hinged door. Then, the present inventors have found that upon various attempts result, in a conventional room pressure control system for maintaining a clean room and the front chamber to the negative pressure in each -7MmH 2 O and -3mmH approximately 2 O is the opening and closing of the door, It was confirmed that the reversal phenomenon of the differential pressure and the reversal phenomenon of the airflow could not be prevented. By increasing the pressure difference between the clean room and the front chamber, the reverse phenomenon of inversion and airflow differential pressure also during the opening and closing of the door is presumably not caused, from experiments, the pressure difference even -20mmH 2 O It was found that a reversal phenomenon occurred. Therefore, in order to prevent the reversal phenomenon, an extremely large differential pressure of at least -20 mmH 2 O or more is required. It is necessary to make the structure that can withstand a large differential pressure,
The construction cost of the clean room increases, and the power cost for maintaining a large differential pressure increases, which is not practical. Therefore, the present inventors, when opening the door of the clean room, instead of the opening and closing door of the clean room, instead of the opening door type door,
When a differential pressure between the indoor pressure of the clean room and the indoor pressure of the front room is reduced, and a phenomenon that a differential pressure in the opposite direction to the predetermined differential pressure is not generated, such as a sliding door type door is used. It was confirmed that the reversal phenomenon of the air flow could be prevented. In addition, we confirmed that even if we used a hinged door for the opening and closing door of the clean room, we could realize a safer clean room system by controlling the opening and closing of the entrance and exit of the clean room and the purification of the air in the front room. The present invention has been completed.
【００１１】上記目的を達成するために、以上の知見に
基づいて、本発明に係るクリーンルーム・システム（以
下、第１発明と言う）は、出入口を有するクリーンルー
ムと、クリーンルームの出入口を介してクリーンルーム
に通じ、かつクリーンルームの室内圧に対して所定差圧
で室内圧が維持されている前室とを備え、前室を経由し
てクリーンルームに出入りするようにしたクリーンルー
ム・システムにおいて、クリーンルームの出入口を開け
る際に、クリーンルームの室内圧と前室の室内圧との間
の差圧が低下し、所定差圧と逆方向の差圧が発生する現
象が生じないようにしてクリーンルームの出入口を開閉
する構造の開閉扉がクリーンルームの出入口に設けられ
ていることを特徴としている。In order to achieve the above object, based on the above findings, a clean room system according to the present invention (hereinafter, referred to as a first invention) is provided for a clean room having an entrance and an entrance to a clean room through the entrance of the clean room. Opening and closing the clean room in a clean room system that includes a front room that communicates with and maintains the indoor pressure at a predetermined differential pressure with respect to the indoor pressure of the clean room, and that enters and exits the clean room via the front room. At the time, the differential pressure between the indoor pressure of the clean room and the indoor pressure of the front room is reduced, and the opening and closing of the entrance and exit of the clean room is performed so that the phenomenon of generating the differential pressure in the opposite direction to the predetermined differential pressure does not occur. The opening and closing door is provided at the entrance of the clean room.
【００１２】本発明を適用する上で、クリーンルームの
種類には制約はなく、工業用クリーンルームでも、バイ
オクリーンルームでも良いが、その安全度から言って、
特にバイオハザード対策施設、及びケミカルハザード対
策施設に最適である。前室は、部屋の種類、構造を問わ
ず、例えば、外部とクリーンルームとを結ぶ廊下等でも
良い。本発明で、「クリーンルームの室内圧と前室の室
内圧との間の差圧が低下し、所定差圧と逆方向の差圧が
発生する現象が生じないようにして」とは、所定差圧と
同じ方向の差圧をクリーンルームと前室との間で維持
し、又は所定差圧と同じ方向の差圧が低下したとして
も、少なくともクリーンルームの室内圧と前室の室内圧
とを同じ室内圧に維持することを意味する。クリーンル
ームの出入口は、人の出入口のみならず、機器を搬出入
する出入口を含む開口部を意味する。In applying the present invention, the type of clean room is not limited, and it may be an industrial clean room or a bio clean room.
It is particularly suitable for biohazard countermeasures and chemical hazard countermeasures. The front room may be, for example, a corridor connecting the outside and the clean room, regardless of the type and structure of the room. In the present invention, the phrase "prevent a phenomenon in which the pressure difference between the indoor pressure in the clean room and the room pressure in the front room decreases and a pressure difference in the opposite direction to the predetermined pressure difference occurs" occurs. Even if the differential pressure in the same direction as the pressure is maintained between the clean room and the front room, or the differential pressure in the same direction as the predetermined differential pressure is reduced, at least the indoor pressure in the clean room and the indoor pressure in the front room are the same. To maintain pressure. The doorway of the clean room means not only a doorway for people but also an opening including a doorway for carrying in and out equipment.
【００１３】クリーンルームの出入口に設ける開閉扉
は、クリーンルームの出入口を開ける際に、クリーンル
ームの室内圧と前室の室内圧との間の差圧が低下し、所
定差圧と逆方向の差圧が発生する現象が生じないように
してクリーンルームの出入口を開閉する構造の開閉扉で
あれば良く、例えば、クリーンルームと前室との境界面
に沿って平行移動して出入口を水平方向に開閉する引き
戸式扉、クリーンルームと前室との境界面に沿って出入
口を上下方向に開閉するシャター扉、回転扉を回転させ
てクリーンルームの出入口を開閉する回転式扉、及び自
動開閉式ギャラリーを備え、差圧制御されている室内圧
の陰圧側に押し入れ、引き戻して、出入口を開閉する開
き戸式扉のいずれかを使用できる。自動開閉式ギャラリ
ーを有する開き戸式扉は、換気を目的に扉の下部に設け
られているギャラリー（ドアグリルとも言われる）を備
えた開き戸式扉であって、開き戸式扉を開放する時に、
ギャラリーが開き、開き戸式扉を閉止している時には、
ギャラリーも閉止しているように自動的にギャラリーの
開度が制御されている。自動開閉式ギャラリー付き開き
戸式扉を使用する場合、工業用クリーンルーム及びバイ
オクリーンルームでは、クリーンルームから外側に押し
出し、引き戻して、出入口を開閉する開き戸式扉を使用
し、バイオハザード対策施設及びケミカルハザード対策
施設では、クリーンルーム内に押入れ、引き戻して、出
入口を開閉する開き戸式扉を使用する。The opening / closing door provided at the entrance of the clean room reduces the differential pressure between the indoor pressure of the clean room and the indoor pressure of the front room when opening the entrance of the clean room, and the differential pressure in the opposite direction to the predetermined differential pressure is reduced. Any door that has a structure that opens and closes the entrance of the clean room so that the phenomenon does not occur may be used.For example, a sliding door type that horizontally moves the entrance and exit by moving parallel to the boundary between the clean room and the front room. A differential pressure control system with a door, a shutter door that opens and closes the entrance vertically along the boundary between the clean room and the front room, a rotating door that rotates the rotating door to open and close the entrance to the clean room, and an automatic opening and closing gallery The door can be pushed into the negative pressure side of the indoor pressure, pulled back, and used to open and close the entrance. A hinged door with an automatic opening and closing gallery is a hinged door with a gallery (also called a door grill) provided at the bottom of the door for the purpose of ventilation, and when opening the hinged door,
When the gallery opens and the hinged door is closed,
The opening of the gallery is automatically controlled so that the gallery is also closed. When using a hinged door with an automatic opening and closing gallery, in an industrial clean room or bio-clean room, use a hinged door that pushes out of the clean room, pulls it back, and opens and closes the entrance, and is a biohazard countermeasure facility and a chemical hazard countermeasure facility. Then, we use a hinged door that pushes and pulls back into the clean room and opens and closes the entrance.
