JP6129982B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Landscapes
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Description
10 電子線
11 電子銃真空排気装置
101 電子源
102 フィラメント
103 引出電極
104 調整電極
105 加速管
106 中間電極
107 中間電極
108 中間電極
109 中間電極
110 陽極
17 イオンポンプ
2 電子光学系
21 電子光学系真空排気装置
3 試料ホルダ
31 試料
4 検出器
5 制御装置
6 電源部
61 制御・検出系電源
62 電子銃電源
621 引出電源
622 調整電源
623 加速電源
624 フィラメント加熱電源
91 ユーザーにフラッシングを促すダイアログの例
92 ユーザーにフラッシング実施を通知するダイアログの例
93 ユーザーにフラッシング時機を通知する表示の例
94 ユーザーに強いフラッシングを促すダイアログの例
95 ユーザーに強いフラッシング実施を通知するダイアログの例
96 ユーザーに電子源の清浄度を通知する表示の例
Claims (7)
- 冷陰極電界放出型電子銃と、
電界放出により発生した電流であるエミッション電流を測定する機能と、
前記電子銃の電子源の加熱清浄化を制御する制御部と、を備え、
当該制御部は、エミッション電流が初期値の半分まで減少した時点で、電子源の加熱清浄化の制御を実施する電子顕微鏡において、
前記制御部は、当該時点の半分の時点におけるエミッション電流が、初期値に対して所定の比率未満である場合、電子源の加熱清浄化の強度を強める制御を行うことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記所定の比率が、初期値の75%であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記制御部による、電子源の加熱清浄化を実施する制御は、自動で行われることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
電子源の加熱清浄化は、装置が操作されていない場合または試料交換作業が行われている間に行われることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記制御部による、電子源の加熱清浄化の制御は、ユーザーに加熱清浄化を促すものであり、
電子源の加熱清浄化は、ユーザーの命令により実施されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
エミッション電流の時間的な変化を入力情報に用いて、電子源のガス分子付着を推定し、電子源の強い加熱清浄化を行うべき時期をユーザーに通知する機能と、
を持った電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
エミッション電流の時間的な変化を入力情報に用いて、電子源のガス分子付着を推定し、電子源の強い加熱清浄化を行うべき時期の目安となる情報をユーザーに通知する機能と、
を持った電子顕微鏡。
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