【００１４】本発明に係る別のクリーンルーム・システ
ム（以下、第２発明と言う）は、出入口を有するクリー
ンルームと、外部に通ずる出入口を備え、クリーンルー
ムの出入口を介してクリーンルームに通じ、かつクリー
ンルームの室内圧及び外部の気圧に対して所定差圧で室
内圧が維持されている前室とを備え、クリーンルームの
出入口及び前室の出入口には、それぞれ第１の開閉扉及
び第２の開閉扉が設けられているクリーンルーム・シス
テムにおいて、第１の開閉扉及び第２の開閉扉の開閉の
状態を検出して、その旨の信号を出力する扉開閉検出装
置と、第１の開閉扉及び第２の開閉扉が閉状態である旨
の信号を扉開閉検出装置から受けて第１の開閉扉及び第
２の開閉扉をそれぞれ独立に閉状態でロックし、かつロ
ックした旨の信号を出力するロック装置と、ロック装置
によるロックを解除するロック解除装置と、空気濾過装
置、空気殺菌装置及び空気洗浄装置のいずれかからなる
空気の浄化装置と、送風機と、前室、浄化装置及び送風
機を経由して空気を循環する循環経路とを有し、循環経
路を経由して前室内の空気を所定時間の間循環して前室
の空気を空気濾過装置又は空気殺菌装置により清浄化す
る空気清浄化装置と、扉開閉検出装置、ロック装置、ロ
ック解除装置及び空気清浄化装置を制御する制御装置と
を備えていることを特徴としている。Another clean room system according to the present invention (hereinafter referred to as a second invention) is provided with a clean room having an entrance and exit, and an entrance and exit leading to the outside. And a front chamber in which the indoor pressure is maintained at a predetermined differential pressure with respect to the pressure and the outside air pressure, and a first door and a second door are provided at the entrance of the clean room and the entrance of the front chamber, respectively. In a clean room system, a door open / close detection device that detects the open / close state of a first open / close door and a second open / close door and outputs a signal to that effect, a first open / close door and a second open / close door A signal indicating that the first opening / closing door and the second opening / closing door are independently locked in a closed state upon receiving a signal indicating that the opening / closing door is in a closed state from the door opening / closing detection device, and a signal indicating that the locking is performed. A lock device for outputting, a lock release device for releasing a lock by the lock device, an air purification device including any of an air filtration device, an air sterilization device, and an air cleaning device, a blower, a front chamber, a purification device, and a blower A circulation path that circulates air through the circulation path, and circulates air in the front chamber for a predetermined time via the circulation path to purify the air in the front chamber by an air filtration device or an air sterilization device. It is characterized by comprising a cleaning device, a door opening / closing detection device, a lock device, a lock release device, and a control device for controlling the air cleaning device.
【００１５】開閉扉の開閉の状態を検出する扉開閉検出
装置は、例えばリミットスイッチ、圧力スイッチ等の既
知の検出装置で構成され、開閉扉が完全閉状態になった
こと、及び開動作に入り一部でも開状態になったことを
検出できる。ロック装置及びロック解除装置も既知のも
のを使用できる。空気の浄化装置として、空気濾過装置
を使用する場合には、例えばクリーンルームの空調に広
く利用されているＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency
Particulate Air Filter、空気から微粒子を除去する高
性能フィルタ）を使用できる。また、空気殺菌装置を使
用する場合には、紫外線殺菌装置、加熱殺菌装置等を使
用できる。空気洗浄装置を使用する場合には、水、薬液
等の洗浄液を使用して空気の殺菌、除塵を行う装置を使
用する。空気清浄化装置の運転時間は、任意であって、
制御装置に設けられたタイマー等により設定される。制
御装置は、扉開閉検出装置、ロック装置、ロック解除装
置及び空気清浄化装置の個々の動作、及び相互間の協働
動作を制御する装置であって、既知の構成の制御装置を
使用できる。The door open / close detecting device for detecting the open / closed state of the open / close door is composed of a known detecting device such as a limit switch and a pressure switch. It is possible to detect that any part has been opened. Known lock devices and unlock devices can also be used. When an air filtration device is used as an air purification device, for example, a HEPA filter (High Efficiency) widely used for air conditioning in a clean room is used.
Particulate Air Filter, a high-performance filter that removes particulates from air). When an air sterilizer is used, an ultraviolet sterilizer, a heat sterilizer, or the like can be used. When an air cleaning device is used, a device that sterilizes air and removes dust using a cleaning liquid such as water or a chemical solution is used. The operation time of the air cleaning device is optional,
It is set by a timer or the like provided in the control device. The control device controls the individual operations of the door opening / closing detection device, the lock device, the unlock device, and the air purifying device, and the cooperative operation between them. A control device having a known configuration can be used.
【００１６】第２発明のクリーンルーム・システムを管
理するには、前室の出入口を経由して前室に出入りする
際、又はクリーンルームの出入口を経由してクリーンル
ームに出入りする際、第１及び第２の開閉扉のいずれか
一方の開動作は、他方の開閉扉が閉状態に維持されてい
るときにのみ可能であり、一方の開閉扉が開動作に移る
と同時に他方の開閉扉が閉状態でロックされ、かつクリ
ーンルームに出入する前後で、第１及び第２の開閉扉を
ロックした状態で所定時間空気清浄化装置が作動して前
室の空気が清浄化される。以上のように開閉扉の開閉動
作を管理し、かつクリーンルームに出入りする前後で前
室の空気を清浄化することにより、外部からクリーンル
ームに汚染空気が流入してクリーンルーム内の作業に支
障をもたらしたり、又はクリーンルームから汚染空気が
外部に流出して環境汚染を引き起こす事故を未然に防止
することができる。In order to manage the clean room system according to the second aspect of the present invention, when entering and exiting the front room through the entrance of the front room, or when entering and exiting the clean room through the entrance of the clean room, the first and second systems are controlled. The opening operation of one of the two doors is only possible when the other door is maintained in the closed state. The air purifier is operated for a predetermined time while the first and second doors are locked before and after entering and leaving the clean room, and the air in the front room is purified. By controlling the opening and closing operation of the door as described above and purifying the air in the front room before and after entering and exiting the clean room, contaminated air flows into the clean room from the outside and may hinder work in the clean room. Alternatively, it is possible to prevent accidents in which contaminated air flows out of the clean room to the outside and causes environmental pollution.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下に、添付図面を参照し、実施
例を挙げて本発明の実施の形態を具体的かつ詳細に説明
する。実施例１ 本実施例は、第１発明の実施例であって、クリーンルー
ムの室内圧の変動を引き起こさないように、クリーンル
ームの出入口に開閉扉として引き戸式扉を取り付けた例
である。本実施例のクリーンルーム・システム１０は、
図１に示すように、出入口１４を有するクリーンルーム
１２と、外部に通ずる出入口１８を有し、クリーンルー
ム１２の出入口１４を経由してクリーンルーム１２に通
じる前室１６とを備え、前室１６を経由して出入口１４
からクリーンルーム１２に出入りするようになってい
る。前室１６は、クリーンルーム１２の室内圧及び外部
の気圧に対して所定差圧を有する室内圧に維持されてい
る。クリーンルーム１２が工業用クリーンルーム及びバ
イオクリーンルームの場合、前室１６の室内圧が、外部
の気圧より高く、かつクリーンルーム１２の室内圧より
低く、一方、バイオハザード対策施設の場合には、前室
１６の室内圧が、外部の気圧より低く、かつクリーンル
ーム１２の室内圧より高くなるように設定されている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Embodiment 1 This embodiment is an embodiment of the first invention, and is an example in which a sliding door is installed as an opening / closing door at an entrance / exit of a clean room so as not to cause a change in the indoor pressure of the clean room. The clean room system 10 of the present embodiment includes:
As shown in FIG. 1, a clean room 12 having an entrance / exit 14 and a front room 16 having an entrance / exit 18 leading to the outside and communicating with the clean room 12 via the entrance / exit 14 of the clean room 12 are provided. Doorway 14
From the clean room 12. The front chamber 16 is maintained at an indoor pressure having a predetermined pressure difference with respect to the indoor pressure of the clean room 12 and the outside air pressure. When the clean room 12 is an industrial clean room and a bio-clean room, the indoor pressure of the front room 16 is higher than the outside air pressure and lower than the indoor pressure of the clean room 12, while if the clean room 12 is a biohazard countermeasure facility, the front room 16 The room pressure is set so as to be lower than the outside air pressure and higher than the room pressure of the clean room 12.
【００１８】クリーンルーム・システム１０では、引き
戸式扉２０がクリーンルーム１２の出入口１４に取り付
けらている。引き戸式扉２０は、図２に示すように、ク
リーンルーム１２の出入口１４の境界面及びクリーンル
ーム１２の壁面２２に沿って平行移動して出入口１４を
水平方向に開閉する。引き戸式扉２０を閉状態にした時
には、引き戸式扉２０が、その上下、左右で、壁との間
の間隙が例えばパッキン、空気袋の充填材２４によりに
より充填され、クリーンルーム１２と前室１６との間の
気密性が保持されているようにする。図２中、２６は引
き戸式扉２０のストッパ、２８は引き戸式扉２０の戸袋
である。尚、クリーンルーム１２と前室１６との間の差
圧の方向により、引き戸式扉２０は、クリーンルーム１
２側に設けても良く、また前室１６側に設けても良い。In the clean room system 10, a sliding door 20 is attached to the entrance 14 of the clean room 12. As shown in FIG. 2, the sliding door 20 moves in parallel along the boundary surface of the entrance 14 of the clean room 12 and the wall surface 22 of the clean room 12 to open and close the entrance 14 in the horizontal direction. When the sliding door-type door 20 is in the closed state, the gap between the sliding door-type door 20 and its upper, lower, left and right walls is filled with, for example, a packing 24 or a filling material such as an air bag. So that the airtightness between them is maintained. In FIG. 2, reference numeral 26 denotes a stopper of the sliding door type door 20, and reference numeral 28 denotes a door pocket of the sliding door type door 20. Note that, depending on the direction of the pressure difference between the clean room 12 and the front room 16, the sliding door type door 20 is connected to the clean room 1.
It may be provided on the second side or on the front room 16 side.
【００１９】前室１６の出入口１８に設ける開閉扉３０
は、前室１６の室内圧変動を抑制するために引き戸式扉
が好ましいが、特にその種類を問わず、本実施例では従
来のクリーンルーム・システムと同様に開き戸式扉を採
用している。An opening / closing door 30 provided at the entrance 18 of the front room 16
Is preferable to use a sliding door in order to suppress fluctuations in the indoor pressure of the front room 16, but the present embodiment employs a sliding door as in the conventional clean room system, regardless of the type.
【００２０】引き戸式扉２０は、クリーンルーム１２と
前室１６との境界面に沿って平行移動することによって
出入口１２を開閉するので、クリーンルーム１２内の空
気の容積を瞬間的に変動させるようなことはない。よっ
て、クリーンルーム１２と前室１８との間の差圧の逆
転、従って空気流れの逆転が生じるようなことはないの
で、工業用クリーンルーム及びバイオクリーンルーム
で、前室からクリーンルームに空気流れが生じ、クリー
ンルームが浮遊粉塵等により汚染されたり、或いはバイ
オハザード対策施設で、クリーンルームから前室に病原
菌等が流れ出て、前室が汚染されるようなことはない。The sliding door 20 opens and closes the entrance 12 by moving in parallel along the boundary between the clean room 12 and the front room 16, so that the volume of air in the clean room 12 is instantaneously changed. There is no. Therefore, the reversal of the pressure difference between the clean room 12 and the front room 18 and hence the reversal of the air flow do not occur, so that in the industrial clean room and bioclean room, the air flow is generated from the front room to the clean room, Is not contaminated by airborne dust or the like, or pathogens flow out from a clean room into a front room in a biohazard countermeasure facility, and the front room is not contaminated.
【００２１】実施例１の改変例１ 本改変例は、クリーンルームの室内圧の変動を引き起こ
さないように、クリーンルームの出入口に開閉扉として
回転式扉を取り付けた例である。本改変例のクリーンル
ーム・システムでは、図３に示すように、実施例１の引
き戸式扉に代えて、クリーンルーム１２の出入口１４に
開閉扉として回転式扉３２が取り付けられている。回転
式扉３２は、筒状の囲い３４内に設けられた回転軸３６
から例えば３枚の扉３８を１２０°間隔で半径方向に取
り付け、扉３８を回転軸３６の周りに回転させることに
より出入口１４を開閉する扉であって、筒状の囲い３４
はその外側部分３４ａが固定され、内側部分３４ｂが周
方向に開閉する。回転式扉３２は、筒状の囲い３４を周
方向に開閉し、扉３８を回動して出入りするので、出入
りに際し、クリーンルーム１２の容積を一定に維持し、
従って室内圧を変動させるようなことがない。よって、
実施例１と同様にクリーンルームから前室に、又は前室
からクリーンルームに汚染物質が移動することがない。 Modification Example 1 of Embodiment 1 This modification example is an example in which a rotating door is mounted as an opening / closing door at an entrance / exit of a clean room so as not to cause fluctuation in the indoor pressure of the clean room. In the clean room system of this modification, as shown in FIG. 3, a rotary door 32 is attached to the entrance 14 of the clean room 12 as an opening / closing door, instead of the sliding door of the first embodiment. The rotary door 32 includes a rotary shaft 36 provided in a cylindrical enclosure 34.
For example, three doors 38 are attached in the radial direction at 120 ° intervals, and the door 38 is opened and closed by rotating the door 38 around a rotation axis 36.
The outer part 34a is fixed, and the inner part 34b opens and closes in the circumferential direction. The rotating door 32 opens and closes the cylindrical enclosure 34 in the circumferential direction, and rotates the door 38 to enter and exit, so that when entering and exiting, the volume of the clean room 12 is kept constant,
Therefore, there is no fluctuation of the indoor pressure. Therefore,
As in the first embodiment, no contaminants move from the clean room to the front room or from the front room to the clean room.
【００２２】実施例１の改変例２ 本改変例は、実施例１の更に別の改変例であって、クリ
ーンルームの室内圧の変動を引き起こさないように、ク
リーンルームの出入口に開閉扉として自動開閉式ギャラ
リーを有する開き戸式扉４２を取り付けた例である。本
改変例のクリーンルーム・システムでは、実施例１の引
き戸式扉に代えて、クリーンルーム１２の出入り口１４
に開閉扉として、図４に示すような自動開閉式ギャラリ
ー４４を有する開き戸式扉４２が取り付けられている。
ギャラリー４４は、ドアグリルとも言われ、換気を目的
に扉の下部に設けられていて、通常、開度は固定である
が、本実施例では開き戸式扉４２の開閉動作時に、ギャ
ラリー４４が自動的に開き、開き戸式扉４２を閉止した
時には、ギャラリー４４が自動的に閉止するように制御
されている。図４中、４６はドアノブである。本改変例
では、扉の開閉動作時にギャラリー４４が自動的に開い
て、空気の過不足、即ち室内圧を調整するので、出入り
に際し、クリーンルーム１２及び前室１６の室内圧が変
動するようなことがなく、従って、差圧が正常に維持さ
れ、実施例１と同様にクリーンルーム１２から前室１６
に、又は前室１６からクリーンルーム１２に汚染物質が
移動することがない。 Modified Example 2 of Embodiment 1 This modified example is still another modified example of Embodiment 1, in which an automatic opening / closing door is provided at the entrance and exit of the clean room so as not to cause fluctuation in the indoor pressure of the clean room. This is an example in which a hinged door 42 having a gallery is attached. In the clean room system of this modification, the entrance 14 of the clean room 12 is replaced with the sliding door of the first embodiment.
A door 42 having an automatic opening / closing gallery 44 as shown in FIG.
The gallery 44 is also referred to as a door grill, and is provided at the lower part of the door for the purpose of ventilation. The opening is usually fixed, but in this embodiment, the gallery 44 is automatically opened and closed when the door 42 is opened and closed. When the door 42 is closed, the gallery 44 is automatically closed. In FIG. 4, reference numeral 46 denotes a door knob. In this modified example, the gallery 44 is automatically opened when the door is opened and closed, and the air pressure is adjusted to be sufficient or insufficient, that is, the indoor pressure is adjusted. Therefore, the differential pressure is maintained normally, and the clean room 12 to the front room 16
Or no contaminants move from the front room 16 to the clean room 12.
【００２３】実施例２ 本実施例は、第２発明の実施例であって、たとえクリー
ンルームの室内圧の変動が生じても、クリーンルームか
ら前室への汚染物の拡散、或いは前室からクリーンルー
ムへの汚染物の侵入が生じないようにしたクリーンルー
ム・システムの例である。本実施例のクリーンルーム・
システム６０は、図５に示す従来のクリーンルーム・シ
ステム５０の構成に加えて、更に、図６に示すように、
第１の開閉扉６０及び第２の開閉扉６２の開閉状態を検
出して、その旨の信号を出力する扉開閉検出装置６４
（以下、簡単に検出装置６４と言う）と、第１の開閉扉
６０及び第のに開閉扉６２をそれぞれ独立に閉状態でロ
ックし、かつロックした旨の信号を出力するロック装置
６６と、ロック装置６６のロックを解除するロック解除
装置６８と、前室５８の空気を循環、清浄化する空気清
浄化装置７０と、制御装置７２とを備えている。 Embodiment 2 This embodiment is an embodiment of the second invention. Even if the indoor pressure of the clean room fluctuates, the diffusion of contaminants from the clean room to the front room or from the front room to the clean room. This is an example of a clean room system in which no contaminants enter. The clean room of this embodiment
The system 60 includes, in addition to the configuration of the conventional clean room system 50 shown in FIG.
A door opening / closing detection device 64 that detects the opening / closing state of the first opening / closing door 60 and the second opening / closing door 62 and outputs a signal to that effect.
A lock device 66 that locks the first door 60 and the second door 62 independently in a closed state, and outputs a signal indicating that the door is locked, An unlocking device 68 for unlocking the lock device 66, an air cleaning device 70 for circulating and cleaning the air in the front chamber 58, and a control device 72 are provided.
【００２４】ロック装置６６は、第１の開閉扉６０及び
第２の開閉扉６２の閉状態の旨の信号を検出装置６４か
ら受けて、第１の開閉扉６０及び第のに開閉扉６２をそ
れぞれ独立に閉状態でロックし、かつロックした旨の信
号を出力する。空気清浄化装置７０は、ＨＥＰＡフィル
タ７４と、送風機７６とを有し、前室５８、ＨＥＰＡフ
ィルタ７４、及び送風機７６を経由して空気を循環する
循環配管７８とを備え、所定時間前室５８の空気を循環
しつつ、ＨＥＰＡフィルタ７２で清浄化する。尚、ＨＥ
ＰＡフィルタに代えて、水、薬液による洗浄装置、加熱
殺菌装置、ＵＶ殺菌装置、放射線殺菌装置等の空気殺菌
装置を設けても良い。The lock device 66 receives a signal indicating that the first door 60 and the second door 62 are closed from the detection device 64 and locks the first door 60 and the first door 62. Each of them is independently locked in a closed state, and outputs a signal to the effect that the lock has been achieved. The air cleaning device 70 includes a HEPA filter 74 and a blower 76, and includes a front chamber 58, a HEPA filter 74, and a circulation pipe 78 that circulates air through the blower 76. The air is circulated and the air is cleaned by the HEPA filter 72. In addition, HE
Instead of the PA filter, an air sterilizer such as a water / chemical cleaning device, a heat sterilizer, a UV sterilizer, and a radiation sterilizer may be provided.
【００２５】人がクリーンルーム５２に入る場合に、本
クリーンルーム・システム５０の出入口を管理するに
は、図７に示すように、先ず、 （１）第１のステップＳI1として、人が第１の開閉扉６
０を開けて前室５８に入った時、検出装置６４が第１の
開閉扉６０の開状態を検出して、その旨の検出信号をロ
ック装置６６に出力し、ロック装置６６が第２の開閉扉
６２を閉状態で自動的にロックする。これにより、別の
人が、クリーンルーム５２から前室５８に入ろうとして
第２の開閉扉６２を開け、瞬間的にクリーンルーム５２
と外部とが連通して汚染事故が発生するようなことが未
然に防止できる。 （２）第２のステップＳI2として、人が前室５８に入
り、第１の開閉扉６０を閉めた時、検出装置６４が第１
の開閉扉６０の閉状態を検出して、その旨の検出信号を
ロック装置６６に出力し、第１の開閉扉６０を閉状態で
自動的にロックする。これにより、次の前室清浄化ステ
ップの間に、別の人が外部から前室５８に入室して、前
室清浄化ステップの目的が果たせなくなるのを防止でき
る。 （３）第３のステップＳI3として、第１の開閉扉６０及
び第２の開閉扉６２をロックした旨のロック装置６６の
出力信号に応じて、人は前室５８にそのまま居る状態
で、空気清浄化装置７０を起動して前室５８内の空気を
所定時間、例えば３０秒間清浄化する。これにより、人
が外部から前室５８に入室した際に同伴した汚染物質を
排除することができる。[0025] When a person enters the clean room 52, to manage the doorway of the clean room system 50, as shown in FIG. 7, firstly, (1) As a first step S I1, people first Door 6
When the door is opened to enter the front chamber 58, the detecting device 64 detects the open state of the first opening / closing door 60, outputs a detection signal to that effect to the lock device 66, and the lock device 66 The door 62 is automatically locked in the closed state. As a result, another person opens the second opening / closing door 62 in order to enter the front room 58 from the clean room 52, and instantly cleans the clean room 52.
And the outside can communicate with each other to prevent a pollution accident from occurring. (2) As a second step S I2 , when a person enters the front room 58 and closes the first opening / closing door 60, the detection device 64 sets the first
And outputs a detection signal to that effect to the lock device 66 to automatically lock the first door 60 in the closed state. Accordingly, it is possible to prevent another person from entering the front room 58 from the outside during the next front room cleaning step, thereby preventing the purpose of the front room cleaning step from being fulfilled. (3) As a third step S I3 , in response to the output signal of the lock device 66 indicating that the first opening / closing door 60 and the second opening / closing door 62 have been locked, the person remains in the front room 58, The air purifying device 70 is activated to purify the air in the front chamber 58 for a predetermined time, for example, 30 seconds. This makes it possible to eliminate contaminants that accompany when a person enters the front room 58 from outside.
【００２６】（４）第４のステップＳI4として、所定時
間経過後、空気清浄化装置７０が自動的に停止し、同時
に、ロック解除装置６８が、第２の開閉扉６２のロック
を自動的に又は手動で解除する。これにより、前室５８
内の人がクリーンルーム５２に入室する準備が完了す
る。 （５）第５のステップＳI5として、人が第２の開閉扉６
２を開けてクリーンルーム５２に入室し、次いで第２の
開閉扉６２を閉じた際、検出装置６４は第２の開閉扉６
２の開状態とそれに続く閉状態とを検出して、その旨の
信号をロック装置６６に出力し、ロック装置６６は第２
の開閉扉６２を閉状態でロックする。これにより、次の
前室清浄化ステップの間に、別の人がクリーンルーム５
２から前室５８に入室して、前室清浄化ステップの目的
が果たせなくなるのを防止できる。 （６）第６のステップＳI6として、第２の開閉扉６２を
ロックした旨のロック装置６６の出力信号に応じて、空
気清浄化装置７０は起動して前室５８内の空気を所定時
間、例えば２分間清浄化する。これにより、次に人が外
部から前室５８に入った際、前室５８から外部に空気が
流れても、汚染の恐れが無くなる。 （７）第７のステップＳI7として、所定時間経過後、空
気清浄化装置７０は自動的に停止し、同時にロック解除
装置６８が第１の開閉扉６０及び第２の開閉扉６２のロ
ックを自動的に解除する。第７ステップＳI7が終了した
段階で、クリーンルーム・システム５０では次の人が再
び第１ステップＳ1 から始めることができる。(4) As a fourth step S I4 , after a lapse of a predetermined time, the air purifying device 70 automatically stops, and at the same time, the unlocking device 68 automatically locks the second opening / closing door 62. Or manually release. Thereby, the front room 58
Preparations for people inside the room to enter the clean room 52 are completed. (5) As the fifth step S I5 , the person operates the second door 6
When the second opening / closing door 62 is opened to enter the clean room 52 and then the second opening / closing door 62 is closed, the detection device 64
2 is detected, and a signal to that effect is output to the lock device 66, and the lock device 66
Is locked in the closed state. This allows another person to enter the clean room 5 during the next anteroom cleaning step.
It is possible to prevent the user from entering the front room 58 from the second room and not fulfilling the purpose of the front room cleaning step. (6) As a sixth step S I6 , in response to the output signal of the locking device 66 indicating that the second opening / closing door 62 has been locked, the air purifying device 70 is activated to release the air in the front room 58 for a predetermined time. , For example for 2 minutes. Thus, when a person enters the front room 58 from the outside next time, even if air flows from the front room 58 to the outside, there is no risk of contamination. (7) As a seventh step S I7 , after a lapse of a predetermined time, the air purifying device 70 automatically stops, and at the same time, the unlocking device 68 locks the first door 60 and the second door 62. Cancel automatically. When the seventh step S I7 has been completed, the next person in the clean room system 50 can start again from the first step S 1 .
【００２７】続いて、人がクリーンルーム５２から出る
場合に、本クリーンルーム・システム５０の出入口を管
理するには、図８に示すように、先ず、 （１）第１のステップＳO1として、人が第２の開閉扉６
２を開けて前室５８に入った時、検出装置６４が第２の
開閉扉６２の開状態を検出して、その旨の検出信号をロ
ック装置６６に出力し、ロック装置６６が第１の開閉扉
６０を閉状態で自動的にロックする。これにより、別の
人が、外部から前室５８に入ろうとして第１の開閉扉６
０を開け、瞬間的にクリーンルーム５２と外部とが連通
して汚染事故が発生するようなことが未然に防止でき
る。 （２）第２のステップＳO2として、人が前室５８に入
り、第２の開閉扉６２を閉めた時、検出装置６４が第２
の開閉扉６２の閉状態を検出して、その旨の検出信号を
ロック装置６６に出力し、第２の開閉扉６２を閉状態で
自動的にロックする。これにより、次の前室清浄化ステ
ップの間に、別の人がクリーンルーム５２から前室５８
に入室して、前室清浄化ステップの目的が果たせなくな
るのを防止できる。 （３）第３のステップＳO3として、第１の開閉扉６０及
び第２の開閉扉６２をロックした旨のロック装置６６の
出力信号に応じて、人は前室５８にそのまま居る状態
で、空気清浄化装置７０を起動して前室５８内の空気を
所定時間、例えば３０秒間清浄化する。これにより、人
がクリーンルーム５２から前室５８に入室した際に同伴
した汚染物質を排除することができる。[0027] Subsequently, when a person leaves the clean room 52, to manage the doorway of the clean room system 50, as shown in FIG. 8, first, (1) As a first step S O1, human Second door 6
When the door 2 is opened to enter the front chamber 58, the detecting device 64 detects the open state of the second opening / closing door 62, and outputs a detection signal to that effect to the lock device 66, and the lock device 66 The door 60 is automatically locked in the closed state. As a result, another person tries to enter the front room 58 from the outside by using the first opening / closing door 6.
0 can be prevented from occurring, and instantaneous communication between the clean room 52 and the outside to cause a pollution accident can be prevented. (2) As a second step S O2 , when a person enters the front room 58 and closes the second opening / closing door 62, the detecting device 64
, And outputs a detection signal to that effect to the lock device 66 to automatically lock the second door 62 in the closed state. This allows another person to move from the clean room 52 to the front room 58 during the next front room cleaning step.
To prevent the purpose of the anterior chamber cleaning step from being fulfilled. (3) As a third step S 03 , in response to the output signal of the lock device 66 indicating that the first opening / closing door 60 and the second opening / closing door 62 have been locked, the person remains in the front room 58, The air purifying device 70 is activated to purify the air in the front chamber 58 for a predetermined time, for example, 30 seconds. This makes it possible to eliminate contaminants that accompany when a person enters the front room 58 from the clean room 52.
【００２８】（４）第４のステップＳO4として、所定時
間経過後、空気清浄化装置７０が自動的に停止し、同時
に、ロック解除装置６８が、第１の開閉扉６０のロック
を自動的に又は手動で解除する。これにより、前室５８
内の人が前室５８から外部に出る準備が完了する。 （５）第５のステップＳO5として、人が第１の開閉扉６
０を開けて外部に出て、次いで第１の開閉扉６０を閉じ
た際、検出装置６４は第１の開閉扉６０の開状態とそれ
に続く閉状態とを検出して、その旨の信号をロック装置
６６に出力し、ロック装置６６は第１の開閉扉６０を閉
状態でロックする。これにより、次の前室清浄化ステッ
プの間に、別の人が外部から前室５８に入室して、前室
清浄化ステップの目的が果たせなくなるのを防止でき
る。 （６）第６のステップＳO6として、第１の開閉扉６０を
ロックした旨のロック装置６６の出力信号に応じて、空
気清浄化装置７０はその信号により起動して前室５８内
の空気を所定時間清浄化する。これにより、次に人が外
部から前室５８に入った際、前室５８から外部に空気が
流れても、汚染の恐れが無くなる。 （７）第７のステップＳO7として、所定時間経過後、空
気清浄化装置７０は自動的に停止し、同時にロック解除
装置６８が第１の開閉扉６０及び第２の開閉扉６２のロ
ックを自動的に解除する。第７ステップＳO7が終了した
段階で、クリーンルーム・システム５０では次の人が再
び第１ステップＳO1から始めることができる。(4) As a fourth step S 04 , after a lapse of a predetermined time, the air purifying device 70 automatically stops, and at the same time, the unlocking device 68 automatically locks the first door 60. Or manually release. Thereby, the front room 58
The preparation for the person inside to go outside from the front room 58 is completed. (5) As the fifth step S O5 , the person operates the first door 6
When the first opening / closing door 60 is opened and goes out, and then the first opening / closing door 60 is closed, the detecting device 64 detects the open state of the first opening / closing door 60 and the subsequent closed state, and outputs a signal to that effect. Output to the lock device 66, which locks the first opening / closing door 60 in a closed state. Accordingly, it is possible to prevent another person from entering the front room 58 from the outside during the next front room cleaning step, thereby preventing the purpose of the front room cleaning step from being fulfilled. (6) As a sixth step S 06 , in response to the output signal of the lock device 66 indicating that the first opening / closing door 60 has been locked, the air purifying device 70 is activated by the signal to activate the air in the front chamber 58. Is cleaned for a predetermined time. Thus, when a person enters the front room 58 from the outside next time, even if air flows from the front room 58 to the outside, there is no risk of contamination. (7) As a seventh step S 07 , after a lapse of a predetermined time, the air cleaning device 70 automatically stops, and at the same time, the unlocking device 68 locks the first door 60 and the second door 62. Cancel automatically. When the seventh step S O7 is completed, the next person in the clean room system 50 can start again from the first step S O1 .
【００２９】[0029]
【発明の効果】本発明の構成によれば、クリーンルーム
の出入口を開ける際に、クリーンルームの室内圧と前室
の室内圧との間の差圧が低下し、所定差圧と逆方向の差
圧が発生する現象が生じないようにしてクリーンルーム
の出入口を開閉する構造の開閉扉をクリーンルームの出
入口に設けることにより、クリーンルームの出入口の開
閉に際しても、従来のクリーンルーム・システムとは異
なり、クリーンルームへの空気の流れ、又はクリーンル
ームからの空気の流れを所定の向きに維持できるので、
外部からクリーンルームに汚染空気が流入してクリーン
ルーム内の作業に支障をもたらしたり、又はクリーンル
ームから汚染空気が外部に流出して環境汚染を引き起こ
す事故を未然に防止することができる。また、クリーン
ルーム及び前室の出入口に設けた開閉扉の開閉を管理
し、必要に応じて開閉扉を閉状態でロックし、更にクリ
ーンルームへの出入りの前後で前室の空気を清浄化する
ことにより、クリーン度の維持機能及び安全性が高いク
リーンルーム・システムを実現することができる。According to the structure of the present invention, when opening the entrance of the clean room, the differential pressure between the indoor pressure in the clean room and the indoor pressure in the front room decreases, and the differential pressure in the direction opposite to the predetermined differential pressure is reduced. By installing a door at the entrance and exit of the clean room that opens and closes the entrance and exit of the clean room in order to prevent the occurrence of phenomena that occur, unlike the conventional clean room system, even when opening and closing the entrance of the clean room, Or the flow of air from the clean room can be maintained in a predetermined direction,
It is possible to prevent the contaminated air from flowing into the clean room from the outside and hinder the operation in the clean room, or prevent the contaminated air from flowing out of the clean room to the outside to cause environmental pollution. In addition, by controlling the opening and closing of the doors provided at the entrance of the clean room and the front room, locking the doors in the closed state as necessary, and further purifying the air in the front room before and after entering and leaving the clean room. Thus, it is possible to realize a clean room system having a high cleanliness maintenance function and high safety.
【図１】本発明に係るクリーンルーム・システムの実施
例１の構成を示す模式的平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view illustrating a configuration of a clean room system according to a first embodiment of the present invention.
【図２】実施例１でクリーンルームの出入口に設けた引
き戸式扉の構成を示す引き戸式扉の模式的断面図であ
る。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the sliding door, showing the configuration of the sliding door provided at the entrance of the clean room in the first embodiment.
【図３】改変例１でクリーンルームの出入口に設けた回
転式扉の構成を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a configuration of a revolving door provided at an entrance and exit of a clean room in Modification Example 1.
【図４】改変例２にクリーンルームの出入口に設けた自
動開閉式ギャラリーを有する開き戸の構成を示す模式図
である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration of a hinged door having an automatic opening / closing gallery provided at an entrance of a clean room in Modification Example 2.
【図５】従来のクリーンルーム・システムの構成を示す
模式的平面図である。FIG. 5 is a schematic plan view showing a configuration of a conventional clean room system.
【図６】本発明に係るクリーンルーム・システムの実施
例２の構成を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing a configuration of a clean room system according to a second embodiment of the present invention.
【図７】実施例２のクリーンルーム・システムの管理方
法でクリーンルームに入る際のステップを示すブロック
・チャートである。FIG. 7 is a block chart showing steps when entering a clean room in the clean room system management method according to the second embodiment.
【図８】実施例２のクリーンルーム・システムの管理方
法においてクリーンルームから出る際のステップを示す
ブロック・チャートである。FIG. 8 is a block chart showing steps when leaving a clean room in the method for managing a clean room system according to the second embodiment.
【図９】開閉扉の開閉による差圧の変動を示すグラフで
ある。FIG. 9 is a graph showing a change in differential pressure due to opening and closing of an opening / closing door.
１０ 本発明に係るクリーンルーム・システムの実施例
１ １２ クリーンルーム １４ クリーンルームの出入口 １６ 前室 １８ 前室の出入口 ２０ 引き戸式扉 ２２ クリーンルームの壁面 ２４ 空気袋 ２６ ストッパ ２８ 引き戸式扉の戸袋 ３０ 前室の出入口に設ける開閉扉 ３２ 回転式扉 ３４ 筒状の囲い ３６ 回転軸 ３８ 扉 ４２ 自動開閉式ギャラリーを有する開き戸式扉 ４４ ギャラリー ５０ 従来のクリーンルーム・システム ５２ クリーンルーム ５４ クリーンルームの出入口 ５６ 前室 ５８ 前室の出入口 ６０ 第１の開閉扉 ６２ 第２の開閉扉 ６４ 扉開閉検出装置 ６６ ロック装置 ６８ ロック解除装置 ７０ 空気清浄化装置 ７２ 制御装置 ７４ ＨＥＰＡフィルタ ７６ 送風機 ７８ 循環配管10 Embodiment 1 of Clean Room System According to the Present Invention 12 Clean Room 14 Clean Room Entrance 16 Front Room 18 Front Room Entrance 20 Sliding Door 22 Clean Room Wall 24 Air Bag 26 Stopper 28 Sliding Door Door Strap 30 Front Room Entrance 32 Rotating door 34 Cylindrical enclosure 36 Rotating shaft 38 Door 42 Door door with automatic opening and closing gallery 44 Gallery 50 Conventional clean room system 52 Clean room 54 Clean room entrance 56 Front room 58 Front room entrance Reference Signs List 60 first opening / closing door 62 second opening / closing door 64 door opening / closing detecting device 66 locking device 68 unlocking device 70 air cleaning device 72 control device 74 HEPA filter 76 blower 78 circulation piping
Claims (7)
ーンルームの出入口を介してクリーンルームに通じ、か
つクリーンルームの室内圧に対して所定差圧で室内圧が
維持されている前室とを備え、前室を経由してクリーン
ルームに出入りするようにしたクリーンルーム・システ
ムにおいて、 クリーンルームの出入口を開ける際に、クリーンルーム
の室内圧と前室の室内圧との間の差圧が低下し、所定差
圧と逆方向の差圧が発生する現象が生じないようにして
クリーンルームの出入口を開閉する構造の開閉扉がクリ
ーンルームの出入口に設けられていることを特徴とする
クリーンルーム・システム。1. A clean room having an entrance and an entrance, and a front room communicating with the clean room through the entrance of the clean room and maintaining the indoor pressure at a predetermined pressure difference with respect to the indoor pressure of the clean room, and passing through the front room. In a clean room system in which the entrance and exit of the clean room are opened and closed, the differential pressure between the clean room indoor pressure and the front room indoor pressure decreases, and the differential pressure in the opposite direction to the predetermined differential pressure decreases. A clean room system, characterized in that an opening / closing door having a structure that opens and closes an entrance and exit of a clean room is provided at an entrance and exit of the clean room so as to prevent the occurrence of pressure.
の境界面に沿って平行移動して出入口を水平方向に開閉
する引き戸式扉、クリーンルームと前室との境界面に沿
って出入口を上下方向に開閉するシャター扉、回転扉を
回転させてクリーンルームの出入口を開閉する回転式
扉、及び自動開閉式ギャラリーを備え、差圧制御されて
いる室内圧の陰圧側に押し入れ、引き戻して、出入口を
開閉する開き戸式扉のいずれかであることを特徴とする
クリーンルーム・システム。2. The sliding door, wherein the opening and closing door moves in parallel along the boundary between the clean room and the front room to open and close the door horizontally, and moves the door up and down along the boundary between the clean room and the front room. It is equipped with a shutter door that opens and closes in the direction, a revolving door that rotates the revolving door to open and close the entrance to the clean room, and an automatic opening and closing gallery, pushes it into the negative pressure side of the indoor pressure controlled by differential pressure, pulls it back, A clean room system characterized by one of a swinging door that opens and closes.
に通ずる出入口を備え、クリーンルームの出入口を介し
てクリーンルームに通じ、かつクリーンルームの室内圧
及び外部の気圧に対して所定差圧で室内圧が維持されて
いる前室とを備え、クリーンルームの出入口及び前室の
出入口には、それぞれ第１の開閉扉及び第２の開閉扉が
設けられているクリーンルーム・システムにおいて、 第１の開閉扉及び第２の開閉扉の開閉の状態を検出し
て、その旨の信号を出力する扉開閉検出装置と、 第１の開閉扉及び第２の開閉扉が閉状態である旨の信号
を扉開閉検出装置から受けて第１の開閉扉及び第２の開
閉扉をそれぞれ独立に閉状態でロックし、かつロックし
た旨の信号を出力するロック装置と、 ロック装置によるロックを解除するロック解除装置と、 空気濾過装置、空気殺菌装置及び空気洗浄装置のいずれ
かからなる空気の浄化装置と、送風機と、前室、浄化装
置及び送風機を経由して空気を循環する循環経路とを有
し、循環経路を経由して前室内の空気を所定時間の間循
環して前室の空気を空気濾過装置又は空気殺菌装置によ
り清浄化する空気清浄化装置と、 扉開閉検出装置、ロック装置、ロック解除装置及び空気
清浄化装置を制御する制御装置とを備えていることを特
徴とするクリーンルーム・システム。3. A clean room having an entrance and an entrance and an entrance to the outside, wherein the indoor pressure is maintained at a predetermined differential pressure with respect to the indoor pressure of the clean room and the outside air pressure through the entrance and exit of the clean room. A first opening / closing door and a second opening / closing door, wherein a first opening / closing door and a second opening / closing door are provided at the entrance of the clean room and the entrance of the front room, respectively. A door opening / closing detection device that detects a door opening / closing state and outputs a signal to that effect; and a signal indicating that the first opening / closing door and the second opening / closing door are closed from the door opening / closing detection device. A locking device that locks the first opening and closing door and the second opening and closing door independently of each other in a closed state, and outputs a signal indicating that the locking is performed; A device, an air filtration device, an air purification device composed of any of an air sterilization device and an air cleaning device, a blower, and a circulating path for circulating air through the front chamber, the purification device and the blower, An air purifier that circulates air in the front room for a predetermined time via a circulation path to purify the air in the front room with an air filter or an air sterilizer, a door open / close detector, a lock device, and an unlocking device A clean room system comprising a device and a control device for controlling an air cleaning device.
開閉するシャター扉、回転式扉、開き戸式扉のいずれか
であることを特徴とする請求項３に記載のクリーンルー
ム・システム。4. The clean room system according to claim 3, wherein the opening / closing door is one of a sliding door, a shutter that opens and closes in a vertical direction, a revolving door, and a hinged door.
・システムを管理する方法であって、 前室の出入口を経由して前室に出入りする際、又はクリ
ーンルームの出入口を経由してクリーンルームに出入り
する際、第１及び第２の開閉扉のいずれか一方の開動作
は、他方の開閉扉が閉状態に維持されているときにのみ
可能であり、一方の開閉扉が開動作に移ると同時に他方
の開閉扉が閉状態でロックされ、かつクリーンルームに
出入する前後で、第１及び第２の開閉扉をロックした状
態で所定時間空気清浄化装置が作動して前室の空気が清
浄化されることを特徴とするクリーンルーム・システム
の管理方法。5. The method for managing a clean room system according to claim 3, wherein the clean room system enters or leaves the front room via an entrance of the front room, or enters or exits the clean room via the entrance of the clean room. At this time, the opening operation of either one of the first and second doors is possible only when the other door is maintained in the closed state, and at the same time when the one door moves to the opening operation, Before and after the other door is locked in the closed state and before and after entering and exiting the clean room, the air purifying device is operated for a predetermined time while the first and second doors are locked to clean the air in the front room. A method for managing a clean room system.
の開閉扉を閉状態で自動的にロックするステップと、 第１の開閉扉の閉状態を検出して、第１の開閉扉を閉状
態で自動的にロックするステップと、 第１及び第２の開閉扉をロックした旨のロック装置の出
力信号に応じて空気清浄化装置を起動して前室内の空気
を所定時間清浄化するステップと、 所定時間経過後、空気清浄化装置が自動的に停止し、同
時に第２の開閉扉のロックを解除するステップと、 第２の開閉扉の開状態とそれに続く閉状態とを検出し
て、第２の開閉扉を閉状態で自動的にロックするステッ
プと、 第２の開閉扉をロックした旨のロック装置の出力信号に
応じて空気清浄化装置を起動して前室内の空気を所定時
間清浄化するステップと、 所定時間経過後、空気清浄化装置を停止し、同時に第１
及び第２の開閉扉のロックを自動的に解除するステップ
と、 を備えていることを特徴とする請求項５に記載のクリー
ンルーム・システムの管理方法。6. Detecting the open state of the first opening / closing door,
Automatically locking the open / close door in a closed state, detecting the closed state of the first open / close door, and automatically locking the first open / close door in a closed state; Activating the air purifying device in response to the output signal of the lock device indicating that the opening / closing door has been locked, and purifying the air in the front room for a predetermined time; and after a predetermined time, the air purifying device automatically Stopping, simultaneously unlocking the second door; detecting an open state and a subsequent closed state of the second door; and automatically locking the second door in the closed state. A step of activating the air purifying device in response to an output signal of the lock device indicating that the second opening / closing door has been locked to purify the air in the front room for a predetermined time; Shut down the device and at the same time
The method according to claim 5, further comprising: automatically unlocking the second opening / closing door.
の開閉扉を閉状態で自動的にロックするステップと、 第２の開閉扉の閉状態を検出して、第２の開閉扉を閉状
態で自動的にロックするステップと、 第１及び第２の開閉扉をロックした旨のロック装置の出
力信号に応じて空気清浄化装置を起動して前室内の空気
を所定時間清浄化するステップと、 所定時間経過後、空気清浄化装置が自動的に停止し、同
時に第１の開閉扉のロックを解除するステップと、 第１の開閉扉の開状態とそれに続く閉状態とを検出して
第１の開閉扉を閉状態で自動的にロックするステップ
と、 第１の開閉扉をロックした旨のロック装置の出力信号に
応じて空気清浄化装置を起動して前室内の空気を所定時
間清浄化するステップと、 所定時間経過後、空気清浄化装置を停止し、同時に第１
及び第２の開閉扉のロックを自動的に解除するステップ
と、 を備えていることを特徴とする請求項５に記載のクリー
ンルーム・システムの管理方法。7. The first opening / closing door detects an open state of the second opening / closing door, and detects the first opening / closing door.
Automatically locking the second door in the closed state, detecting the closed state of the second door, and automatically locking the second door in the closed state, Activating the air purifying device in response to the output signal of the lock device indicating that the opening / closing door has been locked, and purifying the air in the front room for a predetermined time; and after a predetermined time, the air purifying device automatically Stopping and simultaneously unlocking the first door; detecting an open state and a subsequent closed state of the first door and automatically locking the first door in the closed state; Activating the air purifying device in response to an output signal of the lock device indicating that the first opening / closing door has been locked to purify air in the front room for a predetermined time; Stop and at the same time
The method according to claim 5, further comprising: automatically unlocking the second opening / closing door.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28374196A JPH10132346A (en) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | Clean room/system and its control method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28374196A JPH10132346A (en) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | Clean room/system and its control method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10132346A true JPH10132346A (en) | 1998-05-22 |
Family
ID=17669512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28374196A Pending JPH10132346A (en) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | Clean room/system and its control method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10132346A (en) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1012494C2 (en) * | 1999-07-02 | 2001-01-03 | Metaflex Isosystems B V | Clean rooms e.g. operating theatres whose air pressures are higher than those of adjoining rooms and with air flow through door-mounted acoustic baffles to adjoining rooms |
| JP2001173895A (en) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Nippon Sanso Corp | Gas filling equipment |
| JP2003511646A (en) * | 1999-10-02 | 2003-03-25 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | Air guiding method and apparatus in processing chamber |
| JP2005325591A (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Penta Ocean Constr Co Ltd | Cleanable room structure, and method for cleaning the room |
| JP2007003091A (en) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | Air shower device |
| JP2007024370A (en) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Dai-Dan Co Ltd | Air conditioning system |
| JP2008175403A (en) * | 2006-12-18 | 2008-07-31 | Nichicon Corp | Pass box |
| JP2010096460A (en) * | 2008-10-20 | 2010-04-30 | Tosho Inc | Clean room unit for preparation of drug |
| JP2011190989A (en) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Shin Nippon Air Technol Co Ltd | Method for controlling dew point temperature of low dew point chamber, and dehumidification system |
| JP2013081900A (en) * | 2011-10-11 | 2013-05-09 | Seibu Giken Co Ltd | Dry room device |
| JP2014227325A (en) * | 2013-05-24 | 2014-12-08 | 住友電気工業株式会社 | Production method of optical fiber |
| JP2017171412A (en) * | 2016-03-18 | 2017-09-28 | ダイキン工業株式会社 | Clean room structure |
| WO2019141770A1 (en) * | 2018-01-19 | 2019-07-25 | Assa Abloy Entrance Systems Ab | Door entrance system |
| CN111712673A (en) * | 2018-03-15 | 2020-09-25 | 信越半导体株式会社 | Clean room for polysilicon filling operation |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP28374196A patent/JPH10132346A/en active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1012494C2 (en) * | 1999-07-02 | 2001-01-03 | Metaflex Isosystems B V | Clean rooms e.g. operating theatres whose air pressures are higher than those of adjoining rooms and with air flow through door-mounted acoustic baffles to adjoining rooms |
| JP2003511646A (en) * | 1999-10-02 | 2003-03-25 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | Air guiding method and apparatus in processing chamber |
| JP2001173895A (en) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Nippon Sanso Corp | Gas filling equipment |
| JP2005325591A (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Penta Ocean Constr Co Ltd | Cleanable room structure, and method for cleaning the room |
| JP2007003091A (en) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | Air shower device |
| JP2007024370A (en) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Dai-Dan Co Ltd | Air conditioning system |
| JP2008175403A (en) * | 2006-12-18 | 2008-07-31 | Nichicon Corp | Pass box |
| JP2010096460A (en) * | 2008-10-20 | 2010-04-30 | Tosho Inc | Clean room unit for preparation of drug |
| JP2011190989A (en) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Shin Nippon Air Technol Co Ltd | Method for controlling dew point temperature of low dew point chamber, and dehumidification system |
| JP2013081900A (en) * | 2011-10-11 | 2013-05-09 | Seibu Giken Co Ltd | Dry room device |
| JP2014227325A (en) * | 2013-05-24 | 2014-12-08 | 住友電気工業株式会社 | Production method of optical fiber |
| JP2017171412A (en) * | 2016-03-18 | 2017-09-28 | ダイキン工業株式会社 | Clean room structure |
| WO2019141770A1 (en) * | 2018-01-19 | 2019-07-25 | Assa Abloy Entrance Systems Ab | Door entrance system |
| CN111712673A (en) * | 2018-03-15 | 2020-09-25 | 信越半导体株式会社 | Clean room for polysilicon filling operation |
